JPH0975666A - 排オゾン分解装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】システムの信頼性及びメンテナンス性の向上を
図った経済的な排オゾン分解装置を提供すること。 【解決手段】排ガス入口弁と、第１ミストセパレータ
と、加熱ヒータと、第１排オゾン分解塔と、第１排気フ
ァンとを備えた排オゾン分解装置において、加熱ヒータ
前に設けた加熱ヒータ入口弁と、排オゾンを分解するた
めのオゾン吸着剤である活性炭を充填した第２排オゾン
分解塔と、第１ミストセパレータから第２排オゾン分解
塔までのバイパス管と、第２排オゾン分解塔前に設けた
排オゾン分解塔入口弁と、第２排オゾン分解塔後に設け
た排オゾン分解塔出口弁と、排オゾン分解塔出口弁から
加熱ヒータまでのバイパス管と、バイパス管の途中に設
けた逆止弁とを備えているので、活性炭を用いた排オゾ
ン分解塔の活性炭を交換する際も装置自体を停止する必
要がなく、システムの信頼性及びメンテナンス性の向上
が図れる排オゾン分解装置を提供できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はオゾン処理設備に係
わり、特にオゾン処理に使用した後に排出される未反応
オゾンを含有した排ガスを処理する排オゾン分解装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】オゾン反応槽より排出される未反応の排
オゾンを分解する方法としては、一般に活性炭接触法、
触媒接触法、加熱分解法、薬液洗浄法が知られている。
これらの方法のうち、経済性や維持管理の容易性から小
規模の施設に対しては主に活性炭接触法が用いられ、規
模の比較的大きい施設に対しては主に触媒接触法が用い
られている。

【０００３】活性炭接触法は、活性炭によりオゾンを吸
着する方法で、装置が簡単で取扱いが容易である点で優
れた方式であるが、活性炭の吸着容量に限界があり、長
期間の使用を前提にした設計をすると多量の活性炭が必
要になり、この活性炭を充填した排オゾン分解塔の外形
が大きくなるという欠点がある。したがって、一般に３
〜６ヶ月程度の寿命で設計され、比較的短期間での活性
炭交換が必要となる。排オゾン量が大きくなるほど一度
に交換する活性炭交換量は多くなり、交換に要する作業
量と、交換する活性炭の費用も膨大となるため、大規模
な設備で採用されることは少ない。

【０００４】一方、触媒接触法は触媒の寿命が１〜３年
と活性炭に比べると長いので長寿命の設計が可能である
が、適用する触媒の特性上、常温より高い温度にしない
とオゾン分解効率が悪いため触媒の前段にヒータを設
け、排ガスを加温して触媒温度を５０〜６０℃に昇温さ
せてから排ガスと接触させる、いわゆる加熱触媒法が用
いられる。

【０００５】しかしながら、この加熱触媒法の場合、比
熱の小さい排ガス自体はすぐに温まるが、触媒全体の温
度を一気に所定の温度まで昇温する事ができないため、
所定の温度に上昇するまでの間（通常２０〜３０分程
度）オゾン分解が不完全な状態となる。したがって、加
熱触媒法を用いる場合には、触媒の後段に活性炭を充填
した部分を設け、この活性炭を運転初期のバックアップ
用として用いる方法が広く普及している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のようにバックア
ップ用として活性炭を併用した加熱触媒法による排オゾ
ン分解装置は、その機器構成上、運転初期のバックアッ
プ用として設けた活性炭充填層を常に排ガスが通過する
ことになる。したがって、触媒の温度が所定の温度まで
上昇し、オゾン分解機能が十分に発揮できるようになっ
た後も活性炭を使用し続けることになる。

【０００７】また、触媒によって排オゾンはほとんど分
解されるため、活性炭の寿命としては特に問題とはなら
ないが、活性炭の交換の際あるいは触媒の交換に際して
は、排オゾン分解装置全体の停止が必要となる。このた
め、連続運転を必要とする排オゾン分解システムにおい
ては、一般に同一構成のものを予備機を含めて複数台設
ける方法が用いられている。同一構成の機器を複数台設
けることは、機器及びシステムの信頼性及びメンテナン
ス性は向上するが、その結果として設備費の上昇を招
き、高価な設備となってしまうという問題があった。

【０００８】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、その目的は安価なシステムによりシステム
の信頼性及びメンテナンス性の向上を図った排オゾン分
解装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１は、排ガス入口弁と、排ガスに含
まれている水分を除去する第１ミストセパレータと、排
ガス温度を上げる加熱ヒータと、排オゾンを分解するた
めのオゾン吸着剤である触媒を充填した第１排オゾン分
解塔と、触媒で分解された排ガスを大気へ放出するため
の第１排気ファンとを備えた排オゾン分解装置におい
て、前記加熱ヒータ前に設けた加熱ヒータ入口弁と、排
オゾンを分解するためのオゾン吸着剤である活性炭を充
填した第２排オゾン分解塔と、前記第１ミストセパレー
タから前記第２排オゾン分解塔までのバイパス管と、前
記第２排オゾン分解塔前に設けた排オゾン分解塔入口弁
と、前記第２排オゾン分解塔後に設けた排オゾン分解塔
出口弁と、前記排オゾン分解塔出口弁から前記加熱ヒー
タまでのバイパス管と、前記バイパス管の途中に設けた
逆止弁とを備えたことを特徴とする。

【００１０】本発明の請求項２は、請求項１記載の排オ
ゾン分解装置において、前記第１排オゾン分解塔後に設
けた排オゾン分解塔出口弁と、前記第２排オゾン分解塔
後から前記第１排オゾン分解塔後までのバイパス管と、
前記バイパス管の途中に設けたバイパス弁とを備えたこ
とを特徴とする置。

【００１１】本発明の請求項３は、請求項２記載の排オ
ゾン分解装置において、前記第１排気ファン前に設けた
排気ファン入口弁と、前記第２排オゾン分解塔後から前
記第１排オゾン分解塔前及び前記第１排オゾン分解塔後
に至る両バイパス管の間に設けた仕切弁と、第２排気フ
ァンと、前記第２排気ファンと前記仕切弁との間に設け
た排気ファン入口弁とを備えたことを特徴とする。

【００１２】本発明の請求項４は、請求項１記載の排オ
ゾン分解装置において、前記第１ミストセパレータ後に
設けたミストセパレータ出口弁と、第２排オゾン分解塔
側に、専用の排ガス入口弁と、第２ミストセパレータ
と、前記第２ミストセパレータ後に設けたミストセパレ
ータ出口弁とを備えたことを特徴とする。

【００１３】本発明の請求項５は、請求項４記載の排オ
ゾン分解装置において、前記第１排オゾン分解塔後に排
オゾン分解塔出口弁と、前記第２排オゾン分解塔後から
前記第１排オゾン分解塔後までのバイパス管と、前記バ
イパス管の途中に設けたバイパス弁とを備えたことを特
徴とする。

【００１４】本発明の請求項６は、請求項５記載の排オ
ゾン分解装置において、前記第１排気ファン前に設けた
排気ファン入口弁と、前記第２排オゾン分解塔後から前
記第１排オゾン分解塔前および前記第１排オゾン分解塔
後に至る両バイパス管の間に設けた仕切弁と、第２排気
ファンと、前記第２排気ファンと前記仕切弁との間に設
けた排気ファン入口弁とを備えたことを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１は本発明の第１実施例（請求項
１対応）の構成図である。同図に示すように、排オゾン
分解装置１Ａは、オゾン反応槽からの未反応オゾンを排
オゾン分解装置１Ａに取り入れるための排ガス入口弁
２、排ガスに含まれている水分をとる第１ミストセパレ
ータ３、第１排オゾン分解塔５内の排オゾン分解剤であ
る触媒の吸着能力を上げるために排ガス温度を上げる加
熱ヒータ４、排オゾンを分解するための分解剤である触
媒が入っている第１排オゾン分解塔５、第１排オゾン分
解塔５で分解された排ガスを大気に放出する第１排気フ
ァン６、排オゾンを分解するための分解剤である活性炭
が入っている第２排オゾン分解塔７、加熱ヒータ４前に
設けた加熱ヒータ入口弁８、第１ミストセパレータ３後
から第２排オゾン分解塔７までのバイパス管９、第２排
オゾン分解塔７前に設けた排オゾン分解塔入口弁１０、
第２排オゾン分解塔７後と加熱ヒータ４前を接続するバ
イパス管１２、第２排オゾン分解塔７後のバイパス管１
２に設けた排オゾン分解塔出口弁１１、排オゾン分解塔
出口弁１１と加熱ヒータ４との間のバイパス管１２に設
けた逆止弁１３とから構成されている。

【００１６】次に、本実施例の作用について説明する。
まず、排オゾン分解装置１Ａの運転初期段階では、第１
排オゾン分解塔５が規定温度以上でないため、加熱ヒー
タ入口弁８を閉、排オゾン分解塔入口弁１０を開、排オ
ゾン分解塔出口弁１１を開とし、オゾン反応槽の未反応
オゾンである排ガスは排ガス入口弁２から、第１ミスト
セパレータ３、バイパス管９、排オゾン分解塔入口弁１
０を経由し、第２排オゾン分解塔７で分解され、排オゾ
ン分解塔出口弁１１、バイパス管１２を経由し、加熱ヒ
ータ４で加温され、第１排オゾン分解塔５を加熱し、第
１排気ファン６によって大気に放出される。

【００１７】次に、第１排オゾン分解塔５が規定温度以
上になったら、加熱ヒータ入口弁８を開、排オゾン分解
塔入口弁１０を閉、排オゾン分解塔出口弁１１を閉と
し、オゾン反応槽の未反応オゾンである排ガスは、排ガ
ス入口弁２、第１ミストセパレータ３、加熱ヒータ入口
弁８を経て、加熱ヒータ４で加温され、第１排オゾン分
解塔５で分解され、第１排気ファン６により大気に放出
される。このように活性炭を充填した第２排オゾン分解
塔７が別に設けてあるため、活性炭を交換する際も排オ
ゾン分解装置１Ａを停止する必要がない。

【００１８】図２は本発明の第２実施例（請求項２対
応）の構成図である。同図に示すように、本実施例の排
オゾン分解装置１Ｂが図１の第１実施例と異なる構成
は、第１排オゾン分解塔５後に排オゾン分解塔出口弁１
６を設け、第２排オゾン分解塔７後から第１排オゾン分
解塔５後までのバイパス管１５と、このバイパス管１５
上にバイパス弁１４を設けた構成とした点のみであり、
その他の構成は同一であるので、同一構成部分には同一
符号を付して重複説明は省略する。

【００１９】次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の作用は図１の第１実施例の作用と同様であ
り、さらに加熱ヒータ４もしくは第１排オゾン分解塔５
が故障した場合、あるいは触媒を交換する場合にも対応
可能である。すなわち、このような場合には、加熱ヒー
タ入口弁８を閉、排オゾン分解塔入口弁１０を開、排オ
ゾン分解塔出口弁１１を閉、排オゾン分解塔出口弁１６
を閉、バイパス弁１４を開とし、オゾン反応槽の未反応
オゾンである排ガスは排ガス入口弁２、ミストセパレー
タ３、バイパス管９、排オゾン分解塔入口弁１０を経由
して、排オゾン分解塔７で分解され、バイパス弁１４、
バイパス管１５を経由して、第１排気ファン６で大気に
放出される。

【００２０】故障補修あるいは触媒の交換が完了した
ら、加熱ヒータ入口弁８を開、排オゾン分解塔入口弁１
０を閉、排オゾン分解塔出口弁１１を閉、排オゾン分解
塔出口弁１６を開、バイパス弁１４を閉とし、オゾン反
応槽の未反応オゾンである排ガスは排ガス入口弁２、第
１ミストセパレータ３、加熱ヒータ入口弁８を経て、加
熱ヒータ４で加温され、排オゾン分解塔５で分解され、
第１排気ファン６により大気に放出される。

【００２１】図３は本発明の第３の実施例（請求項３対
応）の構成図である。同図に示すように、本実施例の排
オゾン分解装置１Ｃが図２の第２実施例と異なる構成
は、排気ファン６前に排気ファン入口弁２０を設け、バ
イパス管１２とバイパス弁１４との間に仕切弁１７、排
オゾン分解塔７後に第２排気ファン１８、この第２排気
ファン１８前に排気ファン入口弁１９を設けた構成とし
た点のみであり、その他の構成は同一であるので、同一
構成部分には同一符号を付して重複説明は省略する。

【００２２】次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の作用は図２の第２実施例の作用と同様であ
り、本実施例の作用はさらに第１排気ファン６が故障し
た場合にも対応可能である。すなわち、このような場合
には、バイパス弁１４を開、排気ファン入口弁２０を
閉、排気ファン入口弁１９を開とし、オゾン反応槽の未
反応オゾンである排ガスは、排ガス入口弁２、第１ミス
トセパレータ３、加熱ヒータ入口弁８を経由して、加熱
ヒータ４で加温され、第１排オゾン分解塔５で分解さ
れ、第１排オゾン分解塔出口弁１６、バイパス弁、排気
ファン入口弁１９を経由して、第２排気ファン１８で大
気に放出される。

【００２３】第１排気ファン６の故障の補修が完了した
ら、バイパス管１４を閉、排気ファン入口弁１９を開、
排気ファン入口弁を閉とし、オゾン反応槽の未反応オゾ
ンである排ガスは、排ガス入口弁２、第１ミストセパレ
ータ３、加熱ヒータ入口弁８を経由して、加熱ヒータ４
で加温され、第１排オゾン分解塔５で分解され、排オゾ
ン分解塔出口弁１６、排気ファン入口弁２０を経由し
て、第１排気ファン６で大気に放出される。

【００２４】図４は本発明の第４実施例（請求項４対
応）の構成図である。同図に示すように、本実施例の排
オゾン分解装置１Ｄが図１の第１実施例と異なる構成
は、第１ミストセパレータ３後にミストセパレータ出口
弁２４を設け、排オゾン分解塔７側に、専用の排ガス入
口弁２１、第２ミストセパレータ２２、この第２ミスト
セパレータ２２後にミストセパレータ出口弁２３を設け
た構成とした点のみであり、その他の構成は同一である
ので、同一構成部分には同一符号を付して重複説明は省
略する。

【００２５】次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の作用は図１の第１実施例の作用と同様であ
り、本実施例の作用はさらに排ガス入口弁２もしくは第
１ミストセパレータ３が故障した場合にも対応可能であ
る。すなわち、このような場合には、第１ミストセパレ
ータ出口弁２４を閉、加熱ヒータ入口弁８を閉、排ガス
入口弁２１を開、ミストセパレータ出口弁２３を開と
し、オゾン反応槽の未反応オゾンである排ガスは、排ガ
ス入口弁２１、第２ミストセパレータ２２、ミストセパ
レータ出口弁、バイパス管９、加熱ヒータ入口弁８を経
由して、加熱ヒータ４で加温され、第１排オゾン分解塔
５で分解され、第１排気ファン６で大気に放出される。

【００２６】故障の補修が完了したら、ミストセパレー
タ出口弁２４を開、排ガス入口弁２１を閉、ミストセパ
レータ出口弁２３を閉とし、オゾン反応槽の未反応オゾ
ンである排ガスは、排ガス入口弁２、第１ミストセパレ
ータ３、ミストセパレータ出口弁２０、加熱ヒータ入口
弁８を経由して、加熱ヒータで加温され、第１排オゾン
分解塔５で分解され、第１排気ファン６によって大気に
放出される。

【００２７】図５は本発明の第５実施例（請求項５対
応）の構成図である。同図に示すように、本実施例の排
オゾン分解装置１Ｅが図４の第４実施例と異なる構成
は、第１排オゾン分解塔５後に排オゾン分解塔出口弁１
６を設け、第２排オゾン分解塔７後から第１排オゾン分
解塔５後までバイパス管１５とバイパス弁１４で構成し
た点のみであり、その他の構成は同一であるので、同一
構成部分には同一符号を付して重複説明は省略する。

【００２８】次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の作用は図４の第４実施例の作用と同様であ
り、本実施例の作用はさらに加熱ヒータ４もしくは排オ
ゾン分解塔５が故障した場合にも対応可能である。すな
わち、このような場合には、加熱ヒータ入口弁８を閉、
排オゾン分解塔入口弁１０を開、排オゾン分解塔出口弁
１６を閉、バイパス弁１４を開とし、オゾン反応槽の未
反応オゾンである排ガスは、排ガス入口弁２、第１ミス
トセパレータ３、ミストセパレータ出口弁２４、バイパ
ス管９、排オゾン分解塔入口弁１０を経由して排オゾン
分解塔７で分解され、バイパス弁１４、バイパス管１５
を経由して、第１排気ファン６で大気に放出される。

【００２９】故障の補修が完了したら、加熱ヒータ入口
弁８を開、排オゾン分解塔入口弁１０を閉、排オゾン分
解塔出口弁１６を開、バイパス弁１４を閉とし、オゾン
反応槽の未反応オゾンである排ガスは排ガス入口弁２、
第１ミストセパレータ３、ミストセパレータ出口弁２
４、加熱ヒータ入口弁８を経由して、第１排オゾン分解
塔５で分解され、排オゾン分解塔出口弁１６を経由し
て、第１排気ファン６で大気に放出される。

【００３０】図６は本発明の第６実施例（請求項６対
応）の構成図である。同図に示すように、本実施例の排
オゾン分解装置１Ｆが図５の第５実施例と異なる構成
は、排気ファン６前に排気ファン入口弁２０を設け、さ
らに第２排オゾン分解塔７後に第２排気ファン１８、こ
の第２排気ファン１８前に排気ファン入口弁１９を設け
た構成とした点のみであり、その他の構成は同一である
ので、同一構成部分には同一符号を付して重複説明は省
略する。

【００３１】次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の作用は、図５の第５実施例の作用と同様であ
り、本実施例の作用はさらに第１排気ファン６が故障し
た場合にも対応可能である。すなわち、このような場合
には、バイパス弁１４を開、排気ファン入口弁２０を
閉、排気ファン入口弁１９を開とし、オゾン反応槽の未
反応オゾンである排ガスは、排ガス入口弁２、第１ミス
トセパレータ３、ミストセパレータ出口弁２４、加熱ヒ
ータ入口弁８を経由して、加熱ヒータ４で加温され、第
１排オゾン分解塔５で分解され排オゾン分解塔出口弁１
６、バイパス管１５、バイパス弁１４、排気ファン入口
弁１９を経由して、第２排気ファン１８で大気に放出さ
れる。

【００３２】故障の補修が完了したら、バイパス弁１４
を閉、排気ファン入口弁２０を開、排気ファン入口弁１
９を閉とし、オゾン反応槽の未反応オゾンである排ガス
は、排ガス入口弁２、第１ミストセパレータ３、ミスト
セパレータ出口弁２４、加熱ヒータ入口弁を経由して、
加熱ヒータで加温され、第１排オゾン分解塔５で分解さ
れ、排オゾン分解塔出口弁１６、排気ファン入口弁２０
を経由して、第１排気ファン６で大気に放出される。

【００３３】上記したように本発明の各実施例の排オゾ
ン分解装置は、排ガスの分解能力は従来通りであり、し
かも経済性及び維持管理は従来よりも向上し、信頼性が
高くなる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
排ガスの流れる系統を制御して運転立ち上げの初期は、
ミストセパレータを経由した排ガスは活性炭を充填した
排オゾン分解塔で未反応の排オゾンを分解し、その後加
熱ヒータで加熱されて、触媒の温度を所定の温度まで上
昇させることができる。触媒の温度が上昇したら排ガス
の流れる系統を切り換えて、ミストセパレータから直接
加熱ヒータへ導き、活性炭を充填した排オゾン分解塔を
系統から切り放すことにより、活性炭の交換に際して排
オゾン分解装置全体を止める必要はない。また、活性炭
を充填した排オゾン分解塔の後段に、専用の排気ファン
を設ければ、触媒の交換時あるいは触媒方式の排オゾン
分解塔が万一故障した場合の予備機として使用すること
も可能となる。このように排ガスの分解能力は従来通り
であり、排オゾン分解装置の台数も少なくてすむため経
済性が良く、また設備を停止することなく、機器の補修
及びオゾン吸着剤の交換が可能となる。従って、安価で
信頼性の高い合理的な排オゾン分解装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成図。

【図２】本発明の第２実施例の構成図。

【図３】本発明の第３実施例の構成図。

【図４】本発明の第４実施例の構成図。

【図５】本発明の第５実施例の構成図。

【図６】本発明の第６実施例の構成図。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ…排オゾン分解装
置、２，２１…排ガス入口弁、３…第１ミストセパレー
タ、４…加熱ヒータ、５…第１排オゾン分解塔、６…第
１排気ファン、７…第２排オゾン分解塔、８…加熱ヒー
タ入口弁、９，１２，１４，１５…バイパス管、１０…
排オゾン分解塔入口弁、１１，１６…排オゾン分解塔出
口弁、１３…逆止弁、１７…仕切弁、１８…第２排気フ
ァン、１９，２０…排気ファン入口弁、２２…第２ミス
トセパレータ、２３，２４…ミストセパレータ出口弁。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 排ガス入口弁と、排ガスに含まれている
   水分を除去する第１ミストセパレータと、排ガス温度を
   上げる加熱ヒータと、排オゾンを分解するためのオゾン
   吸着剤である触媒を充填した第１排オゾン分解塔と、触
   媒で分解された排ガスを大気へ放出するための第１排気
   ファンとを備えた排オゾン分解装置において、前記加熱
   ヒータ前に設けた加熱ヒータ入口弁と、排オゾンを分解
   するためのオゾン吸着剤である活性炭を充填した第２排
   オゾン分解塔と、前記第１ミストセパレータから前記第
   ２排オゾン分解塔までのバイパス管と、前記第２排オゾ
   ン分解塔前に設けた排オゾン分解塔入口弁と、前記第２
   排オゾン分解塔後に設けた排オゾン分解塔出口弁と、前
   記排オゾン分解塔出口弁から前記加熱ヒータまでのバイ
   パス管と、前記バイパス管の途中に設けた逆止弁とを備
   えたことを特徴とする排オゾン分解装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の排オゾン分解装置におい
   て、前記第１排オゾン分解塔後に設けた排オゾン分解塔
   出口弁と、前記第２排オゾン分解塔後から前記第１排オ
   ゾン分解塔後までのバイパス管と、前記バイパス管の途
   中に設けたバイパス弁とを備えたことを特徴とする排オ
   ゾン分解装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の排オゾン分解装置におい
   て、前記第１排気ファン前に設けた排気ファン入口弁
   と、前記第２排オゾン分解塔後から前記第１排オゾン分
   解塔前及び前記第１排オゾン分解塔後に至る両バイパス
   管の間に設けた仕切弁と、第２排気ファンと、前記第２
   排気ファンと前記仕切弁との間に設けた排気ファン入口
   弁とを備えたことを特徴とする排オゾン分解装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の排オゾン分解装置におい
   て、前記第１ミストセパレータ後に設けたミストセパレ
   ータ出口弁と、第２排オゾン分解塔側に、専用の排ガス
   入口弁と、第２ミストセパレータと、前記第２ミストセ
   パレータ後に設けたミストセパレータ出口弁とを備えた
   ことを特徴とする排オゾン分解装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の排オゾン分解装置におい
   て、前記第１排オゾン分解塔後に排オゾン分解塔出口弁
   と、前記第２排オゾン分解塔後から前記第１排オゾン分
   解塔後までのバイパス管と、前記バイパス管の途中に設
   けたバイパス弁とを備えたことを特徴とする排オゾン分
   解装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載の排オゾン分解装置におい
   て、前記第１排気ファン前に設けた排気ファン入口弁
   と、前記第２排オゾン分解塔後から前記第１排オゾン分
   解塔前および前記第１排オゾン分解塔後に至る両バイパ
   ス管の間に設けた仕切弁と、第２排気ファンと、前記第
   ２排気ファンと前記仕切弁との間に設けた排気ファン入
   口弁とを備えたことを特徴とする排オゾン分解装置。