JP4108304B2 - 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置 - Google Patents

電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4108304B2
JP4108304B2 JP2001258040A JP2001258040A JP4108304B2 JP 4108304 B2 JP4108304 B2 JP 4108304B2 JP 2001258040 A JP2001258040 A JP 2001258040A JP 2001258040 A JP2001258040 A JP 2001258040A JP 4108304 B2 JP4108304 B2 JP 4108304B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
turntable
electronic components
curve
cradle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2001258040A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003063640A (ja
Inventor
文廣 平川
省悟 服部
宏二 平位
浩 池田
Original Assignee
株式会社 東京ウエルズ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 東京ウエルズ filed Critical 株式会社 東京ウエルズ
Priority to JP2001258040A priority Critical patent/JP4108304B2/ja
Publication of JP2003063640A publication Critical patent/JP2003063640A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4108304B2 publication Critical patent/JP4108304B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置に関し、特に、ターンテーブルへの、又はターンテーブル間における電子部品の受け渡しや加工のような処理を効率よく行う、搬送方法、処理方法及び搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
微小な電子部品をリードフレームから分離して収納手段に収納する場合、リードフレームから分離した微小な電子部品、例えばチップ型電子部品等をトレイに仮に収納し、その後、例えばパーツフィーダなどにより縦列化させ、テーピング装置等により収納手段に収納する方法が取られていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
前述の分離収納方法では、電子部品を1個づつ受け渡しして、或いは搬送して分離収納しなければならないため非効率的である。そこで、高効率化を図るため同時に複数の電子部品を受け渡しし、分離収納するような処理方法が求められている。しかしながら、搬送ルートに直線や曲線が交錯する場合、すなわち、受け渡しを行う搬送ルートに直線と曲線、又は曲線と曲線が交錯する場合、異なる曲率が存在するため、渡すものと渡されるものとの曲率が合わず、同時に複数の電子部品の受け渡し、その他の処理は困難であった。
【0004】
本発明は、前記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、直線と曲線、又は曲線と曲線が交錯しても、複数の電子部品を処理できる、搬送方法と、処理方法と、搬送装置とを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明は次の構成とした。
請求項1に係る発明の要旨は、間欠回転するターンテーブルによって電子部品を処理箇所を経て搬送する方法であって、前記ターンテーブルの間欠回転により同時に前記処理箇所に搬送される、隣り合った少なくとも3つの電子部品のうち、前記処理箇所の両端に位置する2つの電子部品を除く残りの電子部品を前記ターンテーブルの概ね半径方向に移動させ、前記2つの電子部品の周回曲線の曲率とは異なる曲率の曲線上に、前記少なくとも3つの電子部品を整列させることを特徴とする、電子部品の搬送方法に存する。
請求項2に係る発明の要旨は、前記異なる曲率の曲線は曲率がゼロの直線であり、前記少なくとも3つの電子部品が一直線上に整列することを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の搬送方法に存する。
請求項3に係る発明の要旨は、前記少なくとも3つの電子部品が前記処理箇所に到着する前に、前記少なくとも3つの電子部品を一直線上に整列させることを特徴とする、請求項2に記載の電子部品の搬送方法に存する。
請求項4に係る発明の要旨は、前記異なる曲率の曲線は、前記周回曲線の曲率とは逆の曲率であることを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の搬送方法に存する。
請求項5に係る発明の要旨は、回転する第1のターンテーブルによって搬送した電子部品を、前記第1のターンテーブルの一部と上下方向で重なる、回転する第2のターンテーブルで処理する方法であって、前記第1のターンテーブルの周回曲線又はこの周回曲線の接線上に位置すべき複数の電子部品のうち隣り合った少なくとも3つの電子部品を、前記重なり部分において、前記第2のターンテーブルの周回曲線に移すことを特徴とする、電子部品の処理方法に存する。
請求項6に係る発明の要旨は、ターンテーブルを利用した電子部品の搬送装置であって、前記ターンテーブルの周縁部に配置した、可動受台を有する複数の受台と、前記ターンテーブルの回転軌跡と干渉しないように配置した、前記可動受台を作動する作動手段とからなることを特徴とする、電子部品の搬送装置に存する。
請求項7に係る発明の要旨は、前記受台は、前記可動受台と、この可動受台の移動方向と直交する方向に配置した少なくとも2つの固定受台とからなることを特徴とする、請求項6に記載の電子部品の搬送装置に存する。
請求項8に係る発明の要旨は、前記可動受台の電子部品を載せる部位と、少なくとも2つの前記固定受台の電子部品を載せる部位とが直線上に位置しており、前記可動受台の移動によって曲線上に位置されることを特徴とする、請求項7に記載の電子部品の搬送装置に存する。
請求項9に係る発明の要旨は、前記可動受台の電子部品を載せる部位と、少なくとも2つの前記固定受台の電子部品を載せる部位とが曲線上に位置しており、前記可動受台の移動によって逆の曲率の曲線上に位置されることを特徴とする、請求項7に記載の電子部品の搬送装置に存する。
請求項10に係る発明の要旨は、前記曲線は円弧であることを特徴とする、請求項8又は9に記載の電子部品の搬送装置に存する。
請求項11に係る発明の要旨は、前記可動受台の作動手段は、前記可動受台を前記ターンテーブルの概ね半径方向に移動させることを特徴とする、請求項6ないし10のいずれかに記載の電子部品の搬送装置に存する。
請求項12に係る発明の要旨は、前記可動受台の作動手段は、前記可動受台を前記ターンテーブルの回転により半径方向に移動させるガイドであることを特徴とする、請求項6ないし10のいずれかに記載の電子部品の搬送装置に存する。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、平面状態を示す図1及び図2と、側面状態を示す図3と、電子部品の処理を模式的に示す図4及び図5とに基づいて説明する。
【0007】
図1ないし図3に示すように、マーキングテーブル1の、鉛直軸線回りを回転するターンテーブル2は間欠回転するもので、周方向に等間隔をおいた複数の受台3を有し、各受台3は基台5をターンテーブル2に固定して基台5に取り付けられている。基台5は、全体に長方形状の板材からなり、後述のスリット16などの加工を施されている。
【0008】
受台3は、可動受台10と、少なくとも2つ、図示の実施形態では2つの固定受台11とを備える。
【0009】
可動受台10はスライドテーブル6に固定的に取り付けられ、スライドテーブル6はスライダ7bと一体となっている。スライダ7bが基台5に固定的に取り付けられたスライドベース7aを滑動すると、可動受台10がスライドテーブル6と一緒に基台5に対して滑動し、ターンテーブル2(図1)の半径方向へ移動する。一方、2つの固定受台11は、可動受台10の左右両側、つまり可動受台10の移動方向に直交する方向の両側に配置され、基台5に固定されている。可動受台10と固定受台11とは、電子部品12を載せて基台5と共にターンテーブル2によって間欠回転され、等間隔、つまり等割り出し角度ずつ進行する。
【0010】
側面視でコ字状を呈するブラケット8がスライドテーブル6に結合され、基台5に設けたスリット16を貫通して下方へ伸びている。ブラケット8の下面にカムフォロア9が取り付けられている。
【0011】
ストッパシャフト14がスライドテーブル6の端面に結合され、基台5に設けた切欠き内に配置されている。ストッパシャフト14は、基台5に固定したストッパ受台15を貫通してターンテーブル2の径方向へ伸びている。ストッパ面板14aがストッパシャフト14の、スライドテーブル6とは反対の端部に取り付けられている。
【0012】
ストッパ受台15とスライドテーブル6との間にコイルばね13を配置してある。このコイルばね13によって、スライドテーブル6がターンテーブル2の径方向へストッパ受台15から離れる向きに向けて付勢ないし偏倚されている。ストッパ面板14aがストッパ受台15に当接して、ストッパ受台15とスライドテーブル6との間隔がそれ以上広がるのを規制している。この状態で、可動受台10及び2つの固定受台11それぞれの電子部品12を載せる部分が、可動受台10の移動方向に直交する方向で実質的に一直線上に位置するように調整されている。
【0013】
コイルばね13によって偏倚されたスライドテーブル6はコイルばね13のばね力に抗して移動でき、この移動は作動手段であるカムフォロア9と後述するガイド4とによって行われる。
【0014】
ターンテーブル2の回転半径より大きい曲率半径であるガイド面4aを持つガイド4がテーピングテーブル30に対応する位置に配置されている。ターンテーブル2が矢印方向に回転すると、受台3のスライドテーブル6に取り付けたカムフォロア9がガイド4のガイド面4aによって案内されるようになる。その結果、スライドテーブル6がコイルばね13の偏倚力に抗してストッパ受台15に向けて移動し、ストッパ受台15との間隔を次第に狭める。
【0015】
マーキングテーブル1のターンテーブル2は、例えば、前工程の搬送手段であるテスト・フォーミングテーブル20から直線的に受け渡された、リードフレーム(図示せず)からの複数の電子部品12を可動受台10及び固定受台11に載せて矢印方向へ等割り出し角度ずつ間欠回転する。電子部品12は、マーキング装置40においてマーキングされ、その後、ブラッシング装置50においてマーキング時に発生した粉塵を除去される。そして、電子部品12がテーピングテーブル30に達したとき、電子部品12はターンテーブル2からテーピングテーブル30に受け渡される。前記過程中、テスト・フォーミングテーブル20におけるリードフレームからの電子部品12の分離作業や、マーキング装置40、ブラッシング装置50におけるマーキング、ブラッシングのような作業は、直線上で行うことが都合良く、従って、直線的処理がなされる。一方、テーピングテーブル30における電子部品毎の検査又は分離は、曲線上で行うことが都合良く、従って、曲線的処理がなされるものとする。
【0016】
直線的処理と曲線的処理とは次のようなものである。図4においてAは、例えば、マーキング装置40により電子部品12にマーキングする場合のマーキング手段の位置を示す。図から明らかであるように、複数の、図示では4つのマーキング手段が直線A上に配置され、電子部品12の処理をすることから、4つの電子部品12,12a,12bが直線的に同時にマーキング処理される。一方、Bは、図1のターンテーブル2において電子部品12が周回する周回曲線、すなわち電子部品12が直線的に配列されないならば、周回するであろう周回曲線を示しており、円弧を呈している。AからBに至る距離Sは、ターンテーブル2の回転中に可動受台10を移動させ、直線と曲線との差を補正する量である。換言すると、ターンテーブル2の周回曲線B上にある電子部品12のうち、一部の電子部品12を距離Sだけ移動させることにより、複数の電子部品12を直線上に配列することができ、直線的処理が可能となる。一方、曲線的処理とは、周回曲線Bや図5に関連して説明する周回曲線Q、その他の曲線上で電子部品12を処理することである。
【0017】
図4に示した直線的処理と、曲線的処理とは次のように敷衍することができる。すなわち、ターンテーブル2の間欠回転により同時に処理箇所、例えばマーキング装置40に搬送される、隣り合った少なくとも3つの電子部品12,12a,12bのうち、処理箇所であるマーキング装置40の両端に位置する2つの電子部品12a,12bを除く残りの電子部品12をターンテーブル2の概ね半径方向に移動させ、ターンテーブル2による電子部品12a,12bの周回曲線Bの曲率とは異なる曲率の曲線上に、少なくとも3つの電子部品12,12a,12bを整列させるようにすれば、周回曲線B上にある電子部品12,12a,12bを曲率の異なる曲線上に配列することができる。図4に示した実施形態では、処理箇所であるマーキング装置40の両端に位置する2つの電子部品12a,12bを除く残りの2つの電子部品12を内方へ向けて距離S移動した結果、2つの電子部品12a,12bと残りの2つの電子部品12とは、曲率をゼロとした曲線、つまり直線A上に整列している。そして、処理箇所の両端に位置する電子部品12a,12bは、ターンテーブル2の周回曲線B上に位置する。
【0018】
図1ないし図3に示した実施形態では、スライドテーブル6がコイルばね13によって偏倚されている。この偏倚状態では、可動受台10及び2つの固定受台11それぞれの電子部品12を載せる部分が、可動受台10の移動方向に直交する方向で一直線上に位置することから、少なくとも3つの電子部品12が各受台3において直線的に配列されており、この状態でターンテーブル2が回転する。一方、テーピングテーブル30との交差部を除くマーキングテーブル1では、テスト・フォーミングテーブル20、マーキング装置40及びブラッシング装置50のそれぞれの処理手段が直線的に配列されている。その結果、テーピングテーブル30との交差部を除くマーキングテーブル1では、スライドテーブル6が偏倚された状態を維持すれば、直線的処理が可能である。この場合、図4の距離Sは、図2及び図3のスライドテーブル6が偏倚される量であるから、スライドテーブル6の偏倚量を距離Sに設定しておけばよい。
【0019】
ターンテーブル2の回転方向において複数の直線的処理を行う場合、少なくとも3つの電子部品12がテスト・フォーミングテーブル20、マーキング装置40又はブラッシング装置50のような処理箇所に到着する都度、少なくとも3つの電子部品12をターンテーブル2による周回曲線Bから直線A上に配列することも可能である。しかし、少なくとも3つの電子部品12が処理箇所に到着する前に、少なくとも3つの電子部品12を一直線上に配列する形態にすれば、処理能率を高めることができる。図示の形態、すなわち、直線的処理を行う複数の処理箇所間においては、複数の電子部品12をターンテーブル2の周回曲線Bに戻すことなく、直線的位置関係を維持して搬送する形態にすれば、操作の煩雑さを避け、処理能率を高めることができる。
【0020】
テーピングテーブル30において曲線的処理を行う簡単な方法は、テーピングテーブル30をターンテーブル2の上方又は下方に配置すると共に、テーピングテーブル30の周回曲線の曲率をターンテーブル2の周回曲線Bの曲率と一致させることである。これによって、ターンテーブル2の周回曲線B上に隣り合って配置された少なくとも3つの電子部品12を、又は直線的に配列されたが、ターンテーブル2の周回曲線B上に戻された少なくとも3つの電子部品12をテーピングテーブル30に同時に受け渡すような曲線的処理ができる。
【0021】
以上は直線と曲線との受け渡しであるが、曲線と曲線との受け渡しもある。図5に示すように、例えば、ターンテーブル2上で電子部品12が周回曲線Pを描き、一方、例えば、テーピングテーブル30上にあって受け渡された電子部品12が周回曲線Qを描く場合、すなわち回転搬送中の電子部品12の、ターンテーブル2からテーピングテーブル30への受け渡しが複数箇所で同時に行われる場合、処理箇所であるテーピングテーブル30の両端にそれぞれ位置する電子部品12a,12bを除く2つの電子部品12をRだけ移動することにより、周回曲線Pから周回曲線Qに変更でき、曲線的処理が可能となる。この場合厳密には、電子部品12の配列ピッチが同じであることの必要性から、周回曲線Pと周回曲線Qとの曲率半径は同じであることが好ましい。すなわち、同じ曲率であるが、一方の曲率に対して他方の曲率が逆の関係にあること、換言すると、図5において2つの電子部品12a,12bを結ぶ直線に対して、周回曲線Pと周回曲線Qとが対称に配置される関係にあることが好ましい。ただし、電子部品12の位置誤差が許容されるものはこの限りではない。
【0022】
テーピングテーブル30の、ターンテーブル2と上下方向で一部が重なる箇所において電子部品12をターンテーブル2からテーピングテーブル30に受け渡すものとする。図1に示した実施形態では、テーピングテーブル30への受け渡し位置にはガイド4があることから、このガイド4のガイド面4aによって電子部品12が周回曲線Qを描くように、可動受台10を図5の距離R移動させるようにガイド4のガイド面4aの曲率が設定されている。その結果、前記受け渡し位置では曲線的処理が行われ、同時に、複数の電子部品12の受け渡しを行うことができる。ちなみに、図5の周回曲線Qは、ターンテーブル2の周回曲線Pとは逆の曲率であるのに対し、図4の直線Aは周回曲線Bを弦状に横切るものであるから、曲線の半径および両端の電子部品12a,12bの距離が同じとき、2S=Rの関係にある。
【0023】
図4の前記実施形態では、マーキングテーブル1のターンテーブル2上の電子部品12が、テスト・フォーミングテーブル20、マーキング装置40及びブラッシング装置50にあるとき直線的処理を行い、テーピングテーブル30の箇所において曲線的処理をする場合について述べた。これに限らず、ターンテーブル2の回転中、直線的処理を行ったり、図5のように直線的処理と曲線的処理とを行ったりする場合に本発明は実施できる。
【0024】
さらに、図4及び図5において可動受台10上に位置する電子部品12の数は2であり、これら電子部品12が距離S又はR移動している。これに限らず、周回曲線B,P,Q上の点であれば、1以上幾つでも良いが、移動した後の周回曲線の曲率が移動する前の周回曲線の曲率と一致する必要があるので、3以上の場合には目的を達する範囲で電子部品がそれぞれ動ける必要がある。もっとも、固定受台11は周回曲線の基準、すなわち交点となるため2点が好ましい。
【0025】
前記実施形態では、テスト・フォーミングテーブル20、マーキング装置40及びブラッシング装置50において電子部品12の受け渡し、マーキング、ブラッシングを直線的に処理し、テーピングテーブル30において電子部品12の受け渡しを曲線的に処理している。このように、直線的処理と曲線的処理とをターンテーブル2の回転方向において連続して行っているが、これは必須ではない。すなわち、処理の目的に応じて、直線的処理のみ、又は曲線的処理のみとすることができる。そして、直線的処理及び曲線的処理のいずれも、マーキング、ブラッシングのような加工や電子部品12の受け渡し、その他の処理を行う。
【0026】
【発明の効果】
直線的処理と曲線的処理が混在したり、複数の曲線的処理が混在したりする場合であっても処理することが可能になる上、受台に載せた電子部品の位置を受け取る側の位置に合わせることにより、同時に複数の電子部品を受け渡しその他の処理をすることが可能となり、処理効率を格段に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子部品の搬送装置の実施形態を示す平面図である。
【図2】図1に示した受台の平面図である。
【図3】図2の右側面図である。
【図4】直線的処理を説明する模式図である。
【図5】曲線的処理を説明する模式図である。
【符号の説明】
1 マーキングテーブル
2 ターンテーブル
3 受台
4 ガイド
4a ガイド面
5 基台
6 スライドテーブル
7a スライドベース
7b スライダ
8 ブラケット
9 カムフォロア
10 可動受台
11 固定受台
12,12a,12b 電子部品
13 コイルばね
14 ストッパシャフト
14a ストッパ面板
15 ストッパ受台
16 スリット
20 テスト・フォーミングテーブル
30 テーピングテーブル
40 マーキング装置
50 ブラッシング装置

Claims (12)

  1. 間欠回転するターンテーブルによって電子部品を処理箇所を経て搬送する方法であって、
    前記ターンテーブルの間欠回転により同時に前記処理箇所に搬送される、隣り合った少なくとも3つの電子部品のうち、前記処理箇所の両端に位置する2つの電子部品を除く残りの電子部品を前記ターンテーブルの概ね半径方向に移動させ、前記2つの電子部品の周回曲線の曲率とは異なる曲率の曲線上に、前記少なくとも3つの電子部品を整列させることを特徴とする、電子部品の搬送方法。
  2. 前記異なる曲率の曲線は曲率がゼロの直線であり、前記少なくとも3つの電子部品が一直線上に整列することを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の搬送方法。
  3. 前記少なくとも3つの電子部品が前記処理箇所に到着する前に、前記少なくとも3つの電子部品を一直線上に整列させることを特徴とする、請求項2に記載の電子部品の搬送方法。
  4. 前記異なる曲率の曲線は、前記周回曲線の曲率とは逆の曲率であることを特徴とする、請求項1に記載の電子部品の搬送方法。
  5. 回転する第1のターンテーブルによって搬送した電子部品を、前記第1のターンテーブルの一部と上下方向で重なる、回転する第2のターンテーブルで処理する方法であって、
    前記第1のターンテーブルの周回曲線又はこの周回曲線の接線上に位置すべき複数の電子部品のうち隣り合った少なくとも3つの電子部品を、前記重なり部分において、前記第2のターンテーブルの周回曲線に移すことを特徴とする、電子部品の処理方法。
  6. ターンテーブルを利用した電子部品の搬送装置であって、
    前記ターンテーブルの周縁部に配置した、可動受台を有する複数の受台と、
    前記ターンテーブルの回転軌跡と干渉しないように配置した、前記可動受台を作動する作動手段とからなることを特徴とする、電子部品の搬送装置。
  7. 前記受台は、前記可動受台と、この可動受台の移動方向と直交する方向に配置した少なくとも2つの固定受台とからなることを特徴とする、請求項6に記載の電子部品の搬送装置。
  8. 前記可動受台の電子部品を載せる部位と、少なくとも2つの前記固定受台の電子部品を載せる部位とが直線上に位置しており、前記可動受台の移動によって曲線上に位置されることを特徴とする、請求項7に記載の電子部品の搬送装置。
  9. 前記可動受台の電子部品を載せる部位と、少なくとも2つの前記固定受台の電子部品を載せる部位とが曲線上に位置しており、前記可動受台の移動によって逆の曲率の曲線上に位置されることを特徴とする、請求項7に記載の電子部品の搬送装置。
  10. 前記曲線は円弧であることを特徴とする、請求項8又は9に記載の電子部品の搬送装置。
  11. 前記可動受台の作動手段は、前記可動受台を前記ターンテーブルの概ね半径方向に移動させることを特徴とする、請求項6ないし10のいずれかに記載の電子部品の搬送装置。
  12. 前記可動受台の作動手段は、前記可動受台を前記ターンテーブルの回転により半径方向に移動させるガイドであることを特徴とする、請求項6ないし10のいずれかに記載の電子部品の搬送装置。
JP2001258040A 2001-08-28 2001-08-28 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置 Expired - Lifetime JP4108304B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001258040A JP4108304B2 (ja) 2001-08-28 2001-08-28 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001258040A JP4108304B2 (ja) 2001-08-28 2001-08-28 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003063640A JP2003063640A (ja) 2003-03-05
JP4108304B2 true JP4108304B2 (ja) 2008-06-25

Family

ID=19085621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001258040A Expired - Lifetime JP4108304B2 (ja) 2001-08-28 2001-08-28 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4108304B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014087491A1 (ja) * 2012-12-04 2014-06-12 上野精機株式会社 移載装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003063640A (ja) 2003-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110622285B (zh) 电子部件的处理装置
JPH09186218A (ja) ウェハ状物体の取扱い装置
KR101594681B1 (ko) 조립 장치의 팔레트 안내 장치
JP4108304B2 (ja) 電子部品の搬送方法、処理方法及び搬送装置
US20060070849A1 (en) Apparatus and method for flipping electronic components
JP5739195B2 (ja) 選果システム
JP6575471B2 (ja) 平角コイルの皮膜剥離方法
JP7342673B2 (ja) 搬送装置
JP4518513B2 (ja) 電気的な構成要素を準備するためのウエハテーブル及び構成要素を基板に装着するための装置
JPH1171025A (ja) ウエハー搬送装置
CN111071726A (zh) 工件输送装置
CN106185182B (zh) 一种环形托盘输送设备的托盘定位装置
JPH10181853A (ja) ワーク反転機構
JP6760811B2 (ja) 搬送装置
JP2016115887A (ja) マルチプルアームを備えた搬送ロボット
JP2004058212A (ja) ロータリーインデックス方法及びその装置
CN114955515B (zh) 处理系统
JPS6197899A (ja) 電子部品の搬送装置
US20020079712A1 (en) Placement head and placement system for a placement apparatus for placing components
JP7440854B2 (ja) 部品搬送装置
JPH05283895A (ja) ベルト搬送装置
WO2023229030A1 (ja) 部品搬送装置
JP7398755B1 (ja) 物品搬送装置
JP2000229724A (ja) 方向転換搬送装置
CN209956799U (zh) 部件输送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050309

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080310

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080325

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080402

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4108304

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120411

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120411

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130411

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130411

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140411

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250