JPH10239063A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】駆動用、検出用などの圧電両持梁および振動体
を水平面方向に振動させて検出感度を向上させた角速度
センサを提供する。 【解決手段】基体１の中空部２に両端が支持された駆動
用および検出用の圧電両持梁４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄに
より、ロッド６を介して振動体５が自由振動可能に支持
され、圧電両持梁４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは、表裏面の
幅方向にそれぞれ２分割されて形成された表裏対抗電極
により長手方向に二つの細長い振動部が形成されている
角速度センサ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動物体などに搭
載されて、その回転角速度を検出する角速度センサに関
する。

【０００２】

【従来の技術】この種の従来の角速度センサとして、特
開平７−１１３６４３号公報に開示されている圧電駆動
・圧電検出形の圧電片持梁の構造を図１４に示す。シリ
コン基板２１の一部を伸長して片持梁２２を形成する。
この片持梁２２の上には酸化シリコン層２３が形成さ
れ、この酸化シリコン層２３の上には３つの細長い分割
電極２６ａ、２７ａ、２８ａが、長手方向に形成されて
いる。これらの分割電極２６ａ、２７ａ、２８ａなどの
上には、圧電体２４が形成されている。また、この圧電
体２４の上には共通電極２５が形成されている。そし
て、圧電体２４には、共通電極２５と分割電極２６ａ、
２７ａ、２８ａにより３つの圧電振動部２６、２７、２
８が構成されている。

【０００３】従来の角速度センサは以上のように圧電片
持梁の構造よりなり、つぎに動作について説明する。中
央の圧電振動部２７の下部電極２７ａと上部の共通電極
２５との間に交流電圧を印加して、片持梁２２をＺ軸方
向に振動させる。このように片持梁２２が振動している
ときに、角速度センサ（片持梁２２）がＸ軸を中心にし
て回転すると、コリオリ力により、片持梁２２はＹ軸方
向の成分を持って振動するようになる。そして、両側の
圧電振動部２６と２８に、圧縮応力と引っ張り応力が交
互に発生して、振動部２６と２８には、逆方向の電圧が
発生することになる。この電圧を差動増幅することによ
り、回転角速度を求めるものである。

【０００４】また、他の従来の角速度センサとして、静
電駆動・静電検出形のものを図１５に示す。同図におい
て、振動体３１がその４つの角部に結合するＬ字型支持
梁３２を介して固定部３３に振動可能に支持されてい
る。この振動体３１の長手方向の両端面には、櫛形の可
動電極指３１ａ、３１ｂが複数個それぞれ形成されてい
る。また、振動体３１の短手方向の両側面にも、櫛形の
可動電極指３１ｃ、３１ｄが複数個それぞれ形成されて
いる。

【０００５】電極指３１ａ、３１ｂと向き合ってコンデ
ンサを形成する櫛形の固定電極指３４ａ、３５ａが複数
個それぞれ形成され、これらの固定電極指３４ａ、３５
ａはそれぞれ駆動電極３４、３５に結合している。ま
た、電極指３１ｃ、３１ｄと向き合ってコンデンサを形
成する櫛形の固定電極指３６ａ、３７ａも複数個それぞ
れ形成され、これらの固定電極指３６ａ、３７ａはそれ
ぞれ検出電極３６、３７に結合している。

【０００６】この従来の角速度センサにおいて駆動電極
３４と固定部３３との間および駆動電極３５と固定部３
３との間に、交互に電圧を印加して振動体３１をＸ軸方
向に振動させる。このように振動体３１が振動している
ときに、角速度センサが紙面に垂直な中心軸を中心にし
て回転すると、振動体３１はコリオリ力によりＹ軸方向
に振動するようになる。すると、可動電極指３１ｃと固
定電極指３６ａとの間に形成される静電容量、および可
動電極指３１ｄと固定電極指３７ａとの間に形成される
静電容量が、一方は増加し他方は減少するようになる。
この静電容量を電圧変換して差動増幅することにより、
回転角速度を検出することができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１４
に示す従来の角速度センサにおいては、駆動が垂直方向
であり、検出が水平もしくは捩じり方向であるため、駆
動と検出の両方の機械的共振周波数が合わせにくい。そ
して、この従来の構造では、小形化すると、片持梁２２
の軸長が短くなって駆動周波数が高くなるので、振動振
幅が小さくなって角速度の検出感度が低下する。

【０００８】また、図１５に示す従来の角速度センサに
おいては、一定電圧で駆動変位を大きくするには、駆動
用の電極指３１ａ、３１ｂ、３４ａ、３５ａを多く形成
する必要があり、また一定変位で検出静電容量を大きく
するには、検出用の電極指３１ｃ、３１ｄ、３６ａ、３
７ａを多く形成する必要がある。このように、電極指を
多く形成すると、空気抵抗のため、機械的Ｑが低下して
検出感度が低下する。そこで、本発明は、駆動用、検出
用などの圧電両持梁および振動体を水平面方向に振動さ
せて検出感度を向上させた角速度センサを提供すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、中空部を有する基体と、この基体に両端が結合され
て前記中空部に設けられた複数の圧電両持梁と、各圧電
両持梁に結合しているロッドで前記中空部に支持された
振動体とを備え、各圧電両持梁は、その幅方向に２等分
した領域の少なくとも片側の表裏面に形成された長手方
向に伸びる表裏対抗する電極により構成された圧電振動
部を有し、かつ駆動機能、検出機能およびモニター機能
のうち少なくとも一つの機能を有しているものである。

【００１０】請求項２に記載の発明は、前記圧電両持梁
とこれに結合している前記ロッドとがＴ字型梁を構成
し、少なくとも３つの該Ｔ字型梁で前記振動体を支持し
ているものである。

【００１１】上記発明において、圧電両持梁は、その幅
方向に２等した領域の片側または両側に形成された１つ
又は２つの細長い圧電振動部よりなる。駆動において
は、この振動部の電極に交流電圧を印加して、圧電両持
梁をくの字形あるいは逆くの字形で水平方向に屈曲変位
させる。圧電両持梁のこの屈曲変位を、この変位の最大
振幅点に結合されたロッドを介して振動体に伝達して該
振動体を水平方向に振動させる。

【００１２】このように振動体が振動しているときに、
振動体にコリオリ力が加わると、振動体は前記水平方向
と直角方向の成分を持って振動するようになる。このコ
リオリ力に基づく振動を検出用の圧電両持梁で検出して
回転角速度を検出する。

【００１３】特に、本発明においては、駆動と検出の圧
電両持梁を同一構造にして、駆動と検出の振動を水平面
方向とすることにより、駆動と検出の共振周波数を合わ
せ易くして、機械的Ｑを高くすることができ、検出感度
を向上させることができる。また、本発明においては、
振動体の重量を増やすことにより、駆動周波数を下げ
て、駆動用および検出用の圧電両持梁の振動振幅を大き
くすることができるので、検出感度を向上させることが
できる。

【００１４】特に、振動部を両側に有する圧電両持梁と
することにより、これらの二つの振動部を並列駆動して
振動体の振動の振幅を大きくすることができ、検出感度
を向上させることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、図１および図２を参照し
て、本発明の第１実施例に係る角速度センサ１０につい
て説明する。１は枠状の基体で、裏面に酸化膜ｓ１を有
するシリコン基板１ａの上に酸化膜ｓ２、圧電膜ｚ１お
よび酸化膜ｓ３が順次積層された５層構造をしている。

【００１６】基体１の中央部は矩形状の中空部２を構成
し、基体１の中空部２の４つの内側面側にはその内側面
と等しい長さを有する間隙ｇが該内側面と平行に形成さ
れている。そして、中空部２と間隙ｇとの間には、圧電
両持梁４ａ〜４ｄがその両端を基体１に結合して形成さ
れている。この圧電両持梁４ａ〜４ｄの構造については
後述する。

【００１７】この圧電両持梁４ａ〜４ｄの中空部２側の
側面の中央部にはロッド６がそれぞれ結合しており、こ
れらのロッド６の先端は中空部２の中央部に設けられた
矩形板状の振動体５の４つの側面中央部にそれぞれ結合
している。そして、この圧電両持梁４ａ〜４ｄとロッド
６は、Ｔ字型梁を構成する。また、振動体５およびロッ
ド６は、圧電膜ｚ１の表裏面に酸化膜ｓ３、ｓ２が一体
に形成された構造よりなる。

【００１８】つぎに、圧電両持梁４ａ〜４ｄの構造につ
いて図３Ａを参照して説明する。圧電膜ｚ１の裏面には
下部電極ｄ１、ｄ２が梁幅方向に分割して形成されてい
る。また、圧電膜ｚ１の表面にも、上部電極ｄ３、ｄ４
が梁幅方向に分割して形成されている。これらの下部電
極ｄ１、ｄ２と上部電極ｄ３、ｄ４とは、それぞれ表裏
対抗して振動部ｒ１、ｒ２を構成している。

【００１９】即ち、圧電両持梁４ａ〜４ｄは、その幅方
向に一点鎖線で示す垂直２等分線で分割された領域の両
側の表裏面に形成された表裏対抗する電極ｄ１とｄ３、
ｄ２とｄ４により二つの平行する細長い振動部ｒ１とｒ
２で構成されていることになる。

【００２０】これらの電極ｄ１〜ｄ４を含む圧電膜ｚ１
の表裏には酸化膜ｓ３、ｓ２がそれぞれ形成されてい
る。そして、振動部ｒ１、ｒ２は破線矢印で示す方向に
分極されている。

【００２１】なお、下部電極ｄ１、ｄ２および上部電極
ｄ３、ｄ４には、図示しないが、外部へ通じる配線パタ
ーンが形成される。

【００２２】また、図３Ａに示す圧電両持梁４ａ〜４ｄ
は、圧電膜ｚ１の表裏面の対抗する２対の電極ｄ１とｄ
３、ｄ２とｄ４により２つの振動部ｒ１、ｒ２を形成し
ているが、これらの振動部ｒ１、ｒ２のうち一方だけの
対抗電極を形成して、図３Ｂに示すように、例えば、２
等分線の左側の振動部ｒ１のみからなる圧電両持梁４ｅ
の構造としてもよい。

【００２３】更に、駆動用の圧電両持梁と検出用の圧電
両持梁とは、それらの機械的共振周波数を一致ないし近
似させて検出感度を上げるため、それらの幅が調整され
る。特に、圧電両持梁の幅を狭め、機械的共振周波数を
下げて、検出感度の向上が図られる。

【００２４】また、振動体５は、その上に酸化シリコン
などの物質を厚めに形成することにより、その振動振幅
を大きくして検出感度を上げることができる。なお、基
体１の裏面の酸化膜ｓ１は、必ずしも必要ではない。

【００２５】つぎに、図１に示す角速度センサ１０の動
作について説明する。振動体５を介して横方向に対向し
ている圧電両持梁４ｃ、４ｄを駆動用に使用し、縦方向
に対向している圧電両持梁４ａ、４ｂを検出用に使用す
る。駆動用の圧電両持梁４ｃ、４ｄの振動部ｒ１とｒ２
とに１〜１０ｋＨｚの交流電圧を逆に印加する。ある瞬
時における交流電圧の極性が、図３Ａにプラス（＋）、
マイナス（−）で示すように、振動部ｒ１は分極方向と
同極性、振動部ｒ２は逆極性となったとする。すると、
図４Ａに示すように、圧電両持梁４ｃ（４ｄ）の振動部
ｒ１は厚み方向に伸長して長手方向に縮小する。また、
振動部ｒ２は厚み方向に縮小して長手方向に伸長し、そ
の結果、逆くの字状に屈曲変位する。この屈曲変位によ
り、圧電両持梁４ｃ（４ｄ）は振動体５を右方向に変位
させ、交流電圧の次の半サイクルには、図３Ａおよび図
４Ａに示す極性が反対になって図４Ｂに示す極性とな
り、圧電両持梁４ｃ（４ｄ）は、くの字状に屈曲変位し
て、振動体５を左方向に変位させる。このようにして、
圧電両持梁４ｃ（４ｄ）は、振動体５をＹ軸方向に振動
させることになる。

【００２６】以上のように、振動体５がＹ軸方向に振動
しているときに、角速度センサ１０が紙面に垂直な中心
軸を中心にして回転したとすると、振動体５はコリオリ
力によりＸ軸方向の成分を持って振動するようになる。
このＸ軸方向とＹ軸方向の合成振動においては、ロッド
６がしなることにより、この合成振動が可能となる。そ
して、この合成振動を、圧電両持梁４ａ（４ｂ）で検出
して、Ｘ軸方向のコリオリ力の振動成分を取り出して回
転角速度を求めることができる。なお、図３Ｂに示す圧
電両持梁４ｅは、これを駆動用に使用した場合には、電
極ｄ１とｄ３とに交流電圧を印加すると、左側の振動部
ｒ１は長手方向に伸縮して、右側の非振動部分と共に屈
曲振動をする。圧電両持梁４ｅは、この屈曲振動により
振動体５を振動させ、また検出用に使用した場合には、
圧電効果によりコリオリ力に基づく振動を電圧変換して
角速度も求めることができる。

【００２７】つぎに、図５を参照して、本発明の第２実
施例に係る角速度センサ２０について説明する。１１は
矩形板状の基体で、第１実施例における基体１と同様
に、裏面に酸化膜を有するシリコン基板の上に、酸化
膜、圧電膜および酸化膜が順次積層された５層構造より
なる。本実施例の角速度センサ２０は、フォトリソグラ
フィ、エッチングなどの半導体微細加工技術を使用して
形成される。

【００２８】基体１１の中央部には、３角形状の中空部
２１が形成される。この中空部２１の３辺の基体１１の
領域には、該辺と平行し、かつ、間隙ｇを介して、圧電
両持梁４１〜４３が形成されている。この圧電両持梁４
１〜４３の構造は、図１および図３に示す圧電両持梁４
ａ〜４ｄと同一構造をしている。

【００２９】この圧電両持梁４１〜４３の中空部２１側
の側面の中央部にはロッド６がそれぞれ結合しており、
これらのロッド６の先端は中空部２１の中央部に設けら
れた３角板状の振動体５１の３つの側面中央部にそれぞ
れ結合している。この振動体５１およびロッド６は、図
１および図２に示す第１実施例と同様に、圧電膜ｚ１の
表裏面に酸化膜ｓ３、ｓ２が一体に形成された構造より
なる。

【００３０】つぎに、本実施例の動作について２つの例
について説明する。 （第１動作の例）圧電両持梁４１を駆動用に、圧電両持
梁４２、４３を検出用に使用する。第１実施例において
説明したように、圧電両持梁４１に交流電圧を印加する
と、圧電両持梁４１は、図４ＡおよびＢに示すように、
その両端を支点とし、中央部を最大振幅点として屈曲振
動をする。そして、この振動は、ロッド６を介して振動
体５１に伝達して、振動体５１を同方向に振動させる。
また、この振動は、検出用の圧電両持梁４２、４３にも
振動体５１および弾性を有するロッド６を介して伝達
し、圧電両持梁４２、４３をその短手方向に振動させる
ことになる。

【００３１】このように、角速度センサ２０の振動体５
１が振動しているときに、角速度センサ２０が紙面に垂
直な中心軸を中心にして回転したとすると、振動体５１
はコリオリ力により圧電両持梁４１と平行方向の振動成
分を持って振動するようになる。この振動は、駆動の振
動とコリオリ力による振動との直交する振動成分の合成
振動なので、適宜の弾性と剛性を有するロッド６のしな
りにおいて可能となり、この合成振動を圧電両持梁４
２、４３が検出して圧電効果により電圧変換し、この電
圧を差動増幅することにより回転角速度を求めることが
できる。

【００３２】（第２動作の例）第１動作とは異なり、圧
電両持梁４２、４３を共に駆動用および検出用に、圧電
両持梁４１を駆動変位を監視するモニタ用に使用する。
圧電両持梁４２、４３に交流電圧を印加して振動体５１
を振動させる。振動体５１の振動の方向は、圧電両持梁
４１の短手方向となる。このとき、圧電両持梁４１は、
振動体５１の駆動変位をモニタしてそのモニタ電圧によ
り、振動体５１が常に共振状態で一定振幅で振動するよ
うに、圧電両持梁４２、４３にフィードバックをかけ
て、圧電両持梁４２、４３の駆動電圧を制御している。

【００３３】このように、角速度センサ２０の振動体５
１が振動しているときに、角速度センサ２０が紙面に垂
直な中心軸を中心にして回転したとすると、振動体５１
はコリオリ力により圧電両持梁４１の長手方向の振動成
分を持って振動する。このコリオリ力による振動を圧電
両持梁４２、４３が検出して圧電効果により電圧変換し
て回転角速度を求めることができる。なお、駆動を行う
圧電両持梁４２と４３からコリアリ力による振動成分を
検出できるのは、駆動変位とコリオリ力に基づく変位と
が９０゜の位相差を有していることにより可能となる。

【００３４】上記実施例においては、図１に示すよう
に、４つの圧電両持梁４ａ〜４ｄを４角形状に配置した
角速度センサ１０と、図５に示すように、３つの圧電両
持梁４１〜４３を３角形状に配置した角速度センサ２０
について説明したが、この他に５個以上の圧電両持梁に
より多角形状に構成された角速度センサであってもよ
い。また、振動体の形状も３角形、４角形に限らず多角
形状あるいは円形状であってもよい。

【００３５】つぎに、本発明の製造方法について図６〜
図１２および図２を参照して説明する。図６において、
シリコン基板１１の両面に、熱酸化、スパッタ、ＣＶＤ
（化学気相成長）などにより、酸化シリコン、窒化シリ
コン等の酸化膜ｓ１、ｓ２をそれぞれ形成する。

【００３６】図７において、フォトリソグラフィ技術を
用いて、酸化膜ｓ１、ｓ２の上にフォトレジストをそれ
ぞれ塗布し、表面の酸化膜ｓ２の全面にレジストマスク
ｍ２を、裏面の酸化膜ｓ１の４辺にレジストマスクｍ１
をそれぞれ形成する。

【００３７】図８において、レジストマスクｍ１、ｍ２
を用い、ＢＨＦ（バファ・フッ酸）のエッチング液にシ
リコン基板１１を浸漬して、シリコン基板１１の裏面中
央部の酸化膜ｓ１をエッチング除去する。

【００３８】図９において、レジストマスクｍ１、ｍ２
を剥離して、シリコン基板１１をＴＭＡＨ（テトラ・メチル・アン
モニウム・ハイト゛ロオキサイト゛）のエッチング液に浸漬し、酸化膜ｓ
１、ｓ２をマスクとして、シリコン基板１１の裏面中央
部をエッチング除去して、厚みが３０〜５０μｍのメン
ブレン１１ａを形成する。

【００３９】図１０において、フォトリソグラフィ技術
を用い、シリコン基板１１をＢＨＦのエッチング液に浸
漬して、表面の酸化膜ｓ２を図１に示す表面形状にパタ
ーニングする。そして、全面にアルミニウム（Ａｌ）、
金（Ａｕ）／クロム（Ｃｒ）等の金属を蒸着し、下部電
極ｄ１、ｄ２の対応箇所にレジストマスクを形成する。
ついで、このレジストマスクを用いて、Ａｕを王水で、
Ｃｒをクロムエッチャントで、Ａｌを５０℃の温リン酸
でそれぞれウエットエッチングして下部電極ｄ１、ｄ２
を形成する。

【００４０】図１１において、下部電極ｄ１、ｄ２を含
むメンブレン１１ａなどの全面に、酸化亜鉛（Ｚｎ
Ｏ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料
により、厚みが５〜１０μｍの圧電膜ｚ１をスパッタリ
ングにより形成する。

【００４１】ついで、上部電極ｄ３、ｄ４の対応箇所に
開口を有するレジストマスクを形成し、これらの上に金
／クロム、アルミニウム（Ａｌ）等の金属を蒸着して、
リフトオフ法により上部電極ｄ３、ｄ４を形成する。

【００４２】図１２において、スパッタ、ＣＶＤなどに
より、圧電膜ｚ１および上部電極ｄ３、ｄ４の上に酸化
シリコン、窒化シリコン等の酸化膜ｓ３を形成する。そ
して、この酸化膜ｓ３をフォトリソグラフィ技術を用
い、図１に示す表面形状にパターニングする。

【００４３】図１３において、酸化膜ｓ３をマスクとし
て、圧電膜ｚ１を塩酸、硝酸などの酸でウエットエッチ
ングするか、またはＲＩＥ（反応性イオンエッチング）
によりドライエッチングして、不要部分の圧電膜ｚ１を
除去する。

【００４４】図２において、酸化膜ｓ１をマスクとし
て、６フッ化硫黄（ＳＦ₆ ）を用いたＲＩＥによりメン
ブレン１１ａを下方からドライエッチングして不要部分
を除去し、図１に示す本実施例の角速度センサを製造す
る。

【００４５】

【発明の効果】本発明は、駆動と検出の圧電両持梁を同
一構造にし、駆動と検出の振動を同一水平面上で行わせ
るので、駆動と検出の共振周波数が合わせやすく、機械
的Ｑを高くすることができて、検出感度を向上させるこ
とができる。

【００４６】また、本発明においては、振動体の重量を
増やすことにより、駆動周波数を下げて、駆動用および
検出用の圧電両持梁の振動振幅を大きくすることができ
るので、検出感度を更に向上させることができる。

【００４７】また、本発明は、圧電駆動・圧電検出構造
を採用しているので、多数の櫛歯電極指を有している静
電駆動型の角速度センサに比べて、空気抵抗の影響を受
けず、大気中でも高い検出感度を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の角速度センサの第１実施例の斜視図

【図２】 図１のＸ−Ｘ線断面図

【図３】 圧電両持梁の構造を示すもので、Ａは２つの
振動部を有する圧電両持梁の断面形態図、Ｂは１つの振
動部を有する圧電両持梁の断面形態図

【図４】 圧電両持梁の動作を説明するもので、Ａは逆
くの字形に屈曲変位した圧電両持梁の斜視図、Ｂはくの
字形に屈曲変位した圧電両持梁の斜視図

【図５】 本発明の角速度センサの第２実施例の平面図

【図６】 第１実施例に係る角速度センサの製造方法を
示すもので、シリコン基板の両面に酸化膜を形成する工
程図

【図７】 同じく、酸化膜をパターニングするレジスト
マスクを形成する工程図

【図８】 同じく、酸化膜をエッチングして除去する工
程図

【図９】 同じく、シリコン基板の裏面中央部をエッチ
ング除去してメンブレンを形成する工程図

【図１０】 同じく、酸化膜をパターニングし、この酸
化膜の上に下部電極を形成する工程図

【図１１】 同じく、下部電極などの上に圧電膜をスパ
ッタリングし、この圧電膜の上に上部電極を形成する工
程図

【図１２】 同じく、上部電極および圧電膜の上に酸化
膜を形成し、この酸化膜を図１の表面形状にパターニン
グする工程図

【図１３】 同じく、酸化膜をマスクにして圧電膜をエ
ッチングする工程図

【図１４】 従来の角速度センサの斜視図

【図１５】 他の従来の角速度センサの平面図

【符号の説明】

１、１１ 基体 １ａ シリコン基板 ｓ１、ｓ２、ｓ３ 酸化膜 ｚ１ 圧電膜 ｄ１、ｄ２ 下部電極 ｄ３、ｄ４ 上部電極 ｇ 間隙 ｒ１、ｒ２ 振動部 ２、２１ 中空部 ４ａ、４ｂ 検出用の圧電両持梁 ４ｃ、４ｄ 駆動用の圧電両持梁 ５、５１ 振動体 ６ ロッド １０、２０ 角速度センサ ４１、４２、４３ 圧電両持梁

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空部を有する基体と、この基体に両端
   が結合されて前記中空部に設けられた複数の圧電両持梁
   と、各圧電両持梁に結合しているロッドで前記中空部に
   支持された振動体とを備え、各圧電両持梁は、その幅方
   向に２等分した領域の少なくとも片側の表裏面に形成さ
   れた長手方向に伸びる表裏対抗する電極により構成され
   た圧電振動部を有し、かつ駆動機能、検出機能およびモ
   ニター機能のうち少なくとも一つの機能を有している角
   速度センサー。
2. 【請求項２】 前記圧電両持梁とこれに結合している前
   記ロッドとはＴ字型梁を構成し、少なくとも３つの該Ｔ
   字型梁で前記振動体を支持していることを特徴とする請
   求項１に記載の角速度センサ。