KR100245804B1 - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 간단하고 또 저렴한 구조로서, 반송대상인 기판의 폭치수의 변경에 용이하게 대응할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다. 상기의 과제를 해결하기 위해 본 장치는, 기판의 폭방향의 양쪽 단부에 바깥둘레면이 접촉하는 한 쌍의 롤러(30)를 롤러 축(20)과 함께 회전 구동하여 상기 기판의 반송을 한다. 키(24A) 등의 부속장치에 롤러고정부인 V홈(25) 등을 마련해 둔다. 롤러 축(20)에 키 설치홈(23) 등의 부속장치를 마련하고, 이것에 상기 키(24A) 등을 착탈이 가능하게 설치하도록 하고, 롤러(30)의 위치변경시에는, 상기 부속장치의 교환만으로 대응할 수 있도록 한다.

Description

기판반송장치

제1도는 본 발명의 제1실시형태에 관련되는 기판반송장치의 주요부를 나타내는 분해 사시도.

제2도는 상기 기판반송장치의 측면도.

제3도는 상기 기판반송장치의 정면도.

제4도는 상기 기판반송장치에 사용되는 각종 키의 정단면도.

제5도는 상기 기판반송장치의 주요부를 나타내는 사시도.

제6a도는 상기 기판반송장치의 주요부를 나타내는 평면도.

제6b도는 그의 정면도.

제7a도는 제6도의 A-A선의 단면도.

제7b도는 제6도의 B-B선의 단면도.

제7c도는 제6도의 C-C선 단면도.

제8a도는 본 발명의 제2실시형태에 있어서, 롤러 축에 키를 특정한 방향으로 장착한 상태를 나타내는 정단면도.

제8b도는 상기 롤러 축에 제8a도와 반대방향으로 상기 키를 장착한 상태를 나타내는 정단면도.

제9도는 본 발명의 기판반송장치에 적용이 가능한 볼플런저의 일례를 나타내는 사시도.

제10도는 종래의 기판반송장치의 일례를 나타내는 정면도.

제11도는 종래의 기판반송장치의 주요부의 일부를 나타내는 정단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 기판반송장치 20 : 롤러축

23 : 키설치홈(부속장치 설치부) 24, 24A, 24B, 24C : 키

25 : V홈(롤러 고정부) 28 : 핀(부속장치 규제수단)

30 : 롤러 31a : 키홈

37 : 구슬몸체 40 : 판 스프링(힘을 가하는 수단)

P : 기판

본 발명은, 액정용 유리사각형기판, 컬러필터용 기판, 포토마스크용 기판, 더어멀헤드(thermal head)용 기판 등의 각종 기판을 소정의 방향으로 반송하기 위한 기판반송장치에 관한 것이다.

종래, 각종 기판을 반송하기 위한 장치로서, 제10도에 나타난 바와 같은 것이 일반적으로 알려져 있다.

이 장치는, 복수개의 롤러축(90)을 구비하고, 이들의 롤러축(90)은 도면의 길이 방향으로 나란한 상태로 그 양단이 좌우 한 쌍의 측판(80)에 베어링(82)을 통해 회전이 가능하게 지지되어 있다. 각 롤러축(90)의 가로방향의 중앙부에는 지지롤러(84)가 고정되고, 그 좌우양날개에는 폭규제롤러(92)가 설치되어 있다. 각 폭규제롤러(92)는, 축방향과 나란한 원통모양의 작은 직경부(93) 및 큰 직경부(94)를 일체로 가지고, 이들 작은 직경부(93)와 큰 직경부(94)의 사이에는 작은 직경부(93)에서 큰 직경부의 방향을 따라서 연속적으로 직경이 확대되는 원추대(圓錐台)모양의 테이퍼부(95)가 형성되어 있고, 각 작은 직경부(93)가 내측으로 위치한 방향으로 각 롤러축(90)상에 고정되어 있다. 그리고, 각 롤러축(90)이 동일한 방향으로 회전 구동되는 것에 의해, 좌우의 폭규제롤러(92)의 작은 직경부(93)상에 놓인 기판(P)을 도면의 길이방향으로 반송하도록 구성되어 있다.

하지만, 본 장치에 있어서, 기판(P)의 폭방향의 위치를 확실하게 규지하면서 그의 양호한 반송을 하기 위해서는, 각 작은 직경부(93)의 외측단끼리의 이간(離間)치수를 기판(P)의 폭치수(W)에 정밀하게 잘 맞출 필요가 있다. 따라서, 이 장치를 사용하여 서로 폭치수가 다른 복수종류의 기판(P)을 모두 반송할 수 있도록 하는데는, 각 롤러축(20)상에서 폭 규제롤러(92)의 위치를 변경 가능하게 할 필요가 있다.

그래서 종래는, 상기 위치의 변경을 가능하게 하는 수단으로서, 예컨대 제11도에 나타난 구조가 이용되고 있다. 도면에 있어서, 롤러축(20)의 양쪽단부 근방에 그의 축방향으로 위치를 겹치지 않게 복수의 나사구멍(91)이 설치되는 한편, 폭규제롤러(92)의 예컨대 큰직경부(94)에 이것을 반경방향으로 관통하는 단이 붙어 있는 볼트 삽입구멍(97)이 마련되어 있다. 그리고, 이 볼트 삽입구멍(97)에 볼트(96)를 삽입한 상태로 당해 볼트(96)를 적당한 나사구멍(91)에 나사결합, 삽입함으로써 폭규제롤러(92)가 롤러축(20)에 고정되도록 되어 있다.

이 구조에 의하면, 예컨대 도시한 상태에서 볼트(96)를 푸는 방향으로 회전시켜 나사구멍(91) 및 볼트삽입구멍(97)에서 빼내고, 이 상태에서 폭규제롤러(92)를 롤러축(20)을 따라 이동시켜 볼트삽입구멍(97)을 도면의 우측(장치외측)의 나사구멍(91)과 합치시킨 후, 이 위치에서 다시 볼트삽입구멍(97)에 상기 볼트(96)를 삽입하여 상기 나사구멍(91)에 나사결합함으로써 폭규제롤러의 고정위치를 변경할 수 있다.

상기 장치에서는, 각 롤러축(20)에 복수의 나사구멍(91)이 마련되어 있다고 하더라도, 이들 나사구멍(91)의 위치는 결정되어 있기 때문에, 어떤 나사구멍(91)의 위치와도 대응하지 않는 폭치수를 갖는 기판의 반송이 새롭게 필요할 경우, 현재 상태의 롤러축(20)은 사용할 수 없게 된다. 따라서, 이 경우에는, 전체의 롤러축(20)을 교환했었던 아주 번거로운 작업을 하지 않으면 안되고, 많은 시간과 노력을 요구함과 동시에, 도시한 나사구멍(91)의 위치와 다른 위치에 나사구멍을 갖는 롤러축(20)을 새롭게 제조할 필요가 발생하여 비용의 증대 및 작업능률의 저하는 피할 수 없다.

또, 제11도에 나타난 구조에서는, 나사구멍(91)의 중심축끼리를 당해 나사구멍(91)의 직경(d)보다 작은 치수까지 근접시킬 수 없기 때문에, 상기 직경(d)보다 작은 범위에서 폭규제롤러(92)의 위치를 미세하게 조정할 수 없는 단점도 있다.

한편, 상기의 단점은, 상기 폭규제롤러(92)에 한정되지 않고, 기판(P)의 상면에 있어서 그의 폭방향의 양쪽 단부에만 접하는 누름롤러 등, 기판(P)의 폭치수(W)에 대응하여 위치조정이 가능한 여러 종류의 롤러에 대하여 발생할 수 있는 것이다.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여, 반송대상으로 되는 기판의 폭치수가 변경된 경우에, 롤러 축을 교환하는 일없이 용이하고 또한 신속하게 대응할 수 있고, 또한, 상기 기판의 폭치수의 미묘한 변경에도 대응할 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명은, 기판의 반송방향과 직교하는 방향인 기판의 폭방향으로 연장되고, 상기 반송방향과 나란하게 설치되는 복수개의 롤러 축과, 각 롤러 축에 있어서 상기 기판의 폭방향의 양쪽단부에 접촉이 가능한 위치에 설치되는 롤러를 구비하고, 이 롤러의 바깥둘레 면과 상기 기판의 폭방향의 양쪽단부가 접촉된 상태로 각 롤러축 및 롤러가 동일한 방향으로 회전하는 것에 의해 기판을 반송하는 기판반송장치에 있어서, 각 롤러 축에서 적어도 한쪽의 롤러에 대응하는 위치에 부속장치 설치부를 마련하는 한편, 이 부속장치 설치부에 착탈이 가능하게 설치되고, 상기 롤러가 착탈이 가능하게 고정되는 롤러 고정부를 갖는 부속장치와 상기 부속장치 설치부에 설치되는 부속장치의 롤러 축에 대한 축방향의 상대적 변위를 규제하는 부속장치 규제 수단을 구비한 것이다.

이 구성에 의하면, 현재 장착되어 있는 부속장치에 설치되어 있는 롤러 고정부의 위치가 반송예정기판의 폭치수에 대응하고 있지 않은 경우에도, 롤러 축을 교환하는 일없이, 상기부속장치를 상기 반송예정기판의 폭치수에 적합한 위치에 롤러 고정부를 갖는 부속장치와 교환하는 것만으로 롤러위치를 변경할 수 있어, 기판의 폭치수의 변경에 대응할 수 있다. 또한, 부속장치는 롤러 축에 설치된 상태로 부속장치 규제수단에 의해 폭방향의 변위가 규제되므로, 롤러의 축방향의 위치가 변동할 우려도 없다.

상기 부속장치는, 기판의 폭치수를 변경할 때마다 새로운 것을 제조하도록 해도좋고, 서로 다른 위치에 롤러 고정부를 가지고 상기 부속장치 설치부와 교환이 가능하게 설치되는 복수의 부속장치를 미리 구비해 두도록 해도 좋다. 어느 경우도, 하나의 부속장치에서 롤러 고정부의 위치와 다른 부속장치에서 롤러 고정부의 위치를 미소량 어긋나게 하는 것에 의해, 롤러 위치의 미세한 조정이 가능해진다.

또한, 상기 부속장치를 그 한쪽의 단부가 기판의 폭방향의 외측을 향하는 제1상태와 내측을 향하는 제2상태의 양쪽으로 상기 부속장치 설치부에 설치가 가능하게 되도록 구성함과 동시에, 상기 부속장치설치부에 상기 제1상태로 부속장치가 설치된 경우의 롤러고정부의 위치와 상기 부속장치 설치부에 상기 제2상태로 부속장치가 설치된 경우의 롤러 고정부의 위치가 롤러축 방향과 다르게 되도록 상기 부속장치에 있어서 롤러 고정부의 배치위치를 설정하면, 이 부속장치가 갖는 롤러 고정부의 개수의 배(倍)의 롤러 고정위치를 얻을 수 있고, 롤러 위치의 미세한 조정도 가능하게 된다.

상기 기판을 그의 한쪽 단부를 기준으로 반송할 경우에는, 그의 기준단부와 반대측의 단부와 접촉하는 롤러에 대응하는 위치에만 부속장치 설치부를 마련하면 되지만, 상기 기판을 그의 중앙위치를 기준으로 반송하는 경우에는, 각 롤러 축에서 양쪽 롤러에 대응하는 위치에 부속장치 설치부를 마련하고, 또 양쪽 부속장치 설치부에 설치되는 부속장치의 롤러 고정부가 좌우대칭으로 위치하도록 양쪽 부속장치의 롤러 고정부의 배치위치를 설정하면 된다.

이 경우, 양쪽 부속장치 설치부에 동시에 설치되는 부속장치의 형상을 동일하게 하는 것에 의해 부속장치의 양산성이 높아진다.

상기 부속장치의 구체적인 형상은 특별히 문제되지 않지만, 이 부속장치를, 상기 부속장치 설치부에 설치된 상태로 롤러축의 둘레방향의 일부에서 롤러축의 직경방향의 외측으로 돌출하는 키(key)로 하는 한편, 롤러의 안쪽둘레면에 상기 키와 끼워 맞춰지는 키홈을 마련하도록 하면, 부속장치를 롤러의 회전규제수단으로서 유효하게 이용할 수 있고, 롤러 축에 대한 롤러의 공회전을 확실하게 방지할 수 있다.

각 부속장치에 있어서 롤러 고정부의 개수는 특별히 문제되지 않지만, 부속장치에 복수의 롤러고정부를 롤러축의 축방향과 평행한 방향으로 위치를 겹치지 않게 마련하도록 하면, 하나의 부속장치로 복수 종류의 롤러 고정위치를 선택할 수 있다.

상기 부속장치에 롤러를 고정하는 수단은 특별히 문제되지 않고, 상기 제11도에 나타낸 나사구멍(91)을 부속장치에 마련하도록 해도 되지만, 상기 부속장치의 표면에 걸림 오목부를 마련하는 한편, 각 롤러부재에 상기 걸림오목부와 대하여 이탈 가능한 피걸림부와, 이 피걸림부를 상기 피걸림부가 상기 걸림오목부와 걸어 맞춰지는 방향으로 힘을 가하는 힘을 가하는 수단을 마련하도록 하면, 롤러에 마련된 피걸림부를 부속장치의 적당한 걸림 오목부에 걸어 맞추는 것만으로, 간단히 롤러의 걸림이 가능하다. 또, 상기 피걸림부에 이렇게 가하는 힘에 맞서 롤러를 강제적으로 축방향으로 이동시킴으로써, 상기 피걸림부를 걸림오목부에서 이탈시키고, 이것과 다른 걸림 오목부의 위치에 상기 피걸림부를 합치시킴으로써, 롤러 걸림 위치의 변경을 간단히 할 수 있다.

이 경우, 상기 롤러에 직경방향의 관통구멍을 마련하고, 이 관통구멍내에 구슬몸체를 전동이 가능하게 수납하여 피걸림부를 구성하면, 상기 피걸림부재가 전동하지 않게 부속장치상을 미끄러지는 경우에 비해 롤러의 이동저항이 작고, 부드러운 롤러의 슬라이드 조작이 가능하게 된다.

본 발명의 바람직한 실시형태를 제1도∼제7도에 의거하여 설명한다.

여기에 나타낸 기판반송장치(10)는, 제2도 및 제3도에 나타낸 것처럼 좌우한 쌍의 측판(12)을 구비하고, 양측판(12)은 기판의 반송방향(제2도의 화살표(16)의 방향, 제3도의 길이방향)으로 연장되어 있다. 그리고, 각 측판(12)에 그의 길이방향으로 복수의 베어링(14)가 나란하게 고정되고, 각 베어링(14)에 의해 롤러 축(20)의 양쪽 단부가 회전 가능하게 지지되어 있다.

제3도에 나타난 바와 같이, 각 롤러 축(20)의 한쪽 단부에는 스프로켓(sprocket)(21)이 고정되고, 이 스프로켓(21)이 도면에서 생략한 체인 등을 통해 공통의 구동원에 연결되어 있고, 이 구동원의 구동력에 의해 전체의 롤러 축(20)의 동일한 방향(제2도에서는 시계회전방향)으로 동시에 회전 구동되도록 되어 있다.

상기 롤러축(20)의 가로방향의 중앙부에는, 기판(P)의 중앙부를 아래에서 지지하는 지지롤러(22)가 고정되고, 이 지지롤러(22)를 중심으로 하여 좌우대칭의 위치에, 기판의 폭규제용 롤러(30)가 설치되도록 되어 있다.

구체적으로, 상기 롤러축(20)에서 있어서 상기 롤러(30)의 배치위치에 대응하는 위치(좌우대칭의 위치)에는, 서로 같은 형태의 키설치홈(부속장치 설치부)(23)이 오목하게 마련되어 있다. 각 키설치홈(23)은, 롤러 축(20)의 둘레방향의 일부(도면의 상태에서는 상부)에 형성되고, 축방향을 따라 연장되어 있고, 그 형성영역은 롤러(30)의 위치변경영역을 포함하는 범위에 설정되어 있다.

이 실시형태에서는, 각 키설치홈(23)에 대하여 제4도에 나타난 것처럼 3종류의 키(24A, 24B, 24C)가 준비되어 있다. 각 키(24A, 24B, 24C)는, 상기 키설치홈(23)내에 착탈이 가능하게 끼워 넣어지는 형태를 가지고, 또 상면에 같은 수의 V홈(25)이 형성되어 있는 점에서는 공통이지만, 이들 V홈(25)의 위치는 각 키(24A, 24B, 24C)에 의해 길이방향 즉 롤러 축(20)의 축방향으로 조금씩 어긋나게 되어 있는 점에서 다르게 되어 있다(제4도의 일점쇄선 위치참조).

각 키(24A, 24B, 24C)에 있어서 서로 동일한 위치에는, 폭두께방향(세로방향)으로 관통하는 관통구멍(26)이 마련되어 있다. 또한, 제1도 및 제6도, 제7도에 나타난 바와 같이, 키 설치홈(23)에 있어서 상기 관통구멍(26)과 합치하는 위치에도 롤러 축(20)을 직경방향으로 관통하는 관통구멍(27)이 마련되어 있다. 그리고, 키설치홈(23)내에 적당한 키를 끼워 넣은 상태에서, 상기 관통구멍(26, 27)에 걸려 있는 핀(부속장치규제수단)(28)을 누름으로써, 롤러 축(20)에 대한 상기 키의 축방향의 상대적 변위를 규제할 수 있도록 되어 있다. 또한, 이 장착된 키의 상부가 롤러축(20)의 둘레면에서 직경방향의 외측으로 둘출하도록 키(24A∼24C)의 높이치수가 키설치홈(23)의 깊이 치수보다 크게 설정되어 있다.

한편, 상기 롤러(30)는, 그의 중심축상에 관통구멍(31)을 가진원통모양으로 되고, 이 관통구멍(31)에는 상기 키(24A∼24C)에 대응하는 형상의 키홈(31a)이 형성되어 있어, 이 키홈이 딸린 관통구멍(31)내에 상기 롤러축(20) 및 키(24A)(혹은 24B, 24C)가 일체로 삽입됨으로써, 롤러 축(20)에 대한 롤러(30)의 상대적 회전이 규제되도록 되어 있다.

롤러(30)에는, 원통모양의 롤러본체부(32)와, 이 롤러본체부(32)보다 큰 직경의 원통모양의 폭규제부(33)와, 원통모양의 구슬 유지부(34)가 이 순서대로 축방향으로 나란하게 일체로 형성되고, 롤러본체부(32)와 폭규제부(33)의 사이에는, 폭규제뷰(33)로부터 롤러본체부(32)를 향해 점차적으로 직경아 축소하는 테이퍼부(35)가 형성되어 있다.

상기 구슬유지부(34)에는, 이것을 직경방향(폭두께 방향)으로 관통하는 관통구멍(36)이 마련되어, 이 관통구멍(36)내에 구슬몸체(37)가 전동(轉動)이 가능하게 수납되어 있다. 이 구슬몸체(37)의 직경은, 상기 관통구멍(36)의 축치수(즉 구슬유지부(34)의 폭두께)보다 조금 크게 설정되어 있다.

구슬 유지부(34)의 바깥둘레면에 있어서 상기 관통구멍(36)에서 둘레방향으로 벗어난 위치에는, 평면모양의 판스프링 설치면(38)이 형성되고, 이 판스프링 설치면(38)의 중앙에 나사구멍(39)이 마련되어 있고, 이 판스프링 설치면(38)에 판스프링(40)이 설치되도록 되어 있다.

판스프링(40)은, 평판부(41)와, 이 평판부(41)의 양쪽단부에서 이것과 거의 직교하는 방향으로 연장되는 한 쌍의 스프링부(42)로 되어 있다. 양스프링부(42)는 탄성적으로 휘어짐이 가능하게 되어 있고, 무변형의 상태에서 양스프링부(42)끼리의 이간치수는 상기 구슬유지부(34)의 직경보다 약간 작게 설정되어 있다. 상기 평판부(41)에는 관통구멍(43)이 마련되어, 이 관통구멍(43)과 사이에 좌금(座金)(44, 45)을 끼워 볼트(46)가 삽입되고, 이 볼트(46)가 상기 나사구멍(39)에 나사결합, 삽입되는 것에 의해 상기 평면부(41)가 상기 판스프링 설치면(38)에 고정되어 있다. 그리고, 이 상태에서 한쪽의 스프링부(42)가 구슬몸체(37)에 직경방향의 외측으로부터 눌려접하고, 이것에 의해 구슬몸체(37)가 직경방향의 내측으로 힘을 가하게 되어 있어, 이 가하는 힘에 의해 상기 구슬몸체(37)가 상기 키(24A)(혹은 24B, 24C)의 임의의 V홈(25)에 걸어 맞춰지고, 이 걸어 맞춰지는 것에 의해 롤러(30)가 롤러 축(20) 및 키측에 걸려지도록 되어 있다(제7a도, 7b도 참조).

다음에, 이 장치의 사용요령을 설명한다.

우선, 제4도에 나타난 3종류의 키(24A, 24B, 24C)중, 반송하고자 하는 기판(P)의 폭치수(W)에 적합한 위치에 V홈(25)을 가진 키를 한쌍 선택하고, 이들을 롤러 축(20)의 좌우의 키 설치홈(23)에 좌우대칭의 상태로 설치한다. 예컨대, 키(24A)를 선택한 경우에는, 이들의 키(24A)를 좌우의 키 설치홈(23)내에 끼워 넣고, 관통구멍(26, 27)에 핀(28)을 눌러 넣음으로써, 롤러 축(20)에 대한 키(24)의 축방향의 상대적 변위를 규제한다.

한편, 이 키 장착작업시에, 롤러(30)는 롤러 축(20)에 있어서, 상기 키설치홈(23)에서 축방향으로 벗어난 곳에 바깥 끼움 시켜 두면 된다.

다음에, 상기 롤러(30)를 이동시켜 상기 키(24A) 및 롤러 축(20)의 양쪽에 바깥끼움시킨다. 그리고, 이 롤러(30)측에 유지되고 또 직경방향의 내측으로 힘을 가하고 있는 구슬몸체(37)가 목표인 V홈(25)에 걸어 맞춰진 시점에서 롤러(30)의 슬라이드를 멈춘다. 이것에 의해, 롤러(30)는, 롤러 축(20)상에서 기판(P)의 폭치수(W)에 적합한 위치에 걸려진 상태, 즉, 롤러 축(20)에 대한 상대적 회전과 축방향의 변위의 양쪽이 규제된 상태로 된다.

따라서, 이 상태에서 각 롤러 축(20)을 동시에 회전 구동하여 이들 롤러 축(20)과 일체로 회전하는 롤러(30)의 롤러본체(32)의 바깥둘레면상에 기판(P)을 놓으면, 이 기판(P)의 양쪽단부의 위치를 테이퍼부(35)에 의해 정확하게 위치 결정하면서, 기판(P)을 양호하게 소정의 반송방향(제2도에서는 화살표 16의 방향)으로 반송할 수 있다.

그후, 상기 기판(P)과 다른 폭치수를 갖는 기판(P)을 반송하는(즉, 반송기판의 폭치수를 변경하는) 경우에는, 종래와 같이 롤러 축(20)의 교환을 행하는 일 없이, 이 롤러 축(20)을 베어링(14)에 지지한 그 상태로, 대응할 수 있다.

우선, ① 현재의 단계에서 장착되어 있는 키(24A)가, 변경후의 기판(P)의 폭치수(W)에 적합한 위치에도 V홈(25)을 갖는 경우에는, 이 키(24A)를 장착한 채로, 구슬몸체(37)와 이 구슬몸체(37)와 현시점에서 걸어 맞춰져 있는 V홈(25)이 걸어맞춰진 힘에 맞서 강제적으로 롤러(30)를 축방향으로 이동시켜서, 다음 기판(P)의 폭치수(W)에 적합한 위치의 V홈(25)에 상기 구슬몸체(37)를 걸어맞춤으로써, 롤러(30)의 적정한 위치 조정이 가능하다.

이것에 대하여, ② 키(24A)가 변경후의 기판(P)의 폭치수(W)에 적합한 위치에 V홈(25)을 가지지 않고, 다른 키(예컨대 키(24B))가 바람직한 위치에 V홈(25)을 갖는 경우에는, 우선 상기 키(24A)에서 롤러(30)를 축방향으로 비키어 놓고, 핀(28)을 뽑아 키(24A)를 키설치홈(23)에서 떼어내고, 이것 대신에 키(24B)를 키설치홈(23)에 끼워 넣어, 핀(28)을 관통구멍(26, 27)에 삽입한 후(즉 키(24A)에서 키(24B)로 교환한 후), 다시 롤러(30)를 롤러 축(20) 및 키(24B)에 바깥끼움하여, 이 키(24B)에서 목표한 V홈( 25)에 상기 롤러(30)의 구슬몸체(37)를 걸어 맞추면 된다.

따라서, ①, ② 어느 경우도 롤러 축(20)의 교환을 불필요하며, 적어도 키의 교환만으로 기판의 폭치수(W)의 변경에 대응할 수 있게 된다.

또한, 상기와 같은 키(24A∼24C)의 교환에 의해, V홈(25)의 미묘한 위치변경도 가능하게 되므로, 기판의 폭치수(W)가 미소량만 변경되는 경우에도 이것에 따라 롤러(30)의 위치를 미세하게 조정할 수 있게 된다.

게다가, 키(24A∼24C)중 어느 하나의 V(25)의 위치에도 대응하지 않는 폭치수(W)를 갖는 기판(P)을 반송할 필요가 발생한 경우에도, 종래와 같이 새로운 롤러축(20)을 제조할 필요는 없고, 상기의 폭치수(W)에 적합한 위치에 V홈(25)을 갖는 키만을 제조하면 충분하게 된다. 즉, 롤러 축(20)의 범용성이 높고, 기판 사이즈의 예정 외의 변경에도 낮은 비용으로 대응할 수 있게 된다.

제2실시형태를 제8도에 나타낸다. 여기에 나타낸 키(24)에 있어서는, 그 양쪽단부에 관통구멍(26)이 마련되어 있고, 이 키(24)를 상기 제8a도에 나타낸 상태로도, 또 이것과 반대 상태의 상기 제8b도에 나타낸 상태에서도, 키 설치홈(23)에 설치할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 제8a도의 설치상태(제1상태)와 상기 제8b도의 설치상태(제2상태)에서, 키(24)에서 각 V홈(25)의 위치가 롤러축의 축방향으로 미소하게 어긋나도록 이들 V홈(25)의 형성위치가 설정되어 있다.

이와 같은 구조에 의하면, 단일의 키(24)를 사용하면서, 이 키(24)에서 V홈(25)의 개수의 2배의 수의 롤러 걸림 위치를 얻을 수 있고, 또 V홈(25)의 위치의 미소한 변경도 가능하게 된다.

본 발명은, 이상 외에, 다음과 같은 실시형태를 갖는 것도 가능하다.

(1) 제1실시형태에서는, 미리 복수종류의 키(24A, 24B, 24C)를 준비한 것을 나타냈지만, 본 발명에서는, 기판 사이즈의 변경 시에 그때마다 새로운 키를 추가하여 제조하도록 해도 된다.

(2) 제3도에는, 롤러 축(20)의 좌우 양날개부에 키설치홈(23)을 마련한 것을 나타내었지만, 기판(P)이 중앙위치가 기준이 아니고 한쪽단부의 위치를 기준으로 반송되는 경우에는, 한쪽의 롤러(30)의 위치를 고정하고, 다른 쪽의 롤러(30)에 대해서만 본 발명의 상기 롤러위치의 조정구조를 적용하면 된다. 예컨대, 기판(P)의 폭치수에 관계없이 그 좌측단의 위치를 일정하게 하여 반송하는 경우에는, 우측의 롤러(30)에 대해서만 상기와 같이 위치조정이 가능하게 구성하면 된다.

다만, 상기 실시형태와 같이, 각 키설치홈(23)에 설치되는 키(예컨대 키(24A))의 V홈(25)이 좌우대칭으로 위치하도록 V홈(25)의 위치를 설정하면, 중앙위치기준의 기판반송이 가능한 것에 더하여, 좌우 양쪽 키의 형상을 서로 동일하게 할 수 있고, 양산성을 높일 수 있는 이점이 얻어진다.

(3) 본 발명에 있어서 「부속장치」의 구체적인 형상이나 구조는 문제로 하지 않고, 롤러 축(20)에 대하여 착탈가능한 구성의 것, 예컨대 롤러 축(20)의 바깥둘레면상에 바깥 끼움 되는 단면원호상의 것이나, 롤러 축(20)에 완전하게 매설되는 것이어도 된다. 다만, 상기 각 실시형태에 나타난 바와 같이 롤러 축(20)의 바깥둘레면에서 직경방향의 외측으로 돌출하는 키모양에 의하면, 이 키모양의 부속장치를 사용하여 롤러 축(20)에 대한 롤러(30)의 회전규제도 함으로써, 롤러(30)의 공회전을 보다 확실하게 방지할 수 있는 이점이 있다.

(4) 본 발명에 있어서, 하나의 부속장치에 마련되는 롤러고정부의 개수는 특별히 문제되지 않고, 예컨대 하나이어도 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 기판(P)의 폭방향의 양쪽단부를 아래에서 지지하는 폭규제용 롤러(30)를 나타내었지만, 본 발명은 그 외에, 기판(P)의 폭치수(W)에 따라 위치조정이 필요한 롤러에 대하여 넓게 적용이 가능하다. 예컨대, 반송중의 기판이 날개위로 올라가지 않도록 그 양쪽단부를 위에서 누르는 누름 롤러에 있어서, 기판 표면처리에 영향을 주지 않도록 확실하게 기판의 양쪽단부에만 접촉하도록 위치조정하지 않으면 안되는 것에 대하여도, 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.

(6) 상기 제1도 등에는, 관통구멍(36)에 수납된 구슬몸체(37)를 판 스프링(40)에 의해 외측으로부터 힘을 가하는 것을 나타내었지만, 예컨대 제9도에 나타낸 것처럼 미리 제조한 볼플런저(50)를 사용해도 된다. 이 볼 플런저(50)는, 표면에 수나사(51)가 형성된 원통모양의 본체의 선단(先端)에 볼(52)이 유지되고, 상기 원통모양의 본체내에 상기 볼(52)을 선단측으로 누르는 스프링(53)이 수반된 것이고, 원통모양의 본체의 상단에는 갈라진 홈(54)이 형성되어 있다. 이와 같은 볼플런저(50)를 예컨대 상기 롤러(30)의 구슬유지부(34)에 마련된 마사구멍내에 비틀어 넣고, 상기 볼(52)을 롤러(30)의 안쪽둘레면으로부터 내측으로 돌출시키도록 하여도, 이 볼(52)과 상기 V홈(25)의 걸어 맞춤에 의해 롤러(30)를 롤러 축(20)에 걸리게 할 수 있다.

또한, 부속장치에 마련되는 롤러고정부도 상기와 같은 V홈(25)에 한정되지 않고, 예컨대 상기 제11도에서 나타낸 나사구멍(91)을 부속장치에 마련해도, 롤러의 위치조정이 가능하다.

이상과 같이 본 발명은, 롤러 축 및 이것에 설치되는 좌우의 롤러의 회전에 의해 기판을 반송하는 장치에 있어서, 각 롤러 축에 있어서 적어도 한쪽의 롤러에 대응하는 위치에 부속장치 설치부를 마련하고, 이 부속장치 설치부에, 롤러 고정부를 갖는 부속장치를 착탈가능하게 설치하도록 한 것이기 때문에, 롤러 축에 설치되어 있는 부속장치의 롤러 고정부의 위치에 적합하지 않은 폭치수의 기판을 반송할 필요가 발생한 경우에도, 롤러 축을 교환하는 일없이, 상기 부속장치를 교환하는 것만으로 상기 기판의 폭치수에 대응한 위치에 롤러를 고정할 수 있다. 따라서, 간단하고 저렴한 구조로, 반송기판의 폭치수의 변경에 자유롭고 또 용이하게 대응할 수 있는 효과가 있다. 게다가, 하나의 부속장치에서 롤러 고정부의 위치와 다른 부속장치에서 롤러 고정부의 위치를 미소량으로 어긋나게 함으로써, 롤러위치의 미세한 조정도 실현할 수 있다.

또한, 상기 부속장치를, 그의 한쪽의 단부가 기판의 폭방향의 외측을 향하는 제1상태와 내측을 향하는 제2상태의 양쪽으로 상기 부속장치 설치부에 설치가능하게 되도록 구성함과 동시에, 상기 부속장치 설치부에 상기 제1상태로 부속장치가 설치된 경우의 롤러고정부의 위치와 상기 부속장치 설치부에 상기 제2상태로 부속장치가 설치된 경우의 롤러고정부의 위치가 롤러 축방향과 다르게 되도록 상기 부속장치에 롤러 고정부의 배치위치를 설정하면, 이 부속장치가 갖는 롤러고정부의 개수의 배의 롤러고정위치를 얻을 수 있고, 하나의 부속장치를 보다 유효하게 활용할 수 있다.

각 롤러 축에 있어서 양롤러에 대응하는 위치에 부속장치 설치부를 마련하고, 또 양 부속장치 설치부에 설치되는 부속장치의 롤러 고정부가 좌우대칭으로 위치하도록 양부속장치의 롤러 고정부의 배치위치를 설정한 것에 의하면, 기판을 그의 중앙위치를 기준으로 반송하는 경우에도, 반송기판의 폭치수변경에 유연하게 대응할 수 있다. 그리고, 양 부속장치 설치부에 동시에 설치되는 부속장치의 형상을 동일하게 함으로써, 부속장치의 양산성을 높이고, 비용을 삭감을 한층 도모할 수 있다.

상기 부속장치를 상기 부속장치 설치부에 설치된 상태에서 롤러 축의 둘레방향의 일부에서 롤러 축의 직경방향의 외측으로 돌출하는 키로 하는 한편, 롤러의 내부둘레면에 상기 키와 끼워맞춤하는 키홈을 마련하도록 하면, 부속장치를 롤러의 회전규제 수단으로서 유효하게 이용할 수 있고, 롤러 축에 대한 롤러의 회전을 확실하게 방지하여 보다 양호한 반 송을 행할 수 있다.

각 부속장치에 복수의 롤러 고정부를 롤러 축의 축방향과 평행한 방향으로 위치를 어긋나게 마련하도록 하면, 하나의 부속장치에서 복수종류의 롤러고정위치를 선택할 수 있는 효과가 얻어진다.

상기 부속장치의 표면에 걸림오목부를 설치하는 한편, 각 롤러부재에 상기 걸림오목부에 대하여 이탈가능한 피걸림부와, 이 피걸림부를 상기 피걸림부가 상기 걸림오목부와 걸어 맞추는 방향으로 힘을 가하는 수단을 마련하도록 하면, 간단한 조작으로 롤러의 걸림 및 롤러의 위치의 변경이 가능하다.

특히, 상기 롤러에 직경방향의 관통구멍을 마련하고, 이 관통구멍내에 구슬몸체를 전동이 가능하게 수납하는 것에 의해 피걸림부를 구성한 것에 의하면, 상기 피걸림부재가 전동되지 않고 부속장치상을 미끄러지는 경우에 비해 롤러의 이동저항을 현저하게 저감할 수 있고, 부드러운 롤러의 슬라이드 조작을 실현할 수 있는 효과가 얻어진다.

Claims (9)

1. 기판의 반송방향과 직교하는 방향인 기판의 폭방향으로 연장되고, 상기 반송방향과 나란하게 설치되는 복수개의 롤러 축과, 각 롤러 축에서 상기 기판의 폭방향의 양쪽단부에 접촉이 가능한 위치에 마련되는 롤러를 구비하고, 이 롤러의 바깥둘레면과 상기 기판의 폭방향의 양쪽단부가 접촉된 상태로 각 롤러 축 및 롤러가 동일한 방향으로 회전함으로써 기판을 반송하는 기판반송 장치에 있어서, 각 롤러축에 있어서 적어도 한쪽의 롤러에 대응하는 위치에 부속장치 설치부를 마련하는 한편, 이 부속장치 설치부에 착탈이 가능하게 설치되고, 상기 롤러가 착탈이 가능하게 고정되는 롤러고정부를 갖는 부속장치와, 상기 부속장치설치부에 설치되는 부속장치의 롤러 축에 대한 축방향의 상대적 변위를 규제하는 부속장치 규제수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
2. 제1항에 있어서, 서로 다른 위치에 롤러고정부를 가지고, 또 상기 부속장치 설치부에 교환이 가능하게 설치되는 복수의 부속장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 부속장치를, 그의 한쪽 단부가 기판의 폭방향의 외측을 향하는 제1상태와 내측을 향하는 제2상태의 양쪽으로 상기 부속장치설치부에 설치가 가능하게 되도록 구성함과 동시에, 상기 부속장치 설치부에 상기 제1상태로 부속장치가 설치된 경우의 롤러고정부의 위치와 상기 부속장치 설치부에 상기 제2상태로 부속장치가 설치된 경우의 롤러고정부의 위치가 롤러 축 방향과 다르게 되도록 상기 부속장치에서 롤러고정부의 배치위치를 설정한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
4. 제1항 내지 제3항중의 어느 한 항에 있어서, 각 롤러 축에서 양쪽 롤러에 대응하는 위치에 부속장치 설치부를 마련함과 동시에, 양쪽 부속장치 설치부에 설치하는 부속장치의 롤러고정부가 좌우대칭으로 위치하도록 양쪽 부속장치에 있어서 롤러고정부의 배치위치를 설정한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
5. 제4항에 있어서, 양쪽 부속장치 설치부에 동시에 설치되는 부속장치의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
6. 제1항 내지 제5항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 부속장치를, 상기 부속장치 설치부에 설치된 상태로 롤러 축의 둘레방향의 일부로부터 롤러 축의 직경방향의 외측으로 돌출하는 키로 하는 한편, 롤러의 안쪽둘레면에 상기 키와 끼워맞춤하는 키홈을 마련한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
7. 제1항 내지 제6항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 부속장치에 복수의 롤러고정부를 롤러 축의 축방향과 평행한 방향으로 위치를 어긋나게 마련한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
8. 제1항에 내지 제7항중에 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러고정부로서 상기 부속장치의 표면에 걸림오목부를 마련하는 한편, 각 롤러부재에 상기 걸림오목부에 대하여 이탈이 가능한 피걸림부와, 이 피걸림부를 상기 피걸림부가 상기 걸림오목부가 걸어 맞추는 방향으로 힘을 가하는 힘을 가하는 수단을 마련한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 피걸림부로서, 상기 롤러에 구슬몸체를 그의 일부가 롤러의 안쪽둘레면으로부터 내측으로 돌출하는 상태로 전동이 가능하고 또 직경 방향으로 이동이 가능하게 유지시킨 것을 특징으로 하는 기판반송장치.

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