JPH10135313A - 縦型ボートの位置調整方法位置調整装置およびその位置調整装置を用いたウェーハ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 縦型ボートの水平方向および垂直方向の正確
な位置決めをする。 【解決手段】 ウェーハ１１を横向きに保持する溝３
ａ、４ａ、５ａ、６ａを複数有する縦型ボート２を所定
位置に載置して移動可能なステージ１と、縦型ボート２
のウェーハ１１の挿入口を有する正面側の正規の位置に
配設し縦型ボート２の側面の左右方向位置を確認する第
一確認手段１０と、縦型ボート２の側面側に配設し縦型
ボート２の正面の前後方向の位置を確認する第二確認手
段９とを有する縦型ボートの位置調整装置のステージ１
に縦型ボート２を載置して、ステージ１を縦型ボート２
の前後方向および水平面の回転方向に動かして第二確認
手段９で縦型ボート２の正面の位置が正しい位置にきて
いることを確認し、さらにステージ１を縦型ボート２の
左右方向に動かして第一確認手段１０で縦型ボート２の
側面が正しい位置にきていることを確認する縦型ボート
の位置調整方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ステージ上の所定
の位置に載置した縦型ボートの溝にウェーハを挿入する
ために、ステージを動かして位置を調整する縦型ボート
の位置調整方法および位置調整装置に関する。さらに、
この縦型ボートの位置調整装置を用いたウェーハ処理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の縦型ボートの位置調整方法と、そ
のとき用いる縦型ボートの位置調整装置について説明す
る。

【０００３】一定間隔で形成した複数の溝に一枚づつ横
向きにウェーハを保持する縦型ボートを移動可能なステ
ージ上の所定位置に載置する。

【０００４】つづいて、ステージ上の縦型ボートの溝
に、ウェーハを挿入したり、取り出したりする前に、ウ
ェーハ移載機でウェーハを縦型ボート直前まで移動させ
る。つづいて、ウェーハ移載機でウェーハを縦型ボート
の下端近傍の溝にスムーズに入れたり、取り出せるよう
に、目視で縦型ボートを載置した状態でステージを動か
すことによって縦型ボートの位置を調整する。

【０００５】つづいて、ステージを下降させ、縦型ボー
トの上端近傍の溝にウェーハをスムーズに入れたり、取
り出せるように、目視でステージの位置を動かすことに
よって縦型ボートの位置を調整する。

【０００６】少なくとも、縦型ボートの上端と下端で溝
にスムーズにウェーハを入れたり、取り出せるようにな
るまで、上端と下端の位置調整を繰り返して、縦型ボー
トの位置をティーチングしてから、ウェーハの挿入、取
出しを行なっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】位置調整可能なステー
ジ上の縦型ボートにウェーハ移載機でウェーハを供給す
るときに、ウェーハ移載機でウエーハを縦型ボートに近
付けながら、目視でステージを移動させてウェーハが縦
型ボートにスムーズに入るように調整していた。この作
業は目視で合わせるために、位置合わせに長時間と熟練
を必要としていた。この操作は縦型ボートを洗浄等で取
り外した後の取り付けの度に行なっていた。

【０００８】また、縦型ボートの取り外しを行なわない
ときでも、ウェーハ処理のためにステージ毎移動して元
の位置に戻ったときも、ウェーハ処理前に調整したとき
とステージの位置が異なることがあり、再調整が必要で
あった。

【０００９】また、縦型ボートを載置後のステージの位
置調整を目視で行なうために、縦型ボートの位置調整が
不十分で、ウェーハ供給時に縦型ボートの溝にウェーハ
がスムーズに入らず、ウェーハが傷付いたり、欠けた
り、割れたりすることがあった。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために提案されたもので、ウェーハを横向きに保持
する溝を複数有する縦型ボートを所定位置に載置して移
動可能なステージと、縦型ボートのウェーハの挿入口を
有する正面側の正規の位置に配設し縦型ボートの側面の
左右方向位置を確認する第一確認手段と、縦型ボートの
側面側に配設し縦型ボートの正面の前後方向の位置を確
認する第二確認手段とを有する縦型ボートの位置調整装
置のステージに縦型ボートを載置して、ステージを縦型
ボートの前後方向および水平面の回転方向に動かして第
二確認手段で縦型ボートの正面の位置が正しい位置にき
ていることを確認し、さらにステージを前記縦型ボート
の左右方向に動かして第一確認手段で縦型ボートの側面
が正しい位置にきていることを確認する縦型ボートの位
置調整方法を提供する。このことにより、確認手段で縦
型ボートの水平方向の位置を確認するので、縦型ボート
の水平方向の位置調整が正確にでき、しかも位置調整に
熟練を必要としない。

【００１１】加えて、縦型ボートの下端近傍で上記の調
整をし、ステージを垂直に下降または第一確認手段と第
二確認手段を垂直に上昇させ、ステージを縦型ボートの
垂直面の回転方向に動かして第一確認手段と第二確認手
段で縦型ボートの上端近傍の正面の位置と側面の位置を
確認し、縦型ボートの傾きを調整する縦型ボートの位置
調整方法を提供する。このことにより、確認手段で縦型
ボートの垂直方向の上下の位置を確認するので、縦型ボ
ートの傾きの位置調整が正確にでき、しかも位置調整に
熟練を必要としない。

【００１２】加えて、側面の位置の確認を縦型ボートの
両側面の同一のウェーハを保持する溝の底で行なう縦型
ボートの位置調整方法を提供する。このことにより、ウ
ェーハが保持する領域の両端である縦型ボートの溝の底
で両側面の位置を確認するので、ウェーハの載置位置が
正確になり、溝にスムーズにウェーハが入り、ウェーハ
に傷が付いたり、欠けたり、割れたりすることはない。

【００１３】加えて、側面の傾きの確認を縦型ボートの
両側面の同一のウェーハを保持する溝の上面または下面
で行なう縦型ボートの位置調整方法を提供する。このこ
とにより、溝が正確に水平になり、溝にスムーズにウェ
ーハが入り、ウェーハが欠けたり、割れたりすることな
ない。

【００１４】また、ウェーハを横向きに保持する溝を複
数有する縦型ボートを所定位置に載置して水平方向に移
動可能で、且つ水平面で回転可能なステージと、縦型ボ
ートのウェーハの挿入口を有する正面側に配設し縦型ボ
ートの左右方向の位置を確認する第一センサーと、縦型
ボートの側面側に配設し縦型ボートの正面の前後方向の
所定ライン上の位置を確認する第二センサーと、第一セ
ンサーと第二センサーの情報によりステージの位置を動
かす調整手段とを有する縦型ボートの位置調整装置を提
供する。このことにより、センサーで縦型ボートの水平
方向の位置を確認するので、縦型ボートの水平方向の位
置調整が正確にでき、しかも位置調整に熟練を必要とし
ない。

【００１５】また、ウェーハを横向きに保持する溝を複
数有する縦型ボートを所定位置に載置して水平方向に移
動可能で、且つ水平面で回転可能なステージと、縦型ボ
ートのウェーハの挿入口を有する正面側に配設し縦型ボ
ートの左右方向を監視する第一画像処理装置と、縦型ボ
ートの側面側に配設し縦型ボートの正面の前後方向の位
置を調整する所定ライン上を監視する第二画像処理装置
と、第一画像処理装置と第二画像処理装置との情報によ
りステージの位置を動かす調整手段とを有する縦型ボー
トの位置調整装置を提供する。このことにより、画像処
理装置で縦型ボートの水平方向の位置を確認するので、
縦型ボートの水平方向の位置調整が短時間で正確にで
き、しかも位置調整に熟練を必要としない。

【００１６】加えて、ステージが垂直方向に移動可能
で、且つ垂直面で回転可能である縦型ボートの位置調整
装置を提供する。このことにより、ステージが垂直方向
に移動可能なので、縦型ボートの上下で縦型ボートの側
面と正面の位置が確認でき、垂直面で回転可能なので、
縦型ボートの傾きを調整できるので、縦型ボートの水平
方向の位置調整が正確にでき、しかも位置調整に熟練を
必要としない。

【００１７】さらに、上述の縦型ボートの位置調整装置
と、調整されたステージの位置を記憶する記憶手段とを
備え、ステージがウェーハ処理のために移動後記憶手段
の情報によりステージを縦型ボートの調整された位置に
移動するウェーハ処理装置を提供する。このことによ
り、縦型ボートの取り外し、取り付けを行なわなけれ
ば、記憶手段によりその都度位置調整しなくても調整位
置に戻る。このように、オートティーチングなので、位
置合わせも正確で短時間にできるので、位置合わせの頻
度を挙げることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は本発明の縦型ボートの位置
調整装置の正面図、図２は図１のＥ−Ｅ線から下を見た
平面図である。

【００１９】図において、１はステージ、２はステージ
１上の所定位置に載置した炭化珪素からなる縦型ボー
ト、３は内側に一定ピッチで形成した一定幅の複数の溝
３ａを有する右支持棒、４は内側に一定ピッチで形成し
た一定幅の複数の溝４ａを有する左支持棒、５は内側に
一定ピッチで形成した一定幅の複数の溝５ａを有する中
右支持棒、６は内側に一定ピッチで形成した一定幅の複
数の溝６ａを有する中左支持棒、７は支持棒３、４、
５、６の上端を固定する上固定棒、８は支持棒３、４、
５、６の下端を固定する下固定棒である。

【００２０】９は縦型ボート２の側面側の一方に上下方
向（図面１の上下方向即ちＺ方向）に移動可能に配設し
た第二確認手段、例えば第二センサー、１０は縦型ボー
ト２の正面側に左右方向（図面１、２の左右方向即ちＸ
方向）に首振り可能に配設した第一確認手段、例えば第
一センサーである。

【００２１】１１は同じ高さの支持棒の溝３ａ、４ａ、
５ａ、６ａで横向きに保持される半導体ウェーハであ
る。

【００２２】３ｂは縦型ボート２を立てたときの右支持
棒の溝３の上面、３ｃは右支持棒の溝３ａの下面であ
る。３ｄは右支持棒の溝の底である。

【００２３】以下に、上記縦型ボートの位置調整装置と
それによる位置調整方法を説明する。

【００２４】・第１工程 まず、図面上のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動可能で、
さらに垂直方向および水平方向に回転可能なステージ１
上の中央近傍の所定位置に縦型ボート２を載置する。こ
のとき、縦型ボート２の正面側の位置を合わせる合わせ
ライン（Ｘ軸に平行なライン）の延長線上で、縦型ボー
ト２の下端近傍の高さに、ビームを合わせラインに向け
た反射型の第二センサー９が配設してある。

【００２５】・第２工程 つづいて、縦型ボート２の図面１の右支持棒３のＢ部お
よび左支持棒４のＤ部がビームに接触するように、ステ
ージ１をＹ方向への移動および水平面での回転をさせ、
Ｙ方向の位置決めをする。

【００２６】この方法を詳しく説明する。縦型ボート２
の正面側の位置を合わせる合わせラインより後（ビーム
が接触しない位置）になるように、ステージ１をＹ軸方
向に動かす。つづいて、ステージ１を合わせライン方向
に動かして第２センサー９のビームに接触した位置で停
止する。つづいて、ステージ１を第２センサー９のビー
ムから離れる水平方向に少し回転させる。つづいて、ス
テージ１を再度合わせライン方向に動かして第２センサ
ー９のビームに接触した位置で停止する。つづいて、ス
テージ１を第２センサー９のビームから離れる前回と同
じ水平方向に少し回転させる。このステージ１をライン
方向に動かすことと、同じ水平方向に回転させることを
繰り返しても、第２センサー９のビームから縦型ボート
２が離れなくなったときに位置合わせが完了する。

【００２７】・第３工程 つづいて、縦型ボート２の正面側の位置を合わせる合わ
せライン上の縦型ボート２の左右方向の中央を合わせ
る、合わせラインと直角に交わるＹ軸の延長線上の縦型
ボート２の正面側位置で、縦型ボート２の下端近傍の高
さに配設した反射型の第一センサー１０を左右方向（図
面上のＸ方向）に同じ角度振らせる。このとき、右支持
棒３の下端Ｂ部の溝の底３ｄと同じ半導体ウェーハ１１
を保持する左支持棒４の下端Ｄ部の溝４ａの底に、ビー
ムが同じ角度に振れたときに接触するように、ステージ
１をＸ方向、Ｚ方向への移動および垂直面での回転をさ
せ、Ｘ方向の位置決めをする。右支持棒３の下端Ｂ部の
溝の底３ｄと左支持棒４の下端Ｄ部の溝４ａの底の間隔
が半導体ウェーハ１１を保持する位置を最も正確に表し
ている。このとき、第一センサー１０の位置は、第一セ
ンサーのビームが右支持棒の溝３ａおよび左支持棒の溝
４ａを通過する位置までＹ方向の位置合わせラインより
離れた位置に配設する。これは、右支持棒の溝３ａおよ
び左支持棒の溝４ａが判別できるようにするためであ
る。

【００２８】・第４工程 つづいて、第一センサー１０を水平方向に振り、同じ半
導体ウーハ１１を保持する下端近傍、即ちＢ部の右支持
棒の溝の下面３ｃおよびＤ部の左支持棒の溝４ａの下面
にビームが接触するように、ステージ１をＹ方向への移
動およびＹ軸中心に回転させ、縦型ボート２の右支持棒
溝の下面３ｃおよび左支持棒の溝４ａの下面を水平にし
て、Ｘ方向の傾きの調整をする。この第４工程は縦型ボ
ート２が垂直に立つように形成されていない場合に実施
すればよい。

【００２９】・第５工程 つづいて、ステージ１を垂直に下降させて、第一センサ
ー１０を水平方向に振り、同じ半導体ウェーハ１１を保
持する上端近傍、即ちＡ部の右支持棒３の溝の底３ｄと
Ｃ部の左支持棒の溝４ａの底が同じ角度になるか、ずれ
が規格範囲内かを確認する。もし、規格範囲外であれ
ば、規格範囲内になるようにステージ１をＸ方向および
Ｙ軸中心に回転させ、縦型ボートのＸ方向の傾きを調整
する。さらに、第一センサー１０を水平方向に振り、同
じ半導体ウーハ１１を保持する上端近傍、即ちＡ部の右
支持棒の溝の下面３ｃおよびＣ部の左支持棒の溝４ａの
下面に接触するか、ずれてもずれ規格範囲内かを確認す
る。もし、規格範囲外であれば、規格範囲内になるよう
にステージ１をＹ軸中心に回転させて、Ｘ方向の傾きを
調整する。

【００３０】・第６工程 つづいて、同じ半導体ウェーハ１１を保持する上端近
傍、即ち右支持棒３のＡ部および左支持棒４のＣ部の前
面を第二センサー９のビームに接触するようにステージ
１をＹ軸方向へ動かしたり、Ｘ軸中心に回転させて、Ｙ
方向の傾きを調整する（第３工程参照）。

【００３１】・第７工程 つづいて、第６工程で位置調整したら、第２工程以降の
必要工程を繰り返して、全ての調整した位置が規格内に
なるようにする。いずれかの位置が調整しても、規格内
に入らなければ縦型ボート２は変形が大きくて使用でき
ない。

【００３２】上記工程において、第４工程で右支持棒の
溝の下面３ｃおよび左支持棒の溝４ｂの下面を用いて、
縦型ボート２の傾きを調整したが、右支持棒の溝の上面
３ｂおよび左支持棒の溝４ａの上面を用いてもよい。ま
た、位置調整がしやすいように、右支持棒３および左支
持棒４の同じ高さの位置に配設した目印を用いてもよ
い。目印は位置調整のために、特別に配設したものでな
く、縦型ボートの構造上の部位でもよい。

【００３３】また、第３工程でＸ方向の位置調整を右支
持棒の溝の底３ｂと左支持棒の溝４ａの底を用いたが、
右支持棒３と左支持棒４の内側または外側を用いてもよ
い。また、ステージ１を動かす方法は、手動で動かして
もよいし、第一センサー１０と第二センサー９の情報に
より調整手段を働かせて自動的に動かしてもよい。

【００３４】傾きの調整はステージ１の３方向に配設さ
れたネジを手で回転させて調節してもよい。

【００３５】また、正面の位置決めセンサーを中心から
Ｘ方向に同じ距離移動させて、Ｙ軸に平行な位置からＸ
方向の位置を測定して決めてもよい。

【００３６】また、第一センサー１０と第二センサー９
は同一物を移動させてもよい。

【００３７】また、支持棒は４本で説明したが、４本に
限るものではない。さらに、縦型ボートのみでなく、ウ
ェーハを収納するものであれば適用できる。縦型ボート
の材質も石英でも、他の材質でもよい。

【００３８】位置決めセンサーは反射を用いるもので
も、光線の延長上に受光部を設置してもよい。

【００３９】また、センサーの代わりに画像処理装置を
用いてもよい。この場合は、縦型ボートの傾き調整を、
右支持棒の溝の下面３ｃおよび左支持棒の溝４ａ、中右
支持棒の溝５ａ、中左支持棒の溝６ａのそれぞれの下面
を用いてもよい。右支持棒の溝の上面３ｂおよび左支持
棒の溝４ａ、中右支持棒の溝５ａ、中左支持棒の溝６ａ
のそれぞれの上面を用いてもよい。

【００４０】また、縦型ボート位置調整したステージの
位置を記憶する記憶手段と、この記憶によりステージに
縦型ボートを載せて炉等に入れた後に、この縦型ボート
からウェーハを取り出すときに、炉に入れる前の調整状
態に縦型ボートの位置を自動的にするようにしてもよ
い。

【００４１】

【発明の効果】センサーや画像処理装置で縦型ボートの
位置を確認しながら、縦型ボートの位置調整するので、
縦型ボートの溝にウェーハをスムーズ挿入したり、取り
出したりでき、ウェーハが溝および溝近傍に接触して、
ウェーハが傷付いたり、欠けたり、割れたりすることも
ない。

【００４２】また、縦型ボートの位置調整に時間を要し
たり、熟練を必要としない。

【００４３】また、縦型ボートが調整されたステージの
位置を記憶し、縦型ボートをステージ上の所定位置に載
置すれば、自動的に縦型ボートが所定の位置になるよう
に、自動的にステージは記憶された前回の位置に調整さ
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のウェーハ用縦型ボートの位置調整方
法を示す正面図

【図２】 図１のＡ−Ａ部から下を見た平面図

【符号の説明】

１ ステージ ２ 縦型ボート ３ａ、４ａ、５ａ、６ａ 溝 ９ 第二確認手段 １０ 第一確認手段 １１ ウェーハ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハを横向きに保持する溝を複数有す
   る縦型ボートを所定位置に載置して移動可能なステージ
   と、 前記縦型ボートのウェーハ挿入口を有する正面側の正規
   の位置に配設した前記縦型ボートの側面の左右方向位置
   を確認する第一確認手段と、 前記縦型ボートの側面側に配設した前記縦型ボートの正
   面の前後方向の位置を確認する第二確認手段とを有する
   縦型ボートの位置調整装置の前記ステージに前記縦型ボ
   ートを載置した縦型ボートの前後方向および水平面の回
   転方向に動かして前記第二確認手段で前記縦型ボートの
   正面の位置が正しい位置にきていることを確認し、 さらに前記ステージを前記縦型ボートの左右方向に動か
   して前記第一確認手段で前記縦型ボートの側面が正しい
   位置にきていることを確認する縦型ボートの位置調整方
   法。
2. 【請求項２】前記縦型ボートの下端近傍で請求項１に記
   載の調整をし、 前記ステージと前記第一確認手段と前記第二確認手段を
   垂直に上昇させ、前記ステージを前記縦型ボートの垂直
   面の回転方向に動かして前記第一確認手段と前記第二確
   認手段で前記縦型ボートの上端近傍の正面の位置と側面
   の位置を確認し、 前記縦型ボートの傾きを調整する請求項１記載の縦型ボ
   ートの位置調整方法。
3. 【請求項３】前記側面の位置の確認を前記縦型ボートの
   両側面の同一のウェーハを保持する前記溝の底で行なう
   請求項１または請求項２記載の縦型ボートの位置調整方
   法。
4. 【請求項４】前記側面の傾きの確認を前記縦型ボートの
   両側面の同一のウェーハを保持する前記溝の上面または
   下面で行なう請求項２記載の縦型ボートの位置調整方
   法。
5. 【請求項５】ウェーハを横向きに保持する溝を複数有す
   る縦型ボートを所定位置に載置して水平方向に移動可能
   で、且つ水平面で回転可能なステージと、 前記縦型ボートの前記ウェーハの挿入口を有する正面側
   に配設した前記縦型ボートの左右方向の位置を確認する
   第一センサーと、 前記縦型ボートの側面側に配設し前記縦型ボートの正面
   の前後方向の所定ライン上の位置を確認する第二センサ
   ーと、 前記第一センサーと前記第二センサーの情報により前記
   ステージの位置を動かす調整手段とを有する縦型ボート
   の位置調整装置。
6. 【請求項６】ウェーハを横向きに保持する溝を複数有す
   る縦型ボートを所定位置に載置して水平方向に移動可能
   で、且つ水平面で回転可能なステージと、 前記縦型ボートの前記ウェーハの挿入口を有する正面側
   に配設し前記縦型ボートの左右方向を監視する第一画像
   処理装置と、 前記縦型ボートの側面側に配設し前記縦型ボートの正面
   の前後方向の位置を調整する所定ライン上を監視する第
   二画像処理装置と、 前記第一画像処理装置と前記第二画像処理装置との情報
   により前記ステージの位置を動かす調整手段とを有する
   縦型ボートの位置調整装置。
7. 【請求項７】前記ステージが垂直方向に移動可能で、且
   つ垂直面で回転可能である請求項５または請求項６記載
   の縦型ボートの位置調整装置。
8. 【請求項８】請求項５、請求項６または請求項７記載の
   縦型ボートの位置調整装置と、 調整された前記ステージの位置を記憶する記憶手段とを
   備え、 前記ステージがウェーハ処理のために移動後前記記憶手
   段の情報により前記ステージを前記縦型ボートの前記調
   整された位置に移動するウェーハ処理装置。