JPH0994791A - 腐食性雰囲気用ロボット - Google Patents
腐食性雰囲気用ロボットInfo
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- JPH0994791A JPH0994791A JP27975395A JP27975395A JPH0994791A JP H0994791 A JPH0994791 A JP H0994791A JP 27975395 A JP27975395 A JP 27975395A JP 27975395 A JP27975395 A JP 27975395A JP H0994791 A JPH0994791 A JP H0994791A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロボット本体の外被は既存の構成のままで、
ロボット本体と腐食性雰囲気が直接に触れることがない
ようにして、半導体製造工程等における腐食性雰囲気内
で使用されても機械的耐久性や発塵性に問題がないロボ
ットを提供する。 【解決手段】 複数のアーム５ａ，５ｂ内に駆動力を伝
達し該アームを回転させる駆動伝達機構が設けられてな
るロボット本体２の外面に、空間をおいて耐腐食性素材
でなるジャケット３を被せ、ロボット本体２内を加圧し
て正圧とすると共に、ロボット本体２の外面とジャケッ
ト３との間の空間を強制排気して負圧とする。
ロボット本体と腐食性雰囲気が直接に触れることがない
ようにして、半導体製造工程等における腐食性雰囲気内
で使用されても機械的耐久性や発塵性に問題がないロボ
ットを提供する。 【解決手段】 複数のアーム５ａ，５ｂ内に駆動力を伝
達し該アームを回転させる駆動伝達機構が設けられてな
るロボット本体２の外面に、空間をおいて耐腐食性素材
でなるジャケット３を被せ、ロボット本体２内を加圧し
て正圧とすると共に、ロボット本体２の外面とジャケッ
ト３との間の空間を強制排気して負圧とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程等
における腐食性雰囲気中で動作するに好適なロボットに
関するものである。
における腐食性雰囲気中で動作するに好適なロボットに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置内やクリーンルー
ム内で動作し、ＬＳＩウェハ等を掴んで搬送するロボッ
トが知られている。この種のロボットは、物体を掴んで
搬送するフィンガと、このフィンガを移動し得るように
関節部を介して互いに連結された複数のアームと、これ
らアームを関節部の軸回りに回転させるための、駆動源
からの駆動力を伝達する駆動伝達機構とを備え、この駆
動伝達機構はアーム内を挿通して設けられている。この
駆動伝達機構は、駆動されるタイミングベルトと、この
タイミングベルトが掛けられる関節部の軸回りのプーリ
等から構成される。
ム内で動作し、ＬＳＩウェハ等を掴んで搬送するロボッ
トが知られている。この種のロボットは、物体を掴んで
搬送するフィンガと、このフィンガを移動し得るように
関節部を介して互いに連結された複数のアームと、これ
らアームを関節部の軸回りに回転させるための、駆動源
からの駆動力を伝達する駆動伝達機構とを備え、この駆
動伝達機構はアーム内を挿通して設けられている。この
駆動伝達機構は、駆動されるタイミングベルトと、この
タイミングベルトが掛けられる関節部の軸回りのプーリ
等から構成される。
【０００３】このような構成のロボットが稼働すると、
その駆動伝達機構は摩擦し磨耗するため、塵埃がロボッ
トの内部（アーム内）に発生する。この塵埃がロボット
外に出ると、クリーンルーム内を汚染するので、塵埃が
ロボット外に出ないように、関節部には磁性流体シール
等を用いて密封し、ロボットの内部を排気して負圧とす
ることで、発生した塵埃を吸い出していた。こうして、
クリーンルーム用の非発塵ロボットとしていた。また、
半導体製造工程における湿式エッチング装置等の腐食性
雰囲気内で動作するロボットは、全体又は外被を耐蝕性
材質、例えば耐蝕性塩化ビニール等を用いて構成してい
た。
その駆動伝達機構は摩擦し磨耗するため、塵埃がロボッ
トの内部（アーム内）に発生する。この塵埃がロボット
外に出ると、クリーンルーム内を汚染するので、塵埃が
ロボット外に出ないように、関節部には磁性流体シール
等を用いて密封し、ロボットの内部を排気して負圧とす
ることで、発生した塵埃を吸い出していた。こうして、
クリーンルーム用の非発塵ロボットとしていた。また、
半導体製造工程における湿式エッチング装置等の腐食性
雰囲気内で動作するロボットは、全体又は外被を耐蝕性
材質、例えば耐蝕性塩化ビニール等を用いて構成してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のロボットにおいて、ロボット本体の外被を
耐蝕性塩化ビニール等により構成したものでは、機械的
強度やその素材による塵埃を発生する点で問題があっ
た。関節部にシールとして用いている磁性流体は、鉄分
を含んでいるため、これと腐食性雰囲気が反応して磁性
流体自体が劣化してしまう。その結果、ロボット内部の
腐食が進行し、耐久性を低下させていた。本発明は、上
述した問題点を解決するためになされたものであり、ロ
ボット本体の外被は既存の構成のままで、ロボット本体
と腐食性雰囲気が直接に触れることがないようにして、
半導体製造工程等における腐食性雰囲気内で使用されて
も機械的耐久性や発塵性に問題がないロボットを提供す
ることを目的とする。また、磁性流体シールの劣化によ
る内部腐食も少なく、半導体製造工程等における腐食性
雰囲気内での使用に適したロボットを提供することを目
的とする。
ような従来のロボットにおいて、ロボット本体の外被を
耐蝕性塩化ビニール等により構成したものでは、機械的
強度やその素材による塵埃を発生する点で問題があっ
た。関節部にシールとして用いている磁性流体は、鉄分
を含んでいるため、これと腐食性雰囲気が反応して磁性
流体自体が劣化してしまう。その結果、ロボット内部の
腐食が進行し、耐久性を低下させていた。本発明は、上
述した問題点を解決するためになされたものであり、ロ
ボット本体の外被は既存の構成のままで、ロボット本体
と腐食性雰囲気が直接に触れることがないようにして、
半導体製造工程等における腐食性雰囲気内で使用されて
も機械的耐久性や発塵性に問題がないロボットを提供す
ることを目的とする。また、磁性流体シールの劣化によ
る内部腐食も少なく、半導体製造工程等における腐食性
雰囲気内での使用に適したロボットを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、関節部を介して互いに回転自在に
連結された複数のアームと、このアームを駆動させる駆
動部とを有し、アーム内には駆動部からの駆動力を伝達
し該アームを関節部を回転中心として回転させる駆動伝
達機構が設けられてなるロボット本体と、ロボット本体
の外面に空間をおいて被せた耐腐食性素材でなるジャケ
ットとからなり、ロボット本体内を加圧して正圧とする
と共に、ロボット本体の外面とジャケットとの間の空間
を強制排気して負圧とする腐食性雰囲気用ロボットであ
る。
に請求項１の発明は、関節部を介して互いに回転自在に
連結された複数のアームと、このアームを駆動させる駆
動部とを有し、アーム内には駆動部からの駆動力を伝達
し該アームを関節部を回転中心として回転させる駆動伝
達機構が設けられてなるロボット本体と、ロボット本体
の外面に空間をおいて被せた耐腐食性素材でなるジャケ
ットとからなり、ロボット本体内を加圧して正圧とする
と共に、ロボット本体の外面とジャケットとの間の空間
を強制排気して負圧とする腐食性雰囲気用ロボットであ
る。
【０００６】上記構成においては、ロボット本体には耐
腐食性素材を用いる必要がないので、機械的耐久性や発
塵性には問題がなく、また、ロボット本体内は加圧され
て正圧とされ、ロボット本体とジャケットとの間の空間
は強制排気されて負圧とされるので、ロボット本体内の
駆動伝達機構の動作により発生した塵埃は、負圧とされ
ているロボット本体とジャケットとの間の空間を通って
強制排気される。従って、ロボット外部の雰囲気中に漏
出することはない。また、ロボット外部の腐食性雰囲気
がロボット本体内に浸入することもないので、腐食性雰
囲気に起因した腐食や発塵は飛躍的に少なくなる。
腐食性素材を用いる必要がないので、機械的耐久性や発
塵性には問題がなく、また、ロボット本体内は加圧され
て正圧とされ、ロボット本体とジャケットとの間の空間
は強制排気されて負圧とされるので、ロボット本体内の
駆動伝達機構の動作により発生した塵埃は、負圧とされ
ているロボット本体とジャケットとの間の空間を通って
強制排気される。従って、ロボット外部の雰囲気中に漏
出することはない。また、ロボット外部の腐食性雰囲気
がロボット本体内に浸入することもないので、腐食性雰
囲気に起因した腐食や発塵は飛躍的に少なくなる。
【０００７】また、請求項２の発明は、上記請求項１に
記載の構成において、ロボット本体における複数のアー
ム間を連結する関節部に磁性流体シールが設けられてい
るものである。上記構成においては、磁性流体シールに
直接に腐食性雰囲気が接触することがなくなるので、磁
性流体シールの劣化が少なくなり、従って、その劣化に
よるロボット本体内の腐食も少なくなる。
記載の構成において、ロボット本体における複数のアー
ム間を連結する関節部に磁性流体シールが設けられてい
るものである。上記構成においては、磁性流体シールに
直接に腐食性雰囲気が接触することがなくなるので、磁
性流体シールの劣化が少なくなり、従って、その劣化に
よるロボット本体内の腐食も少なくなる。
【０００８】また、請求項３の発明は、上記請求項１又
は請求項２に記載の構成において、ジャケットが、アー
ムと駆動部に被せる各々の部分について少なくとも２つ
に分割された部材からなり、かつ、関節部が貫通する開
口を持ち、分割された端面同士を突き合わせることによ
りロボット本体の外面に被せられるものである。上記構
成においては、既存のロボット本体の外面にジャケット
を容易に被せることが可能となる。
は請求項２に記載の構成において、ジャケットが、アー
ムと駆動部に被せる各々の部分について少なくとも２つ
に分割された部材からなり、かつ、関節部が貫通する開
口を持ち、分割された端面同士を突き合わせることによ
りロボット本体の外面に被せられるものである。上記構
成においては、既存のロボット本体の外面にジャケット
を容易に被せることが可能となる。
【０００９】また、請求項４の発明は、上記請求項１乃
至請求項３のいずれかに記載の構成において、ジャケッ
トの内部空間は、関節部が貫通する部分で互いに連通し
得るように構成されているものである。上記構成におい
ては、ロボット本体のアームとジャケットとの間の空間
を強制排気するのに、１箇所でまとめて簡単な構成にて
行うことができる。
至請求項３のいずれかに記載の構成において、ジャケッ
トの内部空間は、関節部が貫通する部分で互いに連通し
得るように構成されているものである。上記構成におい
ては、ロボット本体のアームとジャケットとの間の空間
を強制排気するのに、１箇所でまとめて簡単な構成にて
行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
例を図面を参照して説明する。図１は腐食性雰囲気用ロ
ボットの外観図、図２は同ロボットにおけるアームの関
節部の断面図、図３、図４はロボット本体の外面に被せ
るジャケットを上方及び下方から見た斜視図である。ロ
ボット１は、半導体製造工程等における腐食性雰囲気内
でウェハ等を掴んで搬送する等の動作に適したものであ
り、既存のロボット本体２（図１に破線で示す）と、そ
の外面に空間Ａをおいて被せた耐腐食性素材でなるジャ
ケット３とから構成される。ロボット本体２は、関節部
４を介して互いに回転自在に連結された複数のアーム５
ａ，５ｂと、これらのアーム５ａ，５ｂを回転駆動させ
るモータ等を内蔵した駆動部６とを有し、アーム５ａ，
５ｂ内には、駆動部６からの駆動力を伝達することによ
り、例えばアーム５ａに対してアーム５ｂを関節部４を
回転中心として回転させる駆動伝達機構７が設けられて
いる。
例を図面を参照して説明する。図１は腐食性雰囲気用ロ
ボットの外観図、図２は同ロボットにおけるアームの関
節部の断面図、図３、図４はロボット本体の外面に被せ
るジャケットを上方及び下方から見た斜視図である。ロ
ボット１は、半導体製造工程等における腐食性雰囲気内
でウェハ等を掴んで搬送する等の動作に適したものであ
り、既存のロボット本体２（図１に破線で示す）と、そ
の外面に空間Ａをおいて被せた耐腐食性素材でなるジャ
ケット３とから構成される。ロボット本体２は、関節部
４を介して互いに回転自在に連結された複数のアーム５
ａ，５ｂと、これらのアーム５ａ，５ｂを回転駆動させ
るモータ等を内蔵した駆動部６とを有し、アーム５ａ，
５ｂ内には、駆動部６からの駆動力を伝達することによ
り、例えばアーム５ａに対してアーム５ｂを関節部４を
回転中心として回転させる駆動伝達機構７が設けられて
いる。
【００１１】駆動伝達機構７は、駆動部６からの駆動力
が伝達されるタイミングベルト９と、このタイミングベ
ルト９が掛けられる関節部４の軸１０回りに固定された
プーリ１１等から構成される。軸１０はその一端がアー
ム５ａの内面に軸受け１２により支持され、他端がアー
ム５ｂに固定されている。また、アーム５ａとアーム５
ｂその他の関節部４においては、ロボット本体２の内部
空間Ｂとその外部（空間Ａとなる）との密封を図るため
の磁性流体シール１３が設けられている。この内部空間
Ｂは全体が連通状態である。なお、アーム５ｂの回動側
端部には物体を掴むフィンガ部１４が回転自在に設けら
れている。このフィンガ部１４を回転駆動するための伝
達機構もアーム５ａ，５ｂ内に設けられているが、図示
を省略している。
が伝達されるタイミングベルト９と、このタイミングベ
ルト９が掛けられる関節部４の軸１０回りに固定された
プーリ１１等から構成される。軸１０はその一端がアー
ム５ａの内面に軸受け１２により支持され、他端がアー
ム５ｂに固定されている。また、アーム５ａとアーム５
ｂその他の関節部４においては、ロボット本体２の内部
空間Ｂとその外部（空間Ａとなる）との密封を図るため
の磁性流体シール１３が設けられている。この内部空間
Ｂは全体が連通状態である。なお、アーム５ｂの回動側
端部には物体を掴むフィンガ部１４が回転自在に設けら
れている。このフィンガ部１４を回転駆動するための伝
達機構もアーム５ａ，５ｂ内に設けられているが、図示
を省略している。
【００１２】ジャケット３は、塩化ビニール、セラミッ
ク等の耐腐食性素材により構成され、アーム５ａ，５ｂ
と駆動部６に被せる各々の部分について少なくとも２つ
に分割された部材３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ
からなり、かつ、それぞれ関節部４が貫通する開口８を
持ち、分割された端面同士を突き合わせることによりロ
ボット本体２の外面全体を包囲するごとく被せることが
できる。本実施例では、関節部４が貫通する開口８の部
分は、図２に示されるように、ジャケット３内の空間Ａ
は全体が連通し、かつ、ジャケット３の外部とは遮蔽し
得る構造とされている。なお、ジャケット３は、アーム
５ａ，５ｂ等の外面に対して、スペーサ１５を介し所定
間隙をおいて捩子１６により取り付けられる。
ク等の耐腐食性素材により構成され、アーム５ａ，５ｂ
と駆動部６に被せる各々の部分について少なくとも２つ
に分割された部材３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ
からなり、かつ、それぞれ関節部４が貫通する開口８を
持ち、分割された端面同士を突き合わせることによりロ
ボット本体２の外面全体を包囲するごとく被せることが
できる。本実施例では、関節部４が貫通する開口８の部
分は、図２に示されるように、ジャケット３内の空間Ａ
は全体が連通し、かつ、ジャケット３の外部とは遮蔽し
得る構造とされている。なお、ジャケット３は、アーム
５ａ，５ｂ等の外面に対して、スペーサ１５を介し所定
間隙をおいて捩子１６により取り付けられる。
【００１３】また、ロボットの動作中には、駆動部６に
設けられた不図示の吸入ファンにより、ロボット本体２
の内部空間Ｂを加圧して正圧となるように制御すると共
に、不図示の吐出ファンによりダクト１７を介してロボ
ット本体２の外面とジャケット３の内面との間の空間Ａ
を強制排気して負圧となるように制御する。
設けられた不図示の吸入ファンにより、ロボット本体２
の内部空間Ｂを加圧して正圧となるように制御すると共
に、不図示の吐出ファンによりダクト１７を介してロボ
ット本体２の外面とジャケット３の内面との間の空間Ａ
を強制排気して負圧となるように制御する。
【００１４】次に、上記のように構成されたロボット１
の動作について説明する。ロボット１は、ロボット本体
２の駆動部６の動作に基づき、不図示の機構を介してア
ーム５ａが回転駆動され、また、駆動伝達機構７を構成
するタイミングベルト９が作動してプーリ１１を回転さ
せる。それにより、軸１０が回転駆動され、それに応動
してアーム５ｂはアーム５ａに対して関節部４を回転中
心として回転駆動される。同様にして、アーム５ｂの回
動端のフィンガ部１４が回転駆動される。こうしてロボ
ットとしての動作が得られる。
の動作について説明する。ロボット１は、ロボット本体
２の駆動部６の動作に基づき、不図示の機構を介してア
ーム５ａが回転駆動され、また、駆動伝達機構７を構成
するタイミングベルト９が作動してプーリ１１を回転さ
せる。それにより、軸１０が回転駆動され、それに応動
してアーム５ｂはアーム５ａに対して関節部４を回転中
心として回転駆動される。同様にして、アーム５ｂの回
動端のフィンガ部１４が回転駆動される。こうしてロボ
ットとしての動作が得られる。
【００１５】そして、ロボット本体２の内部空間Ｂは加
圧されて正圧とされ、ロボット本体２の外面とジャケッ
ト３の内面との間の空間Ａは強制排気されて負圧とされ
る。このため、ジャケット３の外部が腐食性雰囲気であ
っても、腐食性ガスがロボット本体２の内部空間Ｂにま
で浸入することが防止される。つまり、ロボット本体２
が腐食性雰囲気に直接触れることがなくなる。このた
め、ロボット本体２の構成素材が従来のままでよく、機
械的耐久性や発塵性に問題はなく、外部腐食の問題もな
くなる。同時に、磁性流体シール１３も劣化することが
防止されるので、内部腐食も抑えられ、ロボット１の耐
久性は飛躍的に向上する。また、ロボット本体２の駆動
伝達機構７の摩擦、磨耗により塵埃が発生しても、この
塵埃がロボット１の外部に漏出することも防止される。
勿論、ジャケット３が耐腐食性素材でなるので、腐食性
雰囲気での稼働にも好適である。
圧されて正圧とされ、ロボット本体２の外面とジャケッ
ト３の内面との間の空間Ａは強制排気されて負圧とされ
る。このため、ジャケット３の外部が腐食性雰囲気であ
っても、腐食性ガスがロボット本体２の内部空間Ｂにま
で浸入することが防止される。つまり、ロボット本体２
が腐食性雰囲気に直接触れることがなくなる。このた
め、ロボット本体２の構成素材が従来のままでよく、機
械的耐久性や発塵性に問題はなく、外部腐食の問題もな
くなる。同時に、磁性流体シール１３も劣化することが
防止されるので、内部腐食も抑えられ、ロボット１の耐
久性は飛躍的に向上する。また、ロボット本体２の駆動
伝達機構７の摩擦、磨耗により塵埃が発生しても、この
塵埃がロボット１の外部に漏出することも防止される。
勿論、ジャケット３が耐腐食性素材でなるので、腐食性
雰囲気での稼働にも好適である。
【００１６】図５は他の実施例による腐食性雰囲気用ロ
ボットの外観図、図６は同ロボットにおけるアームの関
節部の断面図である。上記実施例では、ジャケット３の
内部空間が全て連通し、まとめて強制排気するものを示
したが、以下に示す実施例は、ジャケット３の内部空間
がアーム５ａ，５ｂ等を被せるブロック毎に区画されて
いる点が相違する。すなわち、ジャケット３の部材３
ａ，３ｂ、部材３ｃ，３ｄの各ブロックによる内部空間
は個別とされ、これらの内部空間と駆動部６に被せた部
材３ｅ，３ｆによる内部空間との間はダクト１９，２０
により各々連結され、上記駆動部６に被せた部材３ｅ，
３ｆによる内部空間をダクト１７を介して強制排気する
ことで、各々の内部空間を負圧としている。関節部４が
貫通する開口８´の部分は、図６に示されるように、ロ
ボット本体２の外面とジャケット３の内面との間の空間
Ａがそれぞれ区画されるような構成とされている。
ボットの外観図、図６は同ロボットにおけるアームの関
節部の断面図である。上記実施例では、ジャケット３の
内部空間が全て連通し、まとめて強制排気するものを示
したが、以下に示す実施例は、ジャケット３の内部空間
がアーム５ａ，５ｂ等を被せるブロック毎に区画されて
いる点が相違する。すなわち、ジャケット３の部材３
ａ，３ｂ、部材３ｃ，３ｄの各ブロックによる内部空間
は個別とされ、これらの内部空間と駆動部６に被せた部
材３ｅ，３ｆによる内部空間との間はダクト１９，２０
により各々連結され、上記駆動部６に被せた部材３ｅ，
３ｆによる内部空間をダクト１７を介して強制排気する
ことで、各々の内部空間を負圧としている。関節部４が
貫通する開口８´の部分は、図６に示されるように、ロ
ボット本体２の外面とジャケット３の内面との間の空間
Ａがそれぞれ区画されるような構成とされている。
【００１７】なお、本発明は上記実施例構成に限られず
種々の変形が可能である。例えば、アーム５ｂの回動側
端部に設けられたフィンガ部１４のアーム部について
も、上記と同様にジャケット３部材を被せればよい。ま
た、上記実施例では、アーム５ａ，５ｂの他、駆動部６
をも含めてジャケット３の各部材を被せたものを示した
が、駆動部６が腐食性雰囲気ではない空間に配置される
場合は、駆動部６にはジャケット３を被せる必要がない
ことは勿論である。
種々の変形が可能である。例えば、アーム５ｂの回動側
端部に設けられたフィンガ部１４のアーム部について
も、上記と同様にジャケット３部材を被せればよい。ま
た、上記実施例では、アーム５ａ，５ｂの他、駆動部６
をも含めてジャケット３の各部材を被せたものを示した
が、駆動部６が腐食性雰囲気ではない空間に配置される
場合は、駆動部６にはジャケット３を被せる必要がない
ことは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】以上のように請求項１の発明によれば、
ロボット本体の構成素材は従来のままでよく、機械的耐
久性や発塵性に問題がなく、また、ロボット本体内は正
圧とされ、ロボット本体とジャケットとの間は強制排気
され負圧とされるので、ロボット本体より発生した塵埃
は、負圧とされているロボット本体とジャケットとの間
を通って強制排気される。そのため、塵埃がロボット外
部の雰囲気中に漏出することはなくなる。また、ロボッ
ト外部の腐食性雰囲気がロボット本体内に浸入すること
もないので、腐食性雰囲気に起因した腐食や発塵は飛躍
的に少なくなり、腐食性雰囲気で動作するロボットの耐
久性は大幅に向上する。
ロボット本体の構成素材は従来のままでよく、機械的耐
久性や発塵性に問題がなく、また、ロボット本体内は正
圧とされ、ロボット本体とジャケットとの間は強制排気
され負圧とされるので、ロボット本体より発生した塵埃
は、負圧とされているロボット本体とジャケットとの間
を通って強制排気される。そのため、塵埃がロボット外
部の雰囲気中に漏出することはなくなる。また、ロボッ
ト外部の腐食性雰囲気がロボット本体内に浸入すること
もないので、腐食性雰囲気に起因した腐食や発塵は飛躍
的に少なくなり、腐食性雰囲気で動作するロボットの耐
久性は大幅に向上する。
【００１９】また、請求項２の発明によれば、上記の効
果に加えて、磁性流体シールが腐食性雰囲気に接触する
ことによる劣化が少なくなり、そのため、ロボット本体
内の腐食も少なくなり、ロボットの耐久性はより一層大
幅に向上する。また、請求項３の発明によれば、上記の
効果に加えて、既存のロボット本体の外面にジャケット
を容易に被せることが可能で、低コスト化が図れる。ま
た、請求項４の発明によれば、上記の効果に加えて、ロ
ボット本体とジャケットとの空間の強制排気を１箇所で
まとめて行うことができ、構成が簡単となり低コスト化
が図れる。
果に加えて、磁性流体シールが腐食性雰囲気に接触する
ことによる劣化が少なくなり、そのため、ロボット本体
内の腐食も少なくなり、ロボットの耐久性はより一層大
幅に向上する。また、請求項３の発明によれば、上記の
効果に加えて、既存のロボット本体の外面にジャケット
を容易に被せることが可能で、低コスト化が図れる。ま
た、請求項４の発明によれば、上記の効果に加えて、ロ
ボット本体とジャケットとの空間の強制排気を１箇所で
まとめて行うことができ、構成が簡単となり低コスト化
が図れる。
【図１】本発明の一実施例による腐食性雰囲気用ロボッ
トの外観図である。
トの外観図である。
【図２】同ロボットにおけるアームの関節部の断面図で
ある。
ある。
【図３】ロボット本体の外面に被せるジャケットを上方
から見た斜視図である。
から見た斜視図である。
【図４】ロボット本体の外面に被せるジャケットを下方
から見た斜視図である。
から見た斜視図である。
【図５】他の実施例による腐食性雰囲気用ロボットの外
観図である。
観図である。
【図６】同ロボットにおけるアームの関節部の断面図で
ある。
ある。
１ ロボット ２ ロボット本体 ３ ジャケット ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ ジャケットの部
材 ４ 関節部 ５ａ，５ｂ アーム ６ 駆動部 ７ 駆動伝達機構 ８ 開口 １３ 磁性流体シール １７ ダクト
材 ４ 関節部 ５ａ，５ｂ アーム ６ 駆動部 ７ 駆動伝達機構 ８ 開口 １３ 磁性流体シール １７ ダクト
Claims (4)
- 【請求項１】 関節部を介して互いに回転自在に連結さ
れた複数のアームと、このアームを駆動させる駆動部と
を有し、前記アーム内には前記駆動部からの駆動力を伝
達し該アームを前記関節部を回転中心として回転させる
駆動伝達機構が設けられてなるロボット本体と、 上記ロボット本体の外面に空間をおいて被せた耐腐食性
素材でなるジャケットとからなり、 前記ロボット本体内を加圧して正圧とすると共に、前記
ロボット本体の外面と前記ジャケットとの間の空間を強
制排気して負圧とすることを特徴とする腐食性雰囲気用
ロボット。 - 【請求項２】 上記ロボット本体における複数のアーム
間を連結する関節部に磁性流体シールが設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の腐食性雰囲気用ロボッ
ト。 - 【請求項３】 上記ジャケットは、上記アームと駆動部
に被せる各々の部分について少なくとも２つに分割され
た部材からなり、かつ、上記関節部が貫通する開口を持
ち、分割された端面同士を突き合わせることにより上記
ロボット本体の外面に被せられることを特徴とする請求
項１又は請求項２に記載の腐食性雰囲気用ロボット。 - 【請求項４】 上記ジャケットの内部空間は、上記関節
部が貫通する部分で互いに連通し得るように構成されて
いることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか
に記載の腐食性雰囲気用ロボット。
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6279412B1 (en) * | 1999-05-19 | 2001-08-28 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
| EP1557245A1 (en) * | 2004-01-26 | 2005-07-27 | Shibuya Kogyo Co., Ltd | Isolator system with a robot in a sterile work chamber |
| WO2006062183A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボット及び搬送装置 |
| KR100773284B1 (ko) * | 2004-12-10 | 2007-11-05 | 가부시키가이샤 알박 | 반송 로봇 및 반송 장치 |
| CN100410026C (zh) * | 2006-10-17 | 2008-08-13 | 大连理工大学 | 一种净化机器人 |
| JP2009023020A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Yaskawa Electric Corp | 防塵機構を備えた基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 |
| JP2011091323A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
| CN105127985A (zh) * | 2013-01-07 | 2015-12-09 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| JP2020015155A (ja) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボット用保護ジャケットの破れ検出システム及びロボット用保護ジャケットの破れ検出方法 |
| JP2020049549A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-04-02 | オークマ株式会社 | ロボットユニット |
| WO2020136891A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ヤマハ発動機株式会社 | 多関節ロボット |
-
1995
- 1995-10-02 JP JP7279753A patent/JP3030392B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6279412B1 (en) * | 1999-05-19 | 2001-08-28 | Brooks Automation, Inc. | Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly |
| EP1557245A1 (en) * | 2004-01-26 | 2005-07-27 | Shibuya Kogyo Co., Ltd | Isolator system with a robot in a sterile work chamber |
| US7692120B2 (en) | 2004-12-10 | 2010-04-06 | Ulvac, Inc. | Transport robot and transport apparatus |
| TWI400767B (zh) * | 2004-12-10 | 2013-07-01 | Ulvac Inc | 搬運機械手臂及搬運裝置 |
| JPWO2006062183A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2008-06-12 | 株式会社アルバック | 搬送ロボット及び搬送装置 |
| CN100461363C (zh) * | 2004-12-10 | 2009-02-11 | 株式会社爱发科 | 搬运机械手以及搬运装置 |
| WO2006062183A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボット及び搬送装置 |
| KR100773284B1 (ko) * | 2004-12-10 | 2007-11-05 | 가부시키가이샤 알박 | 반송 로봇 및 반송 장치 |
| CN100410026C (zh) * | 2006-10-17 | 2008-08-13 | 大连理工大学 | 一种净化机器人 |
| JP2009023020A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Yaskawa Electric Corp | 防塵機構を備えた基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 |
| JP2011091323A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
| CN105127985A (zh) * | 2013-01-07 | 2015-12-09 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| JP2020015155A (ja) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボット用保護ジャケットの破れ検出システム及びロボット用保護ジャケットの破れ検出方法 |
| JP2020049549A (ja) * | 2018-09-21 | 2020-04-02 | オークマ株式会社 | ロボットユニット |
| WO2020136891A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ヤマハ発動機株式会社 | 多関節ロボット |
| JPWO2020136891A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2021-09-27 | ヤマハ発動機株式会社 | 多関節ロボット |
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