JPH10106290A - 半導体装置、半導体装置の検査方法及び半導体装置の検査装置 - Google Patents
半導体装置、半導体装置の検査方法及び半導体装置の検査装置Info
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- JPH10106290A JPH10106290A JP8261971A JP26197196A JPH10106290A JP H10106290 A JPH10106290 A JP H10106290A JP 8261971 A JP8261971 A JP 8261971A JP 26197196 A JP26197196 A JP 26197196A JP H10106290 A JPH10106290 A JP H10106290A
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Abstract
出力端子が多ビット化すると、従来の半導体装置に対応
した検査装置ではメモリのテストを行うことができず、
検査装置を買い換えなければならない。 【解決手段】 検査装置に接続されるデータバスDB1
と他のデータバスDB2〜DBkとの間にテスト用バッ
ファ回路TB2〜TBkを設け、データバスDB1〜D
BkとメモリセルブロックM1〜Mkとの間にバッファ
回路IB1〜IBkを設置する。
Description
体装置の検査方法、及び半導体装置の検査装置に関する
もので、特に多ビットのデータ入出力端子(以下データ
I/Oと呼ぶ)を有する半導体装置においてその一部の
データ入出力端子を用いてテストするために使用される
ものである。
(中央処理装置)の多ビット化、周辺装置の高速化に伴
い、メインメモリや周辺回路のメモリに使用される記憶
装置の高速動作が要求されている。
能を評価するためフィルフリケンジという性能評価基準
が提案され、今後の製品開発やシステム開発の指標とし
て広く活用されている。フィルフリケンジの値を満足さ
せ、例えば数Gバイト/秒のデータ転送を可能とするた
めに、データI/Oのビット数を増加させることが求め
られている。例えば、64MDRAMで32ビットのデ
ータI/Oが必要となり、1GDRAMで64ビットな
いし128ビットのデータI/Oが必要となってくる。
体装置のテスト時間が長くなる。これに対応するため、
半導体装置内部にテスト回路を設けたり、多数個の半導
体装置を同時にテストする多数個同時測定方式を導入す
ることで、テスト時間の短縮を図っている。
て、MBT(Multi Bit Test)方式がある。このMBT
方式では、×16、×32、×64、×128とすべて
のデータが一致するか不一致するかで良品か不良品かを
判断している。
つのテストステーション内で同時に測定する半導体製品
数を増加させたり、テストシステムにおけるテストステ
ーションの数を例えば2ステーションから4ステーショ
ンへと増加させることで、テスト時間の短縮を実現して
いる。
製品に対してはテストステーション内のデータピンを増
加させて対応している。しかし、こうした対応では設備
投資が必要となり、テストコストが増大してしまう。ま
た、さらにデータI/Oが増加すると、ステーション内
での同時測定個数の低下を余儀なくされる。よって、テ
スト回路の改善が望まれる。
6ビットのデータI/Oを有する製品が多数を占めてい
る。そのため、現在メーカが所有するテスト検査装置
は、これらのビット数のデータI/Oに対応するように
開発され、こうしたビット数のデータI/Oを有する製
品を多数個同時に測定するようになっている。
/Oのビット数がさらに多くなると、これに対応するた
め、多数個同時測定用の試験装置にデータI/O用ドラ
イバ及びコンピュータ回路を増設し、テストステーショ
ン内のデータピンを増やすことになる。しかし、これに
は設備投資のコストがかかる。
×16ビット、64MDRAMで×32ビット、256
MDRAMで×64ビット、1GDRAMで×128ビ
ットとメモリの大容量化に伴いビット数が増加していく
と、セル干渉、ビット線干渉等により、テストデータの
内容の信頼性に疑問が生じる。また、冗長回路を不良ア
ドレスと置き換えた場合に再度ビットごとにテストする
必要がある。さらに、テスト回路の面積が全チップ面積
に占める割合であるオーバーヘッドが大きいという問題
がある。内部にテスト回路を設けるテスト方式として、
他にLMT(Line Mode Test)方式やMMT(Marged M
atch Test )方式があるが、MBT方式と同様の問題が
ある。
で、データI/Oのビット数が増加した半導体装置を従
来の検査装置を用いて同時に多数個測定してテストコス
トの上昇を抑え、かつオーバーヘッドを小さくして製品
コストの上昇を抑えることを目的とする。
め、本発明の半導体装置は、それぞれmビットのデータ
線を有する第1ないし第nのメモリブロックと、それぞ
れmビットの第1ないし第nのデータバスと、iを1か
らnまでのいずれかの自然数として、第iのバッファ回
路の一端は第iのメモリブロックのデータ線に接続さ
れ、第iのバッファ回路の他端は第iのデータバスに接
続されている第1ないし第nのバッファ回路と、iを1
からn−1までのいずれかの自然数として、第iのテス
ト用バッファ回路の一端は第1のデータバスに接続さ
れ、第iのテスト用バッファ回路の他端は第i+1のデ
ータバスに接続されている第1ないし第n−1のテスト
用バッファ回路と、タイミング信号が入力端子に供給さ
れ、第1ないし第nのバッファ回路及び第1ないし第n
−1のテスト用バッファ回路を制御する制御回路とを具
備する。
半導体装置の検査方法は、mビットの第1のデータバス
にテストデータを供給し、iを1からn−1までのいず
れかの自然数として、第iのテスト用バッファ回路の一
端は第1のデータバスに接続され、第iのテスト用バッ
ファ回路の他端はmビットの第i+1のデータバスに接
続されている第1ないし第n−1のテスト用バッファ回
路を導通させ、iを1からnまでのいずれかの自然数と
して、第iのバッファ回路の一端は第iのデータバスに
接続され、第iのバッファ回路の他端は第iのメモリブ
ロックのmビットのデータ線に接続されている第1ない
し第nのバッファ回路を導通させて、第1ないし第nの
メモリブロックに同時にテストデータを書き込み、第1
のメモリブロックからテストデータを読み出すときは、
第1のバッファ回路を導通させ、第1ないし第n−1の
テスト用バッファ回路を導通させないで、iを2からn
までのいずれかの自然数として第iのメモリブロックか
らテストデータを読み出すときは、第iのバッファ回路
と第i−1のテスト用バッファ回路を導通させ、それ以
外のテスト用バッファ回路と第1のバッファ回路を導通
させないで、第1ないし第nのメモリブロックから順次
テストデータを第1のデータバスを介して読み出して、
テストする。
の半導体装置の検査装置は、それぞれmビットのデータ
線を有する第1ないし第nのメモリブロックと、それぞ
れmビットの第1ないし第nのデータバスと、iを1か
らnまでのいずれかの自然数として、第iのバッファ回
路の一端は第iのメモリブロックのデータ線に接続さ
れ、第iのバッファ回路の他端は第iのデータバスに接
続されている第1ないし第nのバッファ回路と、iを1
からn−1までのいずれかの自然数として、第iのテス
ト用バッファ回路の一端は第1のデータバスに接続さ
れ、第iのテスト用バッファ回路の他端は第i+1のデ
ータバスに接続されている第1ないし第n−1のテスト
用バッファ回路と、タイミング信号が入力端子に供給さ
れ、第1ないし第nのバッファ回路及び第1ないし第n
−1のテスト用バッファ回路を制御する制御回路とを具
備する半導体装置の第1のデータバスに接続される少な
くとも1つのmビットの入出力端子と、タイミング信号
を生成するタイミング信号発生回路とを具備する。
実施の形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施例
を示す。図1は、多ビットのデータI/Oを有する半導
体記憶回路のブロック図である。k、m、nをいずれも
自然数とすると、データI/Oはnビットであり、n=
m×kの関係があるものとする。以下、説明の便宜上、
nビットのデータI/Oを、各々mビットのデータI/
O DIO1〜DIOkにより分割し、そのデータI/
O DIO1〜DIOkに接続された各々mビットのデ
ータバスをそれぞれDB1〜DBkと呼ぶことにする。
ルブロックM1〜Mkの入出力端子は、それぞれmビッ
トのバスを介してk個のデータ用レジスタ回路R1〜R
kの一端に接続される。データを保持するレジスタ回路
R1〜Rkの他端は、それぞれmビットのバスを介して
バッファ回路IB1〜IBkの一端に接続される。バッ
ファ回路IB1〜IBkの他端は、それぞれデータバス
DB1〜DBkを介してデータI/O DIO1〜DI
Okに接続される。
kの一端はデータバスDB1に接続され、テスト用バッ
ファ回路TB2〜TBkの他端はデータバスDB2〜D
Bkに接続される。
力端子には、外部から直接あるいはメモリコントロール
回路3を介して、アウトプットディスエイブル信号O
D、リード/ライト信号R/W、チップセレクト信号C
S(このチップセレクト信号CSは、DRAM、SRA
Mなどメモリの種類の応じて、信号/RAS、信号/C
AS、信号/CE、信号CE2となる。以下/は反転信
号を表すものとする)が供給される。以下、信号R/
W、信号OD、信号CSをメモリコントロール信号と呼
ぶ。また、テスト用コントロール回路2の入力端子に
は、信号TEST/NORMAL及びテストタイミング
信号T1〜Tkが供給される。以下、信号TEST及び
タイミング信号T1〜Tkをテスト用信号と呼ぶ。テス
ト用コントロール回路2は、メモリコントロール信号及
び信号TESTに応じてタイミング信号T1〜Tkをバ
ッファ回路IB1〜IBk及びテストバッファ回路TB
2〜TBkに出力し、これらのバッファ回路及びテスト
バッファ回路の動作を制御する。
の入力端子には外部からアドレス信号が供給され、出力
端子はメモリセルブロックM1〜Mkのアドレス線に接
続される。
する。まず、すべてのメモリセルブロックに共通のテス
トデータを同時に書き込み、メモリセルブロックごとに
データを読み出してテストを行う方法について説明す
る。
タイミングチャートを示す。従来の半導体装置は、図1
に示した回路ブロックからバッファ回路IB1〜IB
k、テスト用バッファ回路TB2〜TBk、テスト用コ
ントロール回路2を省いたものである。この場合、nビ
ットのテストデータをデータI/Oからメモリセルブロ
ックM1〜Mkに同時に書き込み、メモリセルブロック
M1〜Mkからそのデータを同時に読み出してテストを
行う。
トタイミングチャートを示す。まず、図1に示した半導
体装置のデータI/OのうちmビットのデータI/OD
IO1のみをテスト装置に接続する。
H”にして、テストモードにする。まず、メモリセルに
テストデータを書き込む。すなわち、まず、アドレス信
号を供給し、チップセレクト信号CSすなわち図3に示
した場合は信号/RASと信号/CASをローレベルに
し、信号R/Wをローレベルにし、信号ODをデータ入
力可能とする。また、タイミング信号T1〜Tkのすべ
てをハイレベルにしてテストバッファ回路TB2〜TB
kとバッファ回路IB1〜IBkをデータ入力モード、
すなわち信号を通過させるようにし、データI/O D
IO1にmビットのテストデータを与える。これにより
共通のテストデータをメモリセルブロックM1〜Mkに
書き込む。
トデータを読み出す。すなわち、まずアドレス信号を供
給し、信号/RAS、信号/CASをローレベルにし、
信号R/Wをハイレベルにして、メモリセルブロックM
1〜Mkのデータをレジスタ回路R1〜Rkに読み込
む。この場合、信号ODはデータ出力モードであるが、
タイミング信号T1〜Tkがローレベルでありデータバ
ッファ回路IB1〜IBkがオフ状態であるため、デー
タバッファ回路IB1〜IBkはデータを出力しない。
かをハイレベルにして、レジスタ回路R1〜Rkのいず
れかのデータをmビットのデータI/O DIO1に出
力する。例えば、まず信号T1のみをハイレベルにし、
バッファ回路IB1のみを導通させ、レジスタ回路R1
のデータをデータI/O DIO1に出力する。次に、
信号T2のみをハイレベルにしてバッファ回路IB2及
びテスト用バッファ回路TB2を導通させ、レジスタ回
路R2が保持するデータをデータI/O DIO1に出
力する。以下、同様の動作を行う。この際、レジスタ回
路R1〜Rkが保持するデータ同士がショートするとい
うことはない。
書き込み、メモリセルから別々に読み出してテストを行
ってもよい。この場合、書き込み動作は、データバスD
B1にテストデータを供給し、バッファ回路及びテスト
用バッファ回路を制御してデータバスDB1と任意のメ
モリセルブロックとの間のみを導通させて、そのメモリ
ブロックにテストデータを書き込む。この書き込み動作
を繰り返して、メモリセルブロックM1〜Mkにテスト
データを書き込む。
同様である。このようにして、多ビットのデータI/O
を有する半導体装置を従来のテスト装置を用いてテスト
することが可能となる。
路、及びテスト用コントロール回路は小規模であるた
め、オーバーヘッドが増加し、製品コストを上昇させる
ことはない。
方式、MMT方式のように全ビット同一データを入力
し、出力することないので、データバスの多ビット化に
よりテストの信頼性が低下することはない。リダンダン
シー用のテストにおいても、リダンダンシー用フェイル
アドレス情報により冗長行、冗長列等の置き換えが可能
でありテスト信頼性が向上すると共に、1回のテストで
済むためテスト時間が短縮される。
れは、メモリ混載型ロジック半導体装置に本発明を適用
したものであり、図1に示した実施例にCPU回路など
の論理回路を付加したものである。以下、同一の構成要
素には同一の符号を付し、説明を省略する。
理回路4のnビットのデータI/O端子はk個のmビッ
トのデータバスDB1〜DBkに接続される。また、C
PU回路4は、アドレス信号をアドレスバッファ/デコ
ーダ1の入力端子に供給し、メモリコントロール信号R
/W,OD,CSをメモリコントロール回路3に供給
し、テスト用信号TEST、T1〜Tkをテスト用コン
トロール回路2に供給する。なお、アドレス信号、メモ
リコントロール信号、テスト用コントロール信号は、C
PU回路が供給してもよいし、第1の実施例に示したよ
うに外部から供給してもよい。
部データI/Oに接続されている。本実施例において、
外部からテスト用信号を供給してメモリのテストを行う
ことにより第1の実施例と同様の効果を得ることができ
る。さらに、CPU回路4からアドレス信号、メモリコ
ントロール信号、テスト用信号を供給すれば、第1の実
施例と同様の効果を得るとともに、それらの信号のため
のピンを減らすことも可能となる。
を持っている場合、外部から記憶回路部のテストを行う
ことが必要となる。この場合、外部データI/O端子を
検査装置の入出力端子に接続し、第1の実施例と同様に
メモリセルブロックM1〜Mkのテストを行う。従来の
検査装置を用いて多ピットのデータバスを有する半導体
装置のテストを行うことができる。
テスト用バッファ回路とバッファ回路の回路例を示す。
図5に示すように、バッファ回路IB1において、バッ
ファ31の入力端子はレジスタR1の最上位ビットのデ
ータ入出力端子33に接続され、バッファ31の出力端
子はデータバスDB1の最上位ビットのデータ線に接続
される。また、バッファ32の入力端子はデータバスD
B1の最上位ビットのデータ線に接続され、バッファ3
2の出力端子はレジスタR1の最上位ビットのデータ入
出力端子に接続される。以下、同様にして、データバス
DB1とレジスタR1のデータ入出力端子とを接続する
2m個のバッファが設けられる。また、バッファ回路I
B1を構成する2m個のバッファは、信号T1’、/T
1’によりオンオフを制御される。
も同様であり、iを2からkのいずれかの自然数とする
と、バッファ回路IBiは、データバスDBiとレジス
タ回路Riのデータ入出力端子とを接続する双方向の2
m個のバッファよりなり、バッファの制御信号として信
号Ti’、/Ti’が供給される。
て、バッファ35の入力端子はデータバスDB2の最上
位ビット線37に接続され、バッファ35の出力端子は
データバスDB1の最上位ビット線34に接続される。
また、バッファ36の入力端子はデータバスDB1の最
上位ビット線34に接続され、バッファ36の出力端子
はデータバスDB2の最上位ビット線37に接続され
る。以下、同様にしてテスト用バッファ回路TB2は、
データバスDB1とデータバスDB2とを接続する2m
個のバッファよりなる。また、テスト用バッファ回路T
B2を構成する2m個のバッファは、信号T2’’、/
T2’’によりオンオフが制御される。
についても同様であり、テスト用バッファ回路TBi
は、データバスDB1とデータバスDBiとを接続する
2m個のバッファよりなり、バッファの制御信号として
信号Ti’’、/Ti’’が供給される。
用コントロール回路2の回路例を示す。図6に示した回
路において、信号TESTはインバータ41を介してア
ンドゲート42の第1の入力端子に供給され、信号O
D、信号R/W、信号CSは、アンドゲート42の第1
ないし第4の入力端子に供給される。また、信号TES
T、信号OD、信号R/W、信号CSは、アンドゲート
43の第1ないし第4の入力端子に供給される。
の第1の入力端子に供給され、アンドゲート44の第2
の入力端子はアンドゲート43の出力端子に接続され
る。アンドゲート44の出力端子はオアゲート45の第
1の入力端子に接続され、オアゲート45の第2の入力
端子はアンドゲート42の出力端子に接続される。オア
ゲート45の出力信号は、信号T1’となる。また、オ
アゲート45の出力端子はインバータ46の入力端子に
接続され、インバータ46の出力信号は信号/T1’と
なる。
ト47の第1の入力端子に供給され、アンドゲート47
の第2の入力端子はアンドゲート43の出力端子に接続
される。アンドゲート47の出力端子はオアゲート48
の第1の入力端子に接続され、オアゲート48の第2の
入力端子はアンドゲート42の出力端子に接続される。
オアゲート48の出力信号は信号T2’となる。また、
オアゲート48の出力端子はインバータ49の入力端子
に接続され、インバータ49の出力信号は信号/T2’
となる。さらに、アンドゲート47の出力信号は信号T
2’’となる。アンドゲート47の出力端子はインバー
タ50の入力端子に接続され、インバータ50の出力信
号は信号/T2’’となる。
するために、ゲート47〜50よりなる回路と同様の回
路がそれぞれ設けられている。なお、上述の第1及び第
2の実施例では、タイミング信号T1〜Tkは外部で発
生させているが、その場合、半導体装置にタイミング信
号T1〜Tkを入力するための端子を設けなければなら
ない。
させる回路を半導体装置内に設けることで、端子を減ら
すことが可能となる。図7は、タイミング信号発生回路
の一例を示す。この回路は、例えばk段のクリア/ロー
ド端子付シフトレジスタS1〜Skより構成される。
タS1のデータ入力端子DはシフトレジスタSkの出力
端子Qに接続される。シフトレジスタS1の出力端子Q
はシフトレジスタS2の入力端子Dに接続され、シフト
レジスタS1の出力端子Qにおける信号はタイミング信
号T1となる。シフトレジスタS2の出力端子Qはシフ
トレジスタS3の入力端子Dに接続され、シフトレジス
タS2の出力端子Qにおける信号はタイミング信号T2
となる。以下、同様にして、シフトレジスタSkの出力
端子Qにおける信号はタイミング信号Tkとなる。
ク入力端子CKには共通のクロック信号が供給され、シ
フトレジスタS1〜Skのクリア端子CL及びロード端
子LDにはそれぞれ共通のクリア信号とロード信号が供
給される。さらに、シフトレジスタS1〜Skのライン
入力端子LINはいずれも電源電位が供給される。
回路のタイミングチャートを示す。テスト書き込み時
は、ロード信号LDをハイレベルにし、シフトレジスタ
S1〜Skの出力端子Qにライン入力端子LINから読
み込んだハイレベルの信号を出力させる。
ーレベルにし、タイミング信号T1〜Tkとして順に1
パルスの信号を発生させる。なお、上述の第1及び第2
の実施例において、テスト用バッファ回路TB2〜TB
kはそれぞれデータバスDB1とデータバスDB2〜D
Bkとの間に設けられているが、これに限られるもので
はない。例えば、隣り合ったデータバスの間にテスト用
バッファ回路を設けてもよい。すなわち、データバスD
Bi−1とデータバスDBi との間にテスト用バッファ
回路TBiを設置し、メモリセルブロックiにテストデ
ータを書き込み・読み出しする場合は、テスト用バッフ
ァ回路TB1〜TBiを導通させるようにテスト用バッ
ファ回路をコントロールしてもよい。
装置をテストする検査システムを示す。図9において、
半導体装置74−1〜74−n、75−1〜75−nは
上述のバッファ回路、テスト用バッファ回路、テスト用
コントロール回路を具備し、例えば16ビットのテスト
用データI/Oを持っている。テスト測定部71、72
において、16×n個の入出力端子はそれぞれn個の半
導体装置74−1〜74−n、75−1〜75−nのテ
スト用データI/Oと接続され、これらのn個の半導体
装置を同時にテストできる。また、テスト測定部71、
72は上述のタイミング信号発生回路を具備し、テスト
用信号を半導体装置74−1〜74−n、75−1〜7
5−nに供給する。テスト測定部71、72は、半導体
検査装置本体73により制御される。
〜75−nが、例えば、128ビットのデータI/Oを
有する記憶回路である場合、8グループのメモリブロッ
クに分けて、テストデータを書き込む。次に、タイミン
グ信号T1〜Tkにより半導体装置74−1〜74−
n、75−1〜75−nの第1のメモリブロックから同
時に16ビットのデータを読み出す。次に、第2のメモ
リブロックからデータを読み出す。こうした読み出し動
作を8回繰り返し、128ビット分のデータのテストを
行う。
Oを有する記憶回路を、データI/O用PINカードを
増設することなく、16ビットのデータI/Oを有する
半導体製品用のテスト装置により、多数個の半導体装置
を同時に検査することができる。
体装置をテストする検査システムの第2の例を示す。図
10において、半導体装置84−1〜84−n、85−
1〜85−nは上述のバッファ回路、テスト用バッファ
回路、テスト用コントロール回路を具備し、例えば32
ビットのテスト用データI/Oを持っている。テスト測
定部81、82において、32×n個の入出力端子はそ
れぞれn個の半導体装置84−1〜84−n、85−1
〜85−nのテスト用データI/Oと接続され、これら
のn個の半導体装置を同時にテストできる。また、テス
ト測定部81、82は上述のタイミング信号発生回路を
具備し、テスト用信号を半導体装置84−1〜84−
n、85−1〜85−nに供給する。テスト測定部8
1、82は、半導体検査装置本体83により制御され
る。
〜85−nが例えば、256ビットのデータI/Oを有
する記憶回路である場合、8グループのメモリブロック
に分けて、テストデータを書き込む。次に、タイミング
信号T1〜T8により半導体装置84−1〜84−n、
85−1〜85−nの第1のメモリブロックから同時に
32ビットのデータを読み出す。次に、第2のメモリブ
ロックからデータを読み出す。こうした読み出し動作を
8回繰り返し、256ビット分のデータのテストを行
う。
Oを有する記憶回路を、32ビットのデータI/Oを有
する半導体製品用のテスト装置により、多数個の半導体
装置を同時に検査することができる。
ストシステムよりもテスト時間をさらに短縮することが
できる。このテストシステムでは図9に示したシステム
にデータI/O用PINカードを増設する必要があるた
め、、データI/Oが256ビット必要である製品が登
場してテスターを増設する必要がある場合に使用するこ
とが望ましい。
る半導体装置であっても、この半導体装置に16ビット
のテスト用データI/O及びこれに対応したバッファ、
テスト用バッファ、テスト用コントロール回路を設け、
テスト信号T0〜T15を発生させてテストすることも
可能である。この場合、テスト測定部にデータI/O用
PINカードを増設する必要がないが、図10に示した
場合よりもテスト時間がかかる。このように、テスター
を増設するコストとテスト時間が増大するコストとを考
慮して、製品テストコストを上昇させないような方法を
選択することが可能である。
メモリ回路のデータバスが多ビットである場合、それよ
りも少ないビットごとにデータを分割して読み出すた
め、従来の半導体検査装置をそのまま使用してメモリ回
路のテストを行い、テストコストを低下させることがで
きる。また、半導体装置内にテスト用に新たに設けた回
路のサイズは小さいため、テスト回路のオーバーヘッド
は少なく、製品コストは上昇しない。
示す図。
グチャートを示す図。
ングチャートを示す図。
装置を示す図。
図。
ングチャートを示す図。
導体装置を多数個同時測定する検査装置を示す図。
半導体装置を多数個同時測定する検査装置を示す図。
Claims (7)
- 【請求項1】 それぞれmビットのデータ線を有する第
1ないし第nのメモリブロックと、 それぞれmビットの第1ないし第nのデータバスと、 iを1からnまでのいずれかの自然数として、第iのバ
ッファ回路の一端は前記第iのメモリブロックのデータ
線に接続され、第iのバッファ回路の他端は前記第iの
データバスに接続されている第1ないし第nのバッファ
回路と、 iを1からn−1までのいずれかの自然数として、第i
のテスト用バッファ回路の一端は前記第1のデータバス
に接続され、第iのテスト用バッファ回路の他端は前記
第i+1のデータバスに接続されている第1ないし第n
−1のテスト用バッファ回路と、 タイミング信号が入力端子に供給され、前記第1ないし
第nのバッファ回路及び前記第1ないし第n−1のテス
ト用バッファ回路を制御する制御回路とを具備すること
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 それぞれmビットのデータ線を有する第
1ないし第nのメモリブロックと、 それぞれmビットの第1ないし第nのデータバスと、 iを1からnまでのいずれかの自然数として、第iのバ
ッファ回路の一端は前記第iのメモリブロックのデータ
線に接続され、第iのバッファ回路の他端は前記第iの
データバスに接続されている第1ないし第nのバッファ
回路と、 iを1からn−1までのいずれかの自然数として、第i
のテスト用バッファ回路の一端は前記第1のデータバス
に接続され、第iのテスト用バッファ回路の他端は前記
第i+1のデータバスに接続されている第1ないし第n
−1のテスト用バッファ回路と、 タイミング信号が入力端子に供給され、前記第1ないし
第nのバッファ回路及び前記第1ないし第n−1のテス
ト用バッファ回路を制御する制御回路と、 前記第1ないし第nのデータバスに接続されたm×nビ
ットのデータ入出力端子を有するCPU回路と、を具備
することを特徴とする半導体装置。 - 【請求項3】 前記タイミング信号を生成するタイミン
グ信号発生回路をさらに具備することを特徴とする請求
項1、2記載の半導体装置。 - 【請求項4】 前記タイミング信号は前記CPU回路が
生成することを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 【請求項5】 mビットの第1のデータバスにテストデ
ータを供給し、iを1からn−1までのいずれかの自然
数として、第iのテスト用バッファ回路の一端は前記第
1のデータバスに接続され、第iのテスト用バッファ回
路の他端はmビットの第i+1のデータバスに接続され
ている第1ないし第n−1のテスト用バッファ回路を導
通させ、iを1からnまでのいずれかの自然数として、
第iのバッファ回路の一端は前記第iのデータバスに接
続され、第iのバッファ回路の他端は第iのメモリブロ
ックのmビットのデータ線に接続されている第1ないし
第nのバッファ回路を導通させて、前記第1ないし第n
のメモリブロックに同時に前記テストデータを書き込
み、 前記第1のメモリブロックから前記テストデータを読み
出すときは、前記第1のバッファ回路を導通させ、前記
第1ないし第n−1のテスト用バッファ回路を導通させ
ないで、iを2からnまでのいずれかの自然数として第
iのメモリブロックから前記テストデータを読み出すと
きは、前記第iのバッファ回路と前記第i−1のテスト
用バッファ回路を導通させ、それ以外のテスト用バッフ
ァ回路と前記第1のバッファ回路を導通させないで、前
記第1ないし第nのメモリブロックから順次前記テスト
データを前記第1のデータバスを介して読み出して、テ
ストすることを特徴とする半導体装置の検査方法。 - 【請求項6】 第1のメモリブロックにテストデータを
書き込むときは、mビットの第1のデータバスにテスト
データを供給し、一端が前記第1のデータバスに接続さ
れ他端が前記第1のメモリブロックのmビットのデータ
線に接続された第1のバッファ回路を導通させ、iを1
からn−1までのいずれかの自然数として、第iのテス
ト用バッファ回路の一端が前記第1のデータバスに接続
され、第iのテスト用バッファ回路の他端がmビットの
第i+1のデータバスに接続されている第1ないし第n
−1のテスト用バッファ回路を導通させないで、iを2
からnまでのいずれかの自然数として第iのメモリブロ
ックにテストデータを書き込むときは、前記第1のデー
タバスにテストデータを供給し、前記第i−1のテスト
用バッファ回路と一端が前記第iのデータバスに接続さ
れ他端が前記第iのメモリブロックのmビットのデータ
線に接続された第iのバッファ回路を導通させ、それ以
外の前記テスト用バッファ回路と前記第1のバッファ回
路を導通させないで、前記第1ないし第nのメモリブロ
ックに順次テストデータを書き込み、 前記第1のメモリブロックから前記テストデータを読み
出すときは、前記第1のバッファ回路を導通させ、前記
第1ないし第n−1のテスト用バッファ回路を導通させ
ないで、iを2からnまでのいずれかの自然数として第
iのメモリブロックから前記テストデータを読み出すと
きは、前記第iのバッファ回路と前記第i−1のテスト
用バッファ回路を導通させ、それ以外のテスト用バッフ
ァ回路と前記第1のバッファ回路を導通させないで、前
記第1ないし第nのメモリブロックから順次前記テスト
データを前記第1のデータバスを介して読み出して、テ
ストすることを特徴とする半導体装置の検査方法。 - 【請求項7】 それぞれmビットのデータ線を有する第
1ないし第nのメモリブロックと、それぞれmビットの
第1ないし第nのデータバスと、iを1からnまでのい
ずれかの自然数として、第iのバッファ回路の一端は前
記第iのメモリブロックのデータ線に接続され、第iの
バッファ回路の他端は前記第iのデータバスに接続され
ている第1ないし第nのバッファ回路と、iを1からn
−1までのいずれかの自然数として、第iのテスト用バ
ッファ回路の一端は前記第1のデータバスに接続され、
第iのテスト用バッファ回路の他端は前記第i+1のデ
ータバスに接続されている第1ないし第n−1のテスト
用バッファ回路と、タイミング信号が入力端子に供給さ
れ、前記第1ないし第nのバッファ回路及び前記第1な
いし第n−1のテスト用バッファ回路を制御する制御回
路とを具備する半導体装置の前記第1のデータバスに接
続される少なくとも1つのmビットの入出力端子と、 前記タイミング信号を生成するタイミング信号発生回路
とを具備することを特徴とする半導体装置の検査装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002050199A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-02-15 | Samsung Electronics Co Ltd | テスト機能を有する不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2002237198A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶回路装置並びにその検査方法及びセル不良救済方法 |
JP2004095156A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Samsung Electronics Co Ltd | テストモードのために選択的にイネーブルされる出力回路を有するメモリ装置及びそのテスト方法 |
JP2009181647A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置 |
JP2009205790A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-09-10 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置及びその制御方法 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19947041C2 (de) * | 1999-09-30 | 2001-11-08 | Infineon Technologies Ag | Integrierter dynamischer Halbleiterspeicher mit redundanten Einheiten von Speicherzellen und Verfahren zur Selbstreparatur |
JP2001126470A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-05-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
US6732304B1 (en) * | 2000-09-21 | 2004-05-04 | Inapac Technology, Inc. | Chip testing within a multi-chip semiconductor package |
US7240254B2 (en) * | 2000-09-21 | 2007-07-03 | Inapac Technology, Inc | Multiple power levels for a chip within a multi-chip semiconductor package |
US7444575B2 (en) * | 2000-09-21 | 2008-10-28 | Inapac Technology, Inc. | Architecture and method for testing of an integrated circuit device |
US6754866B1 (en) * | 2001-09-28 | 2004-06-22 | Inapac Technology, Inc. | Testing of integrated circuit devices |
US6812726B1 (en) | 2002-11-27 | 2004-11-02 | Inapac Technology, Inc. | Entering test mode and accessing of a packaged semiconductor device |
DE10141026B4 (de) * | 2001-08-22 | 2011-06-22 | Qimonda AG, 81739 | Verfahren zum Testen von zu testenden Speichereinheiten und Testeinrichtung |
US8286046B2 (en) | 2001-09-28 | 2012-10-09 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module including signal shaping interface |
US8001439B2 (en) * | 2001-09-28 | 2011-08-16 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module including signal shaping interface |
US7313740B2 (en) * | 2002-07-25 | 2007-12-25 | Inapac Technology, Inc. | Internally generating patterns for testing in an integrated circuit device |
US8166361B2 (en) * | 2001-09-28 | 2012-04-24 | Rambus Inc. | Integrated circuit testing module configured for set-up and hold time testing |
US20040019841A1 (en) * | 2002-07-25 | 2004-01-29 | Ong Adrian E. | Internally generating patterns for testing in an integrated circuit device |
US7061263B1 (en) | 2001-11-15 | 2006-06-13 | Inapac Technology, Inc. | Layout and use of bond pads and probe pads for testing of integrated circuits devices |
US8063650B2 (en) | 2002-11-27 | 2011-11-22 | Rambus Inc. | Testing fuse configurations in semiconductor devices |
WO2008042403A2 (en) | 2006-10-03 | 2008-04-10 | Inapac Technologies, Inc. | Memory accessing circuit system |
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Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59175094A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体メモリ |
DE3671670D1 (de) * | 1985-03-26 | 1990-07-05 | Siemens Ag | Verfahren zum betreiben eines halbleiterspeichers mit integrierter paralleltestmoeglichkeit und auswerteschaltung zur durchfuehrung des verfahrens. |
US5127011A (en) * | 1990-01-12 | 1992-06-30 | International Business Machines Corporation | Per-pin integrated circuit test system having n-bit interface |
JPH0612894A (ja) * | 1992-06-30 | 1994-01-21 | Toshiba Corp | 半導体メモリ試験装置 |
JP3293935B2 (ja) * | 1993-03-12 | 2002-06-17 | 株式会社東芝 | 並列ビットテストモード内蔵半導体メモリ |
JPH08315567A (ja) * | 1995-05-22 | 1996-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH09147598A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置およびアドレス変化検出回路 |
TW324101B (en) * | 1995-12-21 | 1998-01-01 | Hitachi Ltd | Semiconductor integrated circuit and its working method |
-
1996
- 1996-10-02 JP JP26197196A patent/JP3313591B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1997
- 1997-09-11 US US08/927,791 patent/US5923600A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-10-01 TW TW086114305A patent/TW359031B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-10-02 KR KR1019970050862A patent/KR100286491B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002050199A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-02-15 | Samsung Electronics Co Ltd | テスト機能を有する不揮発性半導体メモリ装置 |
JP2002237198A (ja) * | 2001-02-09 | 2002-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶回路装置並びにその検査方法及びセル不良救済方法 |
JP2004095156A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Samsung Electronics Co Ltd | テストモードのために選択的にイネーブルされる出力回路を有するメモリ装置及びそのテスト方法 |
JP2009205790A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-09-10 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置及びその制御方法 |
JP2009181647A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置 |
Also Published As
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