JPH0964466A - 光モジュール及びその製造方法 - Google Patents

光モジュール及びその製造方法

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JPH0964466A
JPH0964466A JP7213195A JP21319595A JPH0964466A JP H0964466 A JPH0964466 A JP H0964466A JP 7213195 A JP7213195 A JP 7213195A JP 21319595 A JP21319595 A JP 21319595A JP H0964466 A JPH0964466 A JP H0964466A
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JP
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cap
optical
plate
shielding member
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JP7213195A
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Maki Ito
真樹 伊藤
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3025Electromagnetic shielding

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  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短時間のうちに組み立てることができ、製造
コストを低減することができる光モジュール及びその製
造方法を提供する。 【解決手段】 凸レンズ23等の集束光学系とLD(半
導体レーザ)14等の光素子の間に透孔29を有する板
状遮光部材28を設けるように構成したもので、凸レン
ズ23が設けられたキャップ20内に透孔29を有する
板状遮光部材28を先ず取り付けた後に凸レンズ23と
光軸Z0 が一致するように、例えばキャップ20の外方
から凸レンズ23を介してガイド光を板状遮光部材28
の透孔29に投射するようにしてLD14を透孔29部
分に仮固定し、その後にステム12にLD14を固着し
キャップ20を封着するようにしており、これにより、
光パワーや光電流をモニタするモニタ用機器を用いての
調芯作業を行うことなく、短時間のうちに簡単に組み立
てを行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ、特に
石英ファイバを用いた光通信に好適する光モジュール及
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】周知の通り、石英ファイバは光伝送損失
が少なくて光伝送歪が少なく、また機械的強度が高い等
の点から光通信に用いられており、この光通信で使用さ
れている石英ファイバのコア径も小さなものとなってい
る。このため、石英ファイバと光源となる半導体レーザ
(LD;Laser Diode)や発光ダイオード
(LED;Light Emitting Diod
e)、受光器のフォトダイオード等の光素子との光結合
には集束光学系を間に介在させ、効率的な光結合を実現
するようにしている。
【0003】以下、従来例を図8を参照して説明する。
図8は縦断面図であり、図8において、1は光モジュー
ルであり、2はステム、3はステム2の上面中央部に固
着された光素子のLD、4はLD3の上方側に被せるよ
うにして下端部がステム2に封着されたキャップであ
る。5はLD3の光軸Z上のキャップ4部分に形成され
た窓部6に設けられた凸レンズである。
【0004】7,8はリード線で、片方のリード線7は
絶縁してステム2を貫通し固定されており、リード線7
の貫通端部とLD3の片方の電極部とがボンディングワ
イヤ9によって接続されている。また他方のリード線8
は、その端部がLD3の他方の電極部が上面に固着され
たステム2に固定されている。
【0005】このように構成されたものは、リード線
7,8が固定されたステム2の上面中央部にLD3を固
着し、ボンディングワイヤ9をリード線7の貫通端部と
LD3の片方の電極部とに固着した後、凸レンズ5が設
けられたキャップ4を上方側から被せ、ステム2にキャ
ップ4の下端部を封着することによって形成される。
【0006】そして、このキャップ4のステム2への封
着の際には、光結合効率が大きくなるよう凸レンズ5を
介してLD3から図示しない外部の光ファイバに送出さ
れる光パワーをモニタしながら、キャップ4とステム2
の位置関係を凸レンズ5とLD3の光軸が一致し凸レン
ズ5の焦点にLD3が位置するよう調節、すなわち調芯
を行って位置関係を決定し両者を固定している。なお、
LD3に替えてフォトダイオードを配置したものでは、
凸レンズ5を介して外部の光ファイバからステム2上の
フォトダイオードが得る光電流をモニタしながら位置の
調節が行われる。
【0007】しかしながら上記の従来技術においては、
キャップ4とステム2とを固定する際に単に両者を組み
合わせただけでは、組み合わせる部材の加工精度及び組
み立て精度から見て凸レンズ5の焦点にLD3を位置さ
せることが困難で、調芯を行うことが必須となってその
ためのモニタ用機器を必要とする。またこのモニタ用機
器を用いての調芯作業には長時間を要することから、製
造コストが高くなってしまい、また大量生産することが
困難なものとなっていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のも
のでは凸レンズの焦点にLDを位置させるための調芯作
業が必要になっている。このような状況に鑑みて本発明
はなされたもので、凸レンズ等の集束光学系とLD等の
光素子の間に透孔を有する板状遮光部材を設けるように
して、調芯作業を行うことなく短時間のうちに組み立て
ることができ、大量生産を容易に行うことができて製造
コストが低減できる光モジュール及びその製造方法を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の光モジュール及
びその製造方法は、基台上に固着された光素子と、この
光素子を覆うようにして基台に固定されたキャップ状部
材と、このキャップ状部材の窓部に設けられた光素子の
光軸上に位置する集束光学系とを備えた光モジュールに
おいて、キャップ状部材に内部を窓部側と基台側とに仕
切り且つ光素子上面を覆うよう板状遮光部材を設けると
共に、板状遮光部材の光素子の光軸上に該光素子より小
形状の透孔を形成したことを特徴とするものであり、さ
らに、板状遮光部材は、光素子上面に設けられているこ
とを特徴とするものであり、さらに、板状遮光部材は、
外周部分がキャップ状部材の内側面に当接するようにし
て位置決めがなされていることを特徴とするものであ
り、さらに、板状遮光部材は、光素子の対向面の透孔周
縁部分には該光素子の片方の電極部を固定する第1のバ
ンプが設けられ、対向面の中間部分には基台を貫通する
リード線の端部を固定する第2のバンプが設けられてお
り、第1のバンプと第2のバンプとが対向面に設けられ
た導電体により接続されていることを特徴とするもので
あり、さらに、板状遮光部材は、透孔周縁部分に光素子
を仮固定する粘着部が設けられていることを特徴とする
ものであり、また、基台上に固着された光素子と、この
光素子を覆うようにして基台に開口端部が固定されたキ
ャップ状部材と、このキャップ状部材の天板の窓部に設
けられた光素子の光軸上に位置する集束光学系と、キャ
ップ状部材の内側面の段差部分に外周部分が当接して位
置決めがなされ該キャップ状部材の内部を窓部側と基台
側とに仕切り且つ光素子上面に設けられた板状遮光部材
と、板状遮光部材の光素子の光軸上に形成された該光素
子より小形状の透孔と、この透孔の周縁部分に光素子に
対向して設けられた該光素子の片方の電極部を固定する
第1のバンプと、板状遮光部材の中間部分に設けられ基
台を貫通するリード線の端部を固定する第2のバンプ
と、この第2のバンプと第1のバンプとを接続する板状
遮光部材に設けられた導電体と、透孔の周縁部分に光素
子を仮固定するよう設けられた粘着部とを具備している
ことを特徴とするものであり、また、基台上に固着され
た光素子を該光素子の光軸上に位置するよう集束光学系
を設けたキャップ状部材により覆うよう構成した光モジ
ュールの製造方法において、光素子より小形状の透孔を
集束光学系の光軸が貫通するよう形成した板状遮光部材
を集束光学系を設けたキャップ状部材内の所定深さ位置
に装着し、その後に板状遮光部材の透孔部分に集束光学
系と光軸が一致するよう記光素子を仮固定し、続いて基
台をキャップ状部材に組み合わせて該基台上に光素子を
固着すると共に、基台とキャップ状部材とを封着したこ
とを特徴としており、さらに、集束光学系と光軸が一致
するよう光素子を板状遮光部材の透孔部分に仮固定する
際に、キャップ状部材の外方から集束光学系を介してガ
イド光を板状遮光部材の透孔部分に投射するようにした
ことを特徴としており、また、基台上に固着された光素
子を該光素子の光軸上に位置するよう集束光学系を設け
たキャップ状部材により覆うよう構成した光モジュール
の製造方法において、光素子より小形状の透孔を集束光
学系の光軸が貫通するよう形成した板状遮光部材を集束
光学系を設けたキャップ状部材内の所定深さ位置に設け
られた段差部分に装着し、その後にキャップ状部材の外
方から集束光学系を介してガイド光を板状遮光部材の透
孔部分に投射し、該ガイド光により集束光学系と光素子
の光軸を一致させさせるようにしながら光素子を透孔周
縁部分の粘着部によって板状遮光部材の透孔部分に仮固
定し、続いて基台をキャップ状部材に組み合わせ板状遮
光部材の透孔部分及び該基台上に光素子を低融点半田に
より固着した後、基台とキャップ状部材とを封着したこ
とを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
1乃至図7を参照して説明する。図1は縦断面図であ
り、図2は部分断面図であり、図3は板状遮光部材の裏
面図であり、図4は第1の組み立て工程を示す断面図で
あり、図5は第2の組み立て工程を示す断面図であり、
図6は第3の組み立て工程を示す断面図であり、図7は
第4の組み立て工程を示す断面図である。
【0011】図1乃至図7において、11は光モジュー
ルであり、12は短円柱状のコバルト合金等で形成され
た基台となるステムで、その下端部全外周にフランジ1
3が形成されている。ステム12は、上面中央に光源と
なる半導体レーザ(LD;Laser Diode)や
発光ダイオード(LED;Light Emittin
g Diode))、受光器のフォトダイオードやフォ
トトランジスタ等の光素子、例えば1辺が約400μm
程度の直方体状で直径が約30μmの略円形の発光部分
を有するLD14が発光面を上方に向けて低融点半田X
により固着されている。
【0012】またステム12には第1のリード線15と
第2のリード線16が取着されている。第1のリード線
15はステム12の中間部に形成された貫通孔17に絶
縁部材18によって貫通部分が絶縁され、上端19をス
テム12の上面から突出させるようにして固定されてい
る。第2のリード線16は上端がステム12の下面に固
着されている。
【0013】さらにステム12には上面に固着されたL
D14を覆うように、上方側からキャップ状部材である
キャップ20が被せられている。キャップ20は上端が
中央に窓部21を有する天板22で閉塞された円筒状の
もので、窓部21には集束光学系、例えば直径0.8m
mの凸レンズ23が装着されており、凸レンズ23から
LD14までの距離は1mm以内の寸法となっている。
なお、凸レンズ23とLD14の光軸Z0 は一致してい
ると共に、キャップ20外方の光軸Z0 上の図示しない
石英ファイバーの例えば直径が5.6mmのコア端面に
LD14の発光部分が結像されるよう凸レンズ23とL
D14とは配置されている。
【0014】またキャップ20には下端部全外周にステ
ム12のフランジ13と略同直径の鍔24が設けられて
おり、この鍔24とフランジ13とは互いの外端がレー
ザ溶接や接着剤等により気密封着されるようにして固定
されていて、封着されたキャップ20の内部には窒素ガ
スが所定圧力で封入されている。さらにキャップ20は
内部が上部に小径部25と下部にステム12の外径より
大きい大径部26とを設け、小径部25と大径部26の
間に段差27を設けるようにして構成されている。
【0015】このキャップ20内の段差27部分には、
絶縁材料で形成され円形の板状遮光部材28がLD14
の上面上に設けられるように装着されている。装着され
た板状遮光部材28は、その中央にLD14の外形状よ
り小さく発光部分より大きく形成された直径200μm
の透孔29が形成されていて、凸レンズ23及びLD1
4の光軸Z0 は透孔29の略中心部分を貫通するものと
なっている。
【0016】そして板状遮光部材28の段差27部分へ
の装着は、板状遮光部材28の外周部分の端部をキャッ
プ20の大径部26の内側面に当接させて径方向の位置
決めを行うようにし、段差27に上面外周部分を当接さ
せて光軸方向の位置決めを行うようにしてなされてい
る。これにより板状遮光部材28はステム12の上方を
覆うと共にキャップ20内をステム12側と窓部21側
とに仕切ることになる。なお、段差27のキャップ20
内の光軸方向の位置については、板状遮光部材28がL
D14の上面上に設けられると共に、LD14の発光部
分がキャップ20に装着された凸レンズ23によって石
英ファイバーのコア端面に結像されるような位置となっ
ている。
【0017】また板状遮光部材28は、透孔29のLD
14の上面に対向する対向面の周縁部分に、周縁の一部
に第1のバンプ30が設けられていると共に残りの周縁
に粘着部31が設けられている。そして粘着部31に上
面が仮固定されたLD14が第1のバンプ30に低融点
半田Xによって固定されている。板状遮光部材28は、
さらに同じ対向面の径方向中間部分に第2のバンプ32
が設けられており、この第2のバンプ32と第1のバン
プ30とは対向面上に印刷配線加工等によって形成され
た導電体33によって接続されている。また第2のバン
プ32にはステム12の上面から突出した第1のリード
線15の上端19が同様に低融点半田によって固定され
ている。
【0018】これにより、第1のリード線15は第2の
バンプ32及び導電体33、第1のバンプ30を介して
LD14の上面の片方の電極部に接続される。なお、第
2のリード線16は上端が固着されたステム12を介し
てLD14の下面の他方の電極部に接続されている。
【0019】次に、上記構成の光モジュール11の組み
立て過程について説明する。
【0020】先ず図4に示す第1の組み立て工程におい
て、透孔29が形成された板状遮光部材28をキャップ
20の鍔24が設けられた下側開口部分から挿入する。
挿入にあたっては透孔29の周縁部分に粘着部31が設
けられたLD14に対向する対向面を下側開口側とす
る。
【0021】そしてキャップ20の段差27部分に、板
状遮光部材28を外周部分の端部をキャップ20の大径
部26の内側面に当接させ、上面外周部分を凸レンズ2
3に対し所定の位置に形成された段差27に当接させる
ようにして装着する。これにより板状遮光部材28は凸
レンズ23の光軸Z0 が透孔29の略中心部分を貫通す
るようにしてキャップ20内に組み付けられる。
【0022】次に図5に示す第2の組み立て工程におい
て、キャップ20の外部(図5中の上方側)の凸レンズ
23の光軸Z0 上に発光面積の小さい図示しない点状光
源を配置する。そして点状光源からのガイド光を板状遮
光部材28の透孔29に凸レンズ23を介して投射し、
凸レンズ23とLD14の光軸Z0 が一致するように、
キャップ20の下側開口側からLD14を板状遮光部材
28の粘着部31に仮固定する。
【0023】次に図6に示す第3の組み立て工程におい
て、キャップ20の下側開口側から第1のリード線15
と第2のリード線16が取着されたステム12を、ステ
ム12の上面の予め低融点半田が溶着された中央部分に
LD14の下面が当接するまで挿入する。これと同時に
ステム12の上面に突出する第1のリード線15の上端
19が、板状遮光部材28のLD14に対向する対向面
の第2のバンプ32に当接する。
【0024】次に図7に示す第4の組み立て工程におい
て、キャップ20とステム12とを組み合わせた全体を
低融点半田Xが溶融するよう加熱し、LD14の上面の
片方の電極部を板状遮光部材28の第1のバンプ30に
固定し、下面の他方の電極部をステム12の上面に固定
し、さらに第1のリード線15の上端19を第2のバン
プ32に固定する。
【0025】続いてキャップ20内の雰囲気を窒素ガス
に置き換えるようにしながらキャップ20の鍔24と、
ステム12のフランジ13のそれぞれの外端を全周に亘
りYAGレーザにより気密に溶接する。
【0026】以上のように構成することによって、LD
14と凸レンズ23とは間に板状遮光部材28の透孔2
9を介在させた状態で、それらの光軸Z0 が一致したも
のとなる。このLD14と凸レンズ23の光軸Z0 を一
致させる際、凸レンズ23を通過してきた点状光源から
のガイド光によって透孔29内の光軸Z0 の位置を確認
し、その確認した位置に発光部分がくるようにLD14
を位置させ、さらに位置ずれしないよう粘着部31によ
って仮固定するようにして光軸Z0 を一致させている。
【0027】このためLD14と凸レンズ23の光軸Z
0 を一致させる作業は、光パワーをモニタするモニタ用
機器を使っての調芯を必要とせず、作業内容が簡単で短
時間のうちに容易に高い精度での光軸Z0 の一致を行う
ことができる。さらに作業内容が熟練を要せず簡単であ
り、高額の設備機器等を使用しないで出来るために大量
生産が可能で、製造コストも低廉なものとなる。
【0028】また、板状遮光部材28に仮固定したLD
14を第1のバンプ30に固定する際に、LD14のス
テム12上への固定や第1のリード線15の上端19の
第2のバンプ32への固定が同時に行うことができる。
さらに第1のリード線15とLD14の片方の電極部と
の接続も、板状遮光部材28に印刷配線された導電体3
3によってボンディングワイヤを用いずに簡単に行うこ
とができる。
【0029】そして、得られた光モジュール11につい
て第1のリード線15及び第2のリード線16を通じて
LD14を図示しない電源に接続し動作させ、LD14
を発光させると、LD14の発光部分から放射された光
は、高い精度で一致する共通の光軸Z0 を有する凸レン
ズ23からキャップ20の外方に設けられた石英ファイ
バーのコア端面に効率よく投射されることになる。すな
わち、光モジュール11と石英ファイバーを共に図示し
ないレセプタクルに装着する際にも調芯作業を要さずに
簡単な組み込みだけで石英ファイバーを光軸Z0 に合わ
せて装着することができ、コア端面への効率的な投射が
行える。
【0030】なお、上述した本実施の形態の説明に光素
子として光源となるLD14を用いているが、受光器の
フォトダイオード等の場合についても上記と同様の光軸
を一致させる作業によって高い精度で受光器の受光部分
を凸レンズ23の光軸Z0 上に位置させることができ、
同様の効果が得られる。
【0031】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、集束光学系と光素子の間に透孔を有する板状遮光部
材を設けるように構成したことにより、また集束光学系
が設けられたキャップ状部材に透孔を有する板状遮光部
材を先ず取り付けた後に集束光学系と光軸が一致するよ
う光素子を透孔部分に仮固定してから基台に光素子を固
着しキャップ状部材を封着するよう構成したことによ
り、調芯作業を行うことなく短時間のうちに組み立てる
ことができ、大量生産を容易に行うことができて製造コ
ストを低減することができる等の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態を示す縦断面図である。
【図2】本発明の一実施の形態おける部分断面図であ
る。
【図3】本発明の一実施の形態おける板状遮光部材の裏
面図である。
【図4】本発明の一実施の形態に係る第1の組み立て工
程を示す断面図である。
【図5】本発明の一実施の形態に係る第2の組み立て工
程を示す断面図である。
【図6】本発明の一実施の形態に係る第3の組み立て工
程を示す断面図である。
【図7】本発明の一実施の形態に係る第4の組み立て工
程を示す断面図である。
【図8】従来例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
12…ステム 14…半導体レーザ(LD) 15…第1のリード線 19…上端 20…キャップ 21…窓部 23…凸レンズ 26…大径部 27…段差 28…板状遮光部材 29…透孔 30…第1のバンプ 31…粘着部 32…第2のバンプ 33…導電体 Z0 …光軸

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基台上に固着された光素子と、この光素
    子を覆うようにして前記基台に固定されたキャップ状部
    材と、このキャップ状部材の窓部に設けられた前記光素
    子の光軸上に位置する集束光学系とを備えた光モジュー
    ルにおいて、前記キャップ状部材に内部を窓部側と基台
    側とに仕切り且つ前記光素子上面を覆うよう板状遮光部
    材を設けると共に、前記板状遮光部材の前記光素子の光
    軸上に該光素子より小形状の透孔を形成したことを特徴
    とする光モジュール。
  2. 【請求項2】 板状遮光部材は、光素子上面に設けられ
    ていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  3. 【請求項3】 板状遮光部材は、外周部分がキャップ状
    部材の内側面に当接するようにして位置決めがなされて
    いることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  4. 【請求項4】 板状遮光部材は、光素子の対向面の透孔
    周縁部分には該光素子の片方の電極部を固定する第1の
    バンプが設けられ、前記対向面の中間部分には基台を貫
    通するリード線の端部を固定する第2のバンプが設けら
    れており、前記第1のバンプと第2のバンプとが前記対
    向面に設けられた導電体により接続されていることを特
    徴とする請求項1記載の光モジュール。
  5. 【請求項5】 板状遮光部材は、透孔周縁部分に光素子
    を仮固定する粘着部が設けられていることを特徴とする
    請求項1記載の光モジュール。
  6. 【請求項6】 基台上に固着された光素子と、この光素
    子を覆うようにして前記基台に開口端部が固定されたキ
    ャップ状部材と、このキャップ状部材の天板の窓部に設
    けられた前記光素子の光軸上に位置する集束光学系と、
    前記キャップ状部材の内側面の段差部分に外周部分が当
    接して位置決めがなされ該キャップ状部材の内部を窓部
    側と基台側とに仕切り且つ前記光素子上面に設けられた
    板状遮光部材と、前記板状遮光部材の前記光素子の光軸
    上に形成された該光素子より小形状の透孔と、この透孔
    の周縁部分に前記光素子に対向して設けられた該光素子
    の片方の電極部を固定する第1のバンプと、前記板状遮
    光部材の中間部分に設けられ前記基台を貫通するリード
    線の端部を固定する第2のバンプと、この第2のバンプ
    と前記第1のバンプとを接続する前記板状遮光部材に設
    けられた導電体と、前記透孔の周縁部分に前記光素子を
    仮固定するよう設けられた粘着部とを具備していること
    を特徴とする光モジュール。
  7. 【請求項7】 基台上に固着された光素子を該光素子の
    光軸上に位置するよう集束光学系を設けたキャップ状部
    材により覆うよう構成した光モジュールの製造方法にお
    いて、前記光素子より小形状の透孔を前記集束光学系の
    光軸が貫通するよう形成した板状遮光部材を前記集束光
    学系を設けたキャップ状部材内の所定深さ位置に装着
    し、その後に前記板状遮光部材の透孔部分に前記集束光
    学系と光軸が一致するよう前記光素子を仮固定し、続い
    て前記基台を前記キャップ状部材に組み合わせて該基台
    上に前記光素子を固着すると共に、前記基台と前記キャ
    ップ状部材とを封着したことを特徴とする光モジュール
    の製造方法。
  8. 【請求項8】 集束光学系と光軸が一致するよう光素子
    を板状遮光部材の透孔部分に仮固定する際に、キャップ
    状部材の外方から前記集束光学系を介してガイド光を前
    記板状遮光部材の透孔部分に投射するようにしたことを
    特徴とする請求項7記載の光モジュールの製造方法。
  9. 【請求項9】 基台上に固着された光素子を該光素子の
    光軸上に位置するよう集束光学系を設けたキャップ状部
    材により覆うよう構成した光モジュールの製造方法にお
    いて、前記光素子より小形状の透孔を前記集束光学系の
    光軸が貫通するよう形成した板状遮光部材を前記集束光
    学系を設けたキャップ状部材内の所定深さ位置に設けら
    れた段差部分に装着し、その後に前記キャップ状部材の
    外方から前記集束光学系を介してガイド光を前記板状遮
    光部材の透孔部分に投射し、該ガイド光により前記集束
    光学系と前記光素子の光軸を一致させさせるようにしな
    がら前記光素子を前記透孔周縁部分の粘着部によって前
    記板状遮光部材の透孔部分に仮固定し、続いて前記基台
    を前記キャップ状部材に組み合わせ前記板状遮光部材の
    透孔部分及び該基台上に前記光素子を低融点半田により
    固着した後、前記基台と前記キャップ状部材とを封着し
    たことを特徴とする光モジュールの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7078737B2 (en) 2002-09-02 2006-07-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light-emitting device
JP2006313896A (ja) * 2005-05-02 2006-11-16 Samsung Electro Mech Co Ltd 発光素子パッケージ

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US7078737B2 (en) 2002-09-02 2006-07-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light-emitting device
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