JPH0976281A - 樹脂モールド装置の搬送ヘッド - Google Patents
樹脂モールド装置の搬送ヘッドInfo
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- JPH0976281A JPH0976281A JP7241456A JP24145695A JPH0976281A JP H0976281 A JPH0976281 A JP H0976281A JP 7241456 A JP7241456 A JP 7241456A JP 24145695 A JP24145695 A JP 24145695A JP H0976281 A JPH0976281 A JP H0976281A
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
実に供給できるようにする。 【解決手段】 スティック状に形成した樹脂をラッピン
グフィルムおよびカバーフィルムにより長手方向の端面
形状を略T形に密封したラッピング樹脂10を、ラッピ
ング樹脂10の供給部からモールド金型50のポット5
2に供給するための樹脂モールド装置の搬送ヘッドであ
って、前記ラッピング樹脂10のカバーフィルム10a
をエア吸着して支持する吸着ヘッド20と、該吸着ヘッ
ド20に支持されたラッピング樹脂10の樹脂部分を正
規位置に保持する保持手段60、62、64を設けたこ
とを特徴とする。
Description
おいてラッピング樹脂あるいは被成形品をモールド金型
に供給したり、樹脂封止後の製品をモールド金型から搬
出したりする際に使用する搬送ヘッドに関する。
ルド装置は樹脂封止タイプの半導体装置の製造に広く用
いられている。この樹脂モールド装置ではモールド金型
のポットに樹脂タブレットを供給して樹脂モールドする
が、最近、樹脂モールド時にモールド金型の樹脂成形面
をリリースフィルムで被覆し、モールド金型の金型面に
じかにモールド樹脂が接触しないようにして樹脂モール
ドするいわゆるリリースフィルムを用いる樹脂モールド
方法が検討されている。
ールド方法の一例を示す説明図である。同図で100は
上型110aおよび下型110bの樹脂成形面を被覆す
るリリースフィルムであり、図では中心線の左半部に被
成形品120を上型110aおよび下型110bでクラ
ンプした状態、右半部にキャビティ内に樹脂を充填した
状態を示す。リリースフィルム100は所要の柔軟性お
よび耐熱性を有するフィルムであり、図のように樹脂成
形部等の内面形状にならって金型面を被覆することによ
り所定形状に樹脂モールドする。
脂モールド時に金型面を被覆することにより金型に樹脂
が付着しないようにして樹脂モールドするが、図15に
示す例ではポット130に供給する樹脂としてラッピン
グ樹脂140を使用している。図16は図示例の装置で
使用するラッピング樹脂140の外形形状を示す。図示
例のモールド金型はポット130が平面形状で細長の溝
状に形成され、ラッピング樹脂140はポット130の
形状および寸法に合わせて細長いスティック状に成形し
た樹脂142をラッピングフィルム144で密封したも
のを使用する。
ピングフィルム146が延出して、端面形状がT字状を
なす。カバーフィルム146はラッピングフィルム14
4を2枚合わせにして熱シールされており、ポット13
0にラッピング樹脂140をセットした際にポット13
0の上端縁からキャビティ側に張り出して上型110a
と下型110bとでクランプされる部位となる。カバー
フィルム146の端縁は被成形品120上でリリースフ
ィルム100の側縁と重複する位置まで延出させるが、
これはポット130からプランジャ150で樹脂を圧送
する際に樹脂路部分でも樹脂がじかに金型に付着しない
ようにするためである。
ら圧送された樹脂は樹脂路部分でカバーフィルム146
を押し広げるようにして樹脂路が形成されてキャビティ
内に充填される。ラッピングフィルム144で樹脂14
2を密封したラッピング樹脂140はこのように樹脂モ
ールドした際にポット130部分およびモールド金型の
樹脂路部分で樹脂が金型に付着しないようにするという
作用を有するが、同時に樹脂を貯蔵する際に樹脂142
が吸湿したりすることを防止し、樹脂モールド時にボイ
ドが発生することを抑えて好適な樹脂モールドを可能に
するという効果も有する。
なラッピング樹脂140をモールド金型に自動装置によ
り供給する場合は、モールド金型のポット130にラッ
ピング樹脂140を正確に位置合わせして供給するとい
う操作が必要になる。樹脂モールド装置の搬送ヘッドは
このようなラッピング樹脂の自動供給に使用するもの
で、ラッピング樹脂あるいは被成形品をモールド金型の
所定位置に搬送し、また樹脂モールド後の製品をモール
ド金型から搬出する操作をなすものである。
樹脂モールド装置の構成例を示す。図17は樹脂モール
ド装置の正面図、図18は平面図である。この樹脂モー
ルド装置はモールド金型200を装着したプレス装置2
02を挟む両側にリリースフィルム204の供給部20
6とリリースフィルム204の回収部208を設け、プ
レス装置202での樹脂モールド操作ごとリリースフィ
ルム204を新たに供給し、また被成形品とラッピング
樹脂を供給して樹脂モールドするように構成されてい
る。
品およびラッピング樹脂の供給を行う搬送ヘッドであ
る。図18で212は搬送ヘッド210の移動をガイド
するガイドレールであり、搬送ヘッド210はリリース
フィルム204の搬送方向と直交方向に進退動して所要
の搬送操作を行う。214は被成形品の供給部、216
は樹脂モールド製品の収納部、218は不要樹脂の収納
部、220はラッピング樹脂の供給部である。搬送ヘッ
ド210は被成形品の供給部214から被成形品を受け
取るとともに、ラッピング樹脂の供給部220からラッ
ピング樹脂を受け取った後、プレス装置202内に進入
してモールド金型200に被成形品とラッピング樹脂と
を供給する。
搬送ヘッド210を進入させ、樹脂モールド製品と不要
樹脂とをピックアップしてプレス装置202の外部に取
り出した後、製品を樹脂モールド製品の収納部216に
収納し、不要樹脂を不要樹脂の収納部218に排出す
る。このように樹脂モールド装置の搬送ヘッドはプレス
装置での樹脂モールド操作に応じて被成形品およびラッ
ピング樹脂の供給等をなすもので、モールド金型に正確
に被成形品をセットし、ラッピング樹脂をポットに確実
に供給できるようにする必要がある。
ドはモールド金型に確実にラッピング樹脂と被成形品を
供給可能とし、自動操作による樹脂モールド操作を確実
にして、前述したリリースフィルムを用いる樹脂モール
ド装置等で有効に利用できるようにすることを目的とす
る。
するため次の構成を備える。すなわち、スティック状に
形成した樹脂をラッピングフィルムおよびカバーフィル
ムにより長手方向の端面形状を略T形に密封したラッピ
ング樹脂を、ラッピング樹脂の供給部からモールド金型
のポットに供給するための樹脂モールド装置の搬送ヘッ
ドであって、前記ラッピング樹脂のカバーフィルムをエ
ア吸着して支持する吸着ヘッドと、該吸着ヘッドに対し
移動可能に支持され、該吸着ヘッドの下面から先端が突
出可能にかつ吸着ヘッドに前記ラッピング樹脂が吸着支
持される際に前記カバーフィルムに設けた位置決め孔に
摺入してラッピング樹脂を位置決めするパイロットピン
が設けられたパイロットピン支持プレートと、該パイロ
ットピン支持プレートを前記吸着ヘッドに対して昇降さ
せる昇降機構を設けたことを特徴とする。また、前記パ
イロットピンはラッピング樹脂の長手方向の両端から延
出するカバーフィルムに設けた位置決め孔に摺入する主
パイロットピンと、ラッピング樹脂に密封された樹脂に
沿ってカバーフィルムに設けた複数の位置決め孔に摺入
する副パイロットピンから成ることを特徴とする。な
お、パイロットピンとしては主パイロットピンと副パイ
ロットピンを使用する場合の他、主パイロットピンのみ
あるいは副パイロットピンのみを使用することも可能で
ある。また、スティック状に形成した樹脂をラッピング
フィルムおよびカバーフィルムにより長手方向の端面形
状を略T形に密封したラッピング樹脂を、ラッピング樹
脂の供給部からモールド金型のポットに供給するための
樹脂モールド装置の搬送ヘッドであって、前記ラッピン
グ樹脂のカバーフィルムをエア吸着して支持する吸着ヘ
ッドと、該吸着ヘッドに支持されたラッピング樹脂の樹
脂部分を正規位置に保持する保持手段を設けたことを特
徴とする。また、前記保持手段は前記吸着ヘッドに吸着
支持されたラッピング樹脂の樹脂部分を両側面で挟圧し
て樹脂部分を正規位置に保持する挟圧ブロックを有する
ことを特徴とする。また、前記挟圧ブロックが回動アー
ムにより前記ラッピング樹脂を挟圧して支持する保持位
置と前記ラッピング樹脂の挟圧を解除して解放する位置
との間で回動可能に支持され、該回動アームを回動する
駆動機構が設けられたことを特徴とする。
について添付図面に基づいて説明する。図1はラッピン
グ樹脂の供給部からラッピング樹脂を搬送ヘッドに受渡
しする受渡し部分の機構を示す。すなわち、ラッピング
樹脂10はラッピング樹脂を収納したマガジン12から
反転ブロック14に受け渡され、反転ブロック14は下
向きから上向きに反転し、ラッピング樹脂10をモール
ド金型に供給する向きに支持する。反転ブロック14は
ラッピング樹脂10のカバーフィルム10aを上面でエ
ア吸着するようにして支持するが、これはマガジン12
に収納した際に折れ曲がったカバーフィルム10aをた
いらに広げ、搬送ヘッドに受け渡ししやすくするととも
に、確実な操作ができるようにするためである。
支持された状態で搬送ヘッドの下方まで水平に移動す
る。16は反転ブロック14を搬送ヘッドの下方まで移
送するスライドガイドである。18は搬送ヘッドの下方
までラッピング樹脂10を移送した際に、ラッピング樹
脂10の移送位置を検知するための位置検知用センサで
ある。搬送ヘッドへの受け渡し位置まで反転ブロック1
4が移動した後、ラッピング樹脂10は搬送ヘッドに設
けられた吸着ヘッド20にエア吸着されて支持される。
着ヘッド20にラッピング樹脂10が当接するまで反転
ブロック14を昇降用のエアシリンダ19で上昇させ、
反転ブロック14側のエア吸着を停止するとともに、吸
着ヘッド20側でエア吸引を開始することによって行
う。20aは吸着ヘッド20に設けたエア吸引孔であ
る。エア吸引孔20aは吸着ヘッド20の下面で開口
し、ラッピング樹脂10のカバーフィルム10aに当接
する。
を示す。搬送ヘッドは吸着ヘッド20と、吸着ヘッド2
0を固定支持する支持ロッド22と、支持ロッド22お
よび吸着ヘッド20を吊持する支持プレート24と、支
持プレート24を昇降させる昇降用エアシリンダ26と
を有する。支持プレート24は昇降用エアシリンダ26
を介して、搬送ヘッドを水平にガイドして搬送するため
のスライドガイド28およびガイドレール30に支持さ
れる。32は搬送ヘッドの進退動に使用するボールねじ
である。
を示す。中心線の左側はラッピング樹脂を反転ブロック
14との間で受け渡しする状態、中心線の右側はラッピ
ング樹脂をモールド金型にセットする状態を示す。反転
ブロック14との間でラッピング樹脂10を受け渡しす
る際には主パイロットピン40と副パイロットピン42
とを突出させてラッピング樹脂10を支持し、モールド
金型にラッピング樹脂10をセットする場合は、主パイ
ロットピン40と副パイロットピン42とを引き込ませ
るようにする。こうすることによって金型側でのパイロ
ットピンを使った位置合わせが可能になる。
aには主パイロットピン40と副パイロットピン42が
挿入される位置決め孔が設けられており、吸着ヘッド2
0にラッピング樹脂10を吸着支持する際に位置決め孔
に主パイロットピン40と副パイロットピン42とを挿
入して吸着ヘッド20に正確にラッピング樹脂10を支
持するようにする。主パイロットピン40を挿入する位
置決め孔はラッピング樹脂10の長手方向の両端に設
け、副パイロットピン42を挿入する位置決め孔は樹脂
24の両側に設ける。
副パイロットピン42を支持するパイロットピン支持プ
レートであり、44はこのパイロットピン支持プレート
46を昇降させる昇降機構たるエアシリンダである。パ
イロットピン支持プレート46はガイドロッド47によ
りガイド支持され、弾発スプリング48によって常時吸
着ヘッド20の上面に当接する向きに付勢されている。
樹脂10を吸着支持し、モールド金型にラッピング樹脂
10を供給するまでを示す説明図である。図4は吸着ヘ
ッド20にラッピング樹脂20を吸着支持した状態であ
る。主パイロットピン40と副パイロットピン42によ
ってラッピング樹脂10が位置決めされる。なお、パイ
ロットピン支持プレート46は吸着ヘッド20の上面に
当接し、主パイロットピン40と副パイロットピン42
が突出する状態にある。
0を吸着支持してモールド金型50の位置まで移送し、
ポット52にラッピング樹脂10を挿入した状態を示
す。54はプランジャである。この実施形態ではスティ
ック状のラッピング樹脂10を使用しているから、プラ
ンジャ54は樹脂全体が押圧できる幅広の板状に形成し
たものを使用している。
に設けたパイロット孔56に嵌入しモールド金型50に
対してラッピング樹脂10を位置決めする。なお、この
とき吸着ヘッド20の下面とモールド金型50の上面と
の間でカバーフィルム10aを押圧してカバーフィルム
10aのゆがみをさらに矯正するようにする。58はモ
ールド金型50に設けたエア吸引孔である。モールド金
型50にラッピング樹脂10をセットした後、エア吸引
孔58からエア吸引することによりモールド金型50上
でラッピング樹脂10が位置ずれしないように支持する
ことができる。
10を吸着支持した後、エアシリンダ44でパイロット
ピン支持プレート46を引き上げ、ラッピング樹脂10
から主パイロットピン40と副パイロットピン42を抜
いた状態を示す。この後、搬送ヘッドをモールド金型5
0から上昇させることにより、ポット52にラッピング
樹脂10を装着して搬送ヘッドを金型外へ移動させるこ
とができる。
ング樹脂10を位置決めして受け渡す方法として主パイ
ロットピン40と副パイロットピン42を用いる方法で
ある。これに対し、図7〜図14ではパイロットピンを
使用せずにラッピング樹脂を確実にモールド金型に供給
する方法を示す。すなわち、この実施形態ではラッピン
グ樹脂10をエア吸着により吸着ヘッド20に支持し、
かつ、ラッピング樹脂10の側面を把持することによっ
てラッピング樹脂10が位置ずれしないようにしたこと
を特徴とする。
ング樹脂10を吸着支持した状態を側面方向および正面
方向から見た説明図である。吸着ヘッド20の下面には
長手方向に所定間隔をおいて複数のエア吸引孔20aが
開口し、エア吸引孔20aは吸着ヘッド20内で共通の
エア流路20bに連通して外部のエア機構に連絡する。
このエア吸引孔20aはラッピング樹脂10のカバーフ
ィルム10aをエア吸着してラッピング樹脂10を吊持
する。44は吸着ヘッド20を昇降させるエアシリン
ダ、49は吸着ヘッド20の昇降をガイドするガイドロ
ッドである。
樹脂10を支持するとラッピング樹脂10は樹脂部分が
垂れ下がりそのままではラッピング樹脂10が中心位置
から位置ずれするといったことが生じる。このため、本
実施形態ではラッピング樹脂10を正規位置に保持する
ためのラッピング樹脂の保持機構を設けている。ラッピ
ング樹脂の保持機構はラッピング樹脂10の樹脂部分を
両側から挟圧するようにして支持する挟圧ブロック60
と、この挟圧ブロック60を支持する回動アーム62
と、挟圧ブロック60を挟圧位置と解放位置との間で回
動させる駆動機構たるエアシリンダ64を有する。
吸着ヘッド20をモールド金型50のポット52の上方
まで移送した状態である。ラッピング樹脂10は吸着ヘ
ッド20にカバーフィルム10aが吸着支持されるとと
もに、図8に示すように挟圧ブロック60a、60bに
よって樹脂部分が両側から挟圧して支持される。挟圧ブ
ロック60a、60bはラッピング樹脂10の樹脂部分
が中心位置から位置ずれしないように保持し、ポット5
2の中心位置とラッピング樹脂10とを位置合わせす
る。なお、挟圧ブロック60a、60bはエア吸引孔2
0aによる支持をさらに確実にする作用も併せ有してい
る。
ッピング樹脂10の下端部を挿入した状態を示す。挟圧
ブロック60a、60bによってラッピング樹脂10を
支持することにより、ラッピング樹脂10をポット52
に確実に位置合わせすることができる。搬送ヘッドはポ
ット52の上部にラッピング樹脂10の下端部が若干入
ったところでいったん停止させる。なお、ポット52の
上部内側面はラッピング樹脂10をガイドするためテー
パ面に形成しておくのがよい。
11、12に示すように挟圧ブロック60a、60bを
水平位置まで回動させ挟圧ブロック60a、60bによ
るラッピング樹脂10の把持を解除する。挟圧ブロック
60a、60bによる把持を解除した状態でもラッピン
グ樹脂10は吸着ヘッド20によって支持されているか
ら、この状態で吸着ヘッド20を下降させることにより
ポット52内にラッピング樹脂10が挿入される。
吸着ヘッド20を押し下げてポット52内にラッピング
樹脂10を挿入した状態を示す。吸着ヘッド20はラッ
ピング樹脂10を保持したままポット52内にラッピン
グ樹脂10を挿入し、モールド金型50のクランプ面に
カバーフィルム10aを当接させる。モールド金型に設
けたエア吸引孔58からエア吸引し、カバーフィルム1
0aをモールド金型50にエア吸着するとともに、吸着
ヘッド20側のエア吸着を停止させ、モールド金型50
にラッピング樹脂10を受け渡しする。なお、ラッピン
グ樹脂10を受け渡しする際に吸着ヘッド20のエア吸
引孔20aからエアを吹き出してラッピング樹脂10の
受け渡しが確実にできるようにすることもできる。
グ樹脂10をセットした後は、吸着ヘッド20を上昇さ
せ搬送ヘッドを金型外に搬送する。モールド金型50上
にはラッピング樹脂10がエア吸引されて保持される。
本実施形態の搬送ヘッドは吸着ヘッド20によってラッ
ピング樹脂10をカバーフィルム10a部分で支持する
とともに、挟圧ブロック60a、60bでラッピング樹
脂の樹脂部分を挟圧支持することによって搬送時にラッ
ピング樹脂10が傾いたりすることを防止してポット5
2に正確に位置合わせして供給することを可能にすると
いう特徴がある。
りラッピング樹脂10の姿勢を制御する方法は、たとえ
ば樹脂量の多いラッピング樹脂10を供給するような場
合に好適である。上記例ではラッピング樹脂10は比較
的薄く形成しているが、これはモールド金型と樹脂との
熱交換を促進させ樹脂を容易に溶融して樹脂モールド操
作のサイクルタイムを短縮させるためである。樹脂量を
増やした場合もこのようにモールド金型との熱交換を促
進させるため薄形に形成するとすると、どうしても樹脂
部分は長くなる。したがって、このような場合には挟圧
ブロック60a、60bで樹脂部分を支持することによ
ってラッピング樹脂10が好適に位置合わせされる。
セットする際には、いったんラッピング樹脂10をポッ
ト52の上部の開口部に位置合わせしてガイドするよう
にするが、これはラッピング樹脂10を扱う際に有効で
ある。ラッピングフィルムは樹脂の外形にならって熱シ
ールされているが、シール操作の関係上樹脂の端部にシ
ール部分が破片状に張り出すことがある。このような場
合でも上記のようにラッピング樹脂10をポット52の
位置に合わせてガイドして挿入するようにすれば、確実
にポット52にラッピング樹脂10を供給することがで
き、ラッピング樹脂10の供給ミスをなくすことが可能
になる。
ピング樹脂を搬送してモールド金型にラッピング樹脂を
供給する方法について説明したが、このラッピング樹脂
の供給方法はリードフレーム等の被成形品の供給操作と
併用して行うことができる。モールド金型に被成形品と
ラッピング樹脂とを供給する順序としては、モールド金
型のポットにラッピング樹脂をセットしてから被成形品
を供給する場合と、モールド金型に被成形品をセットし
てからポットにラッピング樹脂を供給する場合がある。
モールド金型にラッピング樹脂をセットしてから被成形
品をセットする方式は下型にランナーを設ける場合であ
り、モールド金型に被成形品をセットしてからラッピン
グ樹脂をセットする方式は上型にランナーを設ける場合
である。上記実施形態は、いずれの場合にも同様に適用
することができる。
持プレートを使用する方式と保持手段を使用する方式を
各々説明したが、これらの方式を結合した方式を採用す
ることも可能である。
ッドによれば、上述したように、ラッピング樹脂を精度
よく位置決めしてモールド金型に移載することができ、
ラッピング樹脂を用いた樹脂モールド操作を確実に行う
ことができる。パイロットピンを取り付けたパイロット
ピン支持プレートを使用する場合はモールド金型上での
ラッピング樹脂の位置決めが精度よくできることから被
成形品とラッピング樹脂との位置合わせが正確にできて
的確な樹脂モールドが可能になる。また、ラッピング樹
脂の保持手段を設けた場合はモールド金型のポットに的
確にラッピング樹脂をセットすることが可能になり、ポ
ットとラッピング樹脂とのクリアランスを小さく設定し
た場合でも確実なラッピング樹脂の供給が可能になる等
の著効を奏する。
ピング樹脂を受け渡しする機構を示す説明図である。
ある。
ドを側面方向から見た状態の説明図である。
示す説明図である。
示す説明図である。
示す説明図である。
ら見た状態の説明図である。
ら見た状態の説明図である。
ング樹脂の移載方法を示す説明図である。
ピング樹脂の移載方法を示す説明図(正面方向)であ
る。
ピング樹脂の移載方法を示す説明図(側面方向)であ
る。
ピング樹脂の移載方法を示す説明図(正面方向)であ
る。
ピング樹脂の移載方法を示す説明図(側面方向)であ
る。
ピング樹脂の移載方法を示す説明図(正面方向)であ
る。
を示す説明図である。
る。
の正面図である。
の平面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 スティック状に形成した樹脂をラッピン
グフィルムおよびカバーフィルムにより長手方向の端面
形状を略T形に密封したラッピング樹脂を、ラッピング
樹脂の供給部からモールド金型のポットに供給するため
の樹脂モールド装置の搬送ヘッドであって、 前記ラッピング樹脂のカバーフィルムをエア吸着して支
持する吸着ヘッドと、 該吸着ヘッドに対し移動可能に支持され、該吸着ヘッド
の下面から先端が突出可能にかつ吸着ヘッドに前記ラッ
ピング樹脂が吸着支持される際に前記カバーフィルムに
設けた位置決め孔に摺入してラッピング樹脂を位置決め
するパイロットピンが設けられたパイロットピン支持プ
レートと、 該パイロットピン支持プレートを前記吸着ヘッドに対し
て昇降させる昇降機構を設けたことを特徴とする樹脂モ
ールド装置の搬送ヘッド。 - 【請求項2】 前記パイロットピンはラッピング樹脂の
長手方向の両端から延出するカバーフィルムに設けた位
置決め孔に摺入する主パイロットピンと、ラッピング樹
脂に密封された樹脂に沿ってカバーフィルムに設けた複
数の位置決め孔に摺入する副パイロットピンから成るこ
とを特徴とする樹脂モールド装置の搬送ヘッド。 - 【請求項3】 スティック状に形成した樹脂をラッピン
グフィルムおよびカバーフィルムにより長手方向の端面
形状を略T形に密封したラッピング樹脂を、ラッピング
樹脂の供給部からモールド金型のポットに供給するため
の樹脂モールド装置の搬送ヘッドであって、 前記ラッピング樹脂のカバーフィルムをエア吸着して支
持する吸着ヘッドと、 該吸着ヘッドに支持されたラッピング樹脂の樹脂部分を
正規位置に保持する保持手段を設けたことを特徴とする
樹脂モールド装置の搬送ヘッド。 - 【請求項4】 前記保持手段は前記吸着ヘッドに吸着支
持されたラッピング樹脂の樹脂部分を両側面で挟圧して
樹脂部分を正規位置に保持する挟圧ブロックを有するこ
とを特徴とする請求項3記載の樹脂モールド装置の搬送
ヘッド。 - 【請求項5】 前記挟圧ブロックが回動アームにより前
記ラッピング樹脂を挟圧して支持する保持位置と前記ラ
ッピング樹脂の挟圧を解除して解放する位置との間で回
動可能に支持され、 該回動アームを回動する駆動機構が設けられたことを特
徴とする請求項4記載の樹脂モールド装置の搬送ヘッ
ド。
Priority Applications (7)
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Applications Claiming Priority (1)
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US6350113B1 (en) * | 1997-07-11 | 2002-02-26 | Apic Yamada Corporation | Resin molding machine |
JPWO2017090331A1 (ja) * | 2015-11-27 | 2018-09-20 | 凸版印刷株式会社 | タブ材受渡し装置及びタブ材受渡し方法 |
JP2021028115A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
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1995
- 1995-09-20 JP JP24145695A patent/JP3557296B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6350113B1 (en) * | 1997-07-11 | 2002-02-26 | Apic Yamada Corporation | Resin molding machine |
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