JPH10208470A - 同期型半導体記憶装置 - Google Patents

同期型半導体記憶装置

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JPH10208470A
JPH10208470A JP9020012A JP2001297A JPH10208470A JP H10208470 A JPH10208470 A JP H10208470A JP 9020012 A JP9020012 A JP 9020012A JP 2001297 A JP2001297 A JP 2001297A JP H10208470 A JPH10208470 A JP H10208470A
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internal clock
signal
level
internal
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JP9020012A
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Koji Koshikawa
康二 越川
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 同期型半導体記憶装置において内部クロック
信号の配線のエレクトロマイグレーションによる寿命の
低下が著しかった。 【解決手段】 バーストカウンタ8は外部クロック信号
CLKに同期して内部アドレス信号YADDを発生し、
この結果、コラムデコーダ9はメモリセルアレイからデ
ータをデータアンプ11−1、11−2に読出す。内部
クロック発生回路13−Bは外部クロック信号CLKの
1/2周波数の内部クロック信号ICLK3を発生す
る。データアンプ活性化信号発生回路14−1、14−
2は内部クロック信号ICLK3の立上りエッジ及び立
下りエッジの両方に同期してデータアンプ活性化信号D
E1、DE2を発生し、データアンプ11−1、11−
2を活性化させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は同期型半導体記憶装
置、特に、高周波数で動作する負荷の重い信号の配線の
改良に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、マイクロプロセッサの高速化に伴
ない、メインメモリであるダイナミックランダムアクセ
スメモリ(DRAM)装置に対してたとえば100MH
Zを超える高速アクセスの要望がある。このような要望
に対して同期型半導体記憶装置が開発されている(参
照:特開昭61−148692号公報、特開平6−76
566号公報、特願平6−232732号)。すなわ
ち、同期型半導体記憶装置においては、データの読出し
/書込み命令と共に外部アドレスをラッチしてこの外部
アドレスのデータの読出し/書込みを実行し、さらに、
同期クロックを受信してこの外部アドレスを起点とする
所定数の内部アドレスを発生してこの内部アドレスのデ
ータの読出し/書込みを行うものである。このように、
同期型DRAM装置とは、クロック信号に同期して動作
するDRAM装置であって、読出し/書込み命令ととも
にラッチされたアドレスのデータに引き続き、内部で自
動生成されたアドレスのデータが高速に連続的に出力さ
れもしくはデータが該アドレスに高速に連続的に入力さ
れる(バースト動作)というものである。
【0003】図5は第1の従来の同期型DRAM装置を
示すブロック回路図である。
【0004】図5において、入力回路1は外部アドレス
信号ADDを入力して内部アドレス信号IADDを出力
し、入力回路2はローアドレスストローブ信号/RAS
を入力して内部信号IRASを出力し、入力回路3はコ
ラムアドレスストローブ信号/CASを入力して内部信
号ICASを出力し、入力回路4はライトイネーブル信
号/WEを入力して内部信号IWEを出力し、入力回路
5はチップセレクト信号CSを入力して内部信号ICS
を出力し、入力回路6は外部クロック信号CLKを入力
して内部クロック信号ICLK1を出力する。なお、入
力回路2〜5は外部クロック信号CLKの立上りエッジ
にて動作する。
【0005】コマンドデコーダ7は内部信号IRAS、
ICAS、IWE、ICSを入力し内部クロック信号I
CLK1に同期して信号RAED1、READ2を出力
する。
【0006】バーストカウンタ8は内部アドレス信号I
ADDを信号READ1に従ってラッチし、次いで、ラ
ッチされた内部アドレス信号IADDを内部クロック信
号ICLK1に従ってカウントアップしてコラムアドレ
ス信号YADDを自動発生する。コラムデコーダ9はコ
ラムアドレス信号YADDを入力してコラムスイッチ線
YSW1〜YSWnを順次選択する。
【0007】コラムスイッチ線YSW1、─、YSWn
とリードバスRBUS1、RBUS2、─との間には、
センスアンプS11、S21、─、S1n、S2n、─
が接続されている。たとえば、コラムスイッチ線YSW
1が選択されると、センスアンプS11、S21、─が
リードバスRBUS11、RBUS12、─にデータ出
力する。また、各センスアンプS11、S21、─、S
1n、S2nにはディジット線D11、D21、─、D
1n、D2n、─を介してセルC11、C21、─、C
1n、C2n、─が接続されている。なお、ここでは、
各セルC11、C21、─、C1n、C2n、─は複数
のセルを示し、これらの各セルはローデコーダ(図示せ
ず)によって選択される。たとえば、セルアレイはm個
のブロックBK1、BK2、─に分割されているが、説
明を簡単にするために、2ブロックBK1、BK2のみ
を図示してある。
【0008】各リードバスRBUS11、RBUS1
2、─はデータアンプ11−1、11−2、─に接続さ
れ、各データアンプ11−1、11−2、─はリードバ
スRBUS21、RBUS22、─に接続されている。
また、各リードバスRBUS21、RBUS22、─は
出力回路12−1、12−2、─に接続され、各出力回
路12−1、12−2、─は出力端子OUT1、OUT
2、─に接続されている。
【0009】データアンプ11−1、11−2、─は内
部クロック発生回路13−Aによって制御される。すな
わち、内部クロック発生回路13−Aはコマンドデコー
ダ7からの信号READ2を受信して内部クロック信号
ICLK1に同期した内部クロック信号ICLK3を出
力する。
【0010】内部クロック発生回路13−Aは、内部ク
ロック信号ICLK1を遅延して内部クロック信号IC
LK2を出力する遅延回路DL、内部クロック信号IC
LK2を反転かつ遅延するインバータI1、I2、I
3、内部クロック信号ICLK2及びその反転遅延信号
/ICLK2を入力するナンド回路G1、及びインバー
タI4よりなる。この場合、ナンド回路G1は信号RE
AD2をも入力する。従って、信号READ2がハイレ
ベルのときのみ、内部クロック発生回路13−Aはイネ
ーブルとされる。つまり、内部クロック発生回路13−
Aは、信号READ2がハイレベルのときに内部クロッ
ク信号ICLK1に同期した内部クロック信号ICLK
3を出力する。
【0011】図6のタイミング図を参照して図5の同期
型DRAM装置の動作を説明する。
【0012】外部クロック信号CLKが図6の(A)に
示すごとく入力され、この結果、信号/RAS、/CA
S、/WE、/CSが外部クロック信号CLKの立上り
エッジによって入力され、図6の(B)に示すごとく、
リードコマンドを示すものとする。この場合、図6の
(D)に示すごとく、外部クロック信号CLKに同期し
た内部クロック信号CLK1が発生し、また、図6の
(C)に示す外部アドレス信号ADDは図6の(E)に
示す内部アドレス信号IADDとなる。
【0013】コマンドデコーダ7はリードコマンド入力
時には、内部クロック信号CLK1に同期して図6の
(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、R
EAD2を出力する。なお、信号READ1は内部クロ
ック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してローレ
ベルとされる。
【0014】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図6の(H)に示すごとく、内部ア
ドレス信号IADDをラッチして出力する。その後、信
号READ1はローレベルとなり、バーストカウンタ8
はバースト動作に移行して内部クロック信号CLK1に
同期してIADD+1、IADD+2、─を発生する。
つまり、コラムアドレス信号YADDは、IADD、I
ADD+1、IADD+2、─と変化し、この結果、エ
ラムデコーダ9は、図6の(I)に示すごとく、IAD
D、IADD+1、IADD+2、─に対応するコラム
スイッチ線を順次選択する。従って、図6の(L)に示
すごとく、予めセルデータを増幅しているセンスアンプ
からデータがリードバスRBUS11(12、─)に出
力される。
【0015】他方、信号READ2のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−Aにおいては、内部
クロック信号ICLK1に同期した図6の(J)に示す
内部クロック信号CLK2を内部発生し、さらに、内部
クロック信号ICLK2に同期した図6の(K)に示す
内部クロック信号ICLK3を出力する。
【0016】この結果、図6の(M)に示すごとく、リ
ードバス11(12、─)のデータは、内部クロック信
号CLK3に同期して、リードバスRBUS21(2
2、─)に出力される。さらに、図6の(N)に示すご
とく、リードバスRBUS21(22、─)のデータは
出力端子DOUT1(DOUT2、─)に出力される。
【0017】図7は第2の従来の同期型DRAM装置を
示すブロック回路図である。図7においても、説明を簡
単にするために、メモリセルアレイは2ブロックBK
1、BK2のみを図示してある。
【0018】図7においては、図5の出力回路の数を1
/2とする。つまり、図5の出力回路12−1、12−
2を出力回路12とし、データアンプ11−1、11−
2を切替えて出力回路12に接続する。これにより、出
力端子数は図5の場合の1/2となる。
【0019】また、図7においては、データアンプ11
−1、11−2の切替えのために、バーストカウンタ8
の出力YADDの最下位ビットをYADD0とし、他の
ビットをYADD1とし、コラムアドレス信号YADD
0はデータアンプ11−1、11−2の切替に用い、コ
ラムアドレス信号YADD1のみをコラムデコーダ9に
供給する。
【0020】すなわち、コラムアドレス信号YADD0
はゲート回路G2−1、G2−2に供給され、これによ
り、内部クロック信号CLK3を切替えてデータアンプ
11−1、11−2の一方に供給する。
【0021】図8のタイミング図を参照して図7の同期
型DRAM装置の動作を説明する。
【0022】外部クロック信号CLKが図8の(A)に
示すごとく入力され、この結果、信号/RAS、/CA
S、/WE、/CSが外部クロック信号CLKの立上り
エッジによって入力され、図8の(B)に示すごとく、
リードコマンドを示すものとする。この場合、図8の
(D)に示すごとく、外部クロック信号CLKに同期し
た内部クロック信号CLK1が発生し、また、図8の
(C)に示す外部アドレス信号ADDは図8の(E)に
示す内部アドレス信号IADDとなる。
【0023】コマンドデコーダ7は、リードコマンド入
力時には、内部クロック信号CLK1に同期して図8の
(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、R
EAD2を出力する。なお、信号READ1は内部クロ
ック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してローレ
ベルとされる。
【0024】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図8の(H)、(I)に示すごと
く、内部アドレス信号IADDをラッチして出力する。
この場合、IADDは(YADD0、YADD1)によ
って表わされる。その後、信号READ1はローレベル
となり、バーストカウンタ8はバースト動作に移行して
内部クロック信号CLK1に同期してIADD+1、I
ADD+2、─を発生する。この場合も、IADD+
1、IADD+2、─は(YADD0、YADD1)に
よって表わされる。つまり、コラムアドレス信号YAD
Dは、IADD、IADD+1、IADD+2、─と変
化し、この結果、エラムデコーダ9は、図8の(J)に
示すごとく、IADD、IADD+1、IADD+2、
─の最下位ビットを除いたアドレスに対応するコラムス
イッチ線を順次選択する。従って、図8の(N)、
(O)に示すごとく、予めセルデータを増幅しているセ
ンスアンプからデータがリードバスRBUS11、12
に出力される。
【0025】他方、信号READ2のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−Aにおいては、内部
クロック信号ICLK1に同期した図8の(K)に示す
内部クロック信号CLK2を内部発生し、さらに、内部
クロック信号ICLK2に同期した図8の(L)に示す
内部クロック信号ICLK3を出力する。
【0026】内部クロック信号CLK3はコラムアドレ
ス信号YADD0に応じてデータアンプ活性化信号DE
1、DE2となる。すなわち、YADD0がハイレベル
ときには、図8の(M)に示すごとく、データアンプ活
性化信号DE1が内部クロック信号CLK3に同期して
ハイレベルとなり、この結果、リードバスRBUS11
のデータが、図8の(P)に示すごとく、リードバスP
BUS2に出力される。他方、YADD0がローレベル
ときには、図8の(N)に示すごとく、データアンプ活
性化信号DE2が内部クロック信号CLK3に同期して
ハイレベルとなり、この結果、リードバスRBUS12
のデータが、図8の(P)に示すごとく、リードバスP
BUS2に出力される。
【0027】さらに、図8の(Q)に示すごとく、リー
ドバスRBUS2のデータは出力端子DOUTに出力さ
れる。
【0028】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の同期型D
RAM装置においては、内部クロック信号CLK3は外
部クロック信号CLKと同一の周波数で動作するので、
内部クロック信号CLK3の信号配線のエレクトロマイ
グレーションによる配線寿命が短かくなるという信頼性
の課題があった。
【0029】すなわち、内部クロック信号CLK3は同
期型DRAM装置のデータアンプ11−1、11−2、
─の活性化を司る信号である。従って、同期型DRAM
装置の大容量化を伴い、データアンプ数が増加し、内部
クロック信号CLK3のための信号配線が長くなる。こ
の結果、負荷容量の増大による充放電電源の増加を招
き、エレクトロマイグレーションによる配線寿命の短縮
を招くことになる。なお、一般に、エレクトロマイグレ
ーションによる配線の50%不良時間t50は、 t50=a・J-2・exp(φ/kT) (1) ただし、φ=0.6(eV) k=8.62×10-5(eV/K) a:配線材料による係数 J:絶対平均電流密度(A/cm2) T:チップ表面温度(K) で表わされる。従って、信号配線の寿命は配線の充放電
電流の2乗の比例して悪化することになる。
【0030】さらに、充放電電流の増加は、同期型DR
AMの動作電流の増加につながり、DC特性の悪化と共
にチップ温度を上昇させるので、エレクトロマイグレー
ションの発生を助長し、さらに内部クロック信号CLK
3の配線寿命を短縮させることになる。ここで、(1)
式のチップ表面温度Tは、 T=273.15+Ta・Vcc・Icc・Rth (2) ただし、Ta:雰囲気温度 Vcc:電源電圧 Icc:動作電流 Rth:パッケージの熱抵抗 で表わされる。従って、動作電流の増加は配線寿命の短
絡を招くことになる。
【0031】なお、エレクトロマイグレーション対策と
して、配線を太くし、あるいは複数の配線に分け、これ
により、配線の単位断面積あたりに流れる電流(絶対平
均電流密度)を減らすことが知られているが、この場合
には、チップ面積の増大を招き、さらに配線の層間容量
の増大により充放電電流を逆に増加させることになる。
また、配線途中にバッファを挿入して配線の負荷容量を
低減することが知られているが(参照:特開平2−25
068号公報)、この場合には、バッファ前後をあわせ
た負荷容量は減らず、むしろバッファのゲート容量等に
より負荷容量は増加するので動作電流は増大し、チップ
温度を上昇させてしまう。
【0032】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、メモリセルアレイと、外部クロック信号
に同期して内部アドレス信号を発生する手段と、内部ア
ドレス信号に応じて前記メモリセルアレイからデータを
読出すデコーダ手段とを具備する同期型半導体記憶装置
において、外部クロック信号に同期して該外部クロック
信号の周波数の1/2周波数の内部クロック信号を発生
する内部クロック発生手段を設ける。そして、データ出
力手段は内部クロック信号の立上りエッジ及び立下りエ
ッジの両方に同期してメモリヤルアレイから読出された
データを出力する。
【0033】あるいは、メモリセルアレイを少なくとも
第1、第2のブロックに分割し、第1のデータ出力手段
は内部クロック信号の立上りエッジ及び立下りエッジの
一方に同期して前記メモリヤルアレイの第1のブロック
から読出されたデータを出力し、第2のデータ出力手段
は内部クロック信号の立上りエッジ及び立下りエッジの
他方に同期して前記メモリヤルアレイの第2のブロック
から読出されたデータを出力する。
【0034】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る同期型DRA
M装置の第1の実施の形態を示すブロック回路図であ
る。図1においては、図5の内部クロック発生回路13
−Aの代りに、内部クロック発生回路13−B、データ
アンプ活性化信号発生回路14−1、14−2、─が設
けられている。内部クロック発生回路13−Bは内部ク
ロック信号ICLK1に同期し、これの1/2周波数の
内部クロック信号ICLK3を出力し、データアンプ活
性化信号回路14−1、14−2、─は内部クロック信
号ICLK3の立上り及び立下りに同期したデータアン
プ活性化信号DE1、DE2、─を出力する。
【0035】内部クロック発生回路13−Bは、図5の
内部クロック発生回路13−AのインバータI1、I
2、I3の代りにDフリップフロップFFを構えてい
る。この場合、ナンド回路G1の出力がDフリップフロ
ップFFにフィードバックされている。従って、内部ク
ロック発生回路13−Bは、信号READ2によってイ
ネーブルされ、内部クロック信号ICLK1(ICLK
2)を1/2分周して内部クロック信号ICLK3を出
力することになる。
【0036】また、データアンプ活性化信号発生回路1
4−1、14−2、─は、同一構成をなしており、イン
バータI5、I6、I7及び排他的ノア回路G3より構
成されている。従って、データアンプ活性化信号発生回
路14−1、14−2、─は内部クロック信号ICLK
3の立上り及び立下り毎に一定幅のパルス信号DE1、
DE2、─を発生することになる。
【0037】図2のタイミング図を参照して図1の同期
型DRAM装置の動作を説明する。
【0038】図2においても、外部クロック信号CLK
が図2の(A)に示すごとく入力され、この結果、信号
/RAS、/CAS、/WE、/CSが外部クロック信
号CLKの立上りエッジによって入力され、図2の
(B)に示すごとく、リードコマンドを示すものとす
る。この場合、図2の(D)に示すごとく、外部クロッ
ク信号CLKに同期した内部クロック信号CLK1が発
生し、また、図2の(C)に示す外部アドレス信号AD
Dは図2の(E)に示す内部アドレス信号IADDとな
る。
【0039】コマンドデコーダ7はリードコマンド入力
時には、内部クロック信号CLK1に同期して図2の
(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、R
EAD2を出力する。なお、信号READ1は内部クロ
ック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してローレ
ベルとされる。
【0040】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図2の(H)に示すごとく、内部ア
ドレス信号IADDをラッチして出力する。その後、信
号READ1はローレベルとなり、バーストカウンタ8
はバースト動作に移行して内部クロック信号CLK1に
同期してIADD+1、IADD+2、─を発生する。
つまり、コラムアドレス信号YADDは、IADD、I
ADD+1、IADD+2、─と変化し、この結果、エ
ラムデコーダ9は図2の(I)に示すごとく、IAD
D、IADD+1、IADD+2、─に対応するコラム
スイッチ線を順次選択する。従って、図2の(N)に示
すごとく、予めセルデータを増幅しているセンスアンプ
からデータがリードバスRBUS11(12、─)に出
力される。
【0041】他方、信号READ2のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−Aにおいては、内部
クロック信号ICLK1に同期した図2の(J)に示す
内部クロック信号CLK2を内部発生し、さらに、内部
クロック信号ICLK2の立上りのみに同期した図2の
(K)に示す内部クロック信号ICLK3を出力する。
つまり、内部クロック信号ICLK3の周波数は内部ク
ロック信号ICLK2の1/2となる。
【0042】内部クロック信号ICLK3の立上り及び
立下りの直後に、図2の(L)、(M)に示すごとく、
データアンプ活性化信号DE1、DE2は活性化され
る。
【0043】この結果、図2の(O)に示すごとく、リ
ードバス11(12、─)のデータは、データアンプ活
性化信号DE1(DE2,─)に同期して、リードバス
RBUS21(22、─)に出力される。さらに、図2
の(P)に示すごとく、リードバスRBUS21(2
2、─)のデータは出力端子DOUT1(DOUT2、
─)に出力される。
【0044】図3は本発明に係る同期型DRAM装置の
第2の実施の形態を示すブロック回路図であって、図7
の同期型DRAM装置に対応する。図3においては、図
1の内部クロック発生回路13−B、データアンプ活性
化信号発生回路14−1、14−2、─の代りに、内部
クロック発生回路13−C、データアンプ活性化信号発
生回路14’−1、14’−2、─が設けられている。
内部クロック発生回路13−Cも内部クロック信号IC
LK1に同期し、これの1/2周波数の内部クロック信
号ICLK3を出力するが、内部クロック信号ICLK
1、信号RAED1及び信号YADD0に応じてセッ
ト、リセットされる。また、データアンプ活性化信号発
生回路14−1、14−2、─は内部クロック信号IC
LK3の立上り及び立下りの一方に同期したデータアン
プ活性化信号DE1、DE2、─を出力する。
【0045】内部クロック発生回路13−Cは、図1の
内部クロック発生回路13−BのDフリップフロップF
Fの代りにセットリセット付きDフリップフロップF
F’を構えている。アンド回路G4により、信号REA
D1がハイレベル内部クロック信号ICLK1がハイレ
ベルかつ信号YADD0がハイレベルのときに、フリッ
プフロップFF’はセットされる。他方、ゲート回路G
5により、信号READ1がハイレベル内部クロック信
号ICLK1がハイレベル、信号YADD0がローレベ
ルのときに、フリップフロップFF’はリセットされ
る。従って、内部クロック発生回路13−Cも、信号R
EAD2によってイネーブルされ、内部クロック信号I
CLK1(ICLK2)を1/2分周して内部クロック
信号ICLK3を出力することになる。
【0046】また、データアンプ活性化信号発生回路1
4’−1、14’−2、─は異なる構成をなしている。
つまり、データアンプ活性化信号発生回路14’−1に
おいては、図1のデータアンプ活性化信号14−1の排
他的ノア回路G3の代りに、アンド回路G6を備えてお
り、また、データアンプ活性化信号発生回路14’−2
においては、図1のデータアンプ活性化信号14−2の
排他的ノア回路G3の代りに、ノア回路G7を備えてい
る。この結果、データアンプ活性化信号発生回路14’
−1は内部クロック信号ICLK3の立上り毎に一定幅
のパルス信号DE1を発生することになり、また、デー
タアンプ活性化信号発生回路14’−2は内部クロック
信号ICLK3の立下り毎に一定幅のパルス信号DE2
を発生することになる。
【0047】図4のタイミング図を参照して図3の同期
型DRAM装置の動作を説明する。
【0048】図4においても、外部クロック信号CLK
が図4の(A)に示すごとく入力され、この結果、信号
/RAS、/CAS、/WE、/CSが外部クロック信
号CLKの立上りエッジによって入力され、図4の
(B)に示すごとく、リードコマンドを示すものとす
る。この場合、図4の(D)に示すごとく、外部クロッ
ク信号CLKに同期した内部クロック信号CLK1が発
生し、また、図4の(C)に示す外部アドレス信号AD
Dは図4の(E)に示す内部アドレス信号IADDとな
る。
【0049】コマンドデコーダ7はリードコマンド入力
時には、内部クロック信号CLK1に同期して図4の
(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、R
EAD2を出力する。なお、信号READ1は内部クロ
ック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してローレ
ベルとされる。
【0050】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図4の(H)、(I)に示すごと
く、内部アドレス信号IADDをラッチして出力する。
この場合、IADDは、(YADD0、YADD1)に
よって表わされる。その後、信号READ1はローレベ
ルとなり、バーストカウンタ8はバースト動作に移行し
て内部クロック信号CLK1に同期してIADD+1、
IADD+2、─を発生する。この場合も、IADD+
1、IADD+2、─は(YADD0、YADD1)に
よって表わされる。つまり、コラムアドレス信号YAD
Dは、IADD、IADD+1、IADD+2、─と変
化し、この結果、エラムデコーダ9は図4の(J)に示
すごとく、IADD、IADD+1、IADD+2、─
の最下位ビットを除いたアドレスに対応するコラムスイ
ッチ線を順次選択する。従って、図4の(O)、(P)
に示すごとく、予めセルデータを増幅しているセンスア
ンプからデータがリードバスRBUS11、12に出力
される。
【0051】他方、信号READ1のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−Cにおいては、内部
クロック信号ICLK1及び信号YADD0に応じてフ
リップフロップFF’は初期化される。図4の例におい
ては、信号READ1がハイレベルになった後に、内部
クロック信号ICLK1(図4の(D))及び信号YA
DD0(図4の(H))は共にハイレベルであり、従っ
て、フリップフロップFF’はセットされる。
【0052】次いで、信号READ2のハイレベルを受
けている内部クロック発生回路13−Cにおいては、内
部クロック信号ICLK3Bがローレベルとなり、図4
の(L)に示すごとく、内部クロック信号ICLK3は
ハイレベルとなる。以後、内部クロック信号ICLK1
に同期した図4の(K)に示す内部クロック信号CLK
2を内部発生し、さらに、内部クロック信号ICLK2
の立上りのみに同期した図4の(L)に示す内部クロッ
ク信号ICLK3を出力する。つまり、内部クロック信
号ICLK3の周波数は内部クロック信号ICLK2の
1/2となる。
【0053】図4の(L)に示す内部クロック信号IC
LK3がハイレベルからローレベルに変化すると、デー
タアンプ活性化信号発生回路14’−2のノア回路G7
の入力が一定期間すべてローレベルとなる。このローレ
ベル期間中に、図4の(N)に示すごとく、データアン
プ活性化信号DE2はハイレベルとなる。なお、このロ
ーレベル期間はデータアンプ活性化信号発生回路14’
−2のインバータI5、I6、I7の信号活性時間によ
って決定される。また、図4の(L)に示す内部クロッ
ク信号ICLK3がローレベルからハイレベルに変化す
ると、データアンプ活性化信号発生回路14’−1のア
ンド回路G6の入力が一定期間すべてローレベルとな
る。このローレベル期間中に、図4の(M)に示すごと
く、データアンプ活性化信号DE1はハイレベルとな
る。なお、このローレベル期間はデータアンプ活性化信
号発生回路14’−1のインバータI5、I6、I7の
信号活性時間によって決定される。
【0054】このように、内部クロック信号ICLK3
の立上り及び立下りの一方の直後に、図4の(M)、
(N)に示すごとく、データアンプ活性化信号DE1、
DE2の一方は活性化される。この結果、図4の(Q)
に示すごとく、リードバス11(12)のデータは、デ
ータアンプ活性化信号DE1、(DE2)に同期して、
リードバスRBUS2に出力される。さらに、図4の
(R)に示すごとく、リードバスRBUS2のデータは
出力端子DOUTに出力される。
【0055】なお、上述の発明の実施の形態において
は、内部クロック発生回路13−B、13−Cが外部ク
ロック信号CLKの立上りエッジに応答するように構成
されているが、外部クロック信号CLKの立下りエッジ
に応答するように構成することもできる。
【0056】このように、上述の発明の実施の形態にお
いては、内部クロック信号ICLK3の周波数が1/2
となるので、内部クロック信号ICLK3の配線に流れ
る平均電流は従来に比較して1/2となり、配線の単位
断面積当りの平均電流Jも1/2となる。この結果、エ
レクトマイグレーションによる配線の50%不良時間t
50’は、従来をt50とすれば、上述の(1)式よ
り、 と4倍改善する。また、単位時間当りの平均電流の減少
はチップ温度の上昇も抑制するので、さらにエレクトマ
イグレーションの発生を防止できる。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、エ
レクトロマイグレーションによる配線寿命の短縮を抑止
でき、従って、信頼性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る同期型DRAM装置の第1の実施
の形態を示すブロック回路図である。
【図2】図1の装置の回路動作を説明するためのタイミ
ング図である。
【図3】本発明に係る同期型DRAM装置の第2の実施
の形態を示すブロック回路図である。
【図4】図3の装置の回路動作を説明するためのタイミ
ング図である。
【図5】第1の従来の同期型DRAM装置を示すブロッ
ク回路図である。
【図6】図5の装置の回路動作を説明するためのタイミ
ング図である。
【図7】第2の従来の同期型DRAM装置を示すブロッ
ク回路図である。
【図8】図7の装置の回路動作を説明するためのタイミ
ング図である。
【符号の説明】
1、2、3、4、5、6─入力回路 7─コマンドデコーダ 8─バーストカウンタ 9─コラムデコーダ 11─データアンプ 12−1、12−2、12─出力回路 13−A、13−B、13−C─内部クロック発生回路 YSW1、─YSWn、─コラムスイッチ線 RBUS11、RBUS12、─、RBUS21、RB
US22、RBUS2─リードバス
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年1月19日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0004
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】図5において、入力回路1は外部アドレス
信号ADDを入力して内部アドレス信号IADDを出力
し、入力回路2はローアドレスストローブ信号/RAS
を入力して内部信号IRASを出力し、入力回路3はコ
ラムアドレスストローブ信号/CASを入力して内部信
号ICASを出力し、入力回路4はライトイネーブル信
号/WEを入力して内部信号IWEを出力し、入力回路
5はチップセレクト信号CSを入力して内部信号IC
Sを出力し、入力回路6は外部クロック信号CLKを入
力して内部クロック信号ICLK1を出力する。なお、
入力回路2〜5は外部クロック信号CLKの立上りエッ
ジにて動作する。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】コラムスイッチ線YSW1、─、YSWn
とリードバスRBUS1、RBUS2、─との間には、
センスアンプS11、S21、─、S1n、S2n、─
が接続されている。たとえば、コラムスイッチ線YSW
1が選択されると、センスアンプS11、S21、─が
リードバスRBUS11、RBUS12、─にデータ出
力する。また、各センスアンプS11、S21、─、S
1n、S2n、─にはディジット線D11、D21、
─、D1n、D2n、─を介してセルC11、C21、
─、C1n、C2n、─が接続されている。なお、ここ
では、各セルC11、C21、─、C1n、C2n、─
は複数のセルを示し、これらの各セルはローデコーダ
(図示せず)によって選択される。たとえば、セルアレ
イはm個のブロックBK1、BK2、─に分割されてい
るが、説明を簡単にするために、2ブロックBK1、B
K2のみを図示してある。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図6の(H)に示すごとく、内部ア
ドレス信号IADDをラッチして出力する。その後、信
号READ1はローレベルとなり、バーストカウンタ8
はバースト動作に移行して内部クロック信号CLK1
に同期してIADD+1、IADD+2、─を発生す
る。つまり、コラムアドレス信号YADDは、IAD
D、IADD+1、IADD+2、─と変化し、この結
果、ラムデコーダ9は、図6の(I)に示すごとく、
IADD、IADD+1、IADD+2、─に対応する
コラムスイッチ線を順次選択する。従って、図6の
(L)に示すごとく、予めセルデータを増幅しているセ
ンスアンプからデータがリードバスRBUS11(1
2、─)に出力される。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】他方、信号READ2のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−Aにおいては、内部
クロック信号ICLK1に同期した図6の(J)に示す
内部クロック信号CLK2を内部発生し、さらに、内
部クロック信号ICLK2に同期した図6の(K)に示
す内部クロック信号ICLK3を出力する。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0016
【補正方法】変更
【補正内容】
【0016】この結果、図6の(M)に示すごとく、リ
ードバスRBUS11(RBUS12、─)のデータ
は、内部クロック信号CLK3に同期して、リードバ
スRBUS21(RBUS22、─)に出力される。さ
らに、図6の(N)に示すごとく、リードバスRBUS
21(RBUS22、─)のデータは出力端子DOUT
1(DOUT2、─)に出力される。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】すなわち、コラムアドレス信号YADD0
はゲート回路G2−1、G2−2に供給され、これによ
り、内部クロック信号CLK3を切替えてデータアン
プ11−1、11−2の一方に供給する。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0022
【補正方法】変更
【補正内容】
【0022】外部クロック信号CLKが図8の(A)に
示すごとく入力され、この結果、信号/RAS、/CA
S、/WE、/CSが外部クロック信号CLKの立上り
エッジによって入力され、図8の(B)に示すごとく、
リードコマンドを示すものとする。この場合、図8の
(D)に示すごとく、外部クロック信号CLKに同期し
た内部クロックI信号CLK1が発生し、また、図8
の(C)に示す外部アドレス信号ADDは図8の(E)
に示す内部アドレス信号IADDとなる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】コマンドデコーダ7は、リードコマンド入
力時には、内部クロック信号CLK1に同期して図8
の(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、
READ2を出力する。なお、信号READ1は内部ク
ロック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してロ
ーレベルとされる。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図8の(H)、(I)に示すごと
く、内部アドレス信号IADDをラッチして出力する。
この場合、IADDは(YADD0、YADD1)によ
って表わされる。その後、信号READ1はローレベル
となり、バーストカウンタ8はバースト動作に移行して
内部クロック信号CLK1に同期してIADD+1、
IADD+2、─を発生する。この場合も、IADD+
1、IADD+2、─は(YADD0、YADD1)に
よって表わされる。つまり、コラムアドレス信号YAD
Dは、IADD、IADD+1、IADD+2、─と変
化し、この結果、ラムデコーダ9は、図8の(J)に
示すごとく、IADD、IADD+1、IADD+2、
─の最下位ビットを除いたアドレスに対応するコラムス
イッチ線を順次選択する。従って、図8の(N)、
(O)に示すごとく、予めセルデータを増幅しているセ
ンスアンプからデータがリードバスRBUS11、12
に出力される。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】他方、信号READ2のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−Aにおいては、内部
クロック信号ICLK1に同期した図8の(K)に示す
内部クロック信号CLK2を内部発生し、さらに、内
部クロック信号ICLK2に同期した図8の(L)に示
す内部クロック信号ICLK3を出力する。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0026
【補正方法】変更
【補正内容】
【0026】内部クロック信号CLK3はコラムアド
レス信号YADD0に応じてデータアンプ活性化信号D
E1、DE2となる。すなわち、YADD0がハイレベ
ルときには、図8の(M)に示すごとく、データアンプ
活性化信号DE1が内部クロック信号CLK3に同期
してハイレベルとなり、この結果、リードバスRBUS
11のデータが、図8の()に示すごとく、リードバ
BUS2に出力される。他方、YADD0がローレ
ベルときには、図8の(N)に示すごとく、データアン
プ活性化信号DE2が内部クロック信号CLK3に同
期してハイレベルとなり、この結果、リードバスRBU
S12のデータが、図8の()に示すごとく、リード
バスPBUS2に出力される。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0027
【補正方法】変更
【補正内容】
【0027】さらに、図8の()に示すごとく、リー
ドバスRBUS2のデータは出力端子DOUTに出力さ
れる。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0028
【補正方法】変更
【補正内容】
【0028】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の同期型D
RAM装置においては、内部クロック信号CLK3は
外部クロック信号CLKと同一の周波数で動作するの
で、内部クロック信号CLK3の信号配線のエレクト
ロマイグレーションによる配線寿命が短かくなるという
信頼性の課題があった。
【手続補正14】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】すなわち、内部クロック信号CLK3は
同期型DRAM装置のデータアンプ11−1、11−
2、─の活性化を司る信号である。従って、同期型DR
AM装置の大容量化を伴い、データアンプ数が増加し、
内部クロック信号CLK3のための信号配線が長くな
る。この結果、負荷容量の増大による充放電電源の増加
を招き、エレクトロマイグレーションによる配線寿命の
短縮を招くことになる。なお、一般に、エレクトロマイ
グレーションによる配線の50%不良時間t50 は、 t50=a・J-2・exp(φ/kT) (1) ただし、φ=0.6(eV) k=8.62×10-5(eV/K) a:配線材料による係数 J:絶対平均電流密度(A/cm2) T:チップ表面温度(K) で表わされる。従って、信号配線の寿命は配線の充放電
電流の2乗の比例して悪化することになる。
【手続補正15】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】変更
【補正内容】
【0030】さらに、充放電電流の増加は、同期型DR
AMの動作電流の増加につながり、DC特性の悪化と共
にチップ温度を上昇させるので、エレクトロマイグレー
ションの発生を助長し、さらに内部クロック信号CL
K3の配線寿命を短縮させることになる。ここで、
(1)式のチップ表面温度Tは、 T=273.15+Ta・Vcc・Icc・Rth (2) ただし、Ta:雰囲気温度 Vcc:電源電圧 Icc:動作電流 Rth:パッケージの熱抵抗 で表わされる。従って、動作電流の増加は配線寿命の短
絡を招くことになる。
【手続補正16】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0038
【補正方法】変更
【補正内容】
【0038】図2においても、外部クロック信号CLK
が図2の(A)に示すごとく入力され、この結果、信号
/RAS、/CAS、/WE、/CSが外部クロック信
号CLKの立上りエッジによって入力され、図2の
(B)に示すごとく、リードコマンドを示すものとす
る。この場合、図2の(D)に示すごとく、外部クロッ
ク信号CLKに同期した内部クロック信号CLK1が
発生し、また、図2の(C)に示す外部アドレス信号A
DDは図2の(E)に示す内部アドレス信号IADDと
なる。
【手続補正17】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0039
【補正方法】変更
【補正内容】
【0039】コマンドデコーダ7はリードコマンド入力
時には、内部クロック信号CLK1に同期して図2の
(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、R
EAD2を出力する。なお、信号READ1は内部クロ
ック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してロー
レベルとされる。
【手続補正18】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0040
【補正方法】変更
【補正内容】
【0040】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図2の(H)に示すごとく、内部ア
ドレス信号IADDをラッチして出力する。その後、信
号READ1はローレベルとなり、バーストカウンタ8
はバースト動作に移行して内部クロック信号CLK1
に同期してIADD+1、IADD+2、─を発生す
る。つまり、コラムアドレス信号YADDは、IAD
D、IADD+1、IADD+2、─と変化し、この結
果、ラムデコーダ9は図2の(I)に示すごとく、I
ADD、IADD+1、IADD+2、─に対応するコ
ラムスイッチ線を順次選択する。従って、図2の(N)
に示すごとく、予めセルデータを増幅しているセンスア
ンプからデータがリードバスRBUS11(12、─)
に出力される。
【手続補正19】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0041
【補正方法】変更
【補正内容】
【0041】他方、信号READ2のハイレベルを受け
ている内部クロック発生回路13−においては、内部
クロック信号ICLK1に同期した図2の(J)に示す
内部クロック信号CLK2を内部発生し、さらに、内
部クロック信号ICLK2の立上りのみに同期した図2
の(K)に示す内部クロック信号ICLK3を出力す
る。つまり、内部クロック信号ICLK3の周波数は内
部クロック信号ICLK2の1/2となる。
【手続補正20】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0045
【補正方法】変更
【補正内容】
【0045】内部クロック発生回路13−Cは、図1の
内部クロック発生回路13−BのDフリップフロップF
Fの代りにセットリセット付きDフリップフロップF
F’を構えている。アンド回路G4により、信号REA
D1がハイレベル内部クロック信号ICLK1がハイ
レベルかつ信号YADD0がハイレベルのときに、フリ
ップフロップFF’はセットされる。他方、ゲート回路
G5により、信号READ1がハイレベル内部クロック
信号ICLK1がハイレベル、信号YADD0がローレ
ベルのときに、フリップフロップFF’はリセットされ
る。従って、内部クロック発生回路13−Cも、信号R
EAD2によってイネーブルされ、内部クロック信号I
CLK1(ICLK2)を1/2分周して内部クロック
信号ICLK3を出力することになる。
【手続補正21】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0048
【補正方法】変更
【補正内容】
【0048】図4においても、外部クロック信号CLK
が図4の(A)に示すごとく入力され、この結果、信号
/RAS、/CAS、/WE、/CSが外部クロック信
号CLKの立上りエッジによって入力され、図4の
(B)に示すごとく、リードコマンドを示すものとす
る。この場合、図4の(D)に示すごとく、外部クロッ
ク信号CLKに同期した内部クロック信号CLK1が
発生し、また、図4の(C)に示す外部アドレス信号A
DDは図4の(E)に示す内部アドレス信号IADDと
なる。
【手続補正22】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0049
【補正方法】変更
【補正内容】
【0049】コマンドデコーダ7はリードコマンド入力
時には、内部クロック信号CLK1に同期して図4の
(F)、(G)に示すハイレベルの信号READ1、R
EAD2を出力する。なお、信号READ1は内部クロ
ック信号CLK1の次の立上りエッジに同期してロー
レベルとされる。
【手続補正23】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0050
【補正方法】変更
【補正内容】
【0050】ハイレベルの信号READ1を受けてバー
ストカウンタ8は、図4の(H)、(I)に示すごと
く、内部アドレス信号IADDをラッチして出力する。
この場合、IADDは、(YADD0、YADD1)に
よって表わされる。その後、信号READ1はローレベ
ルとなり、バーストカウンタ8はバースト動作に移行し
て内部クロック信号CLK1に同期してIADD+
1、IADD+2、─を発生する。この場合も、IAD
D+1、IADD+2、─は(YADD0、YADD
1)によって表わされる。つまり、コラムアドレス信号
YADDは、IADD、IADD+1、IADD+2、
─と変化し、この結果、ラムデコーダ9は図4の
(J)に示すごとく、IADD、IADD+1、IAD
D+2、─の最下位ビットを除いたアドレスに対応する
コラムスイッチ線を順次選択する。従って、図4の
(O)、(P)に示すごとく、予めセルデータを増幅し
ているセンスアンプからデータがリードバスRBUS1
1、12に出力される。
【手続補正24】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0054
【補正方法】変更
【補正内容】
【0054】このように、内部クロック信号ICLK3
の立上り及び立下りの一方の直後に、図4の(M)、
(N)に示すごとく、データアンプ活性化信号DE1、
DE2の一方は活性化される。この結果、図4の(Q)
に示すごとく、リードバスRBUS11(RBUS
2)のデータは、データアンプ活性化信号DE1(DE
2)に同期して、リードバスRBUS2に出力される。
さらに、図4の(R)に示すごとく、リードバスRBU
S2のデータは出力端子DOUTに出力される。
【手続補正25】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正26】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】
【手続補正27】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図7
【補正方法】変更
【補正内容】
【図7】
【手続補正28】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図8
【補正方法】変更
【補正内容】
【図8】

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルアレイと、 外部クロック信号(CLK)に同期して内部アドレス信
    号(YADD)を発生する手段(8)と、 該内部アドレス信号に応じて前記メモリセルアレイから
    データを読出すデコーダ手段(9)と、 前記外部クロック信号に同期して該外部クロック信号の
    周波数の1/2周波数の内部クロック信号(ICLK
    3)を発生する内部クロック発生手段(13−B)と、 該内部クロック信号の立上りエッジ及び立下りエッジの
    両方に同期して前記メモリセルアレイから読出されたデ
    ータを出力するデータ出力手段(14−1、14−2、
    11−1、11−2、12−1、12−2)とを具備す
    る同期型半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 少なくとも第1、第2のブロック(BK
    1、BK2)に分割されたメモリセルアレイと、 外部クロック信号(CLK)に同期して内部アドレス信
    号(YADD)を発生する手段(8)と、 該内部アドレス信号に応じて前記メモリセルアレイの第
    1、第2のブロックからデータを読出すデコーダ手段
    (9)と、 前記外部クロック信号に同期して該外部クロック信号の
    周波数の1/2周波数の内部クロック信号(ICLK
    3)を発生する内部クロック発生手段(13−C)と、 該内部クロック信号の立上りエッジ及び立下りエッジの
    一方に同期して前記メモリセルアレイの第1のブロック
    から読出されたデータを出力する第1のデータ出力手段
    (14’−1、11−1、12)と前記内部クロック信
    号の立上りエッジ及び立下りエッジの他方に同期して前
    記メモリセルアレイの第2のブロックから読出されたデ
    ータを出力する第2のデータ出力手段(14’−2、1
    1−2、12)とを具備する同期型半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 外部クロック信号(CLK)の立上りエ
    ッジに応じて第1のレベルから第2のレベルに変化し、
    前記外部クロック信号の立上りエッジの次の立上りエッ
    ジに応じて前記第2のレベルから前記第1のレベルに変
    化する内部クロック信号(ICLK3)を発生する手段
    (13−B)を具備し、前記内部クロック信号の前記第
    1のレベルから前記第2のレベルへの遷移及び前記第2
    のレベルから前記第1のレベルへの遷移の両方を同一目
    的のトリガに用いるようにした半導体装置。
  4. 【請求項4】 外部クロック信号(CLK)の立下りエ
    ッジに応じて第1のレベルから第2のレベルに変化し、
    前記外部クロック信号の立下りエッジの次の立下りエッ
    ジに応じて前記第2のレベルから前記第1のレベルに変
    化する内部クロック信号(ICLK3)を発生する手段
    (13−B)を具備し、前記内部クロック信号の前記第
    1のレベルから前記第2のレベルへの遷移及び前記第2
    のレベルから前記第1のレベルへの遷移の両方を同一目
    的のトリガに用いるようにした半導体装置。
  5. 【請求項5】 外部クロック信号(CLK)の立上りエ
    ッジに応じて第1のレベルから第2のレベルに変化し、
    前記外部クロック信号の立上りエッジの次の立上りエッ
    ジに応じて前記第2のレベルから前記第1のレベルに変
    化する内部クロック信号(ICLK3)を発生する手段
    (13−C)と、 前記内部クロック信号の前記第1のレベルから前記第2
    のレベルへの遷移をトリガとする第1の回路(14’−
    1)と、 前記内部クロック信号の前記第2のレベルから前記第1
    のレベルへの遷移をトリガとする第2の回路(14’−
    2)とを具備する半導体装置。
  6. 【請求項6】 外部クロック信号(CLK)の立下りエ
    ッジに応じて第1のレベルから第2のレベルに変化し、
    前記外部クロック信号の立下りエッジの次の立下りエッ
    ジに応じて前記第2のレベルから前記第1のレベルに変
    化する内部クロック信号(ICLK3)を発生する手段
    (13−C)と、 前記内部クロック信号の前記第1のレベルから前記第2
    のレベルへの遷移をトリガとする第1の回路(14’−
    1)と、 前記内部クロック信号の前記第2のレベルから前記第1
    のレベルへの遷移をトリガとする第2の回路(14’−
    2)とを具備する半導体装置。
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