JPH1013091A

JPH1013091A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH1013091A
Application number: JP8167225A
Authority: JP
Inventors: Masaaki Hirata; 正明平田; Kazunari Tanabe; 一成田邊; Kizashi Fukui; 萌福井
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-06-27
Filing date: 1996-06-27
Publication date: 1998-01-16
Also published as: KR100245804B1; KR980006020A

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単かつ低廉な構造で、搬送対象である基板
の幅寸法の変更に容易に対応できるようにする。【解決手段】基板の幅方向両端に外周面が接触する一
対のローラ３０をローラ軸２０とともに回転駆動して上
記基板の搬送をする装置。キー２４Ａ等のアタッチメン
トにローラ固定部であるＶ溝２５等を設けておく。ロー
ラ軸２０にキー取付溝２３等のアタッチメントを設け、
これに上記キー２４Ａ等を着脱可能に取付けるように
し、ローラ３０の位置変更の際は、上記アタッチメント
の交換のみで対応できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶用ガラス角型
基板、カラーフィルタ用基板、フォトマスク用基板、サ
ーマルヘッド用基板等の各種基板を所定方向に搬送する
ための基板搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種基板を搬送するための装置と
して、図１０に示すようなものが一般に知られている。

【０００３】この装置は、複数本のローラ軸９０を備
え、これらのローラ軸９０は図の奥行き方向に並んだ状
態でその両端が左右一対の側板８０に軸受８２を介して
回転可能に支持されている。各ローラ軸９０の左右方向
中央部には支持ローラ８４が固定され、その左右両翼に
は幅規制ローラ９２が設けられている。各幅規制ローラ
９２は、軸方向に並ぶ円筒状の小径部９３及び大径部９
４を一体に有し、これら小径部９３と大径部９４との間
には小径部９３から大径部に向かうに従って連続的に拡
径する円錐台状のテーパー部９５が形成されており、各
小径部９３が内側に位置する向きで、各ローラ軸９０上
に固定されている。そして、各ローラ軸９０が同一方向
に回転駆動されることにより、左右の幅規制ローラ９２
における小径部９３上に載せられた基板Ｐを図の奥行き
方向に搬送するように構成されている。

【０００４】ところで、この装置において、基板Ｐの幅
方向位置を確実に規制しながらその良好な搬送をするた
めには、各小径部９３の外側端同士の離間寸法を基板Ｐ
の幅寸法Ｗに精度良く合わせる必要がある。従って、こ
の装置を用いて互いに幅寸法の異なる複数種の基板Ｐを
全て搬送できるようにするには、各ローラ軸９０上にお
ける幅規制ローラ９２の位置を変更可能とする必要があ
る。

【０００５】そこで従来は、上記位置変更を可能にする
手段として、例えば図１１に示す構造が用いられてい
る。図において、ローラ軸９０の両端近傍にその軸方向
に位置をずらして複数のねじ孔９１が設けられる一方、
幅規制ローラ９２の例えば大径部９４にこれを半径方向
に貫通する段付きのボルト挿通孔９７が設けられてい
る。そして、このボルト挿通孔９７にボルト９６を挿通
した状態で当該ボルト９６を適当なねじ孔９１に螺合、
挿入することにより、幅規制ローラ９２がローラ軸９０
に固定されるようになっている。

【０００６】この構造によれば、例えば図示の状態から
ボルト９６を弛み方向に回してねじ孔９１及びボルト挿
通孔９７から抜き取り、この状態で幅規制ローラ９２を
ローラ軸９０に沿って移動させてボルト挿通孔９７を図
の右側（装置外側）のねじ孔９１と合致させた後、この
位置で再度ボルト挿通孔９７に上記ボルト９６を挿入し
て上記ねじ孔９１に螺合することにより、幅規制ローラ
の固定位置を変更できる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記装置では、各ロー
ラ軸９０に複数のねじ孔９１が設けられているといえど
も、これらねじ孔９１の位置は決まっているため、どの
ねじ孔９１の位置とも対応しない幅寸法をもつ基板の搬
送が新たに必要となった場合、現状のローラ軸９０は使
用できなくなる。従って、この場合には、全ローラ軸９
０を交換するといったきわめて面倒な作業を行わなけれ
ばならず、多大の時間と手間を要するとともに、図示の
ねじ孔９１の位置と異なる位置にねじ孔をもつローラ軸
９０を新たに製造する必要が生じ、コストの増大及び作
業能率の低下は免れ得ない。

【０００８】また、図１１に示す構造では、ねじ孔９１
の中心軸同士を当該ねじ孔９１の直径ｄよりも小さい寸
法まで近づけることができないので、上記直径ｄよりも
小さい範囲で幅規制ローラ９２の位置を微調整すること
ができない不都合もある。

【０００９】なお、上記の不都合は、上記幅規制ローラ
９２に限らず、基板Ｐの上面においてその幅方向両端の
みに接する押えローラ等、基板Ｐの幅寸法Ｗに応じて位
置調整可能な種々のローラについて生じ得るものであ
る。

【００１０】本発明は、このような事情に鑑み、搬送対
象となる基板の幅寸法が変更された場合に、ローラ軸を
交換することなく容易かつ迅速に対応でき、また、上記
基板幅寸法の微妙な変更にも対応できる基板搬送装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、基板の搬送方向と直交する方
向である基板幅方向に延び、上記搬送方向に並べて設置
される複数本のローラ軸と、各ローラ軸において上記基
板の幅方向両端に接触可能な位置に設けられるローラと
を備え、このローラ外周面と上記基板の幅方向両端とが
接触した状態で各ローラ軸及びローラが同一方向に回転
することにより基板を搬送する基板搬送装置において、
各ローラ軸において少なくとも一方のローラに対応する
位置にアタッチメント取付部を設ける一方、このアタッ
チメント取付部に着脱可能に取付けられ、上記ローラが
着脱可能に固定されるローラ固定部を有するアタッチメ
ントと、上記アタッチメント取付部に取付けられるアタ
ッチメントのローラ軸に対する軸方向相対変位を規制す
るアタッチメント規制手段とを備えたものである。

【００１２】この構成によれば、現在装着されているア
タッチメントに設けられているローラ固定部の位置が、
搬送予定の基板の幅寸法に対応していない場合にも、ロ
ーラ軸を交換することなく、上記アタッチメントを上記
搬送予定の基板の幅寸法に適合した位置にローラ固定部
をもつアタッチメントに交換するだけで、ローラ位置を
変更でき、基板幅寸法の変更に対応できる。また、アタ
ッチメントはローラ軸に取付けられた状態でアタッチメ
ント規制手段により軸方向変位が規制されるので、ロー
ラの軸方向位置が変動するおそれもない。

【００１３】上記アタッチメントは、基板幅寸法の変更
時にその都度新しいものを製造するようにしてもよい
し、互いに異なる位置にローラ固定部を有して上記アタ
ッチメント取付部に交換可能に取付けられる複数のアタ
ッチメントを予め具備しておくようにしてもよい。いず
れの場合も、一のアタッチメントにおけるローラ固定部
の位置と他のアタッチメントにおけるローラ固定部の位
置とを微小量ずらすことにより、ローラ位置の微調整が
可能になる。

【００１４】また、上記アタッチメントを、その一方の
端部が基板幅方向外側を向く第１の状態と内側を向く第
２の状態との双方で上記アタッチメント取付部に取付可
能となるように構成するとともに、上記アタッチメント
取付部に上記第１の状態でアタッチメントが取付けられ
た場合のローラ固定部の位置と上記アタッチメント取付
部に上記第２の状態でアタッチメントが取付けられた場
合のローラ固定部の位置とがローラ軸方向に異なるよう
に上記アタッチメントにおけるローラ固定部の配設位置
を設定すれば、このアタッチメントがもつローラ固定部
の個数の倍のローラ固定位置を得ることができ、ローラ
位置の微調整も可能となる。

【００１５】上記基板をその片側端を基準に搬送する場
合には、その基準端と反対側の端と接触するローラに対
応する位置にのみアタッチメント取付部を設ければよい
が、上記基板をその中央位置を基準に搬送する場合に
は、各ローラ軸において両ローラに対応する位置にアタ
ッチメント取付部を設け、かつ、両アタッチメント取付
部に取付けられるアタッチメントのローラ固定部が左右
対称に位置するように両アタッチメントにおけるローラ
固定部の配設位置を設定すればよい。

【００１６】この場合、両アタッチメント取付部に同時
に取付けられるアタッチメントの形状を同一とすること
で、アタッチメントの量産性が高まる。

【００１７】上記アタッチメントの具体的な形状は特に
問わないが、このアタッチメントを、上記アタッチメン
ト取付部に取付けられた状態でローラ軸の周方向一部か
らローラ軸径方向の外側に突出するキーとする一方、ロ
ーラの内周面に上記キーと嵌合するキー溝を設けるよう
にすれば、アタッチメントをローラの回転規制手段とし
て有効利用でき、ローラ軸に対するローラの空転を確実
に防止できる。

【００１８】各アタッチメントにおけるローラ固定部の
個数は特に問わないが、アタッチメントに複数のローラ
固定部をローラ軸の軸方向と平行な方向に位置をずらし
て設けるようにすれば、一つのアタッチメントで複数種
のローラ固定位置を選択することができる。

【００１９】上記アタッチメントにローラを固定する手
段は特に問わず、前記図１１に示したねじ孔９１をアタ
ッチメントに設けるようにしてもよいが、上記アタッチ
メントの表面に係止凹部を設ける一方、各ローラ部材に
上記係止凹部に対して係脱可能な被係止部と、この被係
止部を同被係止部が上記係止凹部と係合する方向に付勢
する付勢手段とを設けるようにすれば、ローラに設けら
れた被係止部をアタッチメントにおける適当な係止凹部
に係合するだけで、簡単にローラの係止ができる。ま
た、上記被係止部にかかる付勢力に抗してローラを強制
的に軸方向に移動させることにより、上記被係止部を係
止凹部から離脱させ、これと異なる係止凹部の位置に上
記被係止部を合致させることにより、ローラ係止位置の
変更が簡単にできる。

【００２０】この場合、上記ローラに径方向の貫通孔を
設け、この貫通孔内に球体を転動可能に収納することに
より被係止部を構成すれば、上記被係止部材が転動せず
にアタッチメント上を摺動する場合に比べてローラの移
動抵抗が少なく、スムーズなローラのスライド操作が可
能になる。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
１〜図７に基づいて説明する。

【００２２】ここに示す基板搬送装置１０は、図２及び
図３に示すような左右一対の側板１２を備え、両側板１
２は基板の搬送方向（図２の矢印１６の方向、図３の奥
行き方向）に延びている。そして、各側板１２にその長
手方向に複数の軸受１４が並べて固定され、各軸受１４
によってローラ軸２０の両端が回転可能に支持されてい
る。

【００２３】図３に示すように、各ローラ軸２０の一方
の端部にはスプロケット２１が固定され、このスプロケ
ット２１が図略のチェーン等を介して共通の駆動源に連
結されており、この駆動源の駆動力によって全ローラ軸
２０が同一方向（図２では時計回り方向）に同時回転駆
動されるようになっている。

【００２４】上記ローラ軸２０の左右方向中央部には、
基板Ｐの中央部を下から支持する支持ローラ２２が固定
され、この支持ローラ２２を中心として左右対称の位置
に、基板幅規制用のローラ３０が取付けられるようにな
っている。

【００２５】具体的に、上記ローラ軸２０において上記
ローラ３０の配設位置に対応する位置（左右対称の位
置）には、互いに同形のキー取付溝（アタッチメント取
付部）２３が凹設されている。各キー取付溝２３は、ロ
ーラ軸２０の周方向一部（図の状態では上部）に形成さ
れ、軸方向に沿って延びており、その形成領域は、ロー
ラ３０の位置変更領域を含む範囲に設定されている。

【００２６】この実施の形態では、各キー取付溝２３に
ついて図４に示すような３種のキー２４Ａ，２４Ｂ，２
４Ｃが用意されている。各キー２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ
は、上記キー取付溝２３内に着脱可能に嵌入される外形
を有し、かつ、上面に同数のＶ溝２５が形成されている
点では共通しているが、これらＶ溝２５の位置は各キー
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃによって長手方向すなわちロー
ラ軸２０の軸方向に僅かにずらされている点で異なって
いる（図４の一点鎖線位置参照）。

【００２７】各キー２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃにおいて相
互同一の位置には、これを肉厚方向（上下方向）に貫通
する貫通孔２６が設けられている。また、図１及び図
６，７に示すように、キー取付溝２３において上記貫通
孔２６と合致する位置にも、ローラ軸２０を直径方向に
貫通する貫通孔２７が設けられている。そして、キー取
付溝２３内に適当なキーを嵌め込んだ状態で、上記貫通
孔２６，２７に股がってピン（アタッチメント規制手
段）２８を圧入することにより、ローラ軸２０に対する
上記キーの軸方向相対変位を規制できるようになってい
る。また、この装着されたキーの上部がローラ軸２０の
周面から径方向外側に突出するように、キー２４Ａ〜２
４Ｃの高さ寸法がキー取付溝２３の深さ寸法よりも大き
く設定されている。

【００２８】一方、上記ローラ３０は、その中心軸上に
貫通穴３１をもつ筒状とされ、この貫通穴３１には上記
キー２４Ａ〜２４Ｃに対応する形状のキー溝３１ａが形
成されており、このキー付貫通穴３１内に前記ローラ軸
２０及びキー２４Ａ（もしくは２４Ｂ，２４Ｃ）が一体
に嵌挿されることにより、ローラ軸２０に対するローラ
３０の相対回転が規制されるようになっている。

【００２９】ローラ３０には、円筒状のローラ本体部３
２と、このローラ本体部３２よりも大径の円筒状の幅規
制部３３と、円筒状の球保持部３４とがこの順に軸方向
に並べて一体に形成され、ローラ本体部３２と幅規制部
３３との間には、幅規制部３３からローラ本体部３２に
向かうに従って次第に縮径するテーパー部３５が形成さ
れている。

【００３０】上記球保持部３４には、これを径方向（肉
厚方向）に貫通する貫通孔３６が設けられ、この貫通孔
３６内に球体３７が転動可能に収納されている。この球
体３７の直径は、上記貫通孔３６の軸寸（すなわち球保
持部３４の肉厚）よりも少し大きめに設定されている。

【００３１】球保持部３４の外周面において上記貫通孔
３６から周方向に外れた位置には、平面状の板ばね取付
面３８が形成され、この板ばね取付面３８の中央にねじ
孔３９が設けられており、この板ばね取付面３８に板ば
ね４０が取付けられるようになっている。

【００３２】板ばね４０は、平板部４１と、この平板部
４１の両端からこれと略直交する方向に延びる一対のば
ね部４２とからなっている。両ばね部４２は弾性的に撓
み可能とされており、無変形状態での両ばね部４２同士
の離間寸法は上記球保持部３４の直径よりも僅かに小さ
く設定されている。上記平板部４１には貫通孔４３が設
けられ、この貫通孔４３に間に座金４４，４５を挟んで
ボルト４６が挿通され、このボルト４６が上記ねじ孔３
９に螺合、挿入されることにより上記平面部４１が上記
板ばね取付面３８に固定されている。そして、この状態
で一方のばね部４２が球体３７に径方向外側から圧接
し、これにより球体３７が径方向内側に付勢されてお
り、この付勢力によって上記球体３７が前記キー２４Ａ
（もしくは２４Ｂ，２４Ｃ）の任意のＶ溝２５に係合さ
れ、この係合によってローラ３０がローラ軸２０及びキ
ー側に係止されるようになっている（図７（ａ），
（ｂ）参照）。

【００３３】次に、この装置の使用要領を説明する。

【００３４】まず、図４に示した３種のキー２４Ａ，２
４Ｂ，２４Ｃのうち、搬送しようとする基板Ｐの幅寸法
Ｗに適合した位置にＶ溝２５をもつキーを一対選択し、
これらをローラ軸２０の左右のキー取付溝２３に左右対
称の状態で取付ける。例えば、キー２４Ａを選択した場
合には、これらのキー２４Ａを左右のキー取付溝２３内
に嵌入し、貫通孔２６，２７にピン２８を圧入すること
により、ローラ軸２０に対するキー２４Ａの軸方向の相
対変位を規制する。

【００３５】なお、このキー装着作業の際、ローラ３０
はローラ軸２０において上記キー取付溝２３から軸方向
に外れた個所に外嵌させておけばよい。

【００３６】次に、上記ローラ３０を移動させて上記キ
ー２４Ａ及びローラ軸２０の双方に外嵌させる。そし
て、このローラ３０側に保持されかつ径方向内側に付勢
されている球体３７が目標のＶ溝２５に係合された時点
でローラ３０のスライドを止める。これにより、ローラ
３０は、ローラ軸２０上において基板Ｐの幅寸法Ｗに適
合した位置に係止された状態、すなわち、ローラ軸２０
に対する相対回転と軸方向変位の双方が規制された状態
になる。

【００３７】従って、この状態で各ローラ軸２０を同時
に回転駆動し、これらローラ軸２０と一体に回転するロ
ーラ３０のローラ本体３２の外周面上に基板Ｐを載せれ
ば、この基板Ｐの両端位置をテーパー部３５によって正
確に位置決めしながら、基板Ｐを良好に所定の搬送方向
（図２では矢印１６の方向）に搬送することができる。

【００３８】その後、上記基板Ｐと異なる幅寸法をもつ
基板Ｐを搬送する（すなわち搬送基板の幅寸法を変更す
る）場合には、従来のようにローラ軸２０の交換を行う
ことなく、このローラ軸２０を軸受１４に支持したまま
の状態で、対応することができる。

【００３９】まず、現段階で装着されているキー２４
Ａが、変更後の基板Ｐの幅寸法Ｗに適合する位置にもＶ
溝２５を有する場合には、このキー２４Ａを装着したま
ま、球体３７とこの球体３７と現時点で係合されている
Ｖ溝２５との係合力に抗して強制的にローラ３０を軸方
向に移動させ、次の基板Ｐの幅寸法Ｗに適合する位置の
Ｖ溝２５に上記球体３７を係合することにより、ローラ
３０の適正な位置調整ができる。

【００４０】これに対し、キー２４Ａが変更後の基板
Ｐの幅寸法Ｗに適合する位置にＶ溝２５を有さず、他の
キー（例えばキー２４Ｂ）が好適な位置にＶ溝２５を有
する場合には、まず上記キー２４Ａからローラ３０を軸
方向にずらし、ピン２８を抜いてキー２４Ａをキー取付
溝２３から取外し、これに代えてキー２４Ｂをキー取付
溝２３に嵌入し、ピン２８を貫通孔２６，２７に挿入し
た後（すなわちキー２４Ａからキー２４Ｂに交換した
後）、改めてローラ３０をローラ軸２０及びキー２４Ｂ
に外嵌し、このキー２４Ｂにおける目標のＶ溝２５に上
記ローラ３０の球体３７を係合すればよい。

【００４１】従って、，いずれの場合もローラ軸２
０の交換は不要であり、少なくともキーの交換だけで基
板幅寸法Ｗの変更に対応できることになる。

【００４２】また、上記のようなキー２４Ａ〜２４Ｃの
交換によって、Ｖ溝２５の微妙な位置変更も可能になる
ため、基板幅寸法Ｗが微小量だけ変更される場合にも、
これに応じてローラ３０の位置を微調整することが可能
になる。

【００４３】さらに、キー２４Ａ〜２４ＣのいずれのＶ
溝２５の位置にも対応しない幅寸法Ｗをもつ基板Ｐを搬
送する必要が生じた場合でも、従来のように新たなロー
ラ軸２０を製造する必要はなく、上記幅寸法Ｗに適合し
た位置にＶ溝２５をもつキーのみを製造すれば足りるこ
とになる。すなわち、ローラ軸２０の汎用性が高く、基
板サイズの予定外の変更にも低コストで対応できること
になる。

【００４４】第２の実施の形態を図８に示す。ここに示
すキー２４においては、その両端部に貫通孔２６が設け
られており、このキー２４を同図（ａ）に示す向きで
も、またこれと逆向きの同図（ｂ）に示す向きでも、キ
ー取付溝２３に取付けできるように構成されている。そ
して、同図（ａ）の取付状態（第１の状態）と同図
（ｂ）の取付状態（第２の状態）とで、キー２４におけ
る各Ｖ溝２５の位置がローラ軸軸方向に微小にずれるよ
うに、これらＶ溝２５の形成位置が設定されている。

【００４５】このような構造によれば、単一のキー２４
を用いながら、このキー２４におけるＶ溝２５の個数の
２倍の数のローラ係止位置を得ることができ、また、Ｖ
溝２５の位置の微小な変更も可能になる。

【００４６】本発明は、以上の他、次のような実施形態
をとることも可能である。

【００４７】(1) 第１の実施の形態では、予め複数種の
キー２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃを用意したものを示した
が、本発明では、基板サイズの変更時にその都度新しい
キーを追加して製造するようにしてもよい。

【００４８】(2) 図３には、ローラ軸２０の左右両翼部
にキー取付溝２３を設けたものを示したが、基板Ｐが中
央位置基準でなく片端位置基準で搬送される場合には、
一方のローラ３０の位置を固定し、他方のローラ３０に
ついてのみ本発明にかかるローラ位置の調整構造を適用
すればよい。例えば、基板Ｐの幅寸法に関係なくその左
端の位置を一定にして搬送する場合には、右側のローラ
３０についてのみ前記のように位置調整可能に構成すれ
ばよい。

【００４９】ただし、前記実施形態のように、各キー取
付溝２３に取付けられるキー（例えばキー２４Ａ）のＶ
溝２５が左右対称に位置するようにＶ溝２５の位置を設
定すれば、中央位置基準の基板搬送ができるのに加え、
左右両キーの形状を互いに同一とすることができ、量産
性を高めることができる利点が得られる。

【００５０】(3) 本発明における「アタッチメント」の
具体的な形状や構造を問わず、ローラ軸２０に対して着
脱可能な構成のもの、例えばローラ軸２０の外周面上に
外嵌される断面円弧状のものや、ローラ軸２０に完全に
埋め込まれるものであってもよい。ただし、前記各実施
形態に示すようにローラ軸２０の外周面から径方向外側
に突出するキー状にすれば、このキー状アタッチメント
を用いてローラ軸２０に対するローラ３０の回転規制も
行うことにより、ローラ３０の空転をより確実に防止で
きる利点がある。

【００５１】(4) 本発明において、一つのアタッチメン
トに設けられるローラ固定部の個数は特に問わず、例え
ば単数であってもよい。

【００５２】(5) 前記実施形態では、基板Ｐの幅方向両
端を下から支持する幅規制用のローラ３０を示したが、
本発明はその他、基板Ｐの幅寸法Ｗに応じて位置調整が
必要なローラについて広く適用が可能である。例えば、
搬送中の基板がはね上がらないようにその両端を上から
押える押えローラであって、基板表面処理に影響を与え
ないように確実に基板両端のみに接触するように位置調
整しなければならないものについても、本発明を適用す
ることが可能である。

【００５３】(6) 前記図１等には、貫通孔３６に収納し
た球体３７を板ばね４０によって外側から付勢するもの
を示したが、例えば図９に示すような既製のボールプラ
ンジャ５０を用いてもよい。このボールプランジャ５０
は、表面に雄ねじ５１が形成された筒状本体の先端にボ
ール５２が保持され、上記筒状本体内に上記ボール５２
を先端側に押付けるスプリング５３が収納されたもので
あり、筒状本体の上端には割溝５４が形成されている。
このようなボールプランジャ５０を例えば前記ローラ３
０の球保持部３４に設けたねじ孔内にねじこみ、上記ボ
ール５２をローラ３０の内周面から内側に突出させるよ
うにしても、このボール５２と上記Ｖ溝２５との係合に
よってローラ３０をローラ軸２０側に係止することがで
きる。

【００５４】また、アタッチメントに設けられるローラ
固定部も上記のようなＶ溝２５に限らず、例えば前記図
１１で示したねじ孔９１をアタッチメントに設けても、
ローラの位置調整が可能である。

【００５５】

【発明の効果】以上のように本発明は、ローラ軸及びこ
れに取付けられる左右のローラの回転によって基板を搬
送する装置において、各ローラ軸において少なくとも一
方のローラに対応する位置にアタッチメント取付部を設
け、このアタッチメント取付部に、ローラ固定部をもつ
アタッチメントを着脱可能に取付けるようにしたもので
あるので、ローラ軸に取付けられているアタッチメント
のローラ固定部の位置に適合しない幅寸法の基板を搬送
する必要が生じた場合にも、ローラ軸を交換することな
く、上記アタッチメントを交換するだけで上記基板の幅
寸法に対応した位置にローラを固定することができる。
従って、簡単かつ低廉な構造で、搬送基板の幅寸法の変
更に自由かつ容易に対応できる効果がある。しかも、一
のアタッチメントにおけるローラ固定部の位置と他のア
タッチメントにおけるローラ固定部の位置とを微小量ず
らすことにより、ローラ位置の微調整も実現できる。

【００５６】また、上記アタッチメントを、その一方の
端部が基板幅方向外側を向く第１の状態と内側を向く第
２の状態との双方で上記アタッチメント取付部に取付可
能となるように構成するとともに、上記アタッチメント
取付部に上記第１の状態でアタッチメントが取付けられ
た場合のローラ固定部の位置と上記アタッチメント取付
部に上記第２の状態でアタッチメントが取付けられた場
合のローラ固定部の位置とがローラ軸方向に異なるよう
に上記アタッチメントにおけるローラ固定部の配設位置
を設定すれば、このアタッチメントがもつローラ固定部
の個数の倍のローラ固定位置を得ることができ、一つの
アタッチメントをより有効に活用できる。

【００５７】各ローラ軸において両ローラに対応する位
置にアタッチメント取付部を設け、かつ、両アタッチメ
ント取付部に取付けられるアタッチメントのローラ固定
部が左右対称に位置するように両アタッチメントにおけ
るローラ固定部の配設位置を設定したものによれば、基
板をその中央位置を基準に搬送する場合にも、搬送基板
の幅寸法変更に柔軟に対応することができる。そして、
両アタッチメント取付部に同時に取付けられるアタッチ
メントの形状を同一とすることにより、アタッチメント
の量産性を高め、コストの一層の削減を図ることができ
る。

【００５８】上記アタッチメントを、上記アタッチメン
ト取付部に取付けられた状態でローラ軸の周方向一部か
らローラ軸径方向の外側に突出するキーとする一方、ロ
ーラの内周面に上記キーと嵌合するキー溝を設けるよう
にすれば、アタッチメントをローラの回転規制手段とし
て有効利用でき、ローラ軸に対するローラの空転を確実
に防止して、より良好な搬送を行うことができる。

【００５９】各アタッチメントに複数のローラ固定部を
ローラ軸の軸方向と平行な方向に位置をずらして設ける
ようにすれば、一つのアタッチメントで複数種のローラ
固定位置を選択することができる効果が得られる。

【００６０】上記アタッチメントの表面に係止凹部を設
ける一方、各ローラ部材に上記係止凹部に対して係脱可
能な被係止部と、この被係止部を同被係止部が上記係止
凹部と係合する方向に付勢する付勢手段とを設けるよう
にすれば、簡単な操作でローラの係止及びローラ係止位
置の変更ができる。

【００６１】特に、上記ローラに径方向の貫通孔を設
け、この貫通孔内に球体を転動可能に収納することによ
り被係止部を構成したものによれば、上記被係止部材が
転動せずにアタッチメント上を摺動する場合に比べてロ
ーラの移動抵抗を著しく低減でき、スムーズなローラの
スライド操作を実現できる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる基板搬送装
置の要部を示す分解斜視図である。

【図２】上記基板搬送装置の側面図である。

【図３】上記基板搬送装置の断面正面図である。

【図４】上記基板搬送装置に用いられる各種キーの断面
正面図である。

【図５】上記基板搬送装置の要部を示す斜視図である。

【図６】（ａ）は上記基板搬送装置の要部を示す平面
図、（ｂ）はその正面図である。

【図７】（ａ）は図６のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図６
のＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）は図６のＣ−Ｃ線断面図であ
る。

【図８】（ａ）は本発明の第２の実施の形態においてロ
ーラ軸にキーを特定の向きで装着した状態を示す断面正
面図、（ｂ）は上記ローラ軸に（ａ）と逆の向きで上記
キーを装着した状態を示す断面正面図である。

【図９】本発明の基板搬送装置に適用可能なボールプラ
ンジャの一例を示す斜視図である。

【図１０】従来の基板搬送装置の一例を示す正面図であ
る。

【図１１】従来の基板搬送装置の要部を示す一部断面正
面図である。

【符号の説明】

１０基板搬送装置２０ローラ軸２３キー取付溝（アタッチメント取付部）２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃキー２５Ｖ溝（ローラ固定部）２８ピン（アタッチメント規制手段）３０ローラ３１ａキー溝３７球体４０板ばね（付勢手段）Ｐ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の搬送方向と直交する方向である基
板幅方向に延び、上記搬送方向に並べて設置される複数
本のローラ軸と、各ローラ軸において上記基板の幅方向
両端に接触可能な位置に設けられるローラとを備え、こ
のローラ外周面と上記基板の幅方向両端とが接触した状
態で各ローラ軸及びローラが同一方向に回転することに
より基板を搬送する基板搬送装置において、各ローラ軸
において少なくとも一方のローラに対応する位置にアタ
ッチメント取付部を設ける一方、このアタッチメント取
付部に着脱可能に取付けられ、上記ローラが着脱可能に
固定されるローラ固定部を有するアタッチメントと、上
記アタッチメント取付部に取付けられるアタッチメント
のローラ軸に対する軸方向相対変位を規制するアタッチ
メント規制手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装
置。
【請求項２】請求項１記載の基板搬送装置において、
互いに異なる位置にローラ固定部を有し、かつ上記アタ
ッチメント取付部に交換可能に取付けられる複数のアタ
ッチメントを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】請求項１記載の基板搬送装置において、
上記アタッチメントを、その一方の端部が基板幅方向外
側を向く第１の状態と内側を向く第２の状態との双方で
上記アタッチメント取付部に取付可能となるように構成
するとともに、上記アタッチメント取付部に上記第１の
状態でアタッチメントが取付けられた場合のローラ固定
部の位置と上記アタッチメント取付部に上記第２の状態
でアタッチメントが取付けられた場合のローラ固定部の
位置とがローラ軸方向に異なるように上記アタッチメン
トにおけるローラ固定部の配設位置を設定したことを特
徴とする基板搬送装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の基板搬
送装置において、各ローラ軸において両ローラに対応す
る位置にアタッチメント取付部を設けるとともに、両ア
タッチメント取付部に取付けられるアタッチメントのロ
ーラ固定部が左右対称に位置するように両アタッチメン
トにおけるローラ固定部の配設位置を設定したことを特
徴とする基板搬送装置。
【請求項５】請求項４記載の基板搬送装置において、
両アタッチメント取付部に同時に取付けられるアタッチ
メントの形状を同一としたことを特徴とする基板搬送装
置。
【請求項６】請求項１〜５のいずれかに記載の基板搬
送装置において、上記アタッチメントを、上記アタッチ
メント取付部に取付けられた状態でローラ軸の周方向一
部からローラ軸径方向の外側に突出するキーとする一
方、ローラの内周面に上記キーと嵌合するキー溝を設け
たことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】請求項１〜６のいずれかに記載の基板搬
送装置において、上記アタッチメントに複数のローラ固
定部をローラ軸の軸方向と平行な方向に位置をずらして
設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】請求項１〜７のいずれかに記載の基板搬
送装置において、上記ローラ固定部として上記アタッチ
メントの表面に係止凹部を設ける一方、各ローラ部材に
上記係止凹部に対して係脱可能な被係止部と、この被係
止部を同被係止部が上記係止凹部と係合する方向に付勢
する付勢手段とを設けたことを特徴とする基板搬送装
置。
【請求項９】請求項８記載の基板搬送装置において、
上記被係止部として、上記ローラに球体をその一部がロ
ーラ内周面から内側に突出する状態で転動可能かつ径方
向に移動可能に保持させたことを特徴とする基板搬送装
置。