JPH0964151A - 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置および搭載方法Info
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- JPH0964151A JPH0964151A JP7210279A JP21027995A JPH0964151A JP H0964151 A JPH0964151 A JP H0964151A JP 7210279 A JP7210279 A JP 7210279A JP 21027995 A JP21027995 A JP 21027995A JP H0964151 A JPH0964151 A JP H0964151A
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- Japan
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- work
- carrier
- mounting head
- ball
- conductive
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークを保持するキャリアが屈曲している場
合でも、ワークの電極上に半田ボールなどの導電性ボー
ルを確実に搭載できる導電性ボールの搭載装置および搭
載方法を提供することを目的とする。 【構成】 搭載ヘッド２３の下面の吸着孔２８に半田ボ
ール６を真空吸着する。ワーク２を保持して搬送路を搬
送されるキャリア１２は屈曲変形しており、したがって
キャリア１２に保持されたワーク２は傾斜している。ワ
ーク２はキャリア１２の凹部４０に配設された弾性部材
４１に弾支されている。搭載ヘッド２３を下降させて半
田ボール６をワーク２の電極４に着地させると、ワーク
２は弾性部材４１を圧縮して上下方向へ揺動し、水平な
姿勢となるのですべての半田ボール６をワーク２の電極
４上に確実に搭載できる。
合でも、ワークの電極上に半田ボールなどの導電性ボー
ルを確実に搭載できる導電性ボールの搭載装置および搭
載方法を提供することを目的とする。 【構成】 搭載ヘッド２３の下面の吸着孔２８に半田ボ
ール６を真空吸着する。ワーク２を保持して搬送路を搬
送されるキャリア１２は屈曲変形しており、したがって
キャリア１２に保持されたワーク２は傾斜している。ワ
ーク２はキャリア１２の凹部４０に配設された弾性部材
４１に弾支されている。搭載ヘッド２３を下降させて半
田ボール６をワーク２の電極４に着地させると、ワーク
２は弾性部材４１を圧縮して上下方向へ揺動し、水平な
姿勢となるのですべての半田ボール６をワーク２の電極
４上に確実に搭載できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、キャリアに保持されて
搬送されるワークの電極にバンプを形成するための導電
性ボールを搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載
方法に関するものである。
搬送されるワークの電極にバンプを形成するための導電
性ボールを搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワークの電極にバンプ（突出電極）を形
成する方法として、電極上に導電性ボールとしての半田
ボールを搭載して加熱溶融固化させる方法が知られてい
る。またワークの電極に半田ボールを搭載する方法とし
ては、半田ボールを搭載ヘッドに複数個保持し、これら
の半田ボールをワークの複数個の電極に一括して搭載す
る方法が知られている。また小型のワークは単独ではラ
インの搬送路を搬送しにくいので、ワークを複数個キャ
リアに保持させ、キャリアを搬送路を搬送することが知
られている。
成する方法として、電極上に導電性ボールとしての半田
ボールを搭載して加熱溶融固化させる方法が知られてい
る。またワークの電極に半田ボールを搭載する方法とし
ては、半田ボールを搭載ヘッドに複数個保持し、これら
の半田ボールをワークの複数個の電極に一括して搭載す
る方法が知られている。また小型のワークは単独ではラ
インの搬送路を搬送しにくいので、ワークを複数個キャ
リアに保持させ、キャリアを搬送路を搬送することが知
られている。
【０００３】図３は、従来の搬送路を搬送中のキャリア
の断面図、図４（ａ）（ｂ）は同半田ボールをワークの
電極に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図である。
図３において、キャリア１には複数個のワーク２が保持
されている。キャリア１はその両端部をコンベア３に支
持されて搬送路を搬送される。また図４（ａ）（ｂ）に
示すように、ワーク２の電極４上には、搭載ヘッド５に
より半田ボール６が搭載される。搭載ヘッド５は箱型で
あって、その内部を真空吸引することにより、その下面
に開孔された吸着孔７に半田ボール６を真空吸着してい
る。また半田ボール６の下面には、前工程においてフラ
ックス８が付着されている。搭載ヘッド５は図４（ａ）
に示す上昇位置から図４（ｂ）に示す下降位置へ下降
し、そこで真空吸引状態を解除して上昇位置へ復帰する
ことにより、半田ボール６を電極４上に搭載する。
の断面図、図４（ａ）（ｂ）は同半田ボールをワークの
電極に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図である。
図３において、キャリア１には複数個のワーク２が保持
されている。キャリア１はその両端部をコンベア３に支
持されて搬送路を搬送される。また図４（ａ）（ｂ）に
示すように、ワーク２の電極４上には、搭載ヘッド５に
より半田ボール６が搭載される。搭載ヘッド５は箱型で
あって、その内部を真空吸引することにより、その下面
に開孔された吸着孔７に半田ボール６を真空吸着してい
る。また半田ボール６の下面には、前工程においてフラ
ックス８が付着されている。搭載ヘッド５は図４（ａ）
に示す上昇位置から図４（ｂ）に示す下降位置へ下降
し、そこで真空吸引状態を解除して上昇位置へ復帰する
ことにより、半田ボール６を電極４上に搭載する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ワーク２の電極４に半
田ボール６が搭載されたキャリア１は、加熱炉へ送ら
れ、そこで半田ボール６を加熱溶融固化させることによ
り、電極４上にバンプが形成される。加熱炉の内部は半
田ボール６の溶融温度（一般に２００°Ｃ以上）に加熱
されており、加熱炉においてはキャリア１も加熱され
る。このため、厚さの薄いプレート状のキャリア１は図
３に示すように熱変形して屈曲しやすい。
田ボール６が搭載されたキャリア１は、加熱炉へ送ら
れ、そこで半田ボール６を加熱溶融固化させることによ
り、電極４上にバンプが形成される。加熱炉の内部は半
田ボール６の溶融温度（一般に２００°Ｃ以上）に加熱
されており、加熱炉においてはキャリア１も加熱され
る。このため、厚さの薄いプレート状のキャリア１は図
３に示すように熱変形して屈曲しやすい。
【０００５】図４（ａ）（ｂ）は、このように屈曲した
キャリア１に保持されたワーク２に半田ボール６を搭載
している様子を示している。図示するように、キャリア
１は屈曲しているので、ワーク２の上面は水平面Ｌに対
して傾斜している。このため、図４（ｂ）に示すように
すべての半田ボール６は電極４上に着地できず、着地で
きなかった半田ボール６は電極４上に自然落下して転動
し、電極４から脱落しやすく、その結果電極４上にバン
プを形成できなくなりやすいという問題点があった。
キャリア１に保持されたワーク２に半田ボール６を搭載
している様子を示している。図示するように、キャリア
１は屈曲しているので、ワーク２の上面は水平面Ｌに対
して傾斜している。このため、図４（ｂ）に示すように
すべての半田ボール６は電極４上に着地できず、着地で
きなかった半田ボール６は電極４上に自然落下して転動
し、電極４から脱落しやすく、その結果電極４上にバン
プを形成できなくなりやすいという問題点があった。
【０００６】したがって本発明は、キャリアが屈曲して
いる場合でも、ワークの電極上に半田ボールなどの導電
性ボールを確実に搭載できる導電性ボールの搭載装置お
よび搭載方法を提供することを目的とする。
いる場合でも、ワークの電極上に半田ボールなどの導電
性ボールを確実に搭載できる導電性ボールの搭載装置お
よび搭載方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、キ
ャリアに弾性部材を設け、ワークをこの弾性部材に上下
方向へ揺動自在に弾支させたものである。
ャリアに弾性部材を設け、ワークをこの弾性部材に上下
方向へ揺動自在に弾支させたものである。
【０００８】
【作用】上記構成において、搭載ヘッドを下降させて導
電性ボールをキャリアの弾性部材に支持されたワークの
電極に着地させると、ワークは導電性ボールに押圧され
て弾性部材を圧縮し、上下方向に揺動して水平な姿勢と
なり、すべての導電性ボールを電極に着地させて搭載で
きる。
電性ボールをキャリアの弾性部材に支持されたワークの
電極に着地させると、ワークは導電性ボールに押圧され
て弾性部材を圧縮し、上下方向に揺動して水平な姿勢と
なり、すべての導電性ボールを電極に着地させて搭載で
きる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の一実施例の導電性ボールの搭載装
置の平面図、図２（ａ）（ｂ）は同導電性ボールをワー
クの電極に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図であ
る。
する。図１は本発明の一実施例の導電性ボールの搭載装
置の平面図、図２（ａ）（ｂ）は同導電性ボールをワー
クの電極に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図であ
る。
【００１０】図１において、１０は基台であり、その上
面には以下に述べる要素が設けられている。１１は基台
１０の上面中央に設けられたキャリアの位置決め部であ
るガイドレールであり、ワーク２が搭載されたキャリア
１２はこのガイドレール１１にクランプして位置決めさ
れる。ガイドレール１１の側方には導電性ボールとして
の半田ボール６の供給部１３とフラックス８が貯溜され
た容器１４が設置されている。容器１４上にはスキージ
１５を備えた台板１６が設けられている。台板１６はモ
ータ１７に駆動されて回転するボールねじ１８に沿って
摺動し、スキージ１５によりフラックス８の液面を平滑
する。
面には以下に述べる要素が設けられている。１１は基台
１０の上面中央に設けられたキャリアの位置決め部であ
るガイドレールであり、ワーク２が搭載されたキャリア
１２はこのガイドレール１１にクランプして位置決めさ
れる。ガイドレール１１の側方には導電性ボールとして
の半田ボール６の供給部１３とフラックス８が貯溜され
た容器１４が設置されている。容器１４上にはスキージ
１５を備えた台板１６が設けられている。台板１６はモ
ータ１７に駆動されて回転するボールねじ１８に沿って
摺動し、スキージ１５によりフラックス８の液面を平滑
する。
【００１１】基台１０上には、第１のボールねじ２１と
第２のボールねじ２２が互いに直交して配設されてい
る。２３は搭載ヘッドであって、ナット２４が結合され
ている。ナット２４は第１のボールねじ２１に螺合して
おり、モータ２５に駆動されて第１のボールねじ２１が
回転すると、搭載ヘッド２３は第１のボールねじ２１に
沿って移動する。２６は第１のボールねじ２１と平行に
配設されたガイドレールであって、ナット２４の移動を
案内する。
第２のボールねじ２２が互いに直交して配設されてい
る。２３は搭載ヘッドであって、ナット２４が結合され
ている。ナット２４は第１のボールねじ２１に螺合して
おり、モータ２５に駆動されて第１のボールねじ２１が
回転すると、搭載ヘッド２３は第１のボールねじ２１に
沿って移動する。２６は第１のボールねじ２１と平行に
配設されたガイドレールであって、ナット２４の移動を
案内する。
【００１２】第１のボールねじ２１とガイドレール２６
は台板２７上に設置されている。台板２７の端部下面に
は第２のボールねじ２２に螺合するナット（図示せず）
が設けられており、モータ３０に駆動されて第２のボー
ルねじ２２が回転すると、台板２７は第２のボールねじ
２２に沿って移動する。これにより、搭載ヘッド２３は
水平方向に自由に移動することができる。３１、３２は
台板２７の移動を案内するガイドレールである。
は台板２７上に設置されている。台板２７の端部下面に
は第２のボールねじ２２に螺合するナット（図示せず）
が設けられており、モータ３０に駆動されて第２のボー
ルねじ２２が回転すると、台板２７は第２のボールねじ
２２に沿って移動する。これにより、搭載ヘッド２３は
水平方向に自由に移動することができる。３１、３２は
台板２７の移動を案内するガイドレールである。
【００１３】供給部１３と容器１４の間には、第１の光
学ユニット３３が設けられている。第１の光学ユニット
３３は、その上方を通過する搭載ヘッド２３の下面に形
成されたすべての吸着孔に、半田ボール６が正しく真空
吸着されているか否かを検査するためのものである。ま
た容器１４とガイドレール１１の間には、イオナイザー
３４と第２の光学ユニット３５が設けられている。イオ
ナイザー３４は、その上方を通過する搭載ヘッド２３の
下面に保持された半田ボール６にイオンを吹き付け、半
田ボール６の静電気を除去する。また第２の光学ユニッ
ト３５は、その上方を通過する搭載ヘッド２３の吸着孔
から半田ボール６が落下していないかどうかを検査す
る。
学ユニット３３が設けられている。第１の光学ユニット
３３は、その上方を通過する搭載ヘッド２３の下面に形
成されたすべての吸着孔に、半田ボール６が正しく真空
吸着されているか否かを検査するためのものである。ま
た容器１４とガイドレール１１の間には、イオナイザー
３４と第２の光学ユニット３５が設けられている。イオ
ナイザー３４は、その上方を通過する搭載ヘッド２３の
下面に保持された半田ボール６にイオンを吹き付け、半
田ボール６の静電気を除去する。また第２の光学ユニッ
ト３５は、その上方を通過する搭載ヘッド２３の吸着孔
から半田ボール６が落下していないかどうかを検査す
る。
【００１４】供給部１３の手前には、搭載ヘッド２３の
移動路をはさんで発光部３６と受光部３７が対向して設
けられている。発光部３６は、その上方を通過する搭載
ヘッド２３の下面に沿うように光を照射し、受光部３７
がその光を受光するか否かによって、搭載ヘッド２３の
下面に半田ボール６が残存付着していないか否か、すな
わちワーク２に対する半田ボール６の搭載ミスがなかっ
たか否かを検査する。またガイドレール１１の他側部に
は、半田ボール６の回収用ボックス３８が設置されてい
る。必要な動作に失敗した搭載ヘッド２３は回収用ボッ
クス３８の上方へ移動し、その下面に保持する半田ボー
ル６を回収用ボックス３８に落下させて回収する。
移動路をはさんで発光部３６と受光部３７が対向して設
けられている。発光部３６は、その上方を通過する搭載
ヘッド２３の下面に沿うように光を照射し、受光部３７
がその光を受光するか否かによって、搭載ヘッド２３の
下面に半田ボール６が残存付着していないか否か、すな
わちワーク２に対する半田ボール６の搭載ミスがなかっ
たか否かを検査する。またガイドレール１１の他側部に
は、半田ボール６の回収用ボックス３８が設置されてい
る。必要な動作に失敗した搭載ヘッド２３は回収用ボッ
クス３８の上方へ移動し、その下面に保持する半田ボー
ル６を回収用ボックス３８に落下させて回収する。
【００１５】図２（ａ）において、キャリア１２の上面
には凹部４０が形成されている。凹部４０の内部にはゴ
ムなどの弾性部材４１が配設されており、ワーク２は弾
性部材４１に上下方向へ揺動自在に弾支されている。半
田ボール６は、搭載ヘッド２３の下面に多数開孔された
吸着孔２８に真空吸着されている。また半田ボール６の
下面には、フラックス８が塗布されている。また上述し
た理由により、図示するようにキャリア１２は屈曲して
おり、したがって図２（ａ）において、キャリア１２に
保持されたワーク２は傾斜している。
には凹部４０が形成されている。凹部４０の内部にはゴ
ムなどの弾性部材４１が配設されており、ワーク２は弾
性部材４１に上下方向へ揺動自在に弾支されている。半
田ボール６は、搭載ヘッド２３の下面に多数開孔された
吸着孔２８に真空吸着されている。また半田ボール６の
下面には、フラックス８が塗布されている。また上述し
た理由により、図示するようにキャリア１２は屈曲して
おり、したがって図２（ａ）において、キャリア１２に
保持されたワーク２は傾斜している。
【００１６】この半田ボールの搭載装置は上記のように
構成されており、次に動作を説明する。図１において、
搭載ヘッド２３は供給部１３の上方へ移動し、そこで上
下動作を行って、下面の吸着孔２８に半田ボール６を真
空吸着してピックアップする。次に搭載ヘッド２３は容
器１４の上方へ移動し、そこで上下動作を行うことによ
り半田ボール６の下面にフラックス８を付着させる。な
お搭載ヘッド２３が第１の光学ユニット３３の上方を通
過する際に、ピックアップミスの有無の検査が行われ、
ピックアップミスがあった場合には、搭載ヘッド２３を
供給部１３の上方へ戻して、ピックアップが再度行われ
る。
構成されており、次に動作を説明する。図１において、
搭載ヘッド２３は供給部１３の上方へ移動し、そこで上
下動作を行って、下面の吸着孔２８に半田ボール６を真
空吸着してピックアップする。次に搭載ヘッド２３は容
器１４の上方へ移動し、そこで上下動作を行うことによ
り半田ボール６の下面にフラックス８を付着させる。な
お搭載ヘッド２３が第１の光学ユニット３３の上方を通
過する際に、ピックアップミスの有無の検査が行われ、
ピックアップミスがあった場合には、搭載ヘッド２３を
供給部１３の上方へ戻して、ピックアップが再度行われ
る。
【００１７】次に、搭載ヘッド２３は容器１４からキャ
リア１２の上方へ移動する。その際、イオナイザー３４
からイオンが吹き付けられて半田ボール６は除電され、
また半田ボール６が落下していないか否かを第２の光学
ユニット３５により検査する。半田ボール６が落下して
いることが検出されたならば、搭載ヘッド２３は回収用
ボックス３８の上方へ移動し、その下面に残存する半田
ボール６を落下させて回収する。
リア１２の上方へ移動する。その際、イオナイザー３４
からイオンが吹き付けられて半田ボール６は除電され、
また半田ボール６が落下していないか否かを第２の光学
ユニット３５により検査する。半田ボール６が落下して
いることが検出されたならば、搭載ヘッド２３は回収用
ボックス３８の上方へ移動し、その下面に残存する半田
ボール６を落下させて回収する。
【００１８】半田ボール６の落下がなかった場合には、
搭載ヘッド２３はキャリア１２の上方へ移動し、半田ボ
ール６をワーク２の電極４上に搭載する。図２（ａ）
（ｂ）は半田ボール６の搭載動作を示している。まず図
２（ａ）に示すように搭載ヘッド２３をワーク２の上方
で停止させる。次に搭載ヘッド２３を下降させて半田ボ
ール６をワーク２の電極４に着地させる。するとワーク
２は弾性部材４１を圧縮させながら揺動して水平な姿勢
となり、すべての半田ボール６は電極４に着地する。そ
こで真空吸着状態を解除したうえで、搭載ヘッド２３を
上昇させれば、半田ボール６は電極４上に搭載される。
なお搭載ヘッド２３が上昇すると、ワーク２は再び図２
（ａ）に示す傾斜姿勢になるが、半田ボール６はフラッ
クス８により電極４に接着されているので、半田ボール
６が電極４上から転動して脱落することはない。
搭載ヘッド２３はキャリア１２の上方へ移動し、半田ボ
ール６をワーク２の電極４上に搭載する。図２（ａ）
（ｂ）は半田ボール６の搭載動作を示している。まず図
２（ａ）に示すように搭載ヘッド２３をワーク２の上方
で停止させる。次に搭載ヘッド２３を下降させて半田ボ
ール６をワーク２の電極４に着地させる。するとワーク
２は弾性部材４１を圧縮させながら揺動して水平な姿勢
となり、すべての半田ボール６は電極４に着地する。そ
こで真空吸着状態を解除したうえで、搭載ヘッド２３を
上昇させれば、半田ボール６は電極４上に搭載される。
なお搭載ヘッド２３が上昇すると、ワーク２は再び図２
（ａ）に示す傾斜姿勢になるが、半田ボール６はフラッ
クス８により電極４に接着されているので、半田ボール
６が電極４上から転動して脱落することはない。
【００１９】以上の動作を繰り返すことにより、キャリ
ア１２上のすべてのワーク２に半田ボール６を搭載した
ならば、キャリア１２は加熱炉へ送られ、そこで半田ボ
ール６は加熱溶融固化されてバンプが形成される。
ア１２上のすべてのワーク２に半田ボール６を搭載した
ならば、キャリア１２は加熱炉へ送られ、そこで半田ボ
ール６は加熱溶融固化されてバンプが形成される。
【００２０】本発明は上記実施例に限定されないのであ
って、例えば導電性ボールは半田ボールに限られるもの
ではなく、またフラックスは導電性ボールの下面に付着
させずに、ディスペンサなどの塗布手段によってワーク
の電極に塗布してもよい。
って、例えば導電性ボールは半田ボールに限られるもの
ではなく、またフラックスは導電性ボールの下面に付着
させずに、ディスペンサなどの塗布手段によってワーク
の電極に塗布してもよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、キャリアが屈曲変形し
てワークの上面が傾斜していても、搭載ヘッドに保持さ
れたすべての導電性ボールを確実にワークの電極に搭載
することができ、不良品の発生を解消できる。
てワークの上面が傾斜していても、搭載ヘッドに保持さ
れたすべての導電性ボールを確実にワークの電極に搭載
することができ、不良品の発生を解消できる。
【図１】本発明の一実施例の導電性ボールの搭載装置の
平面図
平面図
【図２】（ａ）本発明の一実施例の導電性ボールをワー
クの電極に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図 （ｂ）本発明の一実施例の導電性ボールをワークの電極
に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図
クの電極に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図 （ｂ）本発明の一実施例の導電性ボールをワークの電極
に搭載中の搭載ヘッドとキャリアの断面図
【図３】従来の搬送路を搬送中のキャリアの断面図
【図４】（ａ）従来の半田ボールをワークの電極に搭載
中の搭載ヘッドとキャリアの断面図 （ｂ）従来の半田ボールをワークの電極に搭載中の搭載
ヘッドとキャリアの断面図
中の搭載ヘッドとキャリアの断面図 （ｂ）従来の半田ボールをワークの電極に搭載中の搭載
ヘッドとキャリアの断面図
２ ワーク ４ 電極 ６ 半田ボール（導電性ボール） ８ フラックス １１ ガイドレール １２ キャリア １３ 半田ボールの供給部 ２３ 搭載ヘッド ４１ 弾性部材
Claims (2)
- 【請求項１】複数個のワークを保持するキャリアと、こ
のキャリアを位置決めする位置決め部と、導電性ボール
の供給部と、この導電性ボールの供給部の導電性ボール
をピックアップして前記キャリアに保持されたワークの
電極上に搭載する搭載ヘッドとを備えた導電性ボールの
搭載装置であって、前記キャリアが前記ワークを上下方
向へ揺動自在に弾支する弾性部材を備えたことを特徴と
する導電性ボールの搭載装置。 - 【請求項２】導電性ボールの供給部の導電性ボールを搭
載ヘッドによりピックアップする工程と、キャリア上に
弾性部材により上下方向へ揺動自在に弾支されたワーク
の上方へ前記搭載ヘッドを移動させ、そこで搭載ヘッド
に下降させて前記導電性ボールを前記ワークの電極に着
地させることにより前記ワークを水平な姿勢とし、次い
で搭載ヘッドを上昇させることにより前記導電性ボール
を前記電極に搭載する工程と、を含むことを特徴とする
導電性ボールの搭載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07210279A JP3132351B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07210279A JP3132351B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0964151A true JPH0964151A (ja) | 1997-03-07 |
| JP3132351B2 JP3132351B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=16586768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07210279A Expired - Fee Related JP3132351B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3132351B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7066377B2 (en) | 1999-06-24 | 2006-06-27 | Athlete Fa Corporation | Ball mounting method |
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1995
- 1995-08-18 JP JP07210279A patent/JP3132351B2/ja not_active Expired - Fee Related
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