JPH10157845A - 薄いガラス板を扱う装置 - Google Patents

薄いガラス板を扱う装置

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JPH10157845A
JPH10157845A JP9319269A JP31926997A JPH10157845A JP H10157845 A JPH10157845 A JP H10157845A JP 9319269 A JP9319269 A JP 9319269A JP 31926997 A JP31926997 A JP 31926997A JP H10157845 A JPH10157845 A JP H10157845A
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Japan
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plates
glass plate
glass
plate
devices
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JP9319269A
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English (en)
Inventor
Heinrich Dr Ostendarp
オステンダァープ ハインリッヒ
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00—Cutting
    • Y10T83/202—With product handling means
    • Y10T83/2033—Including means to form or hold pile of product pieces
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  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 現存の粗ガラス形式並びにその仕上げ形式
を、表面が損傷されず、汚染粒子、切削破片等の付着が
阻止され、且つガラス破断の可能性が排除されるよう
に、固定及び搬送出来るようにした、加工施設、特に切
削装置において薄板ガラスを扱う装置を提供する。 【構成】 薄ガラス等の被処理物や製品面を空気力で扱
う装置において、少なくとも片側に平坦面を有し、接触
せずにガラス板（３）を保持するのに充分な距離（Ｄ）
をもって互いに平行に配置された少なくとも二つの板
（１，２）を備え、板（１，２）の各々は多数の気体通
路（４）を有し、一つの板（１，２）における全気体通
路（４）の各々が一つ又はそれ以上の管路を介してガス
供給システムに接続し得、これにより過剰圧又は真空を
生ずるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、搬送システムや加工
装置における薄いガラス板等の被処理物や製品を空気圧
で扱う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄板ガラスは、ディスプレーを製造する
ために大規模に用いられる。その場合、大きさが約１０
ミクロンを越えるきりきず、介在物や付着物は、仕上げ
ディスプレーにおいて画像の許容出来ない局部的歪みを
生ずるので、欠陥と見做される。従って、使用不能の製
品を検出し、不合格にするため、大規模な制御手段が提
供されなければならない。
【０００３】また、ウィンドーディスプレーに用いられ
る板ガラスの平坦度と平行度に関して高い要求が有るの
で、それらの製造方法は通常、表面研磨工程を含むもの
である。これにより、多くの欠陥が除去されるが、製造
がかなりより高価なものになる。従って、研磨工程を除
こうとする大きな試みが有った。
【０００４】最近の板ガラス製造方法においては、ガラ
ス面の平坦度と平行度に対する要求は、価格が有利にな
ると云う理由で研磨をしなくて済むように、延伸又は流
動粗ガラスによってより良好な程度まで維持することが
出来る。しかしながら、このことは欠陥を除く可能性を
無くする。他方、小ディスプレー形式用の厚さが３０か
ら３００ミクロンの範囲にある板ガラスは現在のところ
研磨出来ないか、高価格でのみ研磨出来る。現在の見通
しによれば、厚さが５０ミクロンの板ガラスで６５０ｘ
１０００ｍｍまでの形式が期待出来る。更に、単位面積
当りの欠陥の大きさと欠陥数に関する使用仕様は、ガラ
スのより新しい等級のディスプレー、例えば、電界放射
ディスプレー（ＦＥＤ）、プラズマディスプレーパネル
（ＰＤＰ）、プラズマアドレス液晶（ＰＡＬＣ）、薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）、又は超捻れネマティック（Ｓ
ＴＮ）では益々厳密になって、ガラス製造業界は技術的
且つ経済的に許容可能な製品を提供出来るために、より
厳格な要求に応ずることを強制されている。
【０００５】不可欠の製造工程は、経済的理由で大きい
板に又は広いストリップとして製造される粗ガラスをフ
ォーマット化することである。従って、フォーマット化
は、最終清浄化が任意に追随しても良い、縁部・隅部処
理等の所望ディスプレー寸法切削を含むものである。
【０００６】ガラスを板又はストリップの形態で搬送す
る装置は、ドイツ特許ＤＥ １，７５６，０７０ Ｂ２
から既に知られている。同特許装置においては、ガラス
は下部構造から離れたガスクッション上に戴置し、下部
構造に対して、それに接触すること無く水平に搬送出来
る。下部構造には気体流通のため、横方向に並んでスロ
ットが設けられている。しかし、スロットは気体放出ス
ロット及び排出スロットとして交互設計され、適切な圧
力及び真空源に接続されている。これにより、薄いガラ
ス板なら耐え得ない相互に反対方向の力の交互場が発生
される。更に、二つのガラス面の中、高々、一方のみし
か汚染から保護出来ないものである。
【０００７】更に、欧州特許ＥＰ ３３６，３３２ Ｂ
１は、板ガラスを把握、積み重ね及び積み重ねから外す
と共に、それを搬送する装置を開示している。同特許装
置においては、他の技術分野で知られる真空グリッパー
が用いられる。しかしながら、吸引グリッパーは或最小
厚さ以下のガラスでは用いることが出来ない。薄板ガラ
スは真空グリッパーの領域でたわみ、最悪の場合には破
断さえすることがあるからである。更に、真空グリッパ
ーは、切削、研削及び／又は研磨等の加工のために、極
薄板ガラスを保持するのには適していない。加工領域で
均一に維持されない不均一な把握となるからである。更
に、真空グリッパーは、搬送及び加工において、ガラス
面が汚染するのを阻止出来ない。
【０００８】
【発明により解決されるべき課題】この発明の目的は、
加工施設、特に切削装置において薄板ガラスを扱う装置
であって、現存の粗ガラス形式並びにその仕上げ形式
を、表面が損傷されず、汚染粒子、切削破片等の付着が
阻止され、且つガラス破断の可能性が排除されるよう
に、固定及び搬送出来るようにした装置を提供すること
である。ガラスを極めて穏やかに取り扱う必要は、技術
的又は経済的理由による研磨工程の省略、より大きいデ
ィスプレー形式への傾向及び欠陥の大きさと頻度に関す
る仕様の要請から生ずる。
【０００９】
【課題を解決する手段】この目的を達するため、本明細
書の始めに定義された装置が提供され、該装置は、少な
くとも片側に平坦面を有し、接触せずにガラス板を保持
するのに充分な距離をもって互いに平行に配置された少
なくとも二つの板を備え、これ等の板の各々は多数の気
体通路を有し、一つの板における全気体通路の各々が一
つ又はそれ以上の管路を介してガス供給システムに接続
し得、これにより過剰圧又は減圧を生ずるようにしたこ
とを特徴とする。好ましくは、これ等のガス通路の少な
くとも一部は、互いに対となって対向するように配置さ
れる。
【００１０】
【作 用】この装置によれば、第一の操作様式ではガ
ラス板が両板間にそれ等と接触せずに保持されるように
過剰圧が両方の板に作用し、第二の操作様式ではガラス
板が一方の板に押圧されて保持されるように過剰圧が一
方の板に作用する間に減圧が他方の板に作用するように
することが出来る。第一の操作モードにおいては、好ま
しくは両側で同様な強度で両板間に保持されるガラス板
の両側に気体流が生じ、存在し得る埃等が外側に向けて
除去され且つ外側から何も侵入しないように、維持され
る。それと共に、ガラス板は頭部板又は底部板の何れに
も接せず、従って両板間で水平に搬送されるので、ガラ
ス面にかききずを生ずる危険は無い。発生する気体流
は、好ましくは対向するオリフィスの対群から放出され
る。
【００１１】既知の自己調整効果が用いられることがで
き、この効果は、ガラス板が垂直に移動すると、即ち両
板の一方に近接すると、ガラス板と他方の板の間の流れ
が増大し、この側では気体流量に変化が無くても空気圧
が減少し、且つこの垂直移動に抗する力が発生すること
により生ずる。ガラス板とは直角に一方向に作用する重
力は、ガラス板が両板の間に正確に位置付けられさえす
れば、より高い過剰圧を低部板に作用せしめることによ
り、制御技術を用いて容易に補償することが出来る。
【００１２】ガラス板が両板の一方に押圧されて保持さ
れる第二の操作モードは、板が静止している間ガラスを
加工する動作に供するか、板と共にガラス板を他の位置
に移動する、例えば、ガラス板を動作位置から保管位置
又は積み重ね位置に搬送するように稼動する。
【００１３】ガラス板が両板間に在る限り、過剰圧側で
は、前と同じように、このガラス表面が汚染されること
ないように方策が講じられる。減圧側では、ガラス板は
板に接触しているので、板の表面が充分に平で且つ滑ら
かであれば、又は板とガラス板間の縁部に適切なシール
が施されていれば、ゴミ・汚れが侵入することは無い。
【００１４】対をなす対向気体通路の配置により、第一
の操作モードではガラス表面のあらゆる箇所に略同一の
空気圧が作用し、これにより薄いガラス板が面からつき
でるのを阻止する。更に、斯くして薄ガラス面対し或種
の円滑化効果が達成される。
【００１５】第二の操作モードにおいては、板の中央か
ら外側に向けて面積的に増大する気体通路に対し過剰圧
又は減圧が作用するとき、手の移動による紙（やすり）
による円滑化に相当する円滑化効果が達せられる。
【００１６】この発明の有利な実施例及び変更例は、請
求の範囲の請求項２から２０に記述されている。付加的
詳細は、図１から図５に例示された実施例に基づいて、
より詳細に説明する。
【００１７】
【実 施 例】図１において単純化されて図示されてい
る装置は、頭部板１と底部板２を含み、両者間に薄ガラ
ス板３が接触せずに挟まれて配置されている。この配置
は、対をなす対向気体通路４を、過剰圧を発生し両板１
と２に印加する気体供給装置に接続することにより達せ
られる。薄ガラス板３の上下に対配列された板１と２か
ら出てくる気体の等量流により、薄ガラス板３は実質懸
架状態に保たれ、ガラス面を垂直に移動すると、直ちに
反対方向に向いた力が生じ、両板１、２間のガラス板３
は自己調節されその非接触位置を維持する。
【００１８】この位置において、ガラス板３は水平に保
持固定されるか、或いは従来のコンベヤー装置（図示せ
ず）が突出縁においてガラス板３を把握することによっ
て両板１、２間を非接触状態で搬送することが出来る。
【００１９】図２は、真空が頭部板１に作用すると共に
過剰圧が底部板２に作用するときのガラス板３の位置を
概略的に示す。図３は、圧力効果が反転されるときのガ
ラス板３の位置を示す。図２による位置において、ガラ
ス板３は頭部板１の外側の領域で加工出来、底部板２は
加工力を吸収する支持体として作用するか、自動化製造
方法の一部として、頭部板１と共に垂直及び水平に移動
され頭部板１を図示の位置から次の位置に移動すること
が出来る。同様に、ガラス板３はまた図３の位置で加工
出来且つ底部板２と共に搬送することが出来る。どの場
合においても、ガラス板３から離れた板１、２から出て
くる気体流により、露出ガラス面は加工操作により発生
される塵埃又はどんな粒子によっても汚染され得ないよ
うになる。板に接触するガラス表面は、何れにせよ、保
護されることになる。
【００２０】図１による圧力使用からの遷移過程におい
て及び図２又は図３によるその遷移過程において、外側
から内側に向かう気体流は短時間生じ、きょう雑物の粒
子を取り込むことがある。これを阻止するため、図４に
よる板１はその縁部に適切なガスケット５が設けられ、
このガスケットはその柔らかい弾性タングが薄ガラス板
上に支持され、これにより異物粒子の侵入を阻止し且つ
真空を維持するのを助ける。かかるガスケットはまた、
薄ガラス板がそれによりどんな曲げ力をも蒙らないよう
にする対策が講じられていれば、両板１と２に設けるこ
とが出来る。
【００２１】図５は、この発明による装置が有利に用い
ることが出来る場合の薄ガラスを加工する際の一連の可
能な工程を示す。装置全体は、加工方向に直列に配置さ
れ且つガラス板３に対して又はそれから分離されたガラ
ス部３’に対して真っ直ぐな水平加工経路を定める全部
で三つの頭部板と二つの底部板（１ａ−１ｃ，２ａ，２
ｂ）を具備する。ここに例示された場合においては、そ
のロール端部がコンベヤー装置６により加工部７に搬送
される粗ガラスのロール１０が例である。送り部６は頭
部板１ａと底部板２ａを具備し、両者には、前述のよう
に、それを通して過剰圧又は減圧がガラスに印加される
多数対の対向気体通路が具備されている。底部板２ａは
頭部板１ａよりずっと長く、右側に突出する部分には気
体通路は設けられていないか、気体通路が設けられてい
るとしても異なる圧力下にある。板１ａと２ａは、搬送
されるガラスを接触されずに懸架状態に保持する以外に
機能は無いので、静止状態に配置して良い。
【００２２】加工部７の板１ｂと２ｂは、大きさがほぼ
等しく且つ同様に気体通路が設けられている。図１から
図４に示されたような面の広がりの小さなズレは此処で
は示されていない。しかしながら、加工部７の少なくと
も板１ｂは、両側で縁部切削が容易に可能なようにする
ため、加工されるガラスストリップより一般に僅かに小
さいことを指摘しておく必要がある。
【００２３】図５（ａ）において、ガラス板３又は粗ガ
ラスストリップは、縁部に作用し且つ前面切削縁が加工
部７の左端近傍に在るようにガラスを「懸架状態」に保
つ搬送装置（図示せず）により右から左にガラスロール
１０から延伸される。板１ｃは、積み重ね装置８と既に
仕上げられたガラス部３’上の待機位置にある。図５
（ｂ）において、過剰圧が頭部板１ａと１ｂに作用し、
真空が底部板２ａと２ｂに作用している。ガラス板３は
底部板２ａ、２ｂに接触し、こうして加工位置に固定さ
れている。次いで、ガラス板３は、切削装置９により加
工する、即ちガラス部３’を粗ガラスストリップから切
削することが出来る。適切であれば、どのような切削装
置も用いることが出来る。ガラス板が完全に切断され
ず、単に弱化される場合、特に薄ガラスの加工の場合に
は送り装置６又は加工部分７に作用する圧力を単に変更
することで残りの部分を破断すれば良い。しかしなが
ら、既知のガラス切削装置を用いることも出来るのは勿
論である。
【００２４】粗ガラスストリップは加工部７の縦方向の
縁を越えて突出し、同様に加工出来ることを此処で指摘
しなければならない。縁部及び隅部の加工は、研削によ
り且つストリップの方向に跨って通る切断縁に沿って、
任意に実行することが出来る。
【００２５】図５（ｃ）は、ガラス部３’が水平移動可
能な板２ｂにより頭部板１ｃに対向する位置に到達さ
れ、吸引により位置が保持される方法を示す。板２ｂを
その開始位置に戻した後、板１ｃは図５（ｂ）のように
垂直に移動しガラス部３’を積み重ね装置８に載せるこ
とが出来る。それと共に、粗ガラスストリップは送り装
置６で懸架位置持ち上げられ、そして次いで加工部７に
接触せずに搬送することが出来る。これにより、経済的
な操作順序を実現することが出来る。
【００２６】図５に例示された加工工程は、より移動可
能な板及び異なる方法で移動される板でも実行出来るこ
とは勿論である。特に、戴置移動は粗ガラスストリップ
の搬送方向に直交するものでも良い。数個の別異の加工
工程が実施されるべきであれば、二つ又はそれ以上の加
工部が設置されても良く、こうして箇々の加工部の経済
的利用を達成することが出来る。
【００２７】この発明の思想は、箇々ものとされた、あ
るいは単一のストリップとされた薄ガラスを長距離に亘
って搬送する必要が有るときでも有利に利用出来る。板
の数対を板の間に図１による搬送方向に向けて空間が有
るようにし且つ過剰圧が板の全対の両側に作用するよう
にして、非接触搬送を達成することは可能であるが、そ
の場合両側に作用するコンベヤーベルト又は類似の機構
もまた設けられなければならないことは勿論である。
【００２８】最後に、両板間の薄ガラス面が熱処理（温
度調整）を蒙るように過剰圧操作で供給されるガラス及
びガラス板を加熱することも出来る。
【００２９】あらゆる場合において、この発明による利
点を用いることが出来る。つまり、任意の非接触及び非
曲げ搬送及び保持、ガラス面の板上への固定、永続的気
体流により又は全取扱い操作における板との緊密接触に
よるガラス表面の清浄保持を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による装置の垂直断面の概略図であ
る。
【図２】請求項１による装置の側面図である。
【図３】請求項１による装置の側面図である。
【図４】この発明による装置の縁部領域の拡大断面図で
ある。
【図５】この発明による装置を用いる一連の工程を示す
概略図である。
【符号の説明】
１…頭部板、２…底部板、１ａ、１ｂ、１ｃ…板、３…
薄ガラス面、３’…ガラス部、４…対をなす対向気体通
路、５…ガスケット、６…コンベヤー装置、送り部、７
…加工部、８…積み重ね装置、９…切削装置、１０…粗
ガラスロール。

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 搬送システムや加工装置等において薄い
    ガラス板または同様の素材および製品等を空気力で扱う
    装置であって、 少なくとも片側に平坦面を有し、接触せずにガラス板
    （３）を保持するのに充分な距離（Ｄ）をもって互いに
    平行に配置された少なくとも二つの板（１，２）を備
    え、 板（１，２）の各々は多数の気体通路（４）を有し、一
    つの板（１，２）における全気体通路（４）の各々が一
    つ又はそれ以上の管路を介して気体供給システムに接続
    し得、これにより過剰圧又は減圧を生ずるようにしたこ
    とを特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 気体通路（４）の少なくとも一部が互い
    に対向する対に配置されたことを特徴とする請求項１に
    記載する装置。
  3. 【請求項３】 板（１，２）間の距離（Ｄ）が扱われる
    ガラス板（３）の厚さ（ｄ）に対して調整し得るように
    したことを特徴とする請求項１又は２に記載する装置。
  4. 【請求項４】 板（１，２）が実質的に水平に配置され
    且つ板（１，２）の少なくとも一方が垂直に移動し得る
    ようにしたことを特徴とする請求項１から３の何れかに
    記載された装置。
  5. 【請求項５】 板（１，２）の少なくとも一方が水平に
    移動し得るようにしたことを特徴とする請求項４に記載
    する装置。
  6. 【請求項６】 対向する気体通路の対の各々が実質的に
    同一通路断面と同一通気抵抗をもつことを特徴とする請
    求項２から５の何れかに記載する装置。
  7. 【請求項７】 板（１，２）の対向面が実質的に好まし
    くは１０ミクロンの同一面粗さを有し且つ対として同一
    の表面状態又は表面組織を有することを特徴とする請求
    項１から６の何れかに記載する装置。
  8. 【請求項８】 板（１，２）の少なくとも一方が縁部を
    通るガスケットを有し、真空操作において異物が板
    （１，２）とガラス板（３）間に侵入するのを阻止する
    ようにしたことを特徴とする請求項１から７の何れかに
    記載する装置。
  9. 【請求項９】 複数の装置が設けられ、印加減圧又は過
    剰圧の量を制御し且つ減圧又は過剰圧が板（１，２）の
    有効面の部分面積に互いに独立して作用するようにした
    ことを特徴とする請求項１から８の何れかに記載する装
    置。
  10. 【請求項１０】 複数の装置が設けられ、板（１，２）
    間で接触せずに保持されるガラス板（３）を両側の過剰
    圧で水平方向に移動し得、且つまた一位置においてガラ
    ス板（３）を制止し得るようにしたことを特徴とする請
    求項１から９の何れかに記載する装置。
  11. 【請求項１１】 板（１，２）の一方の有効面積が扱わ
    れるガラス板（３）の面積より小さく、且つ複数の装置
    が設けられ、板（１，２）の有効領域の外側にあるガラ
    ス板（３）を加工するようにしたことを特徴とする請求
    項１から１０の何れかに記載する装置。
  12. 【請求項１２】 板（１，２）の一方の有効面積が扱わ
    れるガラス板（３）の面積に等しいかそれより大きく、
    板（１，２）は凹部を有し、且つ複数の装置が設けら
    れ、板（１，２）内の凹部に沿ってガラス板を加工する
    ようにしたことを特徴とする請求項１から１０の何れか
    に記載する装置。
  13. 【請求項１３】 板（１，２）の一方は、間に連続空間
    が配置される二つ又はそれ以上の部分領域から成り、且
    つ複数の装置が設けられ連続空間に沿って該部分領域間
    に在るガラス板（３）を加工するようにしたことを特徴
    とする請求項１から１０の何れかに記載する装置。
  14. 【請求項１４】 水平に配置され且つガラス板（３）に
    対する送り装置を形成する第一の対の板（１，２）と、
    ガラス板（３）の加工位置（７）を形成する第二の対の
    板（１ｂ，２ｂ）を備え、ここで板（１ｂ，２ｂ）の少
    なくとも一方が垂直及び／又は水平に移動可能にしたこ
    とを特徴とする請求項１から１３の何れかに記載する装
    置。
  15. 【請求項１５】 好ましくは頭部板（１ｃ）が設けら
    れ、加工位置（７）から加工済・仕上げ済ガラス部
    （３’）を運ぶようにしたことを特徴とする請求項１４
    に記載する装置。
  16. 【請求項１６】 水平及び／又は垂直に移動可能なよう
    に頭部板（１ｃ）が設計されることを特徴とする請求項
    １５に記載する装置。
  17. 【請求項１７】 頭部板（１ｃ）と積み重ね装置（８）
    が加工位置（７）の下流に配置されることを特徴とする
    請求項１６に記載する装置。
  18. 【請求項１８】 垂直に移動可能なように積み重ね装置
    （８）が設計され、それによって堆積レベルが頭部板
    （１ｃ）を垂直に移動することを要せず、堆積されるガ
    ラス部（３’）に向けて前進され得るようにしたことを
    特徴とする請求項１７に記載する装置。
  19. 【請求項１９】 板の数個の対が搬送方向に配置され過
    剰圧が板（１，２）の全ての対の両側に作用するように
    すると共に、ガスを排出する搬送の方向の板の対間に空
    間が設けられる、縁部を把握する搬送ベルト等の装置に
    よる薄いガラス板（３）の非接触搬送装置。
  20. 【請求項２０】 過剰圧操作において供給される気体及
    び／又はガラス板を加熱するように複数の装置が設けら
    れ、且つ板（１，２）間の複数ガラス板が加熱処理、つ
    まり調温を受けるようにした請求項１から１９の何れか
    に記載する装置。
JP9319269A 1996-11-29 1997-11-20 薄いガラス板を扱う装置 Pending JPH10157845A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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DE19649488A DE19649488A1 (de) 1996-11-29 1996-11-29 Vorrichtung zur Handhabung von dünnen Glasscheiben
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