JPH10181853A - ワーク反転機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ターンテーブルの周辺に等角度間隔に配置し
たチャックにワークを保持する搬送装置でその保持方向
を反転させる際にターンテーブルの停止時間を短くす
る。 【解決手段】 主ターンテーブルのチャックに保持され
たワークの停止ポジションＰ５とＰ６との中点Ｃの対称
位置関係で二個の反転用チャック１２を備え、ワークの
反転動作に副ターンテーブル１１は停止ポジションＰ５
反転用チャック１２がワークを受け取り、主ターンテー
ブルのチャックが回転により停止ポジションＰ６に移動
するのに同期して１８０度回転して停止ポジションＰ６
にワークを移送する。反転用チャック１２は副ターンテ
ーブル１１に回転自在でカムレバー１３を一体に備え、
カムフォロア１５が外方に向くように付勢され周回状の
カム面１７に規制され，停止ポジションＰ５，Ｐ６にお
けるカムレバー１３の副ターンテーブル１１に対する角
度位置αとβとの差が回転角度θとなる角度補正機構を
備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はターンテーブルに
設けたチャックにワークを保持して間歇動で搬送して停
止中にワークに処理を行なうための搬送装置の搬送途中
で必要によりワークのチャック方向を反転するための機
構に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばある種の半導体素子の様に同一設
計で製造された製品の特性のバラツキが大きい場合これ
を選別して区分することが行なわれる。この場合Ａ，Ｂ
区分された半導体素子は用途や客先が異なるためにテー
ピング包装の向きを逆向きにすることを求められる場合
がある。この種の要求に対処する搬送装置とそれに付設
したワーク反転機構の従来例を図面を参照して説明す
る。図４はその要部のみを示す平面図である。この搬送
装置は垂直方向に設けた回転軸１の頂面にターンテーブ
ル２を備え一体に回転する。ターンテーブル２は周辺に
チャック例えば吸着ノズル３を吸着口を下方に向け回転
中心に同心円上に等角度間隔に複数（この場合は８個）
備える。そして、ターンテーブル２が所定の停止位置に
あるとき吸着ノズル３が所定の停止ポジションＰ１〜８
にある位置する。

【０００３】つぎにこの搬送装置の動作の説明を伴って
さらに詳細な構成を説明する。吸着ノズル３が停止する
ポジションＰ１には図示しない搬送装置で例えば樹脂モ
ールド型の半導体素子の様なワーク（図示せず）が順次
一定の方向に供給される。そこで、ワーク（図示せず）
を吸着ノズル３が吸着保持してターンテーブル２が間歇
的に回転してポジションＰ２，Ｐ３，・・・Ｐ８と順次
搬送する。そして、一例として停止ポジションＰ２には
図示しないリード整形器が配置されリードのホーミング
が行なわれる。停止ポジションＰ３には特性検査装置
（図示せず）が配置され、ここでワーク（図示せず）は
特性検査が行なわれ例えば特性区分Ａ，Ｂと不良品の３
区分に格付けされる。ポジションＰ４ではワークが不良
品であれば、吸着を開放してワーク（図示せず）を落下
させ、配置しているトレー（図示せず）に収容する。良
品（特定区分Ａ，Ｂ）は吸着保持を維持する。停止ポジ
ションＰ５ではワーク（図示せず）が一旦停止するだけ
で何も処理しない。停止ポジションＰ６には図５に示し
後述するワーク反転機構４が配置され、特性区分Ａのワ
ークは方向を反転後次に移動する。特性区分Ｂのワーク
は方向を変えることなく次に移動する。停止ポジション
Ｐ７では特性区分Ａのもののみテーピング装置の搬送機
構（図示せず）に引き渡す。Ｂ区分のワークは吸着ノズ
ル３に吸着されたまま次の停止ポジションＰ８へ搬送さ
れる。ポジションＰ８では残りの特性区分Ｂのものテー
ピング装置の搬送機構（図示せず）に引き渡される。

【０００４】次にワーク反転機構について説明する。図
２はその斜視図である。主ターンテーブル２の吸着ノズ
ル３の停止ポジションＰ６の下方にはワーク反転機構４
が配置され、ワーク反転機構４は、停止している吸着ノ
ズル３に対向してワーク反転チャック例えば吸着ノズル
４ａを上下動、回転動自在に備える。そして、吸着ノズ
ル３がワーク５を保持して停止ポジションＰ６に停止
し、そのワーク５が方向を反転させるもの（特性区分
Ａ）であれば、ワーク反転用の吸着ノズル４ａが上昇
し、ワーク５を吸着保持すると共に吸着ノズル３は吸着
を解放し、その後ワーク反転用の吸着ノズル４ａが降下
すると共に１８０度回転してワーク５を反転させ、再び
ワーク反転用吸着ノズル４ａが上昇してワーク５を吸着
ノズル３に引渡し、その後再度降下する。その後主ター
ンテーブル２が回転して次の停止ポジションＰ７にワー
ク５を搬送する。ワーク５が反転する必要の無いもので
あれば、吸着ノズル３は停止中も保持を維持し、そのま
まの姿勢でワークを次の停止ポジションＰ７へ搬送す
る。

【０００５】この搬送装置の搬送速度はポジション間を
ターンテーブル２が回転移動する時間と停止している時
間との和で決定し、停止している時間は各ポジションで
の処理に必要な時間の内で最も長い時間に決定してしま
う。従って、搬送速度を高めようとすると回転移動を速
くすることとは別に最も時間の掛かる停止ポジションの
作業時間を短くする必要がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この搬
送装置ではワーク反転機構４による反転動作は機械的な
動作であり、高速化には限度があり、この停止ポジショ
ンがターンテーブル２の停止の時間を決める場合も多々
ある。従って、ターンテーブルの停止時間の短いワーク
の反転機構が求められる。そこで、例えば停止ポジショ
ンＰ４から停止ポジションＰ６までの吸着ノズル３の移
動の間に吸着ノズル３をターンテーブル２に対して１８
０度回転させる様にすることが考えられる。しかしなが
ら、図５に示す吸着ノズル３は単純化して記載している
が、現実の搬送装置の吸着ノズルは各停止ポジションで
のワークの対する処理が多彩となっても対応できるよう
に上下動機構も備えるものでかなり複雑な構成であり、
さらに回転自在な構成とするとさらに複雑化し、搬送装
置が高価となるのみならずターンテーブル２の質量が大
きくなり（慣性が大きくなり）、ターンテーブル２の回
転速度の高速化の妨げになる。

【０００７】そこで、この発明は従来同様ターンテーブ
ルのチャックがワークを持ち替える方式でありながら、
ターンテーブルの停止時間を短縮したワークの反転機構
を提供する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めにこの発明は間歇動で回転する主ターンテーブルの周
辺に等角度間隔に配置した複数のチャックにそれぞれワ
ークを保持して搬送する搬送装置に付設して必要により
搬送中に前記ワ−クの保持方向を反転させるワーク反転
機構であって、前記主ターンテーブルのチャックに保持
されたワークの第一の停止ポジションと第二の停止ポジ
ションとの中点を回転中心とする副ターンテーブルと、
その副ターンテーブルに回転中心に対して対称な位置関
係で設けられた２個の反転用チャックとを備え、ワーク
の反転動作に際して前記副ターンテーブルは前記第一の
停止ポジションで反転用チャックがワークを受け取り、
その主ターンテイブルのチャックが回転により第二の停
止ポジションに移動するのに同期して１８０度回転して
第２の停止ポジションに前記ワークを移送し、前記反転
用チャックは前記副ターンテーブルに対して主ターンテ
ーブルの第一、第二の停止ポジション間の回転角度に対
応した回転角度の補正を行なう角度補正機構を備えるこ
とを特徴とするワーク反転機構を提供する。上記の構成
によれば第一の停止ポジションにおいては主ターンテー
ブルのチャックは反転用チャックにワークを渡すのみで
あり、第二の停止ポジションではワークを引き取るのみ
であるから主ターンテーブルは長居停止時間を必要とし
ない。

【０００９】

【発明の実施の形態】この発明のワーク反転機構の一例
を図面を参照して説明する。この例は図４、図５に示す
従来の搬送措置においてワーク反転機構４にかえて本発
明のワーク反転機構１４としたもので、図１に示す搬送
装置において従来と同じ部分は同じ符号を付して、説明
を略す。異なる点はワーク（吸着ノズル３）の停止ポジ
ションＰ５（第一の停止ポジション）と停止ポジション
Ｐ６（第二の停止ポジション）の間にこのワーク反転機
構１４を配置したことと、それに伴い停止ポジションＰ
５、Ｐ６での吸着ノズル３の動作が異なる。このワーク
反転機構１４の例の詳細な構成や動作の説明は後述する
が、その前にこの搬送装置の動作とワーク反転機構１４
の動作を説明する。

【００１０】吸着ノズルの停止ポジションＰ１にてワー
ク（図示せず）を吸着ノズル３が吸着保持してターンテ
ーブル２が間歇的に回転して停止ポジションＰ２，Ｐ
３，Ｐ４と順次搬送し、特性区分Ａ，Ｂと不良品の３区
分に格付けされている点は従来と変わらない。停止ポジ
ションＰ４ではワークが不良品であれば、吸着を解放し
てワーク（図示せず）を落下させ、配置しているトレー
（図示せず）に収容し、そうでなければ保持して次に搬
送する点も従来と同じである。停止ポジションＰ５（第
一の停止ポジション）では方向転換の必要なワーク（特
性区分Ａ）の場合はワークをワーク反転装置１４のチャ
ック（図示せず）に引き渡す。方向反転不要なワーク
（特性区分Ｂ）の場合は吸着ノズル３がそのままワーク
の保持を維持して次に移動する。ワークを反転させる場
合は吸着ノズル３が停止ポジションＰ５から停止ポジシ
ョンＰ６（第二の停止ポジション）に移動するターンテ
ーブル２の動作に同期してワーク反転機構の副ターンテ
ーブル（図２を参照して後述する）が１８０度回転して
ワークを反転させて停止ポジションＰ５から停止ポジシ
ョンＰ６に移送する。停止ポジションＰ６ではワークを
反転させるためにワーク反転機構１４でワークが移送さ
れた場合は吸着ノズル３がそれを引取り、吸着ノズル３
が保持して搬送してきた場合（特性区分Ｂ）はそのまま
保持を維持して次に移動する。以後停止ポジションＰ７
で特性区分Ａのもののみテーピング装置の搬送機構（図
示せず）に引き渡し、特性区分Ｂのワークは吸着ノズル
３に吸着されたまま次のポジションＰ７へ搬送し、停止
ポジションＰ８では残りの特性区分Ｂのもをテーピング
装置の搬送機構に引き渡すのは従来と同じである。この
ような構成によれば停止ポジションＰ５においてはワー
クをワーク反転機構１４に引き渡すのみであるから主タ
ーンテーブル２の長い停止時間は必要ない。停止ポジシ
ョンＰ６においてもワークをワーク反転機構から引き取
るだけなので、主ターンテーブル２の長い停止時間は必
要ない。

【００１１】次にワーク反転機構１４の一例を詳細に説
明する。図２はその平面図である。このワーク反転機構
１４は主ターンテーブルの吸着ノズルの停止ポジション
Ｐ５と次の停止ポジションＰ６の中点Ｃを中心に回転す
る副ターンテーブル１１を備える。副ターンテーブル１
１は２個のワークの方向変換用のチャック例えば吸着ノ
ズル１２を口を上方に向け副ターンテーブル１１に対し
て上下動および回転動自在に備える。そして、それらの
位置は副ターンテーブル１１が所定の停止位置にあると
き一方は主ターンテーブルの吸着ノズルの停止ポジショ
ンＰ５にあり、他方は次の停止ポジションＰ６にある。
方向反転用吸着ノズル１２には角度補正の機構としてカ
ムレバー１３を一体に備え、その一端にはカムフォロア
１５を備える。そして例えば双方のカムレバー１３の他
端をバネ１６で結んでカムフォロア１５を外方に付勢し
ている。そして、カムフォロア１５はそれらを取り囲む
ように配置した周回状のカム面１７に沿って周回動す
る。

【００１２】このワーク反転機構１４は単に副ターンテ
ーブル１１に固定されたチャックにワークを保持して副
ターンテーブル１１を１８０度回転しただけでは、主タ
ーンテーブルが角度θ（θ＝３６０度×Ｎ／Ｍ ここで
Ｍ，Ｎは正の整数でこの例の場合はＭ＝８，Ｎ＝１）回
転しているので主ターンテーブル側から見れば角度θだ
け回転が不足していることになるので、このワークの方
向反転用吸着ノズル１２は副ターンテーブル１１に対し
て回転自在として角度補正を行うものである。

【００１３】以下動作の説明を伴って詳細な構成の説明
を行う。主ターンテーブルに搬送されて方向反転される
べきワーク（図示せず）が停止ポジションＰ５停止する
とこの時副ターンテーブル１１は方向反転用吸着ノズル
１２が停止ポジションＰ５に位置する所定の停止位置で
待機しており、方向反転用吸着ノズル１２が上昇してワ
ーク（図示せず）を受け取り再度降下する。ここで、こ
の位置でのカムレバー１３の角度位置を規制するカムフ
ォロア１５とカム面１７との接点の副ターンテーブル１
１の回転中心Ｃからの距離は比較的長く、停止ポジショ
ンＰ５とＰ６を結ぶ直線とカムレバー１５のなす角度α
は比較的小さい。次に主ターンテーブルの回転動作に同
期して副ターンテーブル１１が１８０度回転してワーク
（図示せず）を停止ポジションＰ６に移送する。ここ
で、カムフォロア１５とカム面１６とが接する点と副タ
ーンテーブル１１の中心Ｃとの距離は比較的短く、停止
ポジションＰ５とＰ６を結ぶ直線とカムレバー１５のな
す角度βは比較的大きい。従って、ワークは１８０度＋
β−αの回転をしている。角度θ回転した主ターンテー
ブルからみてワークが１８０度回転しているようにする
には、β−α＝θとなるように設定しているものであ
る。カム面１７の形状は方向反転用吸着ノズル１２が停
止ポジションＰ５，Ｐ６に位置する時のみ精度を要し、
他の部分はカムフォロア１５を滑らかに案内するだけで
よい。従って、例えば円形としてその中心を副ターンテ
ーブル１１の回転中心Ｃとずらして配置して、その「ず
れ」の方向と量を調節して角度α，βをβ−α＝θとな
るようにすることもできる。停止ポジションＰ６では方
向反転吸着ノズル１２が上昇して、主ターンテーブルの
吸着ノズルにワークを引き渡すとワークは１８０度方向
を変えた姿勢で主ターンテーブルの吸着ノズルに保持さ
れる。

【００１４】上記の方向反転機構によれば、副ターンテ
ーブルの駆動だけで、他の駆動源やその制御を必要とせ
ずにワークの方向反転を可能とする。

【００１５】次にこの発明の方向反転機構における角度
補正機構の第２の例を図面を参照して説明する。図３は
その平面図である。図２に示す方向反転機構と同じ部位
は同一符号を付して説明を省略する。このワーク反転用
吸着ノズル１２も副ターンテーブル１１に対して回転自
在である。そして、レバー１３ａをワーク反転用吸着用
ノズル１２と一体に備える。ワーク反転用吸着ノズル１
２は副ターンテーブル１１に対して図示しないバネ等に
よりこの場合反時計まわりの方向に付勢され副ターンテ
ーブル１１と一体のストッパ１８で一定の位置に保たれ
ている。そして停止ポジションＰ５においてワーク反転
用吸着ノズル１２がワークを受け取り停止ポジションＰ
６に移送し、停止するのに同期してレバー１３を押して
ワーク反転用吸着ノズル１２を回転させるプッシャ１９
を備える。

【００１６】プッシャ１９の突出し量が破線で示すよう
にワーク反転用吸着ノズル１２の回転角度を主ターンテ
ーブルの回転角度θに等しくする。また、この例におい
ては停止ポジションＰ６（主ターンテーブルにワークを
返す位置）で角度補正を行ったが、停止ポジションＰ５
においてあらかじめ反転用吸着ノズルが角度θだけ変位
してワークを受け取り、定位置でワークを引き渡すよう
に変形することもできる。

【００１７】上記の例は反転用チャックが上下動してワ
ークを授受したが、主ターンテーブルのチャックが上下
動してもよい。また主ターンテーブルのチャックも反転
用チャックも吸着ノズルを例に説明したが、機械的に掴
むものであっても良い。また副ターンテーブルがワーク
を受け取るポジション（第一の停止ポジション）と主タ
ーンテーブルに返すポジション（第二の停止ポジショ
ン）とは隣接するものとしたが、副ターンテーブルの回
転速度を速くするに問題があれば、間に停止ポジション
を挟んでも良い。そうすれば、主ターンテーブルの停止
時間も副ターンテーブルの回転に当てられ、さほど高速
化しなくても対応できる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明は、間歇
動で回転する主ターンテーブルの周辺に等角度間隔に配
置した複数のチャックにそれぞれワークを保持して搬送
する搬送装置において必要により搬送中にワークの保持
方向を反転させるに際して主ターンテーブルの停止の時
間を短くする。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のワーク反転機構を用いた搬送装置
の要部平面図である。

【図２】 この発明の位置実施例の要部平面図である。

【図３】 この発明の他の実施例の要部平面図である。

【図４】 従来の搬送装置の要部平面図である。

【図５】 従来の方向反転機構の斜視図である。

【符号の説明】

２ 主ターンテーブル ３ 吸着ノズル（チャック） １１ 副ターンテーブル １２ 反転用吸着ノズル（反転用チャック） １３ カムレバー １３ａ レバー １４ ワーク反転機構 １５ カムフォロア １６ バネ １７ カム面 １８ ストッパ １９ プッシャ Ｐ１，Ｐ２・・・Ｐ８ 停止ポジション Ｐ５ 第一の停止ポジション Ｐ６ 第二の停止ポジション Ｃ 回転中心 θ 主ターンテーブルの第一、第二の停止ポジション間
の回転角度

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】間歇動で回転する主ターンテーブルの周辺
   に等角度間隔に配置した複数のチャックにそれぞれワー
   クを保持して搬送する搬送装置に付設して必要により搬
   送中に前記ワ−クの保持方向を反転させるワーク反転機
   構であって、前記主ターンテーブルのチャックに保持さ
   れたワークの第一の停止ポジションと第二の停止ポジシ
   ョンとの中点を回転中心とする副ターンテーブルと、 その副ターンテーブルに回転中心に対して対称な位置関
   係で設けられた二個の反転用チャックとを備え。ワーク
   の反転動作に際して前記副ターンテーブルは前記第一の
   停止ポジションで反転用チャックがワークを受け取り、
   その主ターンテーブルのチャックが回転により第二の停
   止ポジション移動するのに同期して１８０度回転して第
   二の停止ポジションに前記ワークを移送し、 前記反転用チャックは前記副ターンテーブルに対して主
   ターンテーブルの第一、第二の停止ポジション間の回転
   角度に対応した回転角度の補正を行なう角度補正機構を
   備えることを特長とするワーク反転機構。
2. 【請求項２】前記角度補正機構は前記反転用チャックが
   前記副ターンテーブルに対し回転自在であり、先端にカ
   ムフォロアを有するカムレバーを一体に備え、前記カム
   レバーはそのカムフォロアが外方に向くように付勢され
   て、双方のカムフォロアを取り囲む周回状のカム面に規
   制され、前記第二の停止ポジションにおける前記カムレ
   バーの前記副ターンテーブルに対する角度位置と前記第
   一の停止ポジションにおける前記カムレバーの前記副タ
   ーンテーブルに対する角度位置との差が前記主ターンテ
   ーブルの第一の停止ボジションから第二の停止ボジショ
   ンまでの回転角度となっていることを特徴とする請求項
   １に記載のワーク反転機構。
3. 【請求項３】前記角度補正機構は前記反転用チャックが
   前記副ターンテーブルに対し回転自在であり、レバーを
   一体に備え、前記反転用チャックは前記副ターンテーブ
   ルに対し回転方向に付勢され、前記副ターンテーブルに
   一体のストッパに位置決めされ、前記第一の停止ポジシ
   ョン（または第二の停止ポジション）に前記レバーを押
   してワーク受け取り前（またはワーク引渡し前）に前記
   主ターンテーブルの第一の停止ポジションから第二の停
   止ポジションまでの回転角度分の角度補正するプッシャ
   を備えることを特徴とする請求項１に記載のワーク反転
   機構。