JPH01315318A - ガスの浄化方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスの浄化方法に関し、さらに詳細には有害ガ
スボンベなどから高濃度の有害ガスが急激に漏洩したよ
うな場合にこれを効率よく除去するためのガスの浄化方
法に関する。

近年半導体工業の発展と共にアルシン、ホスフィン、シ
ランおよびジボランなどの極めて毒性の強い水素化物系
ガスの使用量が増加している。これらの有害ガスはシリ
コン半導体や化合物半導体の製造プロセスにおいて、原
料ガスあるいはドーピングガスとして不可欠なものであ
るが、いずれも極めて毒性が高く、それぞれの許容濃度
はアルシン（ＡＳＨ３）で０．Ｏ５ｐｐｍ、ホスフィン
（ＰＨ３）で０．３ｐｐｍ、シラン（ＳｉＨ４）で５ｐ
ｐｍ、ジボラン（Ｂ２Ｈ６）で帆ｌｐｐｍ、セレン化水
素（ＳｅＨ２）で０゜Ｏ５ｐｐｍとされている。これら
の有害ガスは通常は例えば下表に示したように０．１〜
５０．＆程度のガスボンベに充填して市販されている。

（市販のガス充填ボンベの例） ＰＨ，１０１０水素　３０ ＳｉＨ４１０１００な　　し　　　　２００（ｇ）Ｂ２
Ｈ６４７３アルゴン　　２０ ＳｅＨ２１０１０水素　７５ これらのボンベはガスが漏洩した場合に直接外部の空気
を汚染することを防止するため、通常はボンベボックス
と呼ばれる換気ダクトに接続されたボンベ収納容器内に
収納された状態で半導体プロセスなどへのガスの供給配
管に接続して使用される。このようなボンベボックス内
に収納されていても思わぬ事故などにより、例えば５〜
１０分程度の短時間でボンベが空になるような急激なガ
スの漏洩が発生する危険性が皆無といえず、このような
事故に対処しうる安全対策が強く要望されている。

〔従来の技術〕

ガス中に含有されるアルシン、ホスフィンなどを除去す
る方法としては、スクラバーで吸収分解させる湿式法と
、吸着剤または酸化剤を充填した充填筒内にガスを流し
て除去する乾式法とが知られている。−船釣には湿式法
は、吸収液による腐食や後処理などに困難性があり、装
置の保守に費用を要するという欠点がある。

乾式法としては、空気中のアルシン、ホスフィンなどの
有害ガスを除去するために、化学戦争において活性炭を
充填したガスマスクが知られており、また、この活性炭
の吸着力を利用し、さらに種々の物質を添着して、除去
能力の向上を企てる試みも行われている０例えば、活性
炭を担体とし、これに銅化合物、アルカリ金属化合物、
ＡＩ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅなどの金属化合物の
一種以上を含有させたアルシン、ホスフィンなどの吸着
剤（特開昭５９−１６０５３５号、６０−７１０３９号
公報）およびヨウ素またはヨウ素化合物と金属硫酸塩な
どを活性炭に含浸させたアルシン、ホスフィンなどの吸
着剤（特開昭６０−７１０４０号公報）などがある。

また、活性炭を担体とするもの以外では本発明者らによ
る（１１　Ｍ化第二銅、および（２）酸化珪素、酸化ア
ルミニウムおよび酸化亜鉛からなる群から選ばれる少な
くとも１種の金属酸化物を配合し、成型した浄化剤を用
いる方法（特開昭６１−２０９０３０号公報）がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前記のような活性炭を担体とする吸着剤
は比較的低濃度のアルシン、ホスフィンなどの有害ガス
を除去することは可能であるが、高濃度で流速の大きい
ガス中の有害ガスに対しては活性が低く過ぎ、また、こ
れらの水素化物系ガスによって還元されたヨウ素が飛散
し易いという問題点がある。

一方、本発明者らによる特開昭６１−２０９０３０号公
報における浄化剤は従来の浄化剤に比べ、単位重量およ
び単位容積に対する有害ガスの除去容量が格段に大きく
、大量の有害ガスを除去することができる。

しかしながらこの浄化剤は、条件によっては除去速度が
必ずしも十分とはいえないため、前記したようにボンベ
などから有害ガスが急激に漏洩したような緊急時に対し
ては十分迅速に処理することができないという問題点が
ある。

従って大量の有害ガスが漏洩するような緊急時などにお
いては従来の除害方法では対処することが出来ないため
、さらに除去性能の優れた浄化方法の出現が望まれてき
た。

〔問題点を解決するための手段、作用〕本発明者らはこ
れらの問題点を解決するべく鋭意検討を重ねた結果、二
酸化マンガン、酸化銅および酸化コバルトの三成分を主
成分とする組成物に、さらに銀化合物を含有させた浄化
剤を用いることによって空気中などに漏洩した高濃度の
有害ガスを極めて効率よく除去しうろことを見出し本発
明に到達した。

すなわち、本発明は有害ガスとしてアルシン、ホスフィ
ン、シラン、ジボランおよびセレン化水素の一種以上を
含有するガスと、浄化剤とを接触させて当該ガスから有
害ガスを除去するガスの浄化方法において、浄化剤とし
て（１）二酸化マンガン、酸化銅および酸化コバルトを
主成分とする組成物に（２）銀化合物を含有せしめてな
る成型体を用いることを特徴とする排ガスの浄化方法で
ある。

本発明の浄化方法は空気、窒素および水素中など、主に
空気中に含有されるアルシン、ホスフィンなどの有害ガ
スを効率よく除去することができる。

特に、本発明の浄化方法は多量で比較的濃度の高い有害
ガスを迅速に、しかも常温で除去することができる。例
えば、前記したようにボンベから急激に漏洩するなどで
有害ガスによって汚染されたガスの迅速な浄化などに優
れた効果が得られる。

本発明において二酸化マンガン、酸化銅および酸化コバ
ルトの三成分を主成分とする組成物（以下Ｍｎ−Ｃｕ−
Ｃｏ系組成物と記す）に銀化合物を含有せしめてなる成
型体が浄化剤として使用される。

Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物中の二酸化マンガンおよび酸
化銅の含有量は通常、両者を合わせて６０ｗｔ％以上、
好ましくは７０ｗｔ％以上であり、このうち二酸化マン
ガンに対する酸化銅の割合は重量比で通常は１　：　０
．２〜１．２、好ましくは１　：　０．３〜０．８程度
とされる。

また、Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物中の酸化コバルトの含
有量は上記二酸化マンガンと酸化銅の含有量にもよるが
、通常は５〜４０ｗｔ％、好ましくは１０〜３０ｗｔ％
とされる。

さらに、Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物には所望により例え
ば、アルミニウム、珪素、鉄、ニッケルおよびカリウム
の酸化物などを含有させてもよい。

これらのＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物を得るには種々な方
法があり、例えば ■それぞれの成分である酸化物を同時に混合する方法、 ■二酸化マンガンと酸化銅を混合するか、あるいは混合
物の市販品（ホブカライド）もあるので、これらの二成
分系の組成物に、さらに酸化コバルトを混合する方法、 ■これらの金属の塩、水酸化物などの中間物の段階で混
合し、これらを焼成するなどで酸化物の組成物とする方
法などがある。

このようなＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物を成型体とし、そ
のままアルシン、ホスフィンなどの水素１ヒ物系ガスの
除去に用いてもよいが、その場合には乾燥ガス中ではこ
れらの有害成分は成程度除去できても、通常の大気中の
ような相対湿度３０〜１００％の範囲の空気中など水分
を含むガスについては浄化能力が著しく低下する。

これらの欠点を解消すると共に浄化能力をさらに高める
ために、本発明においてはＭｎ−Ｃｕ−Ｃ。

系組成物に、さらに銀化合物を加えたものを浄化剤とし
て用いる。

銀化合物としては、酸化銀（Ｉ）、酸化銀（■）ならび
に無機酸銀、有機酸銀およびハロゲン化銀なとの銀塩（
Ｉ）が挙げられる。無機酸銀としては例えば炭酸銀、硝
酸銀、亜硝酸銀、硫酸銀、亜硫酸銀、塩素酸銀、過塩素
酸銀、臭素酸銀、ヨウ素酸銀、過ヨウ素酸銀、燐酸水素
二銀、燐酸銀、ビロリン酸銀、メタリン酸銀、テトラフ
ルオロホウ酸銀、ヘキサフルオロ燐酸銀など、ハロゲン
化銀としては例えば弗化銀、塩化銀、臭化銀、ヨウ化銀
、有機酸銀としては例えば酢酸銀、シュウ酸銀などがあ
る。これらのうちでも酸化銀（Ｉ）および酸化銀（ＩＩ
）が好ましく、また、各種銀塩（Ｉ＞のうちでは水に難
溶ないし不溶性の塩が一般的に好ましく、例えば炭酸銀
、硫酸銀、燐酸銀、亜硫酸銀、塩化銀、臭化銀、ヨウ化
銀、ヨウ素酸銀゛、ピロリン酸銀、メタリン酸銀および
シュウ酸銀などが挙げられる。このうち酸化銀（ｎ）が
特に好ましく、次いで炭酸銀（■）、酸化銀（Ｉ）およ
びこれらの混合物が好ましい。

浄化剤に含有せしめられる銀化合物の量は、通常は０．
０１〜１０．０ｗｔ％とされ、好ましくは０．２〜５ｗ
ｔ、％とされる。含有量が０．０１ｗｔ％以下ではガス
の浄化効率が低下し、一方１０ｗｔ％以上では経済的負
担が大きくなる。

浄化剤の形態としてはＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物と銀化
合物との混合物の成型体であってもよく、また、Ｍｎ−
Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の成型体に銀化合物を添着させたも
のであってもよいが、比較的高価な銀化合物を少量で効
果的に作用させるなどの目的から、後者のようにＭｎ−
Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の成型体に銀化合物を添着させる形
態が好ましい。

銀化合物を添着させる場合のＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物
としては破砕品、押出成形品、打錠成型品などの種々の
形状のものを用いることができる。

そのサイズは破砕品であれば４〜２０メツシュ程度、押
出成型品であれば１，５〜４ｍｍφ×３〜２０ｍｍ程度
、打錠成型品であれば通常は円筒状で３〜６ｍｍφ×３
〜６ｍｍ程度の大きさのものが好ましい。しかし、装置
の設計条件などによってその他の寸法としても何ら支障
はない。

銀化合物をＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物に添着させる方法
としては種々のやりかたが可能であり、湿式法を用いて
もよく、また、乾式法を用いてもよい。□簡便な方法と
してはＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の成型体に粉末状の銀
化合物をまぶしつける方法、または銀化合物を水性スラ
リーとして添着する方法、あるいは水溶性の銀化合物を
水溶液として含浸させる方法などがある。

本発明において浄化剤の粒の密度は、通常は０．６２〜
１．８８ｇ　／ｍＱ、好ましくは０．７８〜１．５６ｇ
　／蔵であり、また、浄化剤を浄化筒などに充填したと
きの充填密度は、通常は０．４〜１．２ｇ／−程度、好
ましくは０．５〜１．０ｇ／ｍＱ程度とされる。

本発明において、粒の密度とは、成型体（粒）の重さを
幾何学的体積で割ったもの、また、充填密度とは、筒に
充填された浄化剤の重さを浄化剤の充填容積で割ったも
のとしてそれぞれ定義される。

浄化剤によって除去可能なアルシンおよびホスフィンな
ど水素化物系ガスの濃度は通常は１％以下とされる。こ
れよりも高濃度では反応熱が大きくなり冷却装置などが
必要となることがある。

浄化剤と接触させるガスの温度は通常は０〜９０℃、好
ましくは室温の１０〜５０℃で操作され、特に加熱や冷
却を必要としない。勿論、接触開始後は反応熱のため、
水素化物系ガスの濃度に応じた温度上昇を示す。

接触時の圧力は、通常は常圧であるが、減圧ないし１Ｋ
ｇ７ｃｍ２Ｇのような加圧下で操作することも可能であ
る。

また、接触時間は通常は０．０１秒以上でよいが、好ま
しくは帆０２５秒以上である。０．０１秒よりも短い接
触時間では充分な浄化能力が得られないことがある。

本発明が適用される空気、窒素および水素などのガスの
湿度には特に制限はなく乾燥状態のみならず湿った状態
でもよい。−船釣には通常の大気に相当する３０〜１０
０％の相対湿度で使用されることが多く、このような場
合には浄化剤の含水量はガスの相対湿度に応じて変化し
、５〜３０ｗｔ、％程度に保たれる。また、浄化剤は空
気中などの炭酸ガスなどによって悪影響を受けることは
なく、これらの存在は状況によっては却って浄化能力を
若干高めることもある。

本発明において水分を含有するガスの浄化に際しては、
浄化剤はあらかじめ同程度の湿度の雰囲気ガスと接触さ
せることによりその湿度に応じた含水状態に保っておく
ことが好ましり）。

浄化剤は通常は有害ガスの浄化筒に充填され固定床とし
て用いられるが、移動床、流動床として用いることも可
能である。

浄化剤は例えば第１図のフローシートで示されたような
浄化筒１に充填さ、れ、浄化筒１はガスボンベ２が収納
された前記のボンベボックス３内の空気を連続的に吸引
換気するためのブロアー４に接続された換気ダクト５に
介在させて使用される。

浄化剤をこのような状態で使用する場合には、有害ガス
の濃度が１％を超えるような高濃度では発熱が大きくな
るため、除熱手段が必要となる。しかしながらこのよう
な設備では有害ガスの急激な漏洩が生じても空気との混
合によってその濃度が１％以下に稀釈されるに充分な容
量のブロアーが設けられているのが通常である。具体的
には換気容量が５〜２００ｍ３７ｍ１ｎ程度のブロアー
が多く設置され、例えば前記の表で示されたような市販
のガスボンベが５〜１０分で空になるような大量の漏洩
が生じた場合の空気中などの有害ガスの含有量は５０〜
１１０００ｐｐ程度であると想定される。

浄化筒内の浄化剤の充填長はガスの流量および有害ガス
の濃度などによって異なり、−概に特定はできないが実
用上通常は５０〜５００ｍｍ程度とされ、浄化筒の内径
は筒内を流れるガスの空筒線速度（ＬＶ）が０．３〜１
．５ｍ／ｓｅｅ程度となる大きさとされる。−船釣には
これらは充填層の圧力損失、空気との接触効率および有
害ガスの量などによって定められる。

〔発明の効果〕

本発明のガスの浄化方法によれば、ガス中に含有される
有害ガスとしてアルシン、ホスフィン、ジボラン、シラ
ンおよびセレン化水素、特に大量で比較的高濃度の有害
ガスを効率良く、しかも極めて迅速に除去することがで
きるので、例えば、ガスボンベから有害ガスが急激に漏
洩するなどの緊急時の除害処置に対して優れた効果が得
られる。

以下、本発明を実施例によってさらに具体的に示す。

〔実施例〕

実施例１〜５ （Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の調製） 活性二酸化マンガン１００ｇ、水酸化銅（ＩＩ）を酸化
銅（ＩＩ）換算で４０ｇおよび水酸化コバルト（Ｉ）を
酸化コバルト（ＣＯ２０３）換算で４０ｇをそれぞれ計
量し、これらを粉末状態で混合したものにアルミナゾル
（Ａｌ２Ｏ２）　１５ｇおよび少量の水を加えて混練し
て得られた組成物を押出成形し、３００℃で３時間焼成
して１．５φ×５〜２０ｍｍのＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成
物の成型体を調製した。

（酸化銀（ＩＩ）の調製） １０２ｇの硝酸銀を２００−の水に溶解した。別に９０
ｇの苛性ソーダと１５０ｇの過硫酸カリウムを８５°Ｃ
に温めなイオン交換水２００　ｍＭにかきまぜながら溶
解した。後者をそのまま加熱しながらかきまぜを続けて
いるところへ上記の硝酸銀水溶液を滴下して沈殿物を析
出させた。このものをデカンテーションと水洗を繰り返
して洗浄した後、１００℃で３時間真空乾燥して７４ｇ
の酸化銀（■）の粉末を得た。

（浄化剤の調製） 酸化銀（Ｉ［）　７．２ｇを水１００ｍＱにけん濁させ
たけん濁液を激しくかきまぜながら、バット中にあるＭ
ｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物に散布して酸化銀（ＩＩ）の粉
末を添着させ、次いで８０℃×２時間の条件で乾燥させ
、酸化銀（ｎ）が３．８５ｗｔ％添着した浄化剤（粒の
密度１．０８ｇ／ｍＱ）を得た。その後室内に放置して
１０ｗｔ％程度の含水率まで大気中の湿分を吸収させた
。

（活性テスト） 内径１９ｍｍφの石英製の浄化筒に充填長が１００ｍｍ
（充填量２８．３ｒｄ　、２５．０ｇ＞になるように浄
化剤を充填し、これにアルシンまたはホスフィンを２０
０〜２０００ｐｐｍ含有させた相対湿度６０％、温度２
５℃の空気を、１１．４〜２０．４ｆｆｌ／ｍｍ（空筒
線速度ＬＶ　６７〜１２０ｃｍ／５ｅｃ）の流量で流通
させた。浄化剤の出口ガスの一部をサンプリングし、冷
原子吸光法により、出口ガス中のアルシンまたはホスフ
ィンの濃度が２５ｐｐｂまで上昇する時間（有効処理時
間）を測定した。

結果を第１表に示す。

第１表 １　　アルシン　　１０００　　　　　６７　　　　　
４００２　　　　　ツノ　　　　　　２０００　　　　
　　　６７　　　　　　　　１ｇ３３　　　　１ノ　　
　　　　２００　　　　　　　６７　　　　　　　２０
００４　　　　　ツノ　　　　　　１０００　　　　　
　１２０　　　　　　　　３６０５　　ホスフィン　１
０００　　　　　６７　　　　　１２０実施例　６〜８ アルシン、ホスフィンの代わりに、ジボラン、シラン、
セレン化水素を含有する空気について実施例１〜５と同
様にして、有効処理時間を測定した。

但し浄化筒の出口ガス濃度は、ジボランおよびセレン化
水素については検知管を用いて測定し、これらのガスが
検知されるに至るまでの時間（有効処理時間）を求めた
。検知管はジボランについてはトレーゲル社製のもので
、検知下限は０．Ｏ５ｐｐｍであり、セレン化水素につ
いては光明理化学製で検知下限は１　ｐｐｍである。

また、シランについては塩基性炭酸銅をアルミナに担持
せた変色試薬を用いたが、このものの検知下限は１０ｐ
ｐｍである。

結果を第２表に示す。

第２表 ６　シラン　　　　１０００　　　　　６７　　　　　
７４７　ジボラン　　　１０００　　　　　６７　　　
　１１０８　セレン化水素　１０００　　　　　６７　
　　　２００実施例　９．１０ 空気の代わりにアルシンまたはホスフィンを１１０００
ｐｐを含有する窒素および水素を用いた他は実施例１と
同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第３表に示す。

第３表 ９　　　　　　窒　　素　　　　アルシン　　１０００
　　　　　　　６７　　　　　　　　　　　７５１０　
　　　　　水　　素　　　　ホスフィン　１０００　　
　　　　６７　　　　　　　　　　４２実施例　、１１
．１２ 実施例１で用いたと同じＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物に酸
化銀（ＩＩ）が０．５および２．０ｗｔ％になるように
添着量を変化させたものについて有効処理時間をそれぞ
れ測定した。

結果を第４表に示す。

第４表 １１　アルシン　　１０００　　　　６７　　２．０　
　１５０１２　　　ノＪ　　　　　　　１０００　　　
　　　６７　　　０．５　　　　７０比較例　１．２ 実施例１で使用したと同じＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の
成型体を酸化銀（ＩＩ）を添着させずに乾燥後、室内に
放置して含水率を約１０％とし、これを浄化剤として用
い、実施例１と同様にしてアルシンおよびホスフィンに
ついて有効処理時間を測定した。

結果を第５表に示す。

第５表 １　　アルシン　　１０００　　　　　６７　　　　　
０．５２　　ホスフィン　１０００　　　　　６７　　
　　　０．５比較例　３〜５ Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の代わりに担体に粒度が６〜
１０メツシユの活性炭、α−アルミナ、モレキュラーシ
ーブ５Ａを用い、これに酸化銀（ＩＩ）を４゜２５ｗｔ
％添着したものについて実施例１と同様にして有効処理
時間を測定した。

結果を第６表に示す。

第６表 ３　　アルシン　　１０００　　　　６７　　　活性炭
　　　　０４　　　　ＩＩ　　　　　１０００　　　　
６７　　α−アルミナ　　０実施例１３〜１５ 水酸化コバルト（Ｉ［Ｉ）の混合量を酸化コバルト（Ｃ
０２０３）換算でそれぞれ２０ｇ、３０ｇ、５０ｇと変
化させた他は実施例１と同様にして３種類のＭｎ−Ｃｕ
−Ｃｏ系組成物の成型体を調整した。

この成型体のそれぞれに酸化銀（ｎ）のけん濁液を散布
してそれぞれ酸化銀（ＩＩ）が３．８５ｗｔ％添着した
浄化剤を得た。このものを室内に放置して１０％程度の
含水率まで大気中の水分を吸収させた後、実施例１と同
様に浄化筒に充填し、アルシンを含有する空気を流して
有効処理時間を測定した。

結果を第７表に示す。

第７表 参考例　１〜２ Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ組成物の代わりに二酸化マンガン１０
０ｇ、　Ｒ化ｍ　４０ｇおよび酸化アルミニウム１５ｇ
を混合した組成物であって、酸化コバルトを含有しない
組成物の成型体を用い、実施例１におけると同様にして
酸化銀（ＩＩ）が３．８５ｗｔ％添着した浄化剤を調製
した。この浄化剤に空気中の湿分を含水率が１０％程度
になるまで吸湿させた後、実施例１および５におけると
同様にしてアルシンおよびホスフィンを含有するガスに
ついて有効処理時間を測定した。

結果を第８表に示す。

第８表 １　　アルシン　　１０００　　　　６７　　　　　３
２２　　ホスフィン　１０００　　　　６７　　　　　
１４実施例１６〜２０ （酸化銀（Ｉ）の調製） １０２ｇの硝酸銀を２００７７ｄ！の水に溶解した。別
に９０ｇの苛性ソーダを８５℃に温めたイオン交換水２
００−にかきまぜながら溶解した。後者をそのまま加熱
しながらかきまぜを続けているところへ上記の硝酸銀水
溶液を滴下して沈殿物を析出させた。このものをデカン
テーションと水洗を繰り返して洗浄した後、１００℃で
３時間真空乾燥して６９ｇの酸化銀（Ｉ）の粉末を得た
。

（Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物） 実施例１で用いたと同じものを使用した。

（浄化剤の調製） 酸化Ｈ（Ｉ　）　７．２ｇを水１００ｄにけん濁させた
けん濁液を激しくかきまぜながら、バット中にある）４
ｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物に散布して酸化銀（Ｉ）の粉末
を添着させ、次いで８０℃×２時間の条件で乾燥させ、
酸化銀（Ｉ）を３．８５ｗｔ％添着した浄化剤を得た。

その後室内に放置して１０ｗｔ％程度の含水率まで大気
中の湿分を吸収させた。

（活性テスト） 実施例１と同様にしておこなった。

結果を第９表に示す。

第９表 １６　アルシン　　　１０００　　　　６７　　　　　
１５０１７　　　ノＪ　　　　　　　　２０００　　　
　　６７　　　　　　　７０１８　　　ツノ　　　　　
　　　２００　　　　　６７　　　　　　　２２０１９
　　ＩＩ　　　　１０００　　１２０　　　４５２０　
ホスフィン　　１０００　　　　６７　　　　　３８実
施例　２１〜２３ 実施例１６〜２０と同種の浄化剤を用い、アルシン、ホ
スフィンの代わりにジボラン、シラン、セレン化水素を
含有する空気につい実施例１〜５と同様にして有効処理
時間を測定した。

結果を第１０表に示す。

第１０表 ２１　シラン　　　　１０００　　　　６７　　　　１
５２２　ジボラン　　　１０００　　　　　６７　　　
　２８２３　セレン化水素　１０００　　　　　６７　
　　　４０実施例　２４〜２８ （Ｍ’ｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物） 実施例１で用いたと同じものを用いた。

（浄化剤の調製） 炭酸銀（Ｉ　）　７．２ｇを水１００−にけん濁させた
けん濁液を激しくかきまぜながら、バット中にあるＭｎ
−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物に散布して炭酸銀（Ｉ）の粉末を
添着させ、次いで８０’ＣＸ　２時間の条件で乾燥させ
、炭酸銀（Ｉ）が３．８５ｗｔ％添着した浄化剤３１２
ｇを得た。その後室内に放置して１０ｗｔ％程度の含水
率まで大気中の湿分を吸収させた（活性テスト） 実施例１と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第１１表に示す。

第１１表 ２５　　　７ノ　　　　　　２０００　　　　　　６７
　　　　　　　　　８０２６　　　ツノ　　　　　　　
２００　　　　　６７　　　　　　　１２００２７　１
Ｊ　　　１０００　　１２０　　　１３０２８　ホスフ
ィン　１０００　　　　６７　　　　　　４２実施例　
２９〜３１ 実施例２４〜２８と同種の浄化剤を用い、アルシン、ホ
スフィンの代わりに、ジボラン、シラン、セレン化水素
を含有する空気について実施例１〜５と同様にして、有
効処理時間を測定した。

結果を第１２表に示す。

第１２表 ２９　シラン　　　　１０００　　　　６７　　　　２
８３０　ジボラン　　　１０００　　　　　６７　　　
　３５３１　セレン化水素　１０００’　　　　６７　
　　　９０実施例　３２ 銀化合物として炭酸銀（Ｉ＞又は酸化銀（■）をそれぞ
れ単独で使用する代わりに両者を１＝１で混合して水に
けん濁させたものを実施例１で用いたと同じＭｎ−Ｃｕ
−Ｃｏ系組成物に散布し、３．８５ｗｔ％の銀化合物を
添着した浄化剤を用いた他は実施例１と同様にして有効
処理時間を測定した。

結果を第１３表に示す。

第１３表 実施例　・３３．３４ （浄化剤の調製） 実施例１で用いたと同じＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物２゜
Ｏｇに、水１００−に硝酸銀２’Ｏｇを溶解した硝酸銀
水溶液を霧吹で４８ｇだけ吹きかけた。この硝酸銀を添
着させたＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物を８０℃で１０時間
乾燥させて、３．８５ｗｔ％の硝酸銀が添着した浄化剤
２０８ｇを得た。

このものを空気中に放置して約８ｗｔ％の含水品として
から実施例１．５と同様にして有効処理時間を測定した
。

結果を第１４表に示す。

第１４表 ３３　　アルシフ　　　１０００　　　　　６７　　　
　１８３４　　ホスフィン　１０００　　　　　６７　
　　　１４比較例　６〜８ Ｍｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物の代わりに担体に粒度が６〜
１０メツシユの活性炭、α−アルミナ、モレキュラーシ
ーブ５Ａを用い、これに炭酸銀（Ｉ）を４゜２５Ｗシ％
になるように添着したものについて実施例１と同様にし
て有効処理時間を測定した。

結果を第１５表に示す。

第１５表 ６　　アルシン　　１０００　　　　６７　　　活性炭
　　　０７　　　　ツノ　　　　　１０００　　　　　
６７　　α−アルミナ　０８　　　ノｌ　　　　　１０
００　　　　６７　　モレキュラー　０シーブ５Ａ 実施例　３５．３６ 実施例１で用いたと同じＭｎ−Ｃｕ−Ｃｏ系組成物に炭
酸銀（Ｉ）が０．５および２．０ｗｔ％になるように添
着量を変化させたものについて有効処理時間をそれぞれ
測定した。

結果を第１６表に示す。

第１６表 ３５　アルシン　　１０００　　　　６７　　　２．０
　　　６０３６　　ＩＩ　　　１０００　　６７　０．
５　　１５実施例　３７〜４２ 実施例２４で用いた炭酸銀（Ｉ）の代わりに硫酸銀、塩
化銀、臭化銀、ヨウ化銀、燐酸銀、ヨウ素酸銀を３．８
５ｗｔ％になるように添着させ、乾燥後８％程度の含水
率まで大気中の湿分を吸収させてから実施例１と同様に
して有効処理時間を測定した。

結果を第１７表に示す。

第１７表 ３８　　塩化銀　　　ノｊ　　　１０００　　　　６７
　　　３６３９　　臭化銀　　　ツノ　　１０００　　
　　６７　　　４０４０　ヨウ化銀　　　１１　　１０
００　　　　６７　　　４０４１　　燐酸銀　　　ツノ
　　１０００　　　　６７　　　２２４２　ヨウ素酸銀
　　ツノ　　１０００　　　　６７　　　３ｇ実施例　
４３．４４ 実施例３３．３４における硝酸銀の代わりに過塩素酸銀
、酢酸銀を３．８５ｗｔ％になるように添着させ、乾燥
させた後に、再び大気中の水分を８ｗｔ％吸収させたも
のについて実施例１と同様にして有効処理時間を測定し
な。

結果を第１８表に示す。

第１８表 ４３　過塩素酸銀　アルシン　　１０００　　　　６７
　　１６４４　　酢酸銀　　　　Ｈ１０００６７１ｇ実
施例４５゜ 活性二酸化マンガン８０ｇ、水酸化銅（ＩＩ）を酸化銅
（ＩＩ）ｆｉ算で４０ｇ、水酸化コバルト（ＩＩＩ）を
酸化コバルト（ＣＯ２０３）換算で２０ｇ、アルミナゾ
ル（Ａｌ２Ｏ２）　２０ｇおよび酸化銀（Ｉ　）　Ｌｏ
ｇを同時に混合し、これに少量の水を加えて混練し、次
いで成型板の中で乾燥させた後、２００℃で３時間焼成
して４ｍｍφＸ　４ｍｍのペレット状で酸化銀（Ｉ）を
５．８８ｗｔ％含有する浄化剤を調整した。この浄化剤
をさらに破砕して４〜２０ｍｅｓｈとしたものを用い、
実施例１と同様にして有効処理時間の測定を行った。

結果を第１９表に示す。

第１９表

【図面の簡単な説明】

第１図は有害ガスの浄化剤が浄化筒に充填され、ガスの
流路に介在させられた例を示すフローシートである。 図面の各番号は以・下のごとくである。 １　浄化剤　　　　　　２　ガスボンベ３　ボンベボッ
クス　　４　ブロアー および　５　換気ダクト 特許出願人　日本バイオニクス株式会社代表者　山　崎
　良　− 代理人　　弁理士　小　堀　貞　文 ＄１０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 有害ガスとしてアルシン、ホスフィン、シラン、ジボラ
   ンおよびセレン化水素の一種以上を含有するガスと、浄
   化剤とを接触させて当該ガスから有害ガスを除去するガ
   スの浄化方法において、浄化剤として（１）二酸化マン
   ガン、酸化銅および酸化コバルトを主成分とする組成物
   に（２）銀化合物を含有せしめてなる成型体を用いるこ
   とを特徴とするガスの浄化方法。