JPH10189613A - 恒温槽の温度制御装置 - Google Patents
恒温槽の温度制御装置Info
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- JPH10189613A JPH10189613A JP34811196A JP34811196A JPH10189613A JP H10189613 A JPH10189613 A JP H10189613A JP 34811196 A JP34811196 A JP 34811196A JP 34811196 A JP34811196 A JP 34811196A JP H10189613 A JPH10189613 A JP H10189613A
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- JP
- Japan
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- air
- temperature
- temperature control
- rack
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Abstract
(57)【要約】
【課題】温度管理が均一かつ正確に行うことが容易にで
き、バーンインテストやスクリーニング、エージング等
の検査を精度よく行うことが可能で、コスト的にも実用
上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供しようとする
ものである。 【解決手段】恒温槽内においてワークを多段に設置する
ためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワーク保持
手段の上部もしくは側面から多段に設置したワークの各
間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段から送り出
されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類で温度管
理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の端部に設
置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順次エアの
流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段とを備え
たことを特徴とする。
き、バーンインテストやスクリーニング、エージング等
の検査を精度よく行うことが可能で、コスト的にも実用
上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供しようとする
ものである。 【解決手段】恒温槽内においてワークを多段に設置する
ためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワーク保持
手段の上部もしくは側面から多段に設置したワークの各
間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段から送り出
されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類で温度管
理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の端部に設
置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順次エアの
流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段とを備え
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は恒温槽の温度制御
装置に関するものであり、特に温度管理が均一かつ正確
に行うことが容易にでき、コスト的にも実用上問題のな
い恒温槽の温度制御装置を提供するものである。
装置に関するものであり、特に温度管理が均一かつ正確
に行うことが容易にでき、コスト的にも実用上問題のな
い恒温槽の温度制御装置を提供するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、回路素子を搭載したプリント配線
ボードや試験用ソケットボードのソケットに装着した回
路素子に電流や信号を加えて、不良品を検査するための
バーンインテストやスクリーニング、エージング等を行
うバーンイン装置等には恒温槽が使用されている。この
恒温槽内に保持した多数のプリント配線ボードや試験用
ソケットボードの温度制御は、これらのワークを保持す
るラックの側面にパンチングボード等を設置し、ここか
ら所定の温度にコントロールしたエアを送風することに
より温度の均一化を図るようになっていた。
ボードや試験用ソケットボードのソケットに装着した回
路素子に電流や信号を加えて、不良品を検査するための
バーンインテストやスクリーニング、エージング等を行
うバーンイン装置等には恒温槽が使用されている。この
恒温槽内に保持した多数のプリント配線ボードや試験用
ソケットボードの温度制御は、これらのワークを保持す
るラックの側面にパンチングボード等を設置し、ここか
ら所定の温度にコントロールしたエアを送風することに
より温度の均一化を図るようになっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
パンチングボード等による温度コントロールにおいて
は、パンチングボード等の位置においてエアの流れが停
滞したり、それによってエアの温度にムラが生じて、温
度の均一化や正確な温度管理ができなくなったりすると
いう欠点があった。
パンチングボード等による温度コントロールにおいて
は、パンチングボード等の位置においてエアの流れが停
滞したり、それによってエアの温度にムラが生じて、温
度の均一化や正確な温度管理ができなくなったりすると
いう欠点があった。
【０００４】また、パンチングボード等の小孔に塵埃が
蓄積し、バーンインテストやスクリーニング、エージン
グ等の検査において、その塵埃が上記エアの流れへの影
響以外にも種々の悪影響を及ぼすという問題があった。
蓄積し、バーンインテストやスクリーニング、エージン
グ等の検査において、その塵埃が上記エアの流れへの影
響以外にも種々の悪影響を及ぼすという問題があった。
【０００５】この発明は従来例の上記欠点を解消しよう
とするもので、温度管理が均一かつ正確に行うことが容
易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エージ
ング等の検査を精度よく行うことが可能で、コスト的に
も実用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供しよう
とするものである。
とするもので、温度管理が均一かつ正確に行うことが容
易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エージ
ング等の検査を精度よく行うことが可能で、コスト的に
も実用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供しよう
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわちこの発明の恒温
槽の温度制御装置は、恒温槽内においてワークを多段に
設置するためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワ
ーク保持手段の上部もしくは側面から多段に設置したワ
ークの各間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段か
ら送り出されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類
で温度管理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の
端部に設置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順
次エアの流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段
とを備えたことを特徴とするものである。
槽の温度制御装置は、恒温槽内においてワークを多段に
設置するためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワ
ーク保持手段の上部もしくは側面から多段に設置したワ
ークの各間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段か
ら送り出されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類
で温度管理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の
端部に設置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順
次エアの流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段
とを備えたことを特徴とするものである。
【０００７】またこの発明の恒温槽の温度制御装置は、
上記ワーク保持手段が、ワークを所定の間隔で保持する
ラックからなり、このラック側面にワーク間の間隙に対
してエアを導入する開口を形成するとともに、ラックを
延長してエア導入手段としてなることをも特徴としてい
る。
上記ワーク保持手段が、ワークを所定の間隔で保持する
ラックからなり、このラック側面にワーク間の間隙に対
してエアを導入する開口を形成するとともに、ラックを
延長してエア導入手段としてなることをも特徴としてい
る。
【０００８】この発明の恒温槽の温度制御装置は、上記
ラックからなるワーク保持手段が恒温槽内に所定の間隔
で複数設置されており、各ワーク保持手段間をエアガイ
ド手段で連結してなることをも特徴としている。
ラックからなるワーク保持手段が恒温槽内に所定の間隔
で複数設置されており、各ワーク保持手段間をエアガイ
ド手段で連結してなることをも特徴としている。
【０００９】この発明の恒温槽の温度制御装置は、上記
送風手段が、送風ファンからなることをも特徴としてい
る。
送風手段が、送風ファンからなることをも特徴としてい
る。
【００１０】この発明の恒温槽の温度制御装置は、上記
エア導入手段が、徐々に先端をエアの流れに対して突き
出させ、遮る面積を広げていくようにしてなることをも
特徴としている。
エア導入手段が、徐々に先端をエアの流れに対して突き
出させ、遮る面積を広げていくようにしてなることをも
特徴としている。
【００１１】この発明の恒温槽の温度制御装置を採用す
ることにより、温度管理が均一かつ正確に行うことが容
易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エージ
ング等の検査を精度よく行うことが可能となった。
ることにより、温度管理が均一かつ正確に行うことが容
易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エージ
ング等の検査を精度よく行うことが可能となった。
【００１２】また、この発明の恒温槽の温度制御装置は
構造が簡単で、維持管理が容易であり、コスト的にも実
用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供することが
できるようになった。
構造が簡単で、維持管理が容易であり、コスト的にも実
用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供することが
できるようになった。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいてこの発明の
恒温槽の温度制御装置の実施の形態を詳細に説明する。
恒温槽の温度制御装置の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】図１および図２はこの発明の恒温槽の温度
制御装置の一実施例を示すもので、いまだワーク保持手
段が収納されていない状態を示している。図において４
１はバーンインテストやスクリーニング、エージング等
の検査を行うための恒温槽である。この恒温槽４１の上
部には、モータ４２や空気の給排気を行うエアチャンバ
４３，４４，４５を設置した副室４６が、またその側方
には制御機器の収納室４７が設けられている。
制御装置の一実施例を示すもので、いまだワーク保持手
段が収納されていない状態を示している。図において４
１はバーンインテストやスクリーニング、エージング等
の検査を行うための恒温槽である。この恒温槽４１の上
部には、モータ４２や空気の給排気を行うエアチャンバ
４３，４４，４５を設置した副室４６が、またその側方
には制御機器の収納室４７が設けられている。
【００１５】そして上記第１のエアチャンバ４３および
第２のエアチャンバ４４は、それぞれ恒温槽４１内と外
気とを連通することができるようになっており、第３の
エアチャンバ４５は恒温槽４１内と副室４６とを連通さ
せることができるようになっている。また、上記モータ
４２に取り付けられた送風ファン４８からなる送風手段
と、温度調節手段を構成するヒータ類４９とが、上記恒
温槽４１内に配置されている。
第２のエアチャンバ４４は、それぞれ恒温槽４１内と外
気とを連通することができるようになっており、第３の
エアチャンバ４５は恒温槽４１内と副室４６とを連通さ
せることができるようになっている。また、上記モータ
４２に取り付けられた送風ファン４８からなる送風手段
と、温度調節手段を構成するヒータ類４９とが、上記恒
温槽４１内に配置されている。
【００１６】図において５０はワーク１１の端子をはめ
込むソケット、５１はワーク保持手段の収納スペースに
近接して設けた耐熱素材製のフィン１２からなるエア導
入手段である。なおこの耐熱フィン１２は、ワーク保持
手段とは別途に形成されている。
込むソケット、５１はワーク保持手段の収納スペースに
近接して設けた耐熱素材製のフィン１２からなるエア導
入手段である。なおこの耐熱フィン１２は、ワーク保持
手段とは別途に形成されている。
【００１７】図３ないし図５は同様にこの発明の恒温槽
の温度制御装置の他の実施例を示すもので、図において
１はバーンインテストやスクリーニング、エージング等
の検査を行うための恒温槽である。この恒温槽１の上部
には、モータ２や空気の給排気を行うエアチャンバ３，
２３，３３を設置した副室４が設けられ、第１のエアチ
ャンバ３および第２のエアチャンバ２３は、それぞれ恒
温槽１内と外気とを連通することができるようになって
おり、第３のエアチャンバ２３は恒温槽１内と副室４と
を連通させることができるようになっている。また、上
記モータ２に取り付けられた送風ファン５からなる送風
手段が恒温槽１内に配置されている。
の温度制御装置の他の実施例を示すもので、図において
１はバーンインテストやスクリーニング、エージング等
の検査を行うための恒温槽である。この恒温槽１の上部
には、モータ２や空気の給排気を行うエアチャンバ３，
２３，３３を設置した副室４が設けられ、第１のエアチ
ャンバ３および第２のエアチャンバ２３は、それぞれ恒
温槽１内と外気とを連通することができるようになって
おり、第３のエアチャンバ２３は恒温槽１内と副室４と
を連通させることができるようになっている。また、上
記モータ２に取り付けられた送風ファン５からなる送風
手段が恒温槽１内に配置されている。
【００１８】また上記恒温槽１内には、回路素子を搭載
したプリント配線ボードや試験用ソケットボードからな
るワーク１１を多段に設置するためのワーク保持手段が
収納されている。このワーク保持手段は、図では恒温槽
１内に着脱可能に収納したラック６であり、所定の間隔
で左右に一対配置されていて、キャスタ７で搬送できる
ようになっている。またこのラック６は前面にはワーク
１１を挿抜するための開口８が形成されており、同様に
側面にも送風ファン５からのエア流を通過させる開口９
が形成されている。２１はこの開口９の間に配設された
ワーク１１を挿入するためのスライドガイドで、ラック
６に開口９をプレス加工等により打ち抜く際に、開口９
に該当する部分をラック６内に折り曲げ、溝状に加工し
て形成したものである。
したプリント配線ボードや試験用ソケットボードからな
るワーク１１を多段に設置するためのワーク保持手段が
収納されている。このワーク保持手段は、図では恒温槽
１内に着脱可能に収納したラック６であり、所定の間隔
で左右に一対配置されていて、キャスタ７で搬送できる
ようになっている。またこのラック６は前面にはワーク
１１を挿抜するための開口８が形成されており、同様に
側面にも送風ファン５からのエア流を通過させる開口９
が形成されている。２１はこの開口９の間に配設された
ワーク１１を挿入するためのスライドガイドで、ラック
６に開口９をプレス加工等により打ち抜く際に、開口９
に該当する部分をラック６内に折り曲げ、溝状に加工し
て形成したものである。
【００１９】上記開口９部分にはラック６と一体的に形
成した耐熱素材製のフィン１２からなるエア導入手段が
配置されている。この耐熱フィン１２は送風ファン５か
らのエア流を徐々に分流させるようになっており、エア
流の初期段階ではエア流の端部に、そして順次エア流を
遮るようにラック６側面の開口９から順次長さを変えて
多段に張り出している。なお、その先端には上記エア流
をすくい取るように上向きに屈曲片１３が形成してあ
り、側面にはエア流が逃げないように側壁１４が立設し
てある。
成した耐熱素材製のフィン１２からなるエア導入手段が
配置されている。この耐熱フィン１２は送風ファン５か
らのエア流を徐々に分流させるようになっており、エア
流の初期段階ではエア流の端部に、そして順次エア流を
遮るようにラック６側面の開口９から順次長さを変えて
多段に張り出している。なお、その先端には上記エア流
をすくい取るように上向きに屈曲片１３が形成してあ
り、側面にはエア流が逃げないように側壁１４が立設し
てある。
【００２０】上記送風ファン５からなる送風手段は、恒
温槽１内においてラック６の上部から多段に設置したワ
ーク１１の各間隙にエアを送り込むようになっている。
すなわち、モータ２の回転軸が垂直で、水平に回転する
送風ファン５から送り出されるエアは、複数並設した屈
曲させたエアガイド１５を経てラック６の側方に送り込
まれる。その際、ラック６側面の開口９から張り出した
耐熱フィン１２が、エア流を順次すくい取って多段に設
置したワーク１１の各間隙にエアを送り込むのである。
温槽１内においてラック６の上部から多段に設置したワ
ーク１１の各間隙にエアを送り込むようになっている。
すなわち、モータ２の回転軸が垂直で、水平に回転する
送風ファン５から送り出されるエアは、複数並設した屈
曲させたエアガイド１５を経てラック６の側方に送り込
まれる。その際、ラック６側面の開口９から張り出した
耐熱フィン１２が、エア流を順次すくい取って多段に設
置したワーク１１の各間隙にエアを送り込むのである。
【００２１】上記第１のラック６内のワーク１１の各間
隙に送り込まれたエアは、左右に一対のラック６の中間
に差し渡した水平エアガイド１６を介して、第２のラッ
ク６内のワーク１１の各間隙に送り込まれ、排気通路１
７から上記エアチャンバ３を通って恒温槽１の外部に排
出される。もしこの水平エアガイド１６がない場合に
は、一対のラック６間でエア流が滞留してしまい、第１
のラック６内の温度が上昇して温度管理ができなくなっ
てしまうおそれがある。
隙に送り込まれたエアは、左右に一対のラック６の中間
に差し渡した水平エアガイド１６を介して、第２のラッ
ク６内のワーク１１の各間隙に送り込まれ、排気通路１
７から上記エアチャンバ３を通って恒温槽１の外部に排
出される。もしこの水平エアガイド１６がない場合に
は、一対のラック６間でエア流が滞留してしまい、第１
のラック６内の温度が上昇して温度管理ができなくなっ
てしまうおそれがある。
【００２２】１８は排気通路１７のエア流を制御するエ
アダンパ、１９はエアダンパ１８を駆動するためのソレ
ノイドやモータ類からなるエアダンパ駆動装置である。
アダンパ、１９はエアダンパ１８を駆動するためのソレ
ノイドやモータ類からなるエアダンパ駆動装置である。
【００２３】図中２０は温度調節手段を構成するヒータ
類で、このヒータ類２０は恒温槽１内のラック６の上部
に配置されている。そして、送風ファン５から送り出さ
れるエアの温度を恒温槽１内の適所に複数配置したセン
サ（図示せず）で検知して、上記ヒータ類２０の温度を
制御して温度管理するようになっている。
類で、このヒータ類２０は恒温槽１内のラック６の上部
に配置されている。そして、送風ファン５から送り出さ
れるエアの温度を恒温槽１内の適所に複数配置したセン
サ（図示せず）で検知して、上記ヒータ類２０の温度を
制御して温度管理するようになっている。
【００２４】上記ヒータ類２０で昇温されたエアは、第
３のエアチャンバ３３を介して副室４内に送り込まれ、
第３のエアチャンバ２３から送風ファン５の前面のエア
ガイド１５部位に送り込まれるようになっている。
３のエアチャンバ３３を介して副室４内に送り込まれ、
第３のエアチャンバ２３から送風ファン５の前面のエア
ガイド１５部位に送り込まれるようになっている。
【００２５】この発明の恒温槽の温度制御装置は以上の
ように構成されているので、ヒータ類２０で加熱したエ
アを送風ファン５で屈曲エアガイド１５を経てラック６
の側方に送り込む。するとラック６側面の開口９から張
り出した耐熱フィン１２が、エア流を順次すくい取って
多段に設置したワーク１１の各間隙にエアを送り込むこ
とができる。
ように構成されているので、ヒータ類２０で加熱したエ
アを送風ファン５で屈曲エアガイド１５を経てラック６
の側方に送り込む。するとラック６側面の開口９から張
り出した耐熱フィン１２が、エア流を順次すくい取って
多段に設置したワーク１１の各間隙にエアを送り込むこ
とができる。
【００２６】そのときエア流は、ラック６側面の開口９
から順次長さを変えて多段に張り出した耐熱フィン１２
により順次すくい取られる。そして上方では流速の早い
エア流が少量すくい取られ、下方に行くにしたがって流
速の遅いエアが、順次多くすくい取られるので、ワーク
１１に加えられる熱量はほぼ均一となって、ワーク１１
に対してバーンインテストやスクリーニング、エージン
グ等の検査を精度よく行うことができる。
から順次長さを変えて多段に張り出した耐熱フィン１２
により順次すくい取られる。そして上方では流速の早い
エア流が少量すくい取られ、下方に行くにしたがって流
速の遅いエアが、順次多くすくい取られるので、ワーク
１１に加えられる熱量はほぼ均一となって、ワーク１１
に対してバーンインテストやスクリーニング、エージン
グ等の検査を精度よく行うことができる。
【００２７】もちろん、バーンインテストやスクリーニ
ング、エージング等の検査中は、ヒータ類２０で送風フ
ァン５から送り出されるエアの温度を、恒温槽１内の適
所に複数配置したセンサで検知してヒータ類２０の制御
機器にフィードバックさせ、上記ヒータ類２０の温度を
制御して温度管理することが必要である。
ング、エージング等の検査中は、ヒータ類２０で送風フ
ァン５から送り出されるエアの温度を、恒温槽１内の適
所に複数配置したセンサで検知してヒータ類２０の制御
機器にフィードバックさせ、上記ヒータ類２０の温度を
制御して温度管理することが必要である。
【００２８】上記実施例においては、エア導入手段をラ
ック６に直接形成する例について説明したが、恒温槽１
の内壁にエア導入手段の保持機構を設けてエア導入手段
をラック６とは別に形成してもよい。この場合にはラッ
ク６の加工が難しくなく、ラック６の取扱いも従来通り
でよいので便利である。
ック６に直接形成する例について説明したが、恒温槽１
の内壁にエア導入手段の保持機構を設けてエア導入手段
をラック６とは別に形成してもよい。この場合にはラッ
ク６の加工が難しくなく、ラック６の取扱いも従来通り
でよいので便利である。
【００２９】なお上記実施例においては、ラック６をワ
ーク１１を上下に多段に保持するものとして説明した
が、ワーク１１を垂直に保持する形式のものであっても
よいことはもちろんである。
ーク１１を上下に多段に保持するものとして説明した
が、ワーク１１を垂直に保持する形式のものであっても
よいことはもちろんである。
【００３０】
【発明の効果】この発明の恒温槽の温度制御装置を採用
することにより、温度管理が均一かつ正確に行うことが
容易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エー
ジング等の検査を精度よく行うことが可能となった。
することにより、温度管理が均一かつ正確に行うことが
容易にでき、バーンインテストやスクリーニング、エー
ジング等の検査を精度よく行うことが可能となった。
【００３１】また、この発明の恒温槽の温度制御装置は
構造が簡単で、維持管理が容易であり、コスト的にも実
用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供することが
できるようになった。
構造が簡単で、維持管理が容易であり、コスト的にも実
用上問題のない恒温槽の温度制御装置を提供することが
できるようになった。
【図１】この発明の恒温槽の温度制御装置の一実施例を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図２】その縦断面図である。
【図３】この発明の恒温槽の温度制御装置の他の実施例
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図４】その要部拡大断面図である。
【図５】その側面図である。
１ 恒温槽 ２ モータ ３，２３，３３ エアチャンバ ４ 副室 ５ 送風ファン ６ ラック ７ キャスタ ８，９ 開口 １１ ワーク １２ 耐熱フィン １３ 屈曲片 １４ 側壁 １５ 屈曲エアガイド １６ 水平エアガイド １７ 排気通路 １８ エアダンパ １９ エアダンパ駆動装置 ２０ ヒータ類 ２１ スライドガイド ４１ 恒温槽 ４２ モータ ４３，４４，４５ エアチャンバ ４６ 副室 ４７ 制御機器の収納室 ４８ 送風ファン ４９ ヒータ類 ５０ ソケット ５１ エア導入手段
Claims (5)
- 【請求項１】 恒温槽内においてワークを多段に設置す
るためのワーク保持手段と、恒温槽内においてワーク保
持手段の上部もしくは側面から多段に設置したワークの
各間隙にエアを送り込む送風手段と、送風手段から送り
出されるエアの温度をセンサで検知してヒータ類で温度
管理する温度調節手段と、ワークの各間隙部分の端部に
設置され、送風手段から遠ざかるにしたがって順次エア
の流れに大きく張り出すようにしたエア導入手段とを備
えたことを特徴とする恒温槽の温度制御装置。 - 【請求項２】 ワーク保持手段が、ワークを所定の間隔
で保持するラックからなり、このラック側面にワーク間
の間隙に対してエアを導入する開口を形成するととも
に、ラックを延長してエア導入手段としてなる請求項１
に記載の恒温槽の温度制御装置。 - 【請求項３】 ラックからなるワーク保持手段が恒温槽
内に所定の間隔で複数設置されており、各ワーク保持手
段間をエアガイド手段で連結してなる請求項１または２
に記載の恒温槽の温度制御装置。 - 【請求項４】 送風手段が、送風ファンからなる請求項
１ないし３のいずれかに記載の恒温槽の温度制御装置。 - 【請求項５】 エア導入手段が、徐々に先端をエアの流
れに対して突き出させ、遮る面積を広げていくようにし
てなる請求項１ないし４のいずれかに記載の恒温槽の温
度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34811196A JPH10189613A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 恒温槽の温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34811196A JPH10189613A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 恒温槽の温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189613A true JPH10189613A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18394822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34811196A Pending JPH10189613A (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 恒温槽の温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10189613A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009281676A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Espec Corp | 空調装置 |
| JP2011145187A (ja) * | 2010-01-15 | 2011-07-28 | Espec Corp | ダクトユニット及びこれを有する環境試験装置 |
| JP2019076566A (ja) * | 2017-10-26 | 2019-05-23 | エスペック株式会社 | 処理装置 |
-
1996
- 1996-12-26 JP JP34811196A patent/JPH10189613A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070123 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070319 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070730 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Effective date: 20070913 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20071101 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |