JPH10235185A - 有害ガスの浄化剤および浄化方法 - Google Patents
有害ガスの浄化剤および浄化方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルシン、ホスフィン、シラン、ジシラン、
トリシラン、ジボラン、セレン化水素の水素化物系有害
成分がガスボンベなどから漏洩した場合において、高濃
度の有害成分を含有する大量の有害ガスを常温で極めて
効率よく浄化することのできる浄化剤および浄化方法を
開発する。 【解決手段】 ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上の
二酸化マンガンおよび銀化合物、またはＢＥＴ比表面積
が１５０ｍ2 ／ｇ以上の二酸化マンガン、銀化合物およ
び酸化銅を主成分とする浄化剤を用いる。
トリシラン、ジボラン、セレン化水素の水素化物系有害
成分がガスボンベなどから漏洩した場合において、高濃
度の有害成分を含有する大量の有害ガスを常温で極めて
効率よく浄化することのできる浄化剤および浄化方法を
開発する。 【解決手段】 ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上の
二酸化マンガンおよび銀化合物、またはＢＥＴ比表面積
が１５０ｍ2 ／ｇ以上の二酸化マンガン、銀化合物およ
び酸化銅を主成分とする浄化剤を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は有害ガスの浄化剤お
よび浄化方法に関し、さらに詳細にはボンベなどから大
量の水素化物系ガスが急激に大気中に漏洩した場合、漏
洩した有害ガスを効率よく浄化するためのガスの浄化剤
および浄化方法に関する。
よび浄化方法に関し、さらに詳細にはボンベなどから大
量の水素化物系ガスが急激に大気中に漏洩した場合、漏
洩した有害ガスを効率よく浄化するためのガスの浄化剤
および浄化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体工業、液晶工業の発展とと
もに、これらの工程で用いられるアルシン、ホスフィ
ン、シランおよびジボランなどの水素化物系ガスの種類
および使用量が増加している。
もに、これらの工程で用いられるアルシン、ホスフィ
ン、シランおよびジボランなどの水素化物系ガスの種類
および使用量が増加している。
【０００３】これらの水素化物系ガスは、シリコン半導
体や化合物半導体、液晶などの製造工程において、原料
ガスあるいはドーピングガスとして不可欠なものである
が、いずれも極めて毒性が高く、それぞれの許容濃度は
アルシン（ＡｓＨ3 ）で０．０５ｐｐｍ、ホスフィン
（ＰＨ3 ）で０．３ｐｐｍ、シラン（ＳｉＨ4 ）で５ｐ
ｐｍ、ジボラン（Ｂ2 Ｈ6 ）で０．０５ｐｐｍとされて
いる。
体や化合物半導体、液晶などの製造工程において、原料
ガスあるいはドーピングガスとして不可欠なものである
が、いずれも極めて毒性が高く、それぞれの許容濃度は
アルシン（ＡｓＨ3 ）で０．０５ｐｐｍ、ホスフィン
（ＰＨ3 ）で０．３ｐｐｍ、シラン（ＳｉＨ4 ）で５ｐ
ｐｍ、ジボラン（Ｂ2 Ｈ6 ）で０．０５ｐｐｍとされて
いる。
【０００４】このため、高濃度の水素化物系ガスを含有
する有害ガスを大気中に排出した場合、環境を破壊する
ばかりでなく人命を奪うといった危険性があるため、有
害ガスを排出する場合には有害ガス中の水素化物系ガス
の濃度が許容濃度以下となるまで浄化する必要がある。
する有害ガスを大気中に排出した場合、環境を破壊する
ばかりでなく人命を奪うといった危険性があるため、有
害ガスを排出する場合には有害ガス中の水素化物系ガス
の濃度が許容濃度以下となるまで浄化する必要がある。
【０００５】半導体や液晶の製造工場において、これら
の水素化物系ガスのボンベは、ガスが漏洩した場合に直
接外部の大気を汚染することを防止するため、通常はシ
リンダーキャビネットと呼ばれるボンベ収納容器内に収
納された状態で製造工程などへのガス供給配管に接続し
て使用される。このようなシリンダーキャビネット内に
収納されていても、思わぬ事故などによりガスが漏洩す
る危険性が皆無といえず、このような事故発生時には迅
速に浄化しなければならない。また製造工程においても
製造装置やガス供給配管からガスが漏洩し、製造現場の
環境を汚染する危険性があり、このような場合も有害ガ
スを緊急に浄化しなければならない。
の水素化物系ガスのボンベは、ガスが漏洩した場合に直
接外部の大気を汚染することを防止するため、通常はシ
リンダーキャビネットと呼ばれるボンベ収納容器内に収
納された状態で製造工程などへのガス供給配管に接続し
て使用される。このようなシリンダーキャビネット内に
収納されていても、思わぬ事故などによりガスが漏洩す
る危険性が皆無といえず、このような事故発生時には迅
速に浄化しなければならない。また製造工程においても
製造装置やガス供給配管からガスが漏洩し、製造現場の
環境を汚染する危険性があり、このような場合も有害ガ
スを緊急に浄化しなければならない。
【０００６】これらの水素化物系ガスを有害成分として
含有する有害ガスを浄化する方法としては、湿式浄化法
と乾式浄化法が知られている。湿式浄化法としては、ア
ルカリ溶液に水素化物系廃ガスを接触させ、紫外線を照
射して除害する方法（特開平３−１７８３１７号公
報）、アルカリ溶液に水素化物系廃ガスを接触させ、超
音波を作用させて除害する方法（特開平３−１７８３１
８号公報）などが知られている。乾式浄化法としては
銅、亜鉛、鉄の金属化合物からなるハニカム成型体を使
用する有害ガス成分の除去方法（特開昭６４−１５１３
５号公報）、二酸化マンガンと銅を主成分とし、銀化
合物を含有させた成型体を用いて有害ガスを緊急に浄化
する方法（特公平７−１００１２８号公報）が知られて
いる。
含有する有害ガスを浄化する方法としては、湿式浄化法
と乾式浄化法が知られている。湿式浄化法としては、ア
ルカリ溶液に水素化物系廃ガスを接触させ、紫外線を照
射して除害する方法（特開平３−１７８３１７号公
報）、アルカリ溶液に水素化物系廃ガスを接触させ、超
音波を作用させて除害する方法（特開平３−１７８３１
８号公報）などが知られている。乾式浄化法としては
銅、亜鉛、鉄の金属化合物からなるハニカム成型体を使
用する有害ガス成分の除去方法（特開昭６４−１５１３
５号公報）、二酸化マンガンと銅を主成分とし、銀化
合物を含有させた成型体を用いて有害ガスを緊急に浄化
する方法（特公平７−１００１２８号公報）が知られて
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】アルシン、ホスフィン
等の有害成分がボンベ、配管あるいはこれらのガスを使
用する装置等から大気中に漏洩した場合の有害ガスの浄
化においては、大流量の有害ガスを迅速に処理する必要
があり、高い浄化能力が必要とされる。また、大気中に
漏洩した水素化物系ガスを空気とともに浄化するため、
水分を含む場合が多い。さらに、製造現場においては安
全性の面から製造装置近傍での有害ガスの浄化が望まれ
ており、また浄化設備のコストを低減するためにも浄化
設備の小型化が求められている。しかしながら、前述の
湿式浄化法は超音波発生装置や紫外線発生装置が必要な
ため設備が大型となること、アルカリ溶液を使用するた
め薬液による浄化装置の腐食が起こること、処理能力が
低いことといった問題点がある。一方、の乾式浄化法
は空気中の水分により除害能力が低下しやすく、水分存
在下では有害ガスを充分浄化することができないという
問題点がある。またの方法は、二酸化マンガン−銅−
銀系の浄化剤を用いているため水分の影響は受けにくい
が、浄化能力が充分に高められていないという問題点が
ある。以上のように、設備が小型であり、浄化能力が高
く、水分存在下であっても能力が低下することのない水
素化物系ガスを含有する有害ガスの浄化剤および浄化方
法の開発が強く望まれていた。
等の有害成分がボンベ、配管あるいはこれらのガスを使
用する装置等から大気中に漏洩した場合の有害ガスの浄
化においては、大流量の有害ガスを迅速に処理する必要
があり、高い浄化能力が必要とされる。また、大気中に
漏洩した水素化物系ガスを空気とともに浄化するため、
水分を含む場合が多い。さらに、製造現場においては安
全性の面から製造装置近傍での有害ガスの浄化が望まれ
ており、また浄化設備のコストを低減するためにも浄化
設備の小型化が求められている。しかしながら、前述の
湿式浄化法は超音波発生装置や紫外線発生装置が必要な
ため設備が大型となること、アルカリ溶液を使用するた
め薬液による浄化装置の腐食が起こること、処理能力が
低いことといった問題点がある。一方、の乾式浄化法
は空気中の水分により除害能力が低下しやすく、水分存
在下では有害ガスを充分浄化することができないという
問題点がある。またの方法は、二酸化マンガン−銅−
銀系の浄化剤を用いているため水分の影響は受けにくい
が、浄化能力が充分に高められていないという問題点が
ある。以上のように、設備が小型であり、浄化能力が高
く、水分存在下であっても能力が低下することのない水
素化物系ガスを含有する有害ガスの浄化剤および浄化方
法の開発が強く望まれていた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
問題点を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、アルシン、
ホスフィン等の有害成分がボンベ、配管あるいはこれら
のガスを使用する装置等から大気中に漏洩した場合の有
害ガスの浄化において、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／
ｇ以上の二酸化マンガンと、銀化合物もしくは銀化合物
と酸化銅を組み合わせた浄化剤を用いることにより、従
来予想し得なかった大きな浄化能力が得られることを見
出し本発明を完成した。
問題点を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、アルシン、
ホスフィン等の有害成分がボンベ、配管あるいはこれら
のガスを使用する装置等から大気中に漏洩した場合の有
害ガスの浄化において、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／
ｇ以上の二酸化マンガンと、銀化合物もしくは銀化合物
と酸化銅を組み合わせた浄化剤を用いることにより、従
来予想し得なかった大きな浄化能力が得られることを見
出し本発明を完成した。
【０００９】すなわち本発明は、有害成分としてアルシ
ン、ホスフィン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボ
ラン、セレン化水素から選ばれる一種以上を含有する有
害ガスと浄化剤とを接触させて該有害ガスを浄化するた
めの浄化剤であって、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ
以上である二酸化マンガンおよび銀化合物、またはＢＥ
Ｔ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化マンガ
ン、銀化合物および酸化銅を主成分とすることを特徴と
する有害ガスの浄化剤である。
ン、ホスフィン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボ
ラン、セレン化水素から選ばれる一種以上を含有する有
害ガスと浄化剤とを接触させて該有害ガスを浄化するた
めの浄化剤であって、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ
以上である二酸化マンガンおよび銀化合物、またはＢＥ
Ｔ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化マンガ
ン、銀化合物および酸化銅を主成分とすることを特徴と
する有害ガスの浄化剤である。
【００１０】また本発明は、有害成分としてアルシン、
ホスフィン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラ
ン、セレン化水素から選ばれる一種以上を含有する有害
ガスと浄化剤とを接触させて該有害ガスを浄化するため
の浄化方法であって、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ
以上である二酸化マンガンと銀化合物、またはＢＥＴ比
表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化マンガンと銀
化合物と酸化銅を主成分とする浄化剤を用い、有害ガス
と該浄化剤を接触させることを特徴とする有害ガスの浄
化方法である。
ホスフィン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラ
ン、セレン化水素から選ばれる一種以上を含有する有害
ガスと浄化剤とを接触させて該有害ガスを浄化するため
の浄化方法であって、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ
以上である二酸化マンガンと銀化合物、またはＢＥＴ比
表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化マンガンと銀
化合物と酸化銅を主成分とする浄化剤を用い、有害ガス
と該浄化剤を接触させることを特徴とする有害ガスの浄
化方法である。
【００１１】本発明においては、ＢＥＴ比表面積が１５
０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化マンガン、銀化合物から成
る成型体、もしくはＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以
上である二酸化マンガン、銀化合物、酸化銅から成る成
型体が浄化剤として用いられる。
０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化マンガン、銀化合物から成
る成型体、もしくはＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以
上である二酸化マンガン、銀化合物、酸化銅から成る成
型体が浄化剤として用いられる。
【００１２】本発明に使用する二酸化マンガンは、ＢＥ
Ｔ法による比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上の二酸化マン
ガンであり（以下、ＢＥＴ法による比表面積が１５０ｍ
2 ／ｇ以上の二酸化マンガンを高比表面積二酸化マンガ
ンと称す）、２００ｍ2 ／ｇ以上のものが特に好まし
い。１５０ｍ2 ／ｇ以下であると高い浄化能力が得られ
ない。高比表面積二酸化マンガンを製造する方法として
は希薄な過マンガン酸カリウム水溶液と希薄な硫酸マン
ガン水溶液と濃硫酸を加熱しながら攪拌、混合して合成
する方法がある。
Ｔ法による比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上の二酸化マン
ガンであり（以下、ＢＥＴ法による比表面積が１５０ｍ
2 ／ｇ以上の二酸化マンガンを高比表面積二酸化マンガ
ンと称す）、２００ｍ2 ／ｇ以上のものが特に好まし
い。１５０ｍ2 ／ｇ以下であると高い浄化能力が得られ
ない。高比表面積二酸化マンガンを製造する方法として
は希薄な過マンガン酸カリウム水溶液と希薄な硫酸マン
ガン水溶液と濃硫酸を加熱しながら攪拌、混合して合成
する方法がある。
【００１３】銀化合物としては、酸化銀(I) 、酸化銀(I
I)ならびに無機酸銀、有機酸銀およびハロゲン化銀など
の銀塩(I) が挙げられる。無機酸銀としては例えば炭酸
銀、硝酸銀、亜硝酸銀、硫酸銀、亜硫酸銀、塩素酸銀、
過塩素酸銀、臭素酸銀、よう素酸銀、過よう素銀、りん
酸水素二銀、りん酸銀、ピロりん酸銀、メタりん酸銀、
テトラフルオロほう酸銀、ヘキサフルオロほう酸銀など
が挙げられ、有機酸銀としては例えば酢酸銀、しゅう酸
銀などが挙げられる。ハロゲン化銀としては例えばふっ
化銀、塩化銀、臭化銀、よう化銀が挙げられる。これら
を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いて
もよい。これらのうちでも酸化銀(I) や酸化銀(II)が特
に好ましい。銀化合物を加えることにより、大気中のよ
うな水分が多く存在する状況下においても充分な浄化能
力を発揮し得る。
I)ならびに無機酸銀、有機酸銀およびハロゲン化銀など
の銀塩(I) が挙げられる。無機酸銀としては例えば炭酸
銀、硝酸銀、亜硝酸銀、硫酸銀、亜硫酸銀、塩素酸銀、
過塩素酸銀、臭素酸銀、よう素酸銀、過よう素銀、りん
酸水素二銀、りん酸銀、ピロりん酸銀、メタりん酸銀、
テトラフルオロほう酸銀、ヘキサフルオロほう酸銀など
が挙げられ、有機酸銀としては例えば酢酸銀、しゅう酸
銀などが挙げられる。ハロゲン化銀としては例えばふっ
化銀、塩化銀、臭化銀、よう化銀が挙げられる。これら
を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いて
もよい。これらのうちでも酸化銀(I) や酸化銀(II)が特
に好ましい。銀化合物を加えることにより、大気中のよ
うな水分が多く存在する状況下においても充分な浄化能
力を発揮し得る。
【００１４】本発明において高比表面積二酸化マンガ
ン、銀化合物から成る浄化剤で浄化能力は充分高められ
ているが、これに酸化銅を加えると浄化能力がさらに高
まる。本発明で用いられる酸化銅は、酸化銅(I) 、酸化
銅(II)であり、どちらか一方でもよく、また併用しても
よい。酸化銅(I) は、例えば食塩溶液を電解液として銅
板を電極とした電解合成法で製造することもできるが、
純度９２％以上のものが市販されていることから市販品
を使用すると便利である。酸化銅(II)は、例えば酸化銅
(I) を加熱酸化して製造することもできるが、純度９５
％以上のものが市販されていることから市販品を使用す
ると便利である。
ン、銀化合物から成る浄化剤で浄化能力は充分高められ
ているが、これに酸化銅を加えると浄化能力がさらに高
まる。本発明で用いられる酸化銅は、酸化銅(I) 、酸化
銅(II)であり、どちらか一方でもよく、また併用しても
よい。酸化銅(I) は、例えば食塩溶液を電解液として銅
板を電極とした電解合成法で製造することもできるが、
純度９２％以上のものが市販されていることから市販品
を使用すると便利である。酸化銅(II)は、例えば酸化銅
(I) を加熱酸化して製造することもできるが、純度９５
％以上のものが市販されていることから市販品を使用す
ると便利である。
【００１５】高比表面積二酸化マンガンと銀化合物から
成る浄化剤の組成割合は、銀化合物が少なすぎると十分
な浄化能力が得られず、また多すぎる場合は浄化剤が高
価となり、また浄化能力も向上しないことから、通常は
二酸化マンガンと銀化合物中の銀との重量比で１：０．
２５〜０．００１である。
成る浄化剤の組成割合は、銀化合物が少なすぎると十分
な浄化能力が得られず、また多すぎる場合は浄化剤が高
価となり、また浄化能力も向上しないことから、通常は
二酸化マンガンと銀化合物中の銀との重量比で１：０．
２５〜０．００１である。
【００１６】酸化銅を加える場合、二酸化マンガンと銀
化合物中の銀との重量比は１：０．２５〜０．００１で
あって、この混合物と酸化銅の重量比は１：１０以下で
あり、好ましくは１：１．２以下である。酸化銅の割合
が多すぎると浄化能力が低下する。
化合物中の銀との重量比は１：０．２５〜０．００１で
あって、この混合物と酸化銅の重量比は１：１０以下で
あり、好ましくは１：１．２以下である。酸化銅の割合
が多すぎると浄化能力が低下する。
【００１７】浄化剤としては高比表面積二酸化マンガン
−銀化合物の混合成型体もしくは二酸化マンガン−銀化
合物−酸化銅の混合成型体であってもよく、また高比表
面積二酸化マンガン成型体もしくは高比表面積二酸化マ
ンガン−酸化銅成型体に銀化合物を添着させたものであ
っても良い。
−銀化合物の混合成型体もしくは二酸化マンガン−銀化
合物−酸化銅の混合成型体であってもよく、また高比表
面積二酸化マンガン成型体もしくは高比表面積二酸化マ
ンガン−酸化銅成型体に銀化合物を添着させたものであ
っても良い。
【００１８】浄化剤を調製する方法としては公知の種々
の方法が用いられる。例えば二酸化マンガン、銀化合
物、酸化銅を所定の割合で予備的に混合したものに水を
加えてかき混ぜ得られたスラリーまたはケーキを押し出
し成型し、適当な長さに切断して得られたペレットを乾
燥させて浄化剤とする方法、または上記のようなスラリ
ーまたはケーキを粉砕したものを打錠成型し、乾燥させ
て浄化剤とする方法、あるいはスラリーまたはケーキを
造粒機などを用いて粒状に成型し、乾燥させて浄化剤と
する方法などが挙げられる。これらのうち加工性および
形状、大きさの選択の容易さなどの点から押し出し成型
によりペレット状とする方法が好ましい。
の方法が用いられる。例えば二酸化マンガン、銀化合
物、酸化銅を所定の割合で予備的に混合したものに水を
加えてかき混ぜ得られたスラリーまたはケーキを押し出
し成型し、適当な長さに切断して得られたペレットを乾
燥させて浄化剤とする方法、または上記のようなスラリ
ーまたはケーキを粉砕したものを打錠成型し、乾燥させ
て浄化剤とする方法、あるいはスラリーまたはケーキを
造粒機などを用いて粒状に成型し、乾燥させて浄化剤と
する方法などが挙げられる。これらのうち加工性および
形状、大きさの選択の容易さなどの点から押し出し成型
によりペレット状とする方法が好ましい。
【００１９】粉末原料、スラリーまたはケーキから成型
体を調製する場合は、成型性や成型強度を高めるために
粘結剤を加えても良い。粘結剤としては、無機系粘結
剤、有機系粘結剤のいずれも用いることができる。これ
らの粘結剤は、浄化剤を調製する際、粉体原料に添加、
混練される。粘結剤の添加量は、各成分の割合、成型条
件などによって異なり一概には特定できないが、少なす
ぎる場合は粘結剤としての効果が得られず、多すぎる場
合は浄化能力が低下することから、通常は浄化剤全重量
に対して０．１〜１５重量％であり、好ましくは０．５
〜７重量％である。
体を調製する場合は、成型性や成型強度を高めるために
粘結剤を加えても良い。粘結剤としては、無機系粘結
剤、有機系粘結剤のいずれも用いることができる。これ
らの粘結剤は、浄化剤を調製する際、粉体原料に添加、
混練される。粘結剤の添加量は、各成分の割合、成型条
件などによって異なり一概には特定できないが、少なす
ぎる場合は粘結剤としての効果が得られず、多すぎる場
合は浄化能力が低下することから、通常は浄化剤全重量
に対して０．１〜１５重量％であり、好ましくは０．５
〜７重量％である。
【００２０】二酸化マンガン成型体または二酸化マンガ
ン−酸化銅成型体に銀化合物を添着し浄化剤を調製する
場合は、湿式法でもよく乾式法でもよい。湿式法として
は銀化合物を水性スラリーとして添着する方法、水溶性
の銀化合物を水溶液として含浸させる方法などがある。
また乾式法としては二酸化マンガン成型体、二酸化マン
ガン−酸化銅成型体に粉末状の銀化合物をまぶし付ける
方法などがある。
ン−酸化銅成型体に銀化合物を添着し浄化剤を調製する
場合は、湿式法でもよく乾式法でもよい。湿式法として
は銀化合物を水性スラリーとして添着する方法、水溶性
の銀化合物を水溶液として含浸させる方法などがある。
また乾式法としては二酸化マンガン成型体、二酸化マン
ガン−酸化銅成型体に粉末状の銀化合物をまぶし付ける
方法などがある。
【００２１】浄化剤の大きさおよび形状は特に限定され
ないが、例えば球状、円柱状、円筒状および粒状などが
挙げられる。その大きさは球状であれば直径０．５〜１
０ｍｍ、ペレットやタブレットなどの円柱状であれば直
径０．５〜１０ｍｍ、高さ２〜２０ｍｍ程度が好まし
く、粒状など不定形のものであれば、ふるいの目の開き
で０．８４〜５．６６ｍｍ程度のものが好ましい。浄化
剤を浄化筒に充填したときの充填密度は、浄化剤の形状
により異なるが通常０．５〜２．０ｇ／ｍｌ程度であ
る。
ないが、例えば球状、円柱状、円筒状および粒状などが
挙げられる。その大きさは球状であれば直径０．５〜１
０ｍｍ、ペレットやタブレットなどの円柱状であれば直
径０．５〜１０ｍｍ、高さ２〜２０ｍｍ程度が好まし
く、粒状など不定形のものであれば、ふるいの目の開き
で０．８４〜５．６６ｍｍ程度のものが好ましい。浄化
剤を浄化筒に充填したときの充填密度は、浄化剤の形状
により異なるが通常０．５〜２．０ｇ／ｍｌ程度であ
る。
【００２２】本発明の浄化剤は固定床のほか、移動床、
流動床として用いることも可能であるが、通常は固定床
として用いられる。浄化剤は浄化筒内に充填され、浄化
筒内に誘導された有害ガスが浄化剤と接触して浄化され
る。
流動床として用いることも可能であるが、通常は固定床
として用いられる。浄化剤は浄化筒内に充填され、浄化
筒内に誘導された有害ガスが浄化剤と接触して浄化され
る。
【００２３】固定床の場合の浄化剤の充填長は、ガスの
流量および有害ガス中の有害成分の濃度などによって異
なり、一概に特定はできないが、実用上通常は５０〜５
００ｍｍ程度とされる。浄化筒の内径は筒内を流れるガ
スの空筒線速度（ＬＶ）が０．３〜１．５ｍ／ｓｅｃ程
度となる大きさとされる。一般にこれらは充填層の圧力
損失、ガスとの接触効率および有害ガス中の有害成分の
濃度によって定められる。
流量および有害ガス中の有害成分の濃度などによって異
なり、一概に特定はできないが、実用上通常は５０〜５
００ｍｍ程度とされる。浄化筒の内径は筒内を流れるガ
スの空筒線速度（ＬＶ）が０．３〜１．５ｍ／ｓｅｃ程
度となる大きさとされる。一般にこれらは充填層の圧力
損失、ガスとの接触効率および有害ガス中の有害成分の
濃度によって定められる。
【００２４】本発明によって浄化可能な有害ガス中の有
害成分の濃度は、特に限定されない。しかし有害成分が
高濃度の場合には、浄化剤と有害成分との反応で生じる
反応熱によって温度が上昇し、危険を伴うことがある。
このため空気との混合によってその濃度を１％以下の低
濃度に希釈することが好ましく、通常は吸引用のブロア
ーが設置される。ブロアーは、換気容量が５〜２００ｍ
3 ／ｍｉｎ程度のものが多く用いられる。このようなブ
ロアーを用いた場合には市販のガスボンベが５〜１０分
で空になるような大量の漏洩が生じても、浄化筒を流通
する有害ガス中の有害成分の濃度は５０〜１０００ｐｐ
ｍ程度に保持される。またブロアーは、有害成分が漏洩
した時に有害ガスを強制的に浄化筒へ導く目的でも設置
される。
害成分の濃度は、特に限定されない。しかし有害成分が
高濃度の場合には、浄化剤と有害成分との反応で生じる
反応熱によって温度が上昇し、危険を伴うことがある。
このため空気との混合によってその濃度を１％以下の低
濃度に希釈することが好ましく、通常は吸引用のブロア
ーが設置される。ブロアーは、換気容量が５〜２００ｍ
3 ／ｍｉｎ程度のものが多く用いられる。このようなブ
ロアーを用いた場合には市販のガスボンベが５〜１０分
で空になるような大量の漏洩が生じても、浄化筒を流通
する有害ガス中の有害成分の濃度は５０〜１０００ｐｐ
ｍ程度に保持される。またブロアーは、有害成分が漏洩
した時に有害ガスを強制的に浄化筒へ導く目的でも設置
される。
【００２５】このように本発明は、有害成分を含む有害
ガスを大量の空気と共に浄化することから通常の大気中
の環境と同様の条件、すなわち相対湿度３０〜１００％
の環境下で使用されることが多いが、本発明によればこ
のような水分を含む場合でも充分浄化することができ
る。また、空気中の炭酸ガスなどにも影響されない。
ガスを大量の空気と共に浄化することから通常の大気中
の環境と同様の条件、すなわち相対湿度３０〜１００％
の環境下で使用されることが多いが、本発明によればこ
のような水分を含む場合でも充分浄化することができ
る。また、空気中の炭酸ガスなどにも影響されない。
【００２６】また有害成分ガスは、窒素、アルゴンなど
のガスで希釈された状態でボンベに充填されており、半
導体、液晶の製造装置へ供給される時も窒素、アルゴン
などのガスで希釈されたまま供給される。従って漏洩時
においてもこのようなガスが存在するが、本発明によれ
ばこのようなガス存在下でも浄化能力が低下することは
ない。
のガスで希釈された状態でボンベに充填されており、半
導体、液晶の製造装置へ供給される時も窒素、アルゴン
などのガスで希釈されたまま供給される。従って漏洩時
においてもこのようなガスが存在するが、本発明によれ
ばこのようなガス存在下でも浄化能力が低下することは
ない。
【００２７】有害ガスと浄化剤と接触させる温度は通常
は０〜９０℃、好ましくは室温付近の温度（１０〜４０
℃）で操作され、特に加熱や冷却を必要としない。勿
論、接触開始後は反応熱のために有害成分の濃度に応じ
た温度上昇を示すが、浄化能力が低下することはない。
接触時の圧力は、通常は常圧であるが、減圧ないし加圧
下で操作することも可能である。また、接触時間は通常
０．０１秒以上であり、好ましくは０．０２５秒以上で
ある。０．０１秒より短いと充分な浄化能力が得られな
いことがある。
は０〜９０℃、好ましくは室温付近の温度（１０〜４０
℃）で操作され、特に加熱や冷却を必要としない。勿
論、接触開始後は反応熱のために有害成分の濃度に応じ
た温度上昇を示すが、浄化能力が低下することはない。
接触時の圧力は、通常は常圧であるが、減圧ないし加圧
下で操作することも可能である。また、接触時間は通常
０．０１秒以上であり、好ましくは０．０２５秒以上で
ある。０．０１秒より短いと充分な浄化能力が得られな
いことがある。
【００２８】
【発明の実施の形態】図１に本発明の浄化方法の実施の
一例を示す。浄化筒１の浄化剤充填部２に浄化剤が充填
されており、ガスボンベ３を収納するシリンダーキャビ
ネット４と、シリンダーキャビネット４内の空気を連続
的に吸引換気するためのブロアー５の間に換気ダクト６
を介して該浄化筒１が設置される。シリンダーキャビネ
ット４内のガスボンベからボンベ内のガスが漏洩した場
合、浄化筒１の後段に設置されているブロアーが大流量
運転に切り替わり、空気取り入れ口７から取り入れられ
た大量の空気とともに有害ガスが換気ダクトに誘導さ
れ、浄化筒１で浄化され、無害化されたガスが排出され
る。
一例を示す。浄化筒１の浄化剤充填部２に浄化剤が充填
されており、ガスボンベ３を収納するシリンダーキャビ
ネット４と、シリンダーキャビネット４内の空気を連続
的に吸引換気するためのブロアー５の間に換気ダクト６
を介して該浄化筒１が設置される。シリンダーキャビネ
ット４内のガスボンベからボンベ内のガスが漏洩した場
合、浄化筒１の後段に設置されているブロアーが大流量
運転に切り替わり、空気取り入れ口７から取り入れられ
た大量の空気とともに有害ガスが換気ダクトに誘導さ
れ、浄化筒１で浄化され、無害化されたガスが排出され
る。
【００２９】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれにより限定されるものではない。 実施例１ （二酸化マンガンの調製）３９８ｇの過マンガン酸カリ
ウムを水１２．５ｋｇに溶解した液に、３重量％の硫酸
マンガン水溶液８．４６ｋｇと濃硫酸１４４ｇとの混合
液を温度７０℃にて速やかに注加し反応させた。生成し
た沈殿物を９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン
交換水２５ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１２０
０ｇのケーキ状二酸化マンガンを得た。このケーキ状二
酸化マンガンを９０℃で１２時間乾燥し、粉末状二酸化
マンガン３６０ｇを得た。この粉末状二酸化マンガンの
ＢＥＴ比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニ
クス（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ２
４５ｍ2 ／ｇであった。
るが、本発明はこれにより限定されるものではない。 実施例１ （二酸化マンガンの調製）３９８ｇの過マンガン酸カリ
ウムを水１２．５ｋｇに溶解した液に、３重量％の硫酸
マンガン水溶液８．４６ｋｇと濃硫酸１４４ｇとの混合
液を温度７０℃にて速やかに注加し反応させた。生成し
た沈殿物を９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン
交換水２５ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１２０
０ｇのケーキ状二酸化マンガンを得た。このケーキ状二
酸化マンガンを９０℃で１２時間乾燥し、粉末状二酸化
マンガン３６０ｇを得た。この粉末状二酸化マンガンの
ＢＥＴ比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニ
クス（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ２
４５ｍ2 ／ｇであった。
【００３０】（酸化銀(II)の調製）１０２ｇの硝酸銀を
２００ｇの水に溶解した。別に９０ｇの苛性ソーダと８
８ｇの過硫酸カリウムを８５℃に温めたイオン交換水２
００ｇにかき混ぜながら溶解した。後者をそのまま加熱
しながらかき混ぜ続けているところへ上記の硝酸銀水溶
液を滴下して沈殿物を析出させた。これをデカンテーシ
ョンと水洗を繰り返して洗浄した後、１００℃で３時間
真空乾燥して７０ｇの酸化銀(II)の粉末を得た。
２００ｇの水に溶解した。別に９０ｇの苛性ソーダと８
８ｇの過硫酸カリウムを８５℃に温めたイオン交換水２
００ｇにかき混ぜながら溶解した。後者をそのまま加熱
しながらかき混ぜ続けているところへ上記の硝酸銀水溶
液を滴下して沈殿物を析出させた。これをデカンテーシ
ョンと水洗を繰り返して洗浄した後、１００℃で３時間
真空乾燥して７０ｇの酸化銀(II)の粉末を得た。
【００３１】（浄化剤の調製）粉末状二酸化マンガン３
４０ｇに４０ｇの酸化銀(II)、アルミナ粉末２０ｇ、水
１５０ｇを加えて混練し、得られた混合ケーキを押し出
し成型機で押し出して直径１．６ｍｍの成型物を得た。
これを長さ３〜５ｍｍ程度に切断してペレットとし、乾
燥機で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥することによ
って、銀の含有量が８．８重量％の浄化剤Ａ ３９５ｇ
を得た。
４０ｇに４０ｇの酸化銀(II)、アルミナ粉末２０ｇ、水
１５０ｇを加えて混練し、得られた混合ケーキを押し出
し成型機で押し出して直径１．６ｍｍの成型物を得た。
これを長さ３〜５ｍｍ程度に切断してペレットとし、乾
燥機で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥することによ
って、銀の含有量が８．８重量％の浄化剤Ａ ３９５ｇ
を得た。
【００３２】（浄化能力試験）内径１９ｍｍの石英製の
浄化筒に充填長が１００ｍｍ（充填量２８．３ｍｌ、２
２．６ｇ）になるように浄化剤Ａを充填し、これにホス
フィンを５００ｐｐｍ含有する相対湿度６０％、温度２
５℃の空気を１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度ＬＶ＝７
５ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させた。浄化筒の出口ガスの一
部を半導体材料ガス漏洩検知警報器（日本酸素（株）
製：ＨＤ−１）にて連続サンプリングし、出口ガス中の
ホスフィンの濃度が２８ｐｐｂに上昇するまでの時間
（有効処理時間）を測定した。結果を表１に示す。
浄化筒に充填長が１００ｍｍ（充填量２８．３ｍｌ、２
２．６ｇ）になるように浄化剤Ａを充填し、これにホス
フィンを５００ｐｐｍ含有する相対湿度６０％、温度２
５℃の空気を１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度ＬＶ＝７
５ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させた。浄化筒の出口ガスの一
部を半導体材料ガス漏洩検知警報器（日本酸素（株）
製：ＨＤ−１）にて連続サンプリングし、出口ガス中の
ホスフィンの濃度が２８ｐｐｂに上昇するまでの時間
（有効処理時間）を測定した。結果を表１に示す。
【００３３】実施例２ （二酸化マンガンの調製）３９８ｇの過マンガン酸カリ
ウムを水６ｋｇに溶解した液に、６重量％の硫酸マンガ
ン水溶液４．２３ｋｇと濃硫酸１４４ｇとの混合液を温
度７０℃にて速やかに注加し反応させた。生成した沈殿
物を９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン交換水
１２．５ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１１９７
ｇのケーキ状二酸化マンガンを得た。このケーキ状二酸
化マンガンを９０℃で１２時間乾燥し、粉末状二酸化マ
ンガン３５８ｇを得た。この粉末状二酸化マンガンのＢ
ＥＴ比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニク
ス（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ１８
３ｍ2 ／ｇであった。
ウムを水６ｋｇに溶解した液に、６重量％の硫酸マンガ
ン水溶液４．２３ｋｇと濃硫酸１４４ｇとの混合液を温
度７０℃にて速やかに注加し反応させた。生成した沈殿
物を９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン交換水
１２．５ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１１９７
ｇのケーキ状二酸化マンガンを得た。このケーキ状二酸
化マンガンを９０℃で１２時間乾燥し、粉末状二酸化マ
ンガン３５８ｇを得た。この粉末状二酸化マンガンのＢ
ＥＴ比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニク
ス（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ１８
３ｍ2 ／ｇであった。
【００３４】（浄化剤の調製および浄化能力試験）ＢＥ
Ｔ比表面積が１８３ｍ2 ／ｇの粉末状二酸化マンガン３
４０ｇに、実施例１と同様にして調製した酸化銀(II)４
０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇを加えて混練
し、実施例１と同様にして浄化剤Ｂ ３９０ｇを得た。
この浄化剤Ｂの浄化能力試験を実施例１と同じ条件で行
なった。結果を表１に示す。
Ｔ比表面積が１８３ｍ2 ／ｇの粉末状二酸化マンガン３
４０ｇに、実施例１と同様にして調製した酸化銀(II)４
０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇを加えて混練
し、実施例１と同様にして浄化剤Ｂ ３９０ｇを得た。
この浄化剤Ｂの浄化能力試験を実施例１と同じ条件で行
なった。結果を表１に示す。
【００３５】比較例１ 二酸化マンガン（関東化学（株）製、鹿特級）のＢＥＴ
比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニクス
（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ４８ｍ
2 ／ｇであった。このＢＥＴ比表面積が４８ｍ2 ／ｇの
二酸化マンガン３４０ｇに実施例１と同様にして調製し
た酸化銀(II)４０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇ
を加えて混練し、実施例１と同様にして浄化剤Ｃ ３８
７ｇを得た。この浄化剤Ｃの浄化能力試験を実施例１と
同じ条件で行なった。結果を表１に示す。
比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニクス
（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ４８ｍ
2 ／ｇであった。このＢＥＴ比表面積が４８ｍ2 ／ｇの
二酸化マンガン３４０ｇに実施例１と同様にして調製し
た酸化銀(II)４０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇ
を加えて混練し、実施例１と同様にして浄化剤Ｃ ３８
７ｇを得た。この浄化剤Ｃの浄化能力試験を実施例１と
同じ条件で行なった。結果を表１に示す。
【００３６】比較例２ （二酸化マンガンの調製）３９８ｇの過マンガン酸カリ
ウムを水１．２５ｋｇに溶解した液に、３０重量％の硫
酸マンガン水溶液８４６ｇと濃硫酸１４４ｇとの混合液
を温度７０℃にて速やかに注加し反応させた。生成した
沈殿物を９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン交
換水２．５ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１１０
０ｇのケーキ状二酸化マンガンを得た。このケーキ状二
酸化マンガンを９０℃で１２時間乾燥し、粉末状二酸化
マンガン３５８ｇを得た。この粉末状二酸化マンガンの
ＢＥＴ比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニ
クス（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ１
２４ｍ2 ／ｇであった。
ウムを水１．２５ｋｇに溶解した液に、３０重量％の硫
酸マンガン水溶液８４６ｇと濃硫酸１４４ｇとの混合液
を温度７０℃にて速やかに注加し反応させた。生成した
沈殿物を９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン交
換水２．５ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１１０
０ｇのケーキ状二酸化マンガンを得た。このケーキ状二
酸化マンガンを９０℃で１２時間乾燥し、粉末状二酸化
マンガン３５８ｇを得た。この粉末状二酸化マンガンの
ＢＥＴ比表面積をガス吸着量測定装置（ユアサアイオニ
クス（株）製、オートソーブ３Ｂ）で測定したところ１
２４ｍ2 ／ｇであった。
【００３７】（浄化剤の調製および浄化能力試験）ＢＥ
Ｔ比表面積が１２４ｍ2 ／ｇの粉末状二酸化マンガン３
４０ｇに、実施例１と同様にして調製した酸化銀(II)４
０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇを加えて混練
し、実施例１と同様にして浄化剤Ｄ ３９２ｇを得た。
この浄化剤Ｄの浄化能力試験を実施例１と同じ条件で行
なった。結果を表１に示す。
Ｔ比表面積が１２４ｍ2 ／ｇの粉末状二酸化マンガン３
４０ｇに、実施例１と同様にして調製した酸化銀(II)４
０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇを加えて混練
し、実施例１と同様にして浄化剤Ｄ ３９２ｇを得た。
この浄化剤Ｄの浄化能力試験を実施例１と同じ条件で行
なった。結果を表１に示す。
【００３８】
【表１】 表１ ＭｎＯ2 のBET 有害成分 有効処理時間 処理能力 比表面積(m2/g) (min) （l/l 剤） 実施例１ ２４５ ホスフィン １１２ ２５ 実施例２ １８３ 〃 １０８ ２４ 比較例１ ４８ 〃 ２７ ６ 比較例２ １２４ 〃 ３０ ７
【００３９】実施例３、４ 内径１９ｍｍの石英製の浄化筒を２本用意し、実施例１
と同種の浄化剤Ａを充填長が１００ｍｍ（充填量２８．
３ｍｌ、２２．６ｇ）となるようにそれぞれ充填し、こ
れに１０００ｐｐｍ、１００ｐｐｍのホスフィンを含有
する相対湿度６０％、温度２５℃の空気を１２．７ｌ／
ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）でそれ
ぞれ流通させ、実施例１と同様の方法で各々の有効処理
時間を測定した。結果を表２に示す。
と同種の浄化剤Ａを充填長が１００ｍｍ（充填量２８．
３ｍｌ、２２．６ｇ）となるようにそれぞれ充填し、こ
れに１０００ｐｐｍ、１００ｐｐｍのホスフィンを含有
する相対湿度６０％、温度２５℃の空気を１２．７ｌ／
ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）でそれ
ぞれ流通させ、実施例１と同様の方法で各々の有効処理
時間を測定した。結果を表２に示す。
【００４０】実施例５ 実施例１と同種の浄化剤Ａを用い、５００ｐｐｍのホス
フィンを含有する空気を２０．４ｌ／ｍｉｎ（空筒線速
度 ＬＶ＝１２０ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させたほかは実
施例１と同じ条件で有効処理時間を測定した。結果を表
２に示す。
フィンを含有する空気を２０．４ｌ／ｍｉｎ（空筒線速
度 ＬＶ＝１２０ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させたほかは実
施例１と同じ条件で有効処理時間を測定した。結果を表
２に示す。
【００４１】
【表２】 表２ ホスフィン 空筒線速度 有効処理時間 処理能力 の濃度 ＬＶ (ppm) (cm/sec) (min) （l/l 剤） 実施例３ １０００ ７５ ４５ ２０ 実施例４ １００ ７５ ５８０ ２６ 実施例５ ５００ １２０ ４５ ２０
【００４２】実施例６〜１１ 内径１９ｍｍの石英製の浄化筒を６本用意し、実施例１
と同種の浄化剤Ａを充填長が１００ｍｍ（充填量２８．
３ｍｌ、２２．６ｇ）となるようにそれぞれ充填し、こ
れにアルシン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラ
ン、セレン化水素を５００ｐｐｍ含有する空気をそれぞ
れ１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／
ｓｅｃ）で流通させた。浄化剤の出口ガスの一部を連続
サンプリングし、出口ガス中の有害成分の濃度がアルシ
ンの場合２２ｐｐｂ、シランの場合５ｐｐｍ、ジシラ
ン、トリシランの場合１ｐｐｍ、ジボランの場合０．１
ｐｐｍ、セレン化水素の場合０．０５ｐｐｍに上昇する
までの時間（有効処理時間）をそれぞれ測定した。この
とき、出口ガス中の有害ガスの検知は、アルシンの場合
は半導体材料ガス漏洩検知警報器（日本酸素（株）製：
ＨＤ−１）、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラ
ン、セレン化水素の場合は検知器（バイオニクス機器
（株）製、ＴＧ−ＸＡ）を用いた。結果を表３に示す。
と同種の浄化剤Ａを充填長が１００ｍｍ（充填量２８．
３ｍｌ、２２．６ｇ）となるようにそれぞれ充填し、こ
れにアルシン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラ
ン、セレン化水素を５００ｐｐｍ含有する空気をそれぞ
れ１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／
ｓｅｃ）で流通させた。浄化剤の出口ガスの一部を連続
サンプリングし、出口ガス中の有害成分の濃度がアルシ
ンの場合２２ｐｐｂ、シランの場合５ｐｐｍ、ジシラ
ン、トリシランの場合１ｐｐｍ、ジボランの場合０．１
ｐｐｍ、セレン化水素の場合０．０５ｐｐｍに上昇する
までの時間（有効処理時間）をそれぞれ測定した。この
とき、出口ガス中の有害ガスの検知は、アルシンの場合
は半導体材料ガス漏洩検知警報器（日本酸素（株）製：
ＨＤ−１）、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラ
ン、セレン化水素の場合は検知器（バイオニクス機器
（株）製、ＴＧ−ＸＡ）を用いた。結果を表３に示す。
【００４３】比較例３ 比較例１と同種の浄化剤Ｃを実施例１と同様の浄化筒に
充填し、これに５００ｐｐｍのアルシンを含有する空気
を１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／
ｓｅｃ）で流通させ、実施例６〜１１と同様の方法で有
効処理時間を測定した。結果を表３に示す。
充填し、これに５００ｐｐｍのアルシンを含有する空気
を１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／
ｓｅｃ）で流通させ、実施例６〜１１と同様の方法で有
効処理時間を測定した。結果を表３に示す。
【００４４】
【表３】 表３ 有害成分 有効処理時間 処理能力 (min) (l/l剤) 実施例６ アルシン ２１９ ５０ 実施例７ シラン ７７ １７ 実施例８ ジシラン ６０ １３ 実施例９ トリシラン ５５ １２ 実施例１０ ジボラン １０７ ２４ 実施例１１ セレン化水素 ２８０ ６３ 比較例３ アルシン ３３ ７
【００４５】実施例１２、１３ 実施例１と同様にして調製した粉末状二酸化マンガン３
２０ｇと酸化銀(II)２０ｇに、アルミナ粉末２０ｇ、水
１５０ｇを加えて混練し、得られた混合ケーキを押し出
し成型機で押し出して直径１．６ｍｍの成型物を得た。
これを長さ３〜５ｍｍ程度に切断してペレットとし、乾
燥機で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥することによ
って、銀の含有量が４．９重量％の浄化剤Ｅ ３５２ｇ
を得た。同様にして酸化銀(II)２０ｇの代わりに酸化銀
(II)４ｇを用い、銀の含有量が１．０重量％の浄化剤Ｆ
３２９ｇを得た。これらの浄化剤の浄化能力試験を実
施例１と同じ条件でそれぞれ行なった。結果を表４に示
す。
２０ｇと酸化銀(II)２０ｇに、アルミナ粉末２０ｇ、水
１５０ｇを加えて混練し、得られた混合ケーキを押し出
し成型機で押し出して直径１．６ｍｍの成型物を得た。
これを長さ３〜５ｍｍ程度に切断してペレットとし、乾
燥機で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥することによ
って、銀の含有量が４．９重量％の浄化剤Ｅ ３５２ｇ
を得た。同様にして酸化銀(II)２０ｇの代わりに酸化銀
(II)４ｇを用い、銀の含有量が１．０重量％の浄化剤Ｆ
３２９ｇを得た。これらの浄化剤の浄化能力試験を実
施例１と同じ条件でそれぞれ行なった。結果を表４に示
す。
【００４６】実施例１４ 実施例１と同様にして調製した粉末状二酸化マンガン３
２０ｇに、酸化銀(I)３５ｇ（関東化学（株）製、鹿１
級）、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇを加えて混練
し、得られた混合ケーキを押し出し成型機で押し出して
直径１．６ｍｍの成型物を得た。これを長さ３〜５ｍｍ
程度に切断してペレットとし、乾燥機で９０℃で加熱し
ながら１２時間乾燥することによって、銀の含有量が
８．７重量％の浄化剤Ｇ ３７０ｇを得た。この浄化剤
Ｇの浄化能力試験を実施例１と同じ条件でそれぞれ行な
った。結果を表４に示す。
２０ｇに、酸化銀(I)３５ｇ（関東化学（株）製、鹿１
級）、アルミナ粉末２０ｇ、水１５０ｇを加えて混練
し、得られた混合ケーキを押し出し成型機で押し出して
直径１．６ｍｍの成型物を得た。これを長さ３〜５ｍｍ
程度に切断してペレットとし、乾燥機で９０℃で加熱し
ながら１２時間乾燥することによって、銀の含有量が
８．７重量％の浄化剤Ｇ ３７０ｇを得た。この浄化剤
Ｇの浄化能力試験を実施例１と同じ条件でそれぞれ行な
った。結果を表４に示す。
【００４７】実施例１５、１６ 実施例１と同様にして調製したケーキ状二酸化マンガン
８９０ｇを押し出し成型機で押し出して直径１．６ｍｍ
の成型物を得た。これを長さ３〜５ｍｍ程度に切断して
ペレットとし、乾燥機で９０℃で加熱しながら１２時間
乾燥することによって、３１３ｇの二酸化マンガン成型
体を得た。この二酸化マンガン成型体に、実施例１と同
様にして調製した酸化銀(II)４０ｇを水４００ｇにけん
濁させたけん濁液を加えて激しくかき混ぜた後、乾燥機
で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥することによっ
て、銀の含有量が９．９重量％の浄化剤Ｈ ３４８ｇを
得た。実施例１と同様の浄化筒を２本用意して浄化剤Ｈ
をそれぞれ充填し、これにホスフィンまたはアルシンを
５００ｐｐｍ含有する空気をそれぞれ１２．７ｌ／ｍｉ
ｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させ
て、実施例１または実施例６〜１１と同様の方法で有効
処理時間を測定した。結果を表４に示す。
８９０ｇを押し出し成型機で押し出して直径１．６ｍｍ
の成型物を得た。これを長さ３〜５ｍｍ程度に切断して
ペレットとし、乾燥機で９０℃で加熱しながら１２時間
乾燥することによって、３１３ｇの二酸化マンガン成型
体を得た。この二酸化マンガン成型体に、実施例１と同
様にして調製した酸化銀(II)４０ｇを水４００ｇにけん
濁させたけん濁液を加えて激しくかき混ぜた後、乾燥機
で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥することによっ
て、銀の含有量が９．９重量％の浄化剤Ｈ ３４８ｇを
得た。実施例１と同様の浄化筒を２本用意して浄化剤Ｈ
をそれぞれ充填し、これにホスフィンまたはアルシンを
５００ｐｐｍ含有する空気をそれぞれ１２．７ｌ／ｍｉ
ｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させ
て、実施例１または実施例６〜１１と同様の方法で有効
処理時間を測定した。結果を表４に示す。
【００４８】実施例１７、１８ 実施例１５、１６と同様にして調製した二酸化マンガン
成型体３００ｇに硝酸銀１５％水溶液３００ｇを含浸さ
せ、乾燥機で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥するこ
とによって、銀の含有量が８．３重量％の浄化剤Ｉ ３
４３ｇを得た。実施例１と同様の浄化筒を２本用意して
浄化剤Ｉをそれぞれ充填し、これにホスフィンまたはア
ルシンを５００ｐｐｍ含有する空気をそれぞれ１２．７
ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）で
流通させて、実施例１または実施例６〜１１と同様の方
法で有効処理時間を測定した。結果を表４に示す。
成型体３００ｇに硝酸銀１５％水溶液３００ｇを含浸さ
せ、乾燥機で９０℃で加熱しながら１２時間乾燥するこ
とによって、銀の含有量が８．３重量％の浄化剤Ｉ ３
４３ｇを得た。実施例１と同様の浄化筒を２本用意して
浄化剤Ｉをそれぞれ充填し、これにホスフィンまたはア
ルシンを５００ｐｐｍ含有する空気をそれぞれ１２．７
ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）で
流通させて、実施例１または実施例６〜１１と同様の方
法で有効処理時間を測定した。結果を表４に示す。
【００４９】
【表４】 表４ 有害成分 銀化合物 銀含有量 有効処理 処理能力 ( 重量％) 時間(min) (l/l剤) 実施例１２ ホスフィン ＡｇＯ ４．９ １１０ ２５ 実施例１３ ホスフィン ＡｇＯ １．０ １００ ２２ 実施例１４ ホスフィン Ａｇ2 Ｏ ８．７ １１０ ２５ 実施例１５ ホスフィン ＡｇＯ（添着） ９．９ １１０ ２５ 実施例１６ アルシン ＡｇＯ（添着） ９．９ ２１０ ４７ 実施例１７ ホスフィン ＡｇＮＯ3(添着） ８．３ ５５ １３ 実施例１８ アルシン ＡｇＮＯ3(添着） ８．３ １１０ ２５
【００５０】実施例１９〜２１ 実施例１と同様にして調製した粉末状二酸化マンガン１
７０ｇと酸化銀(II)４０ｇに、酸化銅(II)（関東化学
（株）製、鹿１級）１７０ｇを加え、アルミナ粉末２０
ｇ、水１５０ｇを加えて混練し、実施例１と同様にして
銀の含有量が８．８重量％の浄化剤Ｊ ３９３ｇを得
た。実施例１と同様の浄化筒を３本用意し、これに浄化
剤Ｊをそれぞれ充填した。これに５００ｐｐｍ、１００
０ｐｐｍ、１００ｐｐｍのホスフィンを含有する空気を
それぞれ１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５
ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させて、実施例１と同様の方法で
各々の有効処理時間を測定した。結果を表５に示す。
７０ｇと酸化銀(II)４０ｇに、酸化銅(II)（関東化学
（株）製、鹿１級）１７０ｇを加え、アルミナ粉末２０
ｇ、水１５０ｇを加えて混練し、実施例１と同様にして
銀の含有量が８．８重量％の浄化剤Ｊ ３９３ｇを得
た。実施例１と同様の浄化筒を３本用意し、これに浄化
剤Ｊをそれぞれ充填した。これに５００ｐｐｍ、１００
０ｐｐｍ、１００ｐｐｍのホスフィンを含有する空気を
それぞれ１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５
ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させて、実施例１と同様の方法で
各々の有効処理時間を測定した。結果を表５に示す。
【００５１】実施例２２ 実施例１９〜２１と同種の浄化剤Ｊを用い、５００ｐｐ
ｍのホスフィンを含有する空気を２０．４ｌ／ｍｉｎ
（空筒線速度 ＬＶ＝１２０ｃｍ／ｍｉｎ）で流通させ
たほかは実施例１と同様の方法で有効処理時間を測定し
た。結果を表５に示す。
ｍのホスフィンを含有する空気を２０．４ｌ／ｍｉｎ
（空筒線速度 ＬＶ＝１２０ｃｍ／ｍｉｎ）で流通させ
たほかは実施例１と同様の方法で有効処理時間を測定し
た。結果を表５に示す。
【００５２】実施例２３ 実施例１９〜２１と同種の浄化剤Ｊを用い、５００ｐｐ
ｍのアルシンを含有する空気を１２．７ｌ／ｍｉｎ（空
筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させて、実
施例６〜１１と同様の方法で有効処理時間を測定した。
結果を表５に示す。
ｍのアルシンを含有する空気を１２．７ｌ／ｍｉｎ（空
筒線速度 ＬＶ＝７５ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させて、実
施例６〜１１と同様の方法で有効処理時間を測定した。
結果を表５に示す。
【００５３】比較例４、５ 比較例１で用いたものと同種の二酸化マンガン（ＢＥＴ
比表面積 ４８ｍ2 ／ｇ）１７０ｇに、実施例１と同様
にして調製した酸化銀(II)４０ｇ、酸化銅(II)（関東化
学（株）製、鹿１級）１７０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、
水１５０ｇを加えて混練し、実施例１と同様にして浄化
剤Ｋ ３８５ｇを得た。実施例１と同様の浄化筒を２本
用意し、これに浄化剤Ｋをそれぞれ充填した。これにホ
スフィンまたはアルシンを５００ｐｐｍ含有する空気を
それぞれ１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５
ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させて、実施例１または実施例６
〜１１と同様の方法で各々の有効処理時間を測定した。
結果を表５に示す。
比表面積 ４８ｍ2 ／ｇ）１７０ｇに、実施例１と同様
にして調製した酸化銀(II)４０ｇ、酸化銅(II)（関東化
学（株）製、鹿１級）１７０ｇ、アルミナ粉末２０ｇ、
水１５０ｇを加えて混練し、実施例１と同様にして浄化
剤Ｋ ３８５ｇを得た。実施例１と同様の浄化筒を２本
用意し、これに浄化剤Ｋをそれぞれ充填した。これにホ
スフィンまたはアルシンを５００ｐｐｍ含有する空気を
それぞれ１２．７ｌ／ｍｉｎ（空筒線速度 ＬＶ＝７５
ｃｍ／ｓｅｃ）で流通させて、実施例１または実施例６
〜１１と同様の方法で各々の有効処理時間を測定した。
結果を表５に示す。
【００５４】
【表５】 表５ 有害成分 有害成分 空筒線速度 有効処理 処理時間 の濃度(ppm) (cm/sec) 時間(min) (l/l剤) 実施例１９ ホスフィン ５００ ７５ ３５５ ８０ 実施例２０ ホスフィン １０００ ７５ １５５ ７０ 実施例２１ ホスフィン １００ ７５ １８２０ ８２ 実施例２２ ホスフィン ５００ １２０ １８９ ６８ 実施例２３ アルシン ５００ ７５ ７１０ １６０ 比較例４ ホスフィン ５００ ７５ ４４ １０ 比較例５ アルシン ５００ ７５ ７１ １６
【００５５】
【発明の効果】本発明の浄化剤は、ＢＥＴ比表面積が１
５０ｍ／ｇ以上の二酸化マンガンを用いるため、従来の
二酸化マンガン、酸化銅、銀酸化物からなる浄化剤では
予測し得なかったような非常に高い浄化能力が得られ
る。また、本発明の浄化方法によれば、室温付近の温度
でも十分な浄化能力を有するため、加熱、冷却等の設備
が必要でなく、浄化装置を小型化することができる。
５０ｍ／ｇ以上の二酸化マンガンを用いるため、従来の
二酸化マンガン、酸化銅、銀酸化物からなる浄化剤では
予測し得なかったような非常に高い浄化能力が得られ
る。また、本発明の浄化方法によれば、室温付近の温度
でも十分な浄化能力を有するため、加熱、冷却等の設備
が必要でなく、浄化装置を小型化することができる。
【図１】本発明浄化方法の実施の一例であるシリンダー
キャビネットからの漏洩ガス浄化装置の模式図を示す。
キャビネットからの漏洩ガス浄化装置の模式図を示す。
１ 浄化筒 ２ 浄化剤充填部 ３ ガスボンベ ４ シリンダーキャビネット ５ ブロアー ６ 換気ダクト ７ 空気取り入れ口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古浦 永生 神奈川県平塚市田村5181番地 日本パイオ ニクス株式会社平塚研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 有害成分としてアルシン、ホスフィン、
シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラン、セレン化水
素から選ばれる一種以上を含有する有害ガスと浄化剤と
を接触させて該有害ガスを浄化するための浄化剤であっ
て、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化
マンガンおよび銀化合物を主成分とすることを特徴とす
る有害ガスの浄化剤。 - 【請求項２】 有害成分としてアルシン、ホスフィン、
シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラン、セレン化水
素から選ばれる一種以上を含有する有害ガスと浄化剤と
を接触させて該有害ガスを浄化するための浄化剤であっ
て、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸化
マンガン、銀化合物および酸化銅を主成分とすることを
特徴とする有害ガスの浄化剤。 - 【請求項３】 有害成分としてアルシン、ホスフィン、
シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラン、セレン化水
素から選ばれる一種以上を含有する有害ガスと浄化剤と
を接触させて該有害ガスを浄化するための浄化方法であ
って、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸
化マンガンおよび銀化合物を主成分とする浄化剤を用
い、有害ガスと該浄化剤を接触させることを特徴とする
有害ガスの浄化方法。 - 【請求項４】 有害成分としてアルシン、ホスフィン、
シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラン、セレン化水
素から選ばれる一種以上を含有する有害ガスと浄化剤と
を接触させて該有害ガスを浄化するための浄化方法であ
って、ＢＥＴ比表面積が１５０ｍ2 ／ｇ以上である二酸
化マンガン、銀化合物および酸化銅を主成分とする浄化
剤を用い、有害ガスと該浄化剤を接触させることを特徴
とする有害ガスの浄化方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9058407A JPH10235185A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 有害ガスの浄化剤および浄化方法 |
| KR10-1998-0004559A KR100488091B1 (ko) | 1997-02-26 | 1998-02-16 | 유해가스 정화제 및 정화방법 |
| EP98102875A EP0865814B1 (en) | 1997-02-26 | 1998-02-19 | Cleaning agent and cleaning process for harmful gas |
| TW087102328A TW460313B (en) | 1997-02-26 | 1998-02-19 | Cleaning agent and cleaning process for harmful gas |
| DE69815909T DE69815909T2 (de) | 1997-02-26 | 1998-02-19 | Reinigungsmittel und Reinigungsverfahren für schädliche Gase |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9058407A JPH10235185A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 有害ガスの浄化剤および浄化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10235185A true JPH10235185A (ja) | 1998-09-08 |
Family
ID=13083520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9058407A Pending JPH10235185A (ja) | 1997-02-26 | 1997-02-26 | 有害ガスの浄化剤および浄化方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0865814B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10235185A (ja) |
| KR (1) | KR100488091B1 (ja) |
| DE (1) | DE69815909T2 (ja) |
| TW (1) | TW460313B (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000135415A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化剤及び浄化方法 |
| AU2006247995B2 (en) * | 2005-05-19 | 2010-12-23 | Uop Llc | Metal oxides with improved resistance to reduction |
| US7906088B2 (en) * | 2005-05-19 | 2011-03-15 | Uop Llc | Method of removing impurities from gas or liquid streams using copper oxide and halide salt |
| JP2011241322A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 吸着剤及びその製造方法、並びに燃料の脱硫方法 |
| US8313641B2 (en) | 2010-06-30 | 2012-11-20 | Uop Llc | Adsorbent for feed and products purification in a reforming process |
| US8314277B2 (en) | 2010-06-30 | 2012-11-20 | Uop Llc | Adsorbent for feed and products purification in benzene saturation process |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6241955B1 (en) * | 1998-10-02 | 2001-06-05 | Aeronex, Inc. | Method and apparatus for purification of hydride gas streams |
| KR101538000B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2015-07-20 | 주식회사 퓨어스피어 | 망간계 혼합물에 의해서 유해성 화합물을 산화시키는 방법 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0309099B1 (en) * | 1987-08-31 | 1992-03-18 | Japan Pionics., Ltd. | Method for cleaning gas containing toxic component |
| US4992620A (en) * | 1989-11-21 | 1991-02-12 | Phillips Petroleum Company | Removal of trialkyl arsines from fluids |
| US5182088A (en) * | 1990-09-07 | 1993-01-26 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Removal of gaseous hydrides |
| JP3340510B2 (ja) * | 1993-05-19 | 2002-11-05 | 日本パイオニクス株式会社 | 有害ガスの浄化方法 |
-
1997
- 1997-02-26 JP JP9058407A patent/JPH10235185A/ja active Pending
-
1998
- 1998-02-16 KR KR10-1998-0004559A patent/KR100488091B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-02-19 TW TW087102328A patent/TW460313B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-02-19 DE DE69815909T patent/DE69815909T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-02-19 EP EP98102875A patent/EP0865814B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| JP2000135415A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-16 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化剤及び浄化方法 |
| AU2006247995B2 (en) * | 2005-05-19 | 2010-12-23 | Uop Llc | Metal oxides with improved resistance to reduction |
| US7906088B2 (en) * | 2005-05-19 | 2011-03-15 | Uop Llc | Method of removing impurities from gas or liquid streams using copper oxide and halide salt |
| JP2011241322A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Jx Nippon Oil & Energy Corp | 吸着剤及びその製造方法、並びに燃料の脱硫方法 |
| US8313641B2 (en) | 2010-06-30 | 2012-11-20 | Uop Llc | Adsorbent for feed and products purification in a reforming process |
| US8314277B2 (en) | 2010-06-30 | 2012-11-20 | Uop Llc | Adsorbent for feed and products purification in benzene saturation process |
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| EP0865814A3 (en) | 1998-12-16 |
| KR19980071384A (ko) | 1998-10-26 |
| KR100488091B1 (ko) | 2005-08-17 |
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| EP0865814A2 (en) | 1998-09-23 |
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