JPH10135231A - 縦型熱処理装置およびそのボートと保温筒のメンテナンス方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空予備室内を大気開放せずにボートと保温
筒のメンテナンスが可能な縦型熱処理装置およびそのボ
ートと保温筒のメンテナンス方法を提供する。 【解決手段】 複数の被処理基板Ｗが保持可能なボート
１６を収容して大気側との間で被処理基板Ｗの移載を行
なうための第１の真空予備室１０と、第１の真空予備室
１０に遮断弁２２を介して連結された第２の真空予備室
２３と、第２の真空予備室２３に連結され、炉口１８ａ
を開閉する昇降可能な蓋体２５の上部に保温筒１９を介
して上記ボート１６を載置し、ボート１６と保温筒１９
を装入して被処理基板Ｗを熱処理する熱処理炉１８と、
第１の真空予備室１０と保温筒１９との間でボート１６
の搬送を行なう搬送機構３７とを備え、第２の真空予備
室２３を真空に保持した状態で、ボート１６と保温筒１
９を第１の真空予備室１０から大気側に取り出し可能と
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、縦型熱処理装置お
よびそのボートと保温筒のメンテナンス方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理基
板である半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の各種の
処理を施すために、種々の熱処理装置が用いられてい
る。このような熱処理装置として、枚葉式などでは、ウ
エハを装入して所定の真空度、温度および処理ガス雰囲
気で熱処理する熱処理炉を備えると共に、この熱処理炉
の炉口に真空予備室（ロードロック室ともいう）を連設
してなるものが知られている。この熱処理装置によれ
ば、上記真空予備室内を予め熱処理炉内とほぼ同じ圧力
にしておくことにより、熱処理炉内の圧力を大気圧に戻
すことなく炉口を開放してウエハの搬入搬出を行なうこ
とができるため、時間の短縮やスループットの向上等が
図れる。

【０００３】一方、熱処理装置の一つとして知られるバ
ッチ式の縦型熱処理装置は、熱処理炉の下部に形成され
た炉口を開閉する昇降可能な蓋体を有し、複数枚のウエ
ハが保持可能な基板保持具である石英製のボートを上記
蓋体の上部に石英製の保温筒を介して載置し、これらボ
ートおよび保温筒を炉内に装入してウエハに成膜等の熱
処理を施すようになっている。このような縦型熱処理装
置においては、ボートおよび保温筒にも成膜されること
から、これらを定期的に、あるいは必要に応じて洗浄、
交換等するメンテナンスが要求される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記縦
型熱処理装置においては、ボートおよび保温筒をメンテ
ナンスするために、真空予備室を大気開放してボートお
よび保温筒を外部に取り出さなければならない。そのた
め、真空予備室内には大気開放によって湿気やごみ等が
侵入しやすく、真空予備室内を再び所定の真空度に戻す
再立ち上げに多くの時間がかかる問題がある。

【０００５】そこで、本発明の目的は、真空予備室内を
大気開放することなくボートと保温筒のメンテナンスを
可能にした縦型熱処理装置およびそのボートと保温筒の
メンテナンス方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち請求項１記載の縦型熱処理装置は、複数
の被処理基板が保持可能なボートを収容して大気側との
間で被処理基板の移載を行なうための第１の真空予備室
と、この第１の真空予備室に遮断弁を介して連結された
第２の真空予備室と、この第２の真空予備室に連結さ
れ、炉口を開閉する昇降可能な蓋体の上部に保温筒を介
して上記ボートを載置し、ボートおよび保温筒を装入し
て被処理基板を熱処理する熱処理炉と、上記第１の真空
予備室と保温筒との間でボートの搬送を行なう搬送機構
とを備え、上記第２の真空予備室を真空に保持した状態
で、ボートと保温筒を第１の真空予備室から大気側に取
り出し可能に構成したことを特徴とする。

【０００７】請求項２記載の縦型熱処理装置のボートと
保温筒のメンテナンス方法は、複数の被処理基板が保持
可能なボートを収容して大気側との間で被処理基板の移
載を行なうための第１の真空予備室と、この第１の真空
予備室に遮断弁を介して連結された第２の真空予備室
と、この第２の真空予備室に連結され、炉口を開閉する
昇降可能な蓋体の上部に保温筒を介して上記ボートを載
置し、ボートおよび保温筒を炉内に装入して被処理基板
を熱処理する熱処理炉と、上記第１の真空予備室と保温
筒との間でボートの搬送を行なう搬送機構とを備え、上
記第２の真空予備室を真空に保持した状態で、搬送機構
によりボートと保温筒を第１の真空予備室に搬送し、こ
の第１の真空予備室からボートと保温筒を大気側に取り
出してメンテナンスすることを特徴とする。

【０００８】

【実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添付図面
に基づいて詳述する。

【０００９】図２〜図４において、１は熱処理装置とし
て例示したバッチ式の縦型熱処理装置の筐体、２は被処
理基板である半導体ウエハＷを複数枚例えば２５枚程度
垂直に立てた状態で所定のピッチで収納する上部に収納
口２ａを有する運搬用の容器であるカセットである。上
記筐体１の一端には、上記カセット２を搬入搬出するた
めの開閉ゲートを有する搬出入口３が設けられている。
上記筐体１内における搬出入口３近傍には、上記カセッ
ト２を収納口２ａが上部にある垂直状態で載置するため
の載置台４が設けられている。

【００１０】上記載置台４には、カセット２を前後から
押える押え部５，６、カセット２内のウエハＷのオリフ
ラ合せを行うオリフラ整合機等（図示省略）が設けられ
ている。また、載置台４は、垂直に回動可能に設けられ
ており、上記カセット２内のウエハＷを垂直状態から水
平状態にすべくカセット２をほぼ９０度回動できるよう
になっている。上記筐体１内には、昇降および回転可能
な基台７を有する移載機構８が設けられ、その基台７の
周囲に上記載置台４と、上記カセット２を設置する設置
台９と、後述する第１の真空予備室（ロードロック室）
１０とが配置されている。

【００１１】上記移載機構８は、ボールネジ等を用いた
昇降機構により昇降可能に設けられた昇降アーム１１を
有し、この昇降アーム１１上に上記基台７が水平に回転
可能に取付けられている。上記昇降アーム１１内には、
上記基台７を位置決め可能に回転駆動するための回転駆
動部が設けられている（図示省略）。

【００１２】上記基台７上には、ウエハＷを支持する水
平に延出した短冊状のウエハ支持部（フォークともい
う）１２を複数段例えば５段有するウエハ移載機１３
と、上記カセット２を載置して支持する水平に延出した
カセット支持部１４を有するカセット移載機１５とが対
向して往復移動可能に設けられ、そのカセット移載機１
５によりカセットＷを載置台４から設置台９にまたはそ
の逆に、上記ウエハ移載機１３によりウエハＷを設置台
９のカセット２内から第１の真空予備室１０内の後述す
るボート１６にまたはその逆にそれぞれ移載可能に構成
されている。

【００１３】上記ウエハ移載機１３およびカセット移載
機１５が基台７上の待機位置にある状態において、上記
カセット支持部１４が上記ウエハ移載機１３の直上に配
置され、これによりカセット２を基台７から外側にはみ
出さない状態で旋回させることができ、旋回半径Ｒの縮
小化が図られている。上記設置台９は、高さ方向にカセ
ット２を複数個設置可能に棚部１７を複数段例えば４段
有している。

【００１４】上記第１の真空予備室１０は、後述する熱
処理炉１８内に複数枚例えば３０枚のウエハＷを装入す
るために用いられる基板保持具である石英製のボート１
６を収容して大気側との間でウエハＷの移載を行なうと
共に予備真空を行うための部屋で、上記基台７を挟んで
上記載置台４と対向する位置に配置されている。第１の
真空予備室１０の上記基台７側へ臨む前面部には、ボー
ト１６や保温筒１９が出し入れ可能な開口部２０が形成
され、この開口部２０には、これを開閉可能に密閉する
上下スライド式の遮断扉であるロードロックドア２１が
設けられている。

【００１５】上記第１の真空予備室１０の後部には、遮
断弁であるゲートバルブ２２を介して第２の真空予備室
２３が連結され、この第２の真空予備室２３の後部側上
方には、下部に炉口１８ａを有する縦型の熱処理炉１８
が連結されている。この熱処理炉１８は、筐体１内の後
端側上方にベース部２４を介して設置されている。熱処
理炉１８は、その炉口１８ａを開閉する昇降可能な蓋体
２５を有し、この蓋体２５の上部に炉口部分を保温する
例えば石英製の保温筒１９を介して上記ボート１６が載
置され、これらボート１６および保温筒１９を炉内に装
入してウエハＷの熱処理を行なうようになっている。

【００１６】上記蓋体２５と保温筒１９の間および保温
筒１９とボート１６の間には、蓋体２５上に載置される
保温筒１９および保温筒１９上に載置されるボート１６
の位置ずれを防止するために互に係合する凹凸等の位置
決め手段が設けられていることが好ましい。なお、蓋体
２５には、保温筒１９を載置して回転する回転テーブル
が設けられていてもよい。

【００１７】上記蓋体２５は、昇降機構２６の昇降アー
ム２７上に設けられている。この昇降機構２６は、図５
に示すように、上記昇降アーム２７と、この昇降アーム
２７を垂直の昇降ロッド２８を介して昇降駆動する駆動
部２９とからなり、その駆動部２９が上記ベース部２４
上に熱処理炉１８と共に設置されている。第２の真空処
理室２３の上部およびベース部２４には、熱処理炉１８
の炉口１８ａと対応した開口部３０ａ，３０ｂと、昇降
機構２６の昇降ロッド２８を貫通させる開口部３０ｃ，
３０ｄとが設けられている。

【００１８】上記熱処理炉１８は、上記ベース部２４の
炉口用開口部３０ｂの上端に設置される例えばステンレ
ス鋼製の円筒状のマニホールド３１を有し、このマニホ
ールド３１の上端に例えば石英製の反応管３２が取付け
られている。また、上記マニホールド３１の上端には、
ヒータベース３３が取付けられ、このヒータベース３３
上には、上記反応管３２を覆う円筒状の断熱材３４の内
周に図示しないヒーター線を配線してなる加熱ヒータ３
５が取付けられている。これにより、ホットウォール型
の熱処理炉１８が構成されている。

【００１９】上記マニホールド３１が熱処理炉１８の炉
口１８ａを形成しており、その開口端が上記蓋体２５に
よって第２の真空予備室２３内側から閉じられて熱処理
炉１８内と第２の真空予備室内２３が遮断されるように
なっている。また、第２の真空予備室２３の炉口用開口
部３０ａとマニホールド３１との間には、真空シール用
のベローズ３６ａが気密に取付けられ、上記昇降ロッド
用開口部３０ｃと昇降ロッド２８の上端部との間にも同
様のベローズ３６ｂが気密に取付けられている。

【００２０】上記マニホールド３１は、上部マニホール
ド３１ａと下部マニホールド３１ｂとに上下に二分割可
能に形成されている。これにより、上記熱処理炉１８の
炉口１８ａを蓋体２５で閉じた状態で上部マニホールド
３１ａを下部マニホールド３１ｂから分離することによ
り、第２の真空予備室２３を大気開放することなく熱処
理炉１８を筐体１外に取り出してメンテナンスすること
が可能になっている。下部マニホールド３１ｂには、熱
処理炉１８内に処理ガスや不活性ガス等を導入するガス
導入配管が設けられている（図示省略）。なお、熱処理
炉１８内を真空排気する排気口は、反応管３２の上端部
か、或いは上部フランジ部３１ａに設けられている（図
示省略）。

【００２１】上記第２の真空予備室２３は、熱処理炉１
８の熱処理時の真空度とほぼ同じ真空度例えば１Ｔｏｒ
ｒに制御されるようになっている。また、上記第１の真
空予備室１０は、ゲートバルブ２２を開けて第２の真空
予備室２３と連通するに際して第２の真空予備室２３と
同じ圧力に制御され、第１の真空予備室１０と第２の真
空予備室２３との間のゲートバルブ２２を閉じた状態で
第１の真空予備室１０のロードロックドア２１を開けて
筐体１内と連通するに際して筐体１内と同じ圧力（大気
圧）に制御されるようになっている。

【００２２】上記第２の真空予備室２３は、上記熱処理
炉１８の下方において炉内へのボート１６の搬入搬出を
行なうためのローディング室２３ａと、上記ボート１６
を２個使用する場合にボート１６同士が干渉しないよう
熱処理炉１８から搬出されたボート１６を仮置きするバ
ッファー室２３ｂと、ボート１６の搬送を行なう後述の
搬送機構３７が配置されたトランスファー室２３ｃとか
ら主に構成され、これら三室２３ａ，２３ｂ，２３ｃは
連通されている。

【００２３】上記トランスファー室２３ａ内には、上記
ボート１６を第１の真空予備室１０から上記保温筒１９
上に、または保温筒１９上から上記バッファー室２３ｂ
を介して第１の真空予備室１０に水平に搬送するための
多関節アーム構造の搬送アーム３８を有する搬送機構３
７が設けられている。この搬送機構３７は、ボート１６
を昇降させる機能を有していないため、第１の真空予備
室１０およびバッファー室２３ｂには、搬送アーム３８
との間でボート１６の受取り受渡しを可能とすべくボー
ト１６を上下動可能に設置する基板保持具設置台である
ボートスタンド３９が配置されている。なお、上記搬送
機構３７としては、搬送アーム３８を介してボート１６
を昇降させる機能を有していてもよく、その場合、ボー
トスタンド３９は上下動可能に構成されていなくてもよ
い。

【００２４】そして、上記縦型熱処理装置は、第２の真
空予備室２３を真空に保持した状態でボート１６と保温
筒１９を第１の真空予備室１０を介して大気側に取り出
し可能に構成されている。ボート１６を取り出す場合に
は、ロードロックドア２１を閉じ、ゲートバルブ２２を
開いた状態で搬送機構３７により保温筒１９上もしくは
バッファー室２３ｂのボートスタンド３９上からボート
１６を第１の真空予備室１０のボートスタンド３９上に
搬送し、ゲートバルブ２２を閉じ、第１の真空予備室１
０内を大気圧に戻してロードロックドア２１を開けるこ
とにより、作業者が第１の真空予備室１０の開口部２０
からボート１６を取り出せばよい（図１参照）。筐体１
には、ボート１６等のメンテナンスのために作業者が出
入りできるドア付の出入口が設けられている（図示省
略）。

【００２５】保温筒１９を取り出す場合にも、上記と同
様に、搬送機構３７により保温筒１９を蓋体２２上から
第１の真空予備室１０に搬送し、この第１の真空予備室
１０の開口部２０から取り出せばよい。これにより、第
２の真空予備室２３を真空ないし減圧状態に保持しつつ
ボート１６と保温筒１９を第１の真空予備室１０から大
気側に取り出すことができ、これらボート１６および保
温筒１９の洗浄、交換等のメンテナンスを容易に行なう
ことができるようになっている。

【００２６】次に上記実施の形態による作用を述べる。
ウエハＷを垂直に立てて収納したカセット２を搬出入口
３から熱処理装置の筐体１内に搬入して載置台４上に載
置すると、カセット２が押え部５，６により前後から押
えられ、オリフラ合せ後、カセット２がウエハＷを水平
にすべく載置台４と共にほぼ９０度回動される。これに
よりカセット２は、上部に収納口２ａがある垂直状態か
ら収納口２ａが水平に向いた水平状態になる。

【００２７】移載機構８における昇降アーム１１の昇
降、基台７の旋回およびカセット移載機１５の移動によ
り、上記カセット２が載置台４から設置台９の棚部１７
に移載される。所定個数のカセット２が設置台９の各棚
部１７に移載されたなら、移載機構８における昇降アー
ム１１の昇降、基台７の旋回およびウエハ移載機１３の
移動により、上記設置台９上のカセット２内からウエハ
Ｗが予め第１の真空予備室１０内のボートスタンド２８
に設置されているボート１６に移載される。

【００２８】上記ウエハＷの移載に際して、第１の真空
予備室１０と第２の真空予備室２３との間のゲートバル
ブ２２は閉じられ、第１の真空予備室１０のロードロッ
クドア２１は開放されている。所定枚数のウエハＷがボ
ート１６に移載されたなら、ロードロックドア２１が閉
じられ、第１の真空予備室１０内が所定の真空度に真空
引きされる。

【００２９】一方、同時進行で行なわれている熱処理炉
１８における熱処理が終了すると、昇降機構２６の昇降
アーム２７による蓋体２５の下降により熱処理炉１８の
炉口１８ａが開放されると共にボート１６および保温筒
１９が熱処理炉１８内から第２の真空予備室２３のロー
ディング室２３ａ内に降下され、搬送機構３７の搬送ア
ーム３８により上記ボート１６が保温筒１９上からバッ
ファー室２３ｂ内のボートスタンド３９上に搬送されて
仮置きされる。次いで、第１の真空予備室１０と第２の
真空予備室２３との間のゲートバルブ２２が開放され、
上記搬送アーム３８により第１の真空予備室１０内のボ
ート１６が上記ローディング室２３ａ内の昇降アーム２
７の保温筒１９上に搬送され、バッファー室２３ｂ内の
ボート１６が第１の真空予備室１０内に搬送される。

【００３０】上記ボート１６の搬送後に、上記ゲートバ
ルブ２２が閉じられ、昇降機構２６の昇降アーム２７に
よる蓋体２５の上昇により上記ボート１６および保温筒
１９が熱処理炉１８内に装入されると共に、炉口１８ａ
が蓋体２５で閉じられ、所定の熱処理が開始される。一
方、第１の真空予備室１０内に移されたボート１６から
設置台９上の空のカセット２内に処理済みのウエハＷが
移載され、そのカセット２が設置台９から載置台４に移
載されて搬出入口３から搬出されることになる。

【００３１】ところで、上記縦型熱処理装置において
は、ウエハＷへの成膜等の熱処理時にボート１６および
保温筒１９にも成膜されるため、これらボート１６およ
び保温筒１９を定期的に、あるいは成膜の膜厚が所定厚
さに達する毎に洗浄、交換等するメンテナンスが要求さ
れる。そこで、ボート１６のメンテナンスを行なう場
合、ボート１６が保温筒１９上もしくはバッファー室２
３ｂのボートスタンド３９上にある場合には、ロードロ
ックドア２１を閉じ、第１の真空予備室１０を第２の真
空予備室２３と同じ真空度にした状態でゲートバルブ２
２を開け、搬送機構３７により上記ボート１６を第１の
真空予備室１０のボートスタンド３９上に搬送する。

【００３２】次に、ゲートバルブ２２を閉じ、第１の真
空予備室内１０を大気圧に戻してロードロックドア２１
を開け、第１の真空予備室１０の開口部２０から筐体１
内にボート１６を取り出し、更に筐体１外に搬出してメ
ンテナンスすればよい。このようにして、第２の真空予
備室２３内を大気開放することなく、真空状態に維持し
たままでボート１６のメンテナンスを容易に行なうこと
ができる。第１の真空予備室１０に搬送されたボート１
６にウエハＷが保持されている場合、ウエハＷをカセッ
ト２に移替え、ボート１６を空にしてから第１の真空予
備室１０から取り出すことは勿論である。

【００３３】ボート１６を二つ使用している場合、一方
のボートが熱処理炉１８内に装入され、ウエハＷの熱処
理中であったとしても、他方のボートのメンテナンスが
可能である。保温筒１９のメンテナンスを行なう場合に
は、先ず、保温筒１９上からボート１６を取り去った状
態にし、上記ボート１６のメンテナンスと同様に、搬送
機構３７により蓋体２５上から保温筒１９を第１の真空
予備室１０に搬送し、この第１の真空予備室１０の開口
部２０から保温筒１９を取り出してメンテナンスすれば
よい。メンテナンス後は、上記とは逆の手順により、第
２の真空予備室２３内を真空に保ったままボート１６と
保温筒１９を元の位置に戻すことができる。

【００３４】このように、上記縦型熱処理装置またはそ
のボートと保温筒のメンテナンス方法によれば、第２の
真空予備室２３内を大気開放することなくボート１６と
保温筒１９を取り出してメンテナンスすることが可能と
なる。また、第２の真空予備室２３内を大気開放しない
ので、湿気やごみ等が侵入することがなく、第２の真空
予備室２３内を再び所定の真空度に戻す再立ち上げも不
要であり、縦型熱処理装置の運転効率の向上が図れる。

【００３５】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。

【００３６】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。

【００３７】（１）請求項２記載の縦型熱処理装置によ
れば、複数の被処理基板が保持可能なボートを収容して
大気側との間で被処理基板の移載を行なうための第１の
真空予備室と、この第１の真空予備室に遮断弁を介して
連結された第２の真空予備室と、この第２の真空予備室
に連結され、炉口を開閉する昇降可能な蓋体の上部に保
温筒を介して上記ボートを載置し、ボートと保温筒を装
入して被処理基板を熱処理する熱処理炉と、上記第１の
真空予備室と保温筒との間でボートの搬送を行なう搬送
機構とを備え、上記第２の真空予備室を真空に保持した
状態で、ボートと保温筒を第１の真空予備室から大気側
に取り出し可能に構成してあるため、第２の真空予備室
内を大気開放することなくボートと保温筒のメンテナン
スが可能となる。

【００３８】（２）請求項２記載の縦型熱処理装置のボ
ートと保温筒のメンテナンス方法によれば、複数の被処
理基板が保持可能なボートを収容して大気側との間で被
処理基板の移載を行なうための第１の真空予備室と、こ
の第１の真空予備室に遮断弁を介して連結された第２の
真空予備室と、この第２の真空予備室に連結され、炉口
を開閉する昇降可能な蓋体の上部に保温筒を介してボー
トを載置し、ボートと保温筒を炉内に装入して被処理基
板を熱処理する熱処理炉と、上記第１の真空予備室と保
温筒との間でボートの搬送を行なう搬送機構とを備え、
上記第２の真空予備室を真空に保持した状態で、搬送機
構によりボートと保温筒を第１の真空予備室に搬送し、
この第１の真空予備室からボートと保温筒を大気側に取
り出してメンテナンスするため、第２の真空予備室内を
大気開放することなくボートと保温筒を容易にメンテナ
ンスすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す図で、第２の真空予
備室から第１の真空予備室を介してボートを大気側に取
り出す方法を説明する説明図である。

【図２】縦型熱処理装置の全体を示す断面側面図であ
る。

【図３】同縦型熱処理装置の断面平面である。

【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】熱処理炉部分の拡大断面図である。

【符号の説明】 Ｗ 半導体ウエハ（被処理基板） １０ 第１の真空予備室 １６ ボート １８ 熱処理炉 １８ａ 炉口 １９ 保温筒 ２２ ゲートバルブ（遮断弁） ２３ 第２の真空予備室 ２５ 蓋体 ３７ 搬送機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷藤 保 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被処理基板が保持可能なボートを
   収容して大気側との間で被処理基板の移載を行なうため
   の第１の真空予備室と、この第１の真空予備室に遮断弁
   を介して連結された第２の真空予備室と、この第２の真
   空予備室に連結され、炉口を開閉する昇降可能な蓋体の
   上部に保温筒を介して上記ボートを載置し、ボートおよ
   び保温筒を装入して被処理基板を熱処理する熱処理炉
   と、上記第１の真空予備室と保温筒との間でボートの搬
   送を行なう搬送機構とを備え、上記第２の真空予備室を
   真空に保持した状態で、ボートと保温筒を第１の真空予
   備室から大気側に取り出し可能に構成したことを特徴と
   する縦型熱処理装置。
2. 【請求項２】 複数の被処理基板が保持可能なボートを
   収容して大気側との間で被処理基板の移載を行なうため
   の第１の真空予備室と、この第１の真空予備室に遮断弁
   を介して連結された第２の真空予備室と、この第２の真
   空予備室に連結され、炉口を開閉する昇降可能な蓋体の
   上部に保温筒を介して上記ボートを載置し、ボートおよ
   び保温筒を炉内に装入して被処理基板を熱処理する熱処
   理炉と、上記第１の真空予備室と保温筒との間でボート
   の搬送を行なう搬送機構とを備え、上記第２の真空予備
   室を真空に保持した状態で、搬送機構によりボートと保
   温筒を第１の真空予備室に搬送し、この第１の真空予備
   室からボートと保温筒を大気側に取り出してメンテナン
   スすることを特徴とする縦型熱処理装置のボートと保温
   筒のメンテナンス方法。