JPH10191663A

JPH10191663A - 振動アクチュエータ及びその調整方法

Info

Publication number: JPH10191663A
Application number: JP8345479A
Authority: JP
Inventors: Michihiro Tobe; 通宏戸部
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-12-25
Filing date: 1996-12-25
Publication date: 1998-07-21

Abstract

(57)【要約】【課題】平板状の振動子を備える振動アクチュエータ
では、弾性体の製作誤差や圧電体３，４の特性のばらつ
き等により、左右方向への速度が必ずしも一致しない。【解決手段】４枚の圧電体１３を接合されて、１次の
伸縮振動と４次の屈曲振動とを調和的に発生する振動子
１１と，振動子１１に加圧接触して２方向への相対運動
を発生する相対運動部材とを備える振動アクチュエータ
１０であって、弾性体１２における屈曲振動の腹位置Ｐ
₁，Ｐ₂には、弾性体１２の等価厚さを部分的に変更し
て２方向への相対運動の異方性を低減する屈曲振動振幅
調整部１５が、形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気機械変換素子
を接合されて伸縮振動と屈曲振動とを発生する直方体状
の振動子と、振動子に加圧接触して相対運動を発生する
相対運動部材とを備える振動アクチュエータ及びその調
整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】振動アクチュエータは、高トルク，良好
な制御性，高保持力さらには静粛性等の特徴を有してお
り、円環型とリニア型とに大別される。円環型の振動ア
クチュエータは、カメラのＡＦ用モータ等に用いられ
る。また、リニア型の振動アクチュエータは、以下のよ
うな構造のものが知られている。

【０００３】自走式の振動アクチュエータとして、例え
ば、「第５回電磁力関連のダイナミックシンポジウム講
演論文集，第３９３頁〜第３９８頁」の「２２２光ピ
ックアップ移動を目的とした圧電リニア・モータ」にお
いて、「異形モード縮退縦Ｌ１−屈曲Ｂ４モード・平板
モータ」が知られている。

【０００４】図４は、この異形モード縮退縦Ｌ１−屈曲
Ｂ４モード・平板モータ１を示す模式図であって、図４
（Ａ）は正面図，図４（Ｂ）は側面図，図４（Ｃ）は平
面図である。

【０００５】弾性体２は、矩形平板状の基礎部２ａと、
基礎部２ａの一方の平面に突起状に形成された二つの駆
動力取出部２ｂ，２ｃとから構成される。圧電体３，４
は、弾性体２の基礎部２ａの他方の平面にそれぞれ貼付
され、駆動電圧を印加されることにより励振し、弾性体
２に縦振動Ｌ１モードと屈曲振動Ｂ４モードとを発生さ
せる電気機械変換素子である。

【０００６】駆動力取出部２ｂ，２ｃは、弾性体２の一
方の平面における屈曲振動Ｂ４モードの腹となる部分に
設けられており、図示しない相対運動部材に適宜圧力で
押し付けられる。

【０００７】この図４に示す振動アクチュエータ１は、
弾性体２に生じる縦振動Ｌ１モード及び屈曲振動Ｂ４モ
ードそれぞれの固有振動数が非常に近い値になるように
設計されており、２つの固有振動数に近い周波数の交流
電圧を圧電体３，４に印加することにより二つの振動モ
ードを調和させて、弾性体２に楕円運動を発生させる。
発生した楕円運動は、駆動力取出部２ｂ，２ｃを介して
推力として取り出され、相対運動部材との間で相対運動
を発生する。

【０００８】すなわち、この振動アクチュエータ１は平
板形状を呈しており、縦振動１次モード及び屈曲振動４
次モード（又は２ｎ次モード，ｎ：整数）それぞれの共
振周波数が非常に近い値となる形状に設計される。そし
て、圧電体３，４に、２つの共振周波数に近い周波数で
あるとともに互いの位相差が９０度である２相の交流電
圧を印加することにより、弾性体２に２つの振動モード
が調和した振動を発生させる。ここで、２相の交流電圧
の位相差を９０度及び−９０度にすることにより、駆動
方向が逆転する。

【０００９】弾性体２に発生する縦振動１次モード及
び、屈曲振動４次モードそれぞれの共振周波数は、下記
式及び式により与えられる。

【００１０】

【数１】縦振動１次モードの共振周波数ｆ_L1＝１／２ξ（Ｅ／ρ）^1/2・・・・・屈曲振動４次モードの共振周波数ｆ_B4＝（λ₄ξ）²ｔ／（２πξ²）・（Ｅ／１２ρ）^1/2 ・・・・・・・ただし、Ｅ：ヤング率、ρ：密度、ξ：弾性体の長さ、
ｔ：弾性体の厚さである。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このような振動アクチ
ュエータ１は、図４に示すように、左右対称な形状に設
計される。したがって、設計値通りの形状に加工及び組
み立てが行われると、圧電体３，４に印加される駆動電
圧の位相差を９０度及び−９０度に変更して逆方向に移
動させても、振動アクチュエータ１の左右方向への速度
差は発生しない。

【００１２】しかし、現実には、弾性体２を所定の形状
に加工する際の製作誤差や、弾性体２に貼付する圧電体
３，４が有する特性のばらつき、さらには、圧電体３，
４を弾性体２に貼付する際の貼付位置ずれ等が不可避的
に存在する。そのため、２相の交流電圧の位相差が９０
度である場合と−９０度である場合とにおいて、弾性体
２に発生する振動の形状が異なってしまうことがある。
これにより、振動アクチュエータ１の左右方向への速度
が必ずしも一致しないという課題があった。

【００１３】このような左右方向への速度差の不均一が
許容範囲を外れてしまうと、製品として出荷することが
できなくなってしまうため、振動アクチュエータ１の製
造の際における歩留りを低下させ、振動アクチュエータ
１の製造コストの上昇をもたらしてしまう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような従
来の技術が有する課題に鑑みてなされたものであり、組
み立てたままの状態の振動アクチュエータに左右方向へ
の速度差が発生しても、この振動子の適宜位置への質量
体の付加、又はこの弾性体の適宜位置からの質量体の除
去を行うことにより、振動アクチュエータの左右方向へ
の速度差の解消又は低減を図るものである。

【００１５】請求項１の発明は、電気機械変換素子を接
合されて、伸縮振動と屈曲振動とを発生する直方体状の
振動子と，振動子に加圧接触して、少なくとも２方向へ
の相対運動を発生する相対運動部材とを備える振動アク
チュエータであって、振動子における屈曲振動の複数の
腹位置の全部又は一部には、振動子の等価厚さを部分的
に変更して２方向への相対運動の異方性を低減又は解消
する屈曲振動振幅調整部が、形成されることを特徴とす
る。

【００１６】請求項２の発明は、請求項１に記載された
振動アクチュエータにおいて、屈曲振動振幅調整部が、
振動子の平面の一部へ質量体を付加すること、及び／又
は、振動子の平面の一部から質量体を削除することによ
り、形成されることを特徴とする。

【００１７】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載された振動アクチュエータにおいて、電気機械変
換素子が、振動子の一方の平面に装着されるとともに、
振動子が、他方の平面に形成された駆動力取出部を介し
て相対運動部材に加圧接触し、さらに、屈曲振動振幅調
整部が、他方の平面に形成されることを特徴とする。

【００１８】請求項４の発明は、請求項３に記載された
振動アクチュエータにおいて、２枚の電気機械変換素子
が振動子に発生する屈曲振動の腹位置を含む位置に装着
されるとともに、前記の加工が前記の位置に対して行わ
れることを特徴とする。

【００１９】請求項５の発明は、直方体状の振動子に装
着された電気機械変換素子に駆動信号を印加して、振動
子に伸縮振動と屈曲振動とを発生させて、弾性体に加圧
接触する相対運動部材との間で少なくとも２方向への相
対運動を発生する振動アクチュエータの調整方法であっ
て、振動子に等価厚さを部分的に変更する加工を行って
屈曲振動の複数の腹位置における振幅を個別に調整する
ことにより、前記の２方向への相対運動の異方性を低減
又は解消することを特徴とする。

【００２０】請求項６の発明は、請求項５に記載された
振動アクチュエータの調整方法において、前記の加工
が、振動子の平面の一部への質量体の付加、及び／又
は、振動子の平面の一部からの質量体の削除であること
を特徴とする。

【００２１】また、上記の振動アクチュエータの調整方
法においては、電気機械変換素子が、振動子の一方の平
面に装着されるとともに、振動子が、他方の平面に形成
された駆動力取出部を介して相対運動部材に加圧接触
し、さらに、前記の加工が、他方の平面に対して行われ
ることが望ましい。

【００２２】さらに、上記の振動アクチュエータの調整
方法においては、電気機械変換素子が振動子に発生する
屈曲振動の腹位置を含む位置に装着されるとともに、前
記の加工が前記の位置に対して行われることが望まし
い。

【００２３】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下、本発明にかかる振動アクチュエ
ータの実施形態を添付図面を参照しながら詳細に説明す
る。なお、以降の各実施形態の説明は、振動アクチュエ
ータとして超音波の振動域を利用する超音波アクチュエ
ータを例にとって、行う。

【００２４】図１は、第１実施形態の超音波アクチュエ
ータ１０を示す説明図であり、図１（Ａ）は振動子１１
の斜視図、図１（Ｂ）は組み立てたままの振動子１１の
側面図、図１（Ｃ）は、弾性体１２に金属板１５を装着
した本実施形態の振動子１１を、弾性体１２に発生する
屈曲振動の状態とともに示す側面図、図１（Ｄ）は振動
子１１の底面図である。なお、図１（Ｂ）及び図１
（Ｃ）における矢印は、それぞれの方向に関する相対運
動部材との間の相対速度の大きさを矢印で示す。

【００２５】本実施形態の振動子１１は、前述した図４
を参照しながら説明した従来の振動アクチュエータと略
同じ構造であるため、ここでは、簡単に説明する。本実
施形態で用いる振動子１１は、弾性体１２と、この弾性
体１２の一方の平面１２ａに装着された圧電体１３とを
備える。

【００２６】弾性体１２は、金属材料又はプラスチック
材料等の弾性材料により、矩形平板状に形成される。弾
性体１２の寸法は、弾性体１２に発生させる縦振動及び
屈曲振動それぞれのモード等を勘案して、適宜決定され
る。なお、弾性体１２の側面長手方向中央部には、その
厚さ方向に向けて、断面半円形の溝部１２ｃ，１２ｄが
設けられており、これらの溝部１２ｃ，１２ｄに図示し
ない支持部材の支持ピンを係合させることにより、駆動
時の振動子１１が支持される。

【００２７】圧電体１３は、本実施形態では、振動発生
用圧電体１３ａ，１３ｂと振動検出用圧電体１３ｐ，１
３ｐ’とにより、構成される。各圧電体１３ａ〜１３
ｐ’は、それぞれ、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）に
より薄板状に形成される。

【００２８】本実施形態では、各圧電体１３ａ〜１３
ｐ’は、弾性体１２の一方の平面１２ａに接着されるこ
とにより装着される。図１（Ｃ）に示すように、各圧電
体１３ａ〜１３ｐ’は、それらの振動子長手方向に関す
る中心位置が、弾性体１２に発生する４次の屈曲振動の
腹位置Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃及びＰ₄に略一致する位置に、
貼付される。

【００２９】また、図１（Ｃ）及び図１（Ｄ）に示すよ
うに、弾性体１２の他方の平面１２ｂであって、発生す
る４次の屈曲振動の腹位置Ｐ₃，Ｐ₄に略一致する位置
に、それぞれ２枚ずつ合計４枚の駆動力取出部１４ａ，
１４ｂ，１４ｃ及び１４ｄが設けられる。

【００３０】さらに、本実施形態の振動子１１では、弾
性体１２の他方の平面１２ｂであって、４次の屈曲振動
の腹位置Ｐ₁に略一致する位置に、屈曲振動振幅調整部
である金属板１５が貼付されて装着される。金属板１５
は、質量体として利用されるものであるため、特定の材
質等に限定する必要はない。

【００３１】本実施形態で用いる振動子１１は、以上の
ように構成される。図２は、本実施形態の超音波アクチ
ュエータ１０の駆動回路２０を示すブロック図である。

【００３２】同図に示すように、発振器２１から出力さ
れた駆動信号のうちの一方は、増幅器２２を介して増幅
され、振動発生用圧電体１３ｂに入力される。一方、駆
動信号のうちの他方は、移相器２３に入力されて一方の
駆動信号とは位相を９０度程変換されて増幅器２４に入
力される。増幅器２４により増幅されて、振動発生用圧
電体１３ａに入力される。

【００３３】互いに９０度程位相が異なる二つの駆動信
号が入力された振動発生用圧電体１３ａ，１３ｂは励振
し、弾性体１２に縦振動及び屈曲振動を調和的に発生す
る。弾性体１２に発生した縦振動及び屈曲振動により、
弾性体１２に貼付された振動検出用圧電体１３ｐ，１３
ｐ’に電気エネルギが発生し、発生した電気エネルギは
電気信号として制御回路２５に入力される。

【００３４】制御回路２５では、検出した電気信号が適
正であるか否かを判断し、この結果に基づいて、発振器
２１にフィードバック信号を出力する。これにより、発
振器２１から出力される駆動信号が適正化される。な
お、弾性体１２はＧＮＤ電位に接続される。

【００３５】このように構成された本実施形態の超音波
アクチュエータ１０では、振動発生用圧電体１３ａ，１
３ｂに電気的に位相の異なる交流電圧を２相印加するこ
とにより、弾性体１２の駆動力取出部１４ａ〜１４ｄの
端面に楕円運動を発生させる。駆動力取出部１４ａ〜１
４ｄの端面は、レールやローラ等の相対運動部材に加圧
接触させられるため、相対運動部材との間で相対運動を
発生し、駆動力が取り出される。なお、駆動力取出部１
４ａ〜１４ｄは、突起状に弾性体１２と一体的に形成さ
れていてもよいが、突起状には形成せずにこの位置に摺
動材を貼付することにより平面状に形成してもよい。平
面状であっても、この位置で発生する楕円運動により、
加圧接触する相対運動部材との間で、相対運動を発生す
る。

【００３６】次に、本実施形態により、振動子１１に発
生する相対運動の左右差が解消又は制限される理由を説
明する。図１（Ｂ）に示すように、組み立てたままの状
態の振動子１１において、右方向への相対速度Ｖ_Rの大
きさと左方向への相対速度Ｖ_Lの大きさとが一致せず
に、相対速度Ｖ_R＞相対速度Ｖ_Lであったとする。

【００３７】ここで、本実施形態の超音波アクチュエー
タ１０では、振動子１１が図面上の右方向に移動する場
合には、振動発生用圧電体１３ａが発生する振動のほう
が、振動発生用圧電体１３ｂが発生する振動よりも、振
動子１１の移動には直接的に影響する。逆に、振動子１
１が図面上の左方向に移動する場合には、振動発生用圧
電体１３ｂが駆動力の主たる源となる。すなわち、超音
波アクチュエータ１０では、駆動方向に関して後方に位
置する駆動力取出部が駆動力の大部分を発揮し、駆動方
向に関して前方に位置する駆動力取出部はほぼ空振りし
た状態である。

【００３８】したがって、図１（Ｂ）に示すように、振
動子１１の相対速度が、相対速度Ｖ_R＞相対速度Ｖ_Lで
あることは、振動発生用圧電体１３ａによって発生する
振動のほうが、振動発生用圧電体１３ｂが発生する振動
よりも大きいことを意味する。このような振動発生用圧
電体１３ａ，１３ｂ間のばらつきは、前述したように、
振動発生用圧電体１３ａ，１３ｂが有する圧電特性のば
らつきや、弾性体１２への振動発生用圧電体１３ａ，１
３ｂの接着位置ずれ、さらには弾性体１２の非対称性等
によって、発生する。

【００３９】そこで、本実施形態では、他方の平面１２
ｂであって振動発生用圧電体１３ａの真下（４次の屈曲
振動の腹位置Ｐ₁に一致する位置）に、屈曲振動振幅調
整部である金属片１５等の質量体を付加することによっ
て、振動発生用圧電体１３ｂによって発生する振動振幅
を小さくする。これにより、振動発生用圧電体１３ａ，
１３ｂによって発生する振動振幅が等しくなり、振動子
１１の相対速度の左右差が解消される。ここで、屈曲振
動振幅調整部は、弾性体１２に発生する４次の屈曲振動
の腹位置Ｐ₁近傍に設けることが、最も効果が大きい。

【００４０】なお、図１に示す場合とは逆に、組み立て
たままの振動子１１において、相対速度Ｖ_R＜相対速度
Ｖ_Lである場合には、超音波アクチュエータ１０の対称
軸（図１（Ｃ）における直線Ａ−Ａ）に関して実施形態
の場合とは逆の位置となる腹位置Ｐ₂の近傍に、屈曲振
動振幅調整部である金属片１５を装着すればよい。

【００４１】（第２実施形態）以下、本発明の第２実施
形態を説明する。なお、本実施形態では、第１実施形態
と相違する部分についてだけ説明することとし、同一の
部分については、同一の図中符号を付すことにより、重
複する説明を省略する。

【００４２】図３は、第２実施形態の超音波アクチュエ
ータ１０−１を示す説明図であり、図３（Ａ）は組み立
てたままの振動子１１−１の側面図、図３（Ｂ）は、弾
性体１２−１に屈曲振動振幅調整部である穴部１６を形
成した本実施形態の振動子１１−１を、弾性体１２−１
に発生する屈曲振動の状態とともに示す側面図である。
なお、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）における矢印は、それ
ぞれの方向に関する相対運動部材との間の相対速度を、
矢印の大きさで示す。

【００４３】第１実施形態は、弾性体の一部に質量体を
付加することにより、屈曲振動振幅を調整するものであ
るが、本実施形態は、弾性体の一部に切削加工等の適宜
加工を行うことにより、質量体除去部である穴部１６を
形成して同様の効果を得るものである。

【００４４】本実施形態では、弾性体１２−１の他方の
平面１２ｂであって、弾性体１２ｂに発生する４次の屈
曲振動の腹位置Ｐ₂に、前述した穴部１６を形成する。

【００４５】穴部１６の形成位置は、第１実施形態と同
様に、完全に腹位置に一致させる必要があるものではな
く、多少ずれた位置に装着することとしてもよい。ただ
し、４次の屈曲振動の腹位置に一致させることが、屈曲
振動振幅の調整という観点からは、最も効果が大きいた
めに望ましい。

【００４６】なお、振動子１１−１に発生する相対速度
の左右差が、図３（Ａ）に示す場合とは逆に発生する場
合には、超音波アクチュエータ１０−１の対称軸（図３
（Ｂ）中における直線Ａ−Ａ）に関して、本実施形態の
場合と逆の位置となる腹位置Ｐ₁に屈曲振動振幅調整部
を形成すればよい。

【００４７】本実施形態において、振動子１１−１の相
対速度の左右差が調整されることは、以下のように説明
される。図３（Ａ）に示すように相対速度の左右差が発
生することは、前述したように、振動発生用圧電体１３
ａによって発生する振動のほうが、振動発生用圧電体１
３ｂによって発生する振動よりも大きいことを意味す
る。

【００４８】したがって、振動子１１−１の他方の平面
１２ｂであって振動発生用圧電体１３ｂの真下（４次の
屈曲振動の腹位置Ｐ₂）を削ることにより、振動発生用
圧電体１３ｂによって発生する振動を大きくし、これに
より、振動発生用圧電体１３ａ，１３ｂによって発生す
る振動成分を等しくすることが可能となる。このように
して、相対速度の左右差が解消される。

【００４９】（変形形態）以上の各実施形態の説明で
は、振動アクチュエータとして超音波の振動域を利用す
る超音波アクチュエータを例にとったが、本発明にかか
る振動アクチュエータはこのような態様に限定されるも
のではなく、他の振動域を利用した振動アクチュエータ
についても等しく適用される。

【００５０】また、以上の各実施形態では、１次の縦振
動と４次の屈曲振動とを用いた振動アクチュエータを例
にとったが、本発明にかかる振動アクチュエータはこの
ような態様に限定されるものではなく、１次以上の縦振
動と１次以上の屈曲振動とを用いる振動アクチュエータ
に関して、各実施形態と同様の手段を用いることによ
り、相対速度の異方性を調整することが可能である。

【００５１】また、以上の各実施形態の説明では、電気
機械変換素子として圧電体を用いたが、本発明にかかる
振動アクチュエータはこのような態様に限定されるもの
ではなく、電気エネルギを機械的変位に変換することが
できる素子であればよい。圧電体以外に、電歪素子を例
示できる。

【００５２】また、各実施形態の説明では、振動子に発
生する屈曲振動の腹位置に、その中心位置を一致させて
屈曲振動振幅調整部を形成したが、本発明にかかる振動
アクチュエータでは、このように完全に一致させる必要
はない。屈曲振動振幅調整部の振動子長手方向に関する
中心が、屈曲振動の腹位置からずれていても、屈曲振動
の振幅を調整することができる。ただし、屈曲振動振幅
調整部として同一の質量体を用いる場合には、中心位置
を屈曲振動の腹位置に一致させて装着したほうが屈曲振
動振幅の調整量が大きく、望ましい。

【００５３】また、各実施形態の説明では、振動子の他
方の平面に屈曲振動振幅調整部を形成したが、圧電体１
３の装着面側に屈曲振動振幅調整部を形成するようにし
てもよい。この場合、圧電体１３と干渉しない位置に屈
曲振動振幅調整部を形成すればよい。例えば、平面と側
面との交差部に斜めに屈曲振動振幅調整部を形成しても
よい。

【００５４】また、各実施形態では、直方体型の屈曲振
動振幅調整部を形成したが、本発明にかかる振動アクチ
ュエータはこのような態様に限定されるものではなく、
弾性体の等価厚さを部分的に変更することができる形状
であれば、特定の形状には限定されない。直方体以外
に、円柱型や角錐型を例示できる。

【００５５】さらに、第１実施形態では質量体を付加す
る態様を示し、第２実施形態では質量体を除去する態様
を示したが、これらを併せて行ってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の超音波アクチュエータを示す説
明図であり、図１（Ａ）は振動子の斜視図、図１（Ｂ）
は組み立てたままの振動子の側面図、図１（Ｃ）は、弾
性体に金属板を装着した本実施形態の振動子を、弾性体
に発生する屈曲振動の状態とともに示す側面図、図１
（Ｄ）は振動子の底面図である。

【図２】第１実施形態の超音波アクチュエータの駆動回
路を示すブロック図である。

【図３】第２実施形態の超音波アクチュエータを示す説
明図であり、図３（Ａ）は組み立てたままの振動子の側
面図、図３（Ｂ）は、弾性体に屈曲振動振幅調整部であ
る穴部を形成した本実施形態の振動子を、弾性体に発生
する屈曲振動の状態とともに示す側面図である。

【図４】異形モード縮退縦Ｌ１−屈曲Ｂ４モード・平板
モータ（振動アクチュエータ）１の従来例を示す模式図
であって、図４（Ａ）は正面図，図４（Ｂ）は側面図，
図４（Ｃ）は平面図である。

【符号の説明】

１０超音波アクチュエータ１１振動子１２弾性体１３圧電体１３ａ，１３ｂ振動発生用圧電体１３ｐ，１３ｐ’ 振動検出用圧電体１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ駆動力取出部１５金属板２０駆動回路２１発振器２２増幅器２３移相器２４増幅器２５制御回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電気機械変換素子が接合されて、伸縮振
動と屈曲振動とを発生する直方体状の振動子と，前記振
動子に加圧接触して、少なくとも２方向への相対運動を
発生する相対運動部材とを備える振動アクチュエータで
あって、前記振動子における前記屈曲振動の複数の腹位置の全部
又は一部には、前記振動子の等価厚さを部分的に変更し
て前記２方向への前記相対運動の異方性を低減又は解消
する屈曲振動振幅調整部が、形成されることを特徴とす
る振動アクチュエータ。
【請求項２】請求項１に記載された振動アクチュエー
タにおいて、前記屈曲振動振幅調整部は、前記振動子の平面の一部へ
質量体を付加すること、及び／又は、前記振動子の平面
の一部から質量体を削除することにより、形成されるこ
とを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載された振動
アクチュエータにおいて、２枚の前記電気機械変換素子は、前記振動子の一方の平
面に装着されるとともに、前記振動子は、他方の平面に形成された駆動力取出部を
介して前記相対運動部材に加圧接触し、さらに、前記屈曲振動振幅調整部は、前記他方の平面に形成され
ることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】請求項３に記載された振動アクチュエー
タにおいて、２枚の前記電気機械変換素子は前記振動子に発生する前
記屈曲振動の腹位置を含む位置に装着されるとともに、
前記加工は前記位置に対して行われることを特徴とする
振動アクチュエータ。
【請求項５】直方体状の振動子に装着された電気機械
変換素子に駆動信号を印加して、前記振動子に伸縮振動
と屈曲振動とを発生させて、前記振動子に加圧接触する
相対運動部材との間で少なくとも２方向への相対運動を
発生する振動アクチュエータの調整方法であって、前記振動子に等価厚さを部分的に変更する加工を行って
前記屈曲振動の複数の腹位置における振幅を個別に調整
することにより、前記２方向への前記相対運動の異方性
を低減又は解消することを特徴とする振動アクチュエー
タの調整方法。
【請求項６】請求項５に記載された振動アクチュエー
タの調整方法において、前記加工は、前記振動子の平面の一部への質量体の付
加、及び／又は、前記振動子の平面の一部からの質量体
の削除であることを特徴とする振動アクチュエータの調
整方法。