JP6760811B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
11 12 ガイドレール
13 移動テーブル
14 載置ステージ
14a 載置面
14b 14c 14d 14e 側面
16 第1の磁石板
17 第2の磁石板
20 板状物
30 分割装置
31 保持テーブル
32 33 切削ユニット
E1 一の領域
E2 二の領域
Claims (1)
- 磁性を示す物質を含んで形成された矩形状の板状物を一の領域で受け取り二の領域へ搬送する搬送装置であって、
板状物を上面に載置する矩形状の載置面を有する載置ステージと、該載置ステージを上方に備え板状物を受け取る該一の領域から該二の領域へ該載置ステージを直線移動させる移動手段と、から構成され、
該載置ステージは、該一の領域から該二の領域へ移動する移動方向の矩形状載置面の1辺に沿って立設して配設された第1の磁石板と、該1辺に隣接する1辺に沿って立設された第2の磁石板とからなり板状物の2つの側面に磁力で接着し位置を規定する磁力保持部を備え、
該第1の磁石板は、該一の領域から該二の領域への移動方向に対して交差する向きに延在し、且つ該載置ステージ上で板状物に対して該移動方向の上流側に配置され、
該一の領域で板状物が該載置ステージ上に載置されると、板状物の2つの側面のうち該移動方向の上流側を向く側面が該第1の磁石板に接着し、板状物の2つの側面のうち他の側面が該第2の磁石板に接着し、該磁力保持部によって板状物の位置を規定するとともに磁力保持された状態で該第二の領域まで搬送すること、を特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
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JP2016193729A JP6760811B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016193729A JP6760811B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | 搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018056485A JP2018056485A (ja) | 2018-04-05 |
JP6760811B2 true JP6760811B2 (ja) | 2020-09-23 |
Family
ID=61836041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016193729A Active JP6760811B2 (ja) | 2016-09-30 | 2016-09-30 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6760811B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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JP7110818B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2022-08-02 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
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JPH09159624A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-06-20 | Mac Sci:Kk | カット面検査方法及びカット面検査装置 |
JP2004340696A (ja) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Toyo Commun Equip Co Ltd | チップ状電子部品の測定装置 |
JP2007208088A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Nec Electronics Corp | 半導体製造装置及び搬送キャリア |
-
2016
- 2016-09-30 JP JP2016193729A patent/JP6760811B2/ja active Active
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