JPH0963261A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH0963261A
JPH0963261A JP7208947A JP20894795A JPH0963261A JP H0963261 A JPH0963261 A JP H0963261A JP 7208947 A JP7208947 A JP 7208947A JP 20894795 A JP20894795 A JP 20894795A JP H0963261 A JPH0963261 A JP H0963261A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 主ワード線とアドレス線とから副ワード線を
選択する分割デコーダを、NMOSトランジスタで構成
し、主ワード線の逆相信号を用いることなく、またアド
レス線の負荷を小とする。 【解決手段】 副ワード線SWをドライブするドライブ
トランジスタ2のゲートに、伝達ゲートトランジスタ1
を介して主ワード線MWを接続する。トランジスタ2の
ドレインにアドレス線RAを接続し、SWをリセットす
るリセットトランジスタ3をRAの逆相信号線でゲート
駆動する。そして、MWとSWとの間にフローティング
防止トランジスタ4を設け、RAにてゲート駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に関
し、特にDRAM(ダイナミックRAM)においてワー
ド線を主ワード線と副ワード線とに分割して主ワード線
を主デコーダ回路で、また副ワード線を分割デコーダ回
路にて夫々駆動するようにした半導体記憶装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】DRAMの大容量化に伴って、図6に示
される様に、ワード線を主ワード線12・1,12・2
と副ワード線13・1〜13・16とに分割して階層化
した型式の半導体記憶装置が提案されている。
【0003】主ワード線12・1,12・2は主Xデコ
ーダ14・1,14・2の出力により夫々駆動されてお
り、副ワード線13・1〜13・16は分割デコーダ1
5・1〜15・16の出力により夫々駆動されている。
【0004】主Xデコーダ14・1は行アドレス線10
・1,10・3,10・4の各アドレス信号をデコード
して主ワード線12・1を駆動し、主Xデコーダ14・
2は行アドレス線10・2,10・3,10・4の各ア
ドレス信号をデコードして主ワード線12・2を駆動す
る。
【0005】分割デコーダ15・1は主ワード線12・
1と残余の行アドレス線11・1の一部の各信号をデコ
ードして副ワード線13・1を駆動する。分割デコーダ
15・2は主ワード線12・1と残余の行アドレス線1
1・2の一部の各信号をデコードして副ワード線13・
2を駆動する。
【0006】他の分割デコーダ15・3〜15・16に
ついても、同様に図示する如く、主ワード線と残余の行
アドレス線の一部の各信号をデコードすることにより、
対応副ワード線を駆動するものである。
【0007】分割デコーダ15・1〜15・16の各回
路形式の例としては3種が提案されており、図7,図9
及び図11に夫々の回路例を示している。
【0008】先ず、図7の回路は、1992年の「Sy
mposium on VLSIcircuits D
igest of Technical Paper
s,pp.122−123」に開示されたものであり、
3つのNMOSトランジスタ51〜53からなってい
る。
【0009】トランジスタ51は副ワード線SWを選択
状態の電位にドライブするためのドライブ用トランジス
タであり、トランジスタ52は副ワード線SWを非選択
状態の電位(アース電位)にリセットするためのリセッ
ト用トランジスタであり、トランジスタ53はドライブ
用トランジスタ51のゲートに対して主ワード線MWの
電位を伝達するための伝達ゲート用トランジスタであ
る。
【0010】このトランジスタ53のゲートにはこのト
ランジスタ53を常時オンするに充分な固定電位VB が
印加されており、トランジスタ51のドレインにはアド
レス信号RAが供給されている。またトランジスタ52
のゲートにはメインアドレス線MWの逆相電位が印加さ
れている。そして、トランジスタ51のソートとトラン
ジスタ52のドレインとの共通接続点により副ワード線
SWが駆動される。
【0011】図8は図7の回路の各部信号波形例を示し
ており、副ワード線SWを選択状態とする場合には、先
ず主ワード線MWの電位をH(ハイレベル;電源レベル
VB)とし、同時にその逆相の電位(図8には、反転M
Wとして示しており、そのHレベルはVCCでありVCC<
VB である)をL(ローレベル;アースレベル)とす
る。しかる後に、アドレス信号RAをHとすることで、
副ワード線SWはHとなり選択状態になる。
【0012】尚、トランジスタ51のゲートN2の電位
は伝達ゲートトランジスタ53の作用によりVB レベル
よりも持ち上げられて(ブーストされ)、従って、トラ
ンジスタ51のソース電位すなわち副ワード線SWの電
位は充分にHになるようになっている。
【0013】副ワード線SWを非選択状態とするには、
主ワード線MWの電位をLとしてその逆相信号をHとす
ることによりなされる。
【0014】図9の回路は、1992年のEurope
an Solid State Circuits C
onferenceにおける“A 33−ns 64−
MbDRAM with Master Wordli
ne Architecture”に開示のものであ
り、2つのNMOSトランジスタ55,56と1つのP
MOSトランジスタ54からなる。
【0015】トランジスタ54は副ワード線SWを選択
状態にドライブするためのドライブ用トランジスタであ
り、トランジスタ56は副ワード線SWを非選択状態に
リセットするためのリセット用トランジスタであり、ト
ランジスタ55は副ワード線SWのフローティングを防
止するフローティング防止用トランジスタである。
【0016】トランジスタ54のゲートには主ワード線
MWの電位が直接供給され、トランジスタ54のソース
にはアドレス信号RAが供給されている。トランジスタ
55のゲートには主ワード線MWの電位が供給され、ト
ランジスタ56のゲートにはアドレス信号RAの逆相信
号(反転RA)が供給されている。そして、トランジス
タ54〜56の共通ドレインに副ワード線SWが接続さ
れている。
【0017】図10は図9の回路の各部,信号の波形例
を示しており、副ワード線SWを選択状態とする場合
は、先ずアドレス信号RAをHにし、同時にその逆相信
号(反転RA)をLとすると共に、主ワード線MWの電
位をLとする。
【0018】副ワード線SWを非選択状態にするには、
アドレス信号RAをL,その逆相信号をHとする。ま
た、副ワード線をL(非選択状態)に維持するときに
は、主ワード線MWをHとしておくことで、トランジス
タ55により副ワード線SWのL状態が維持されフロー
ティング防止が可能となる。
【0019】図11の回路は、1995年のISSCC
Digest of Technical Pape
rs,pp.250−251,Feb.1995,“A
159MHz 8−Banks 256M Sync
hronous DRAMwith Wave Pip
ling Methods”に開示のものであり、3つ
のNMOSトランジスタ57〜59からなる。
【0020】トランジスタ57は副ワード線SWを選択
状態にドライブするものであり、トランジスタ59はト
ランジスタ57のゲートへアドレス信号RAを伝達する
ものであり、トランジスタ58は副ワード線SWを非選
択状態にリセットするものである。
【0021】トランジスタ57のドレインには主ワード
線MWが接続されており、トランジスタ58のゲートに
はアドレス信号RAの逆相信号が印加されている。トラ
ンジスタ59のゲートには、このトランジスタが常時オ
ンするに充分な電位VB が印加されており、そのドレイ
ンにはアドレス信号RAが印加されている。トランジス
タ57のソースとトランジスタ58のドレインとの共通
接続点により副ワード線SWが駆動される。
【0022】図12は図11の回路の各部動作波形例を
示しており、副ワード線SWを選択状態とするには、先
ず主ワード線MWをHとし、次にアドレス信号RAをH
とすると同時にその逆相信号をLとする。
【0023】副ワード線SWを非選択状態にするには、
アドレス信号RAをLとし、その逆相信号をHとする。
また、副ワード線SWを非選択状態に維持しておくに
は、アドレス信号RAをL,その逆相信号をHとするこ
とで可能である。
【0024】尚、副ワード線SWの選択時、トランジス
タ57のゲートN3の電位は伝達ゲートトランジスタ5
9の作用によりVB レベルよりも持ち上げられ(ブース
トされ)、従って、トランジスタ57のソース電位すな
わち副ワード線SWの電位は充分Hになるようになって
いる。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】図7に示した分割デコ
ーダにおいては、主ワード線MWの電位と逆相関係にあ
る信号(反転MW)を用いており、従って、これ等主ワ
ード線MWとその逆相信号線との間の微小リーク電流や
ショートによる短絡電流等の不良電流を救済できないと
いう欠点がある。
【0026】図9の回路では、P型MOSトランジスタ
とN型MOSトランジスタとを用いるCMOS構成であ
るために、半導体基板上におけるPウェルとNウェルと
の分離のためのPN分離領域が必要となり、IC化時に
おけるチップ面積の増大を招く欠点がある。
【0027】図11の回路では、アドレス信号RAがト
ランジスタ57のゲートへ入力される構成であるので、
アドレス信号RAの負荷容量が大となり、それだけアド
レス信号RAの駆動回路を大きくすることが必要とな
り、これまたチップ面積の増大を招くことになる。
【0028】本発明の目的は、全て同一導電型のトラン
ジスタ素子で構成でき、アドレス信号をトランジスタ素
子のドレインへ入力できるようにして、回路全体のIC
化時のチップ面積の増大を抑止可能とした半導体記憶装
置を提供することである。
【0029】本発明の他の目的は、主ワード線の信号の
逆相の信号を用いることがない半導体記憶装置を提供す
ることである。
【0030】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、行アド
レス信号の一部をデコードする主デコーダ回路と、この
主デコーダ回路の出力により駆動される主ワード線と、
前記アドレス信号の残余の信号と前記主ワード線の信号
とをデコードする分割デコーダ回路と、この分割デコー
ダ回路の出力により駆動される副ワード線と含む半導体
記憶装置であって、前記分割デコーダ回路は、前記副ワ
ード線を選択状態の電位にドライブすべくドレインに前
記アドレス信号の残余の信号が供給され、ソースに前記
副ワード線が接続されたドライブ用トランジスタ素子
と、このドライブ用トランジスタ素子のゲートに対して
前記主ワード線の電位を伝達するための伝達ゲート用ト
ランジスタ素子と、前記副ワード線を非選択状態の電位
にリセットすべくドレインに前記副ワード線が接続さ
れ、ソースにリセット電位が供給され、またゲートに前
記アドレス信号の残余の信号の逆相信号が供給されたリ
セット用トランジスタ素子と、前記副ワード線のフロー
ティング状態を防止すべくトレインに前記主ワード線の
電位が供給され、ソースに前記副ワード線が接続され、
またゲートに前記アドレス信号の残余の信号が供給され
たフローティング防止用トランジスタ素子と、を有する
ことを特徴とする半導体記憶装置が得られる。
【0031】
【発明の実施の形態】本発明の作用は次の如くである。
副ワード線を選択状態にするには、主ワード線の電位を
Hとしてドライブ用トランジスタのゲートを駆動し、こ
のドライブ用トランジスタのドレインのアドレス信号を
Hとして、ソースの副ワード線をHにドライブする。副
ワード線を非選択状態にリセットするには、アドレス信
号をH,その逆相信号をLとしてリセット用トランジス
タ及びドライブ用トランジスタの両者で副ワード線をリ
セット電位とする。
【0032】副ワード線をリセット電位に維持するに
は、主ワード線の電位もアドレス信号もLとし、アドレ
ス信号の逆相信号をHとすることで可能である。そし
て、主ワード線の電位がLでかつアドレス信号がHの時
には、フローティング防止用のトランジスタを設けてお
きこのトランジスタをオンさせて副ワード線のフローテ
ィングを抑え、リセット状態を維持する。
【0033】以下、図面を用いて本発明の実施例につい
て説明する。
【0034】図1は本発明の実施例の回路図である。図
1において、4つのNMOSトランジスタ1〜4からな
っており、トランジスタ2は副ワード線SWの選択時の
ドライブ用トランジスタであり、トランジスタ1はトラ
ンジスタ2のゲートへの主ワード線MWの電位を供給制
御する伝達ゲート用トランジスタである。
【0035】また、トランジスタ3は副ワード線SWの
非選択時のリセット用トランジスタであり、トランジス
タ4は副ワード線SWの非選択時のフローティング防止
用トランジスタである。
【0036】トランジスタ1のドレインには主ワード線
MWが接続され、そのゲートにはこのトランジスタを常
時オンせしめるに充分な固定電圧VB が印加されてお
り、そのソースはトランジスタ2のゲート入力となって
いる。
【0037】トランジスタ2のドレインにはアドレス信
号RAが供給されており、そのソースに副ワード線が接
続されている。トランジスタ3のゲートにはアドレス信
号RAの逆相信号(反転RA)が印加され、ソースは接
地されている。そして、トランジスタ3のドレインに副
ワード線SWが接続されている。
【0038】トランジスタ4のドレインには主ワード線
MWが接続されており、そのゲートにはアドレス信号R
Aが印加され、ソースに副ワード線SWが接続されてい
る。
【0039】図2は図1の回路の各部信号波形例を示す
図である。副ワード線SWを選択するには、先ず主ワー
ド線MWの電位をHとしてトランジスタ2のゲート(ノ
ードN1)へトランジスタ1を介して伝達する。しかる
後に、アドレス信号RAをH,その逆相信号をLとする
ことにより、トランジスタ2によって副ワード線SWを
Hにドライブする。
【0040】この場合、ドライブトランジスタ2のゲー
トであるノードN1は、伝達ゲートトランジスタ1の作
用によりVB レベルよりも持ち上げられ(ブーストさ
れ)、従ってトランジスタ2のソース電位すなわち副ワ
ード線SWの電位は充分にH(VB レベル)になる。
【0041】副ワード線SWを非選択状態にリセットす
る時には、アドレス信号RAをL,その逆相信号をHと
することにより、リセットトランジスタ3がオンとなり
副ワード線SWの電位はアース電位にリセットされる。
【0042】次に、この副ワード線SWをL(リセット
状態)に維持するには、主ワード線MWの電圧をH,ア
ドレス信号RAをL,その逆相信号をHとすると、トラ
ンジスタ2,トランジスタ3が共にオンとなって、副ワ
ード線SWはトランジスタ3を介してLレベルのアドレ
ス信号RAに接続されるために、リセット状態に維持さ
れるのである。
【0043】主ワード線MWがLで,アドレス信号RA
がL,その逆相信号がHであれば、トランジスタ3がオ
ンとなり、副ワード線SWはトランジスタ3を介してア
ース電位となってLレベルに保持される。
【0044】主ワード線MWがLで、アドレス信号RA
がH,その逆相信号がLであれば、トランジスタ4がオ
ンとなり、副ワード線SWはトランジスタ4を介してL
レベルの主ワード線MWと接続されるので、Lレベルに
維持される。
【0045】図3は主ワード線MW,アドレス信号R
A,副ワード線SWの論理レベルの関係を示しており、
また各場合における副ワード線SWのプルアップ/ダウ
ンの状態及びその経路(図1の一点鎖線矢印a〜c)を
まとめて示したものである。
【0046】この回路では、全て同一導電型のMOSト
ランジスタを用い、また主ワード線MWの逆相信号を用
いる必要がなく、更にどの様な条件の時でも、副ワード
線SWはフローティング状態になることはない。
【0047】図4は本発明の他の実施例を示す図であ
り、図1と同等部分は同一符号により示されている。図
1と異なる部分についてのみ述べると、伝達ゲートトラ
ンジスタ1のゲートに加えた電圧を固定のVB の代り
に、アドレス信号RAの逆相信号(反転RA)としたも
のであり、他は図1の回路と同一である。
【0048】図5は図4の回路の各部動作波形例を示す
図である。副ワード線SWを選択する時、先ず主ワード
線MWの電位をHにし、次にアドレス信号RAをHとす
ることにより、ドライブトランジスタ2のゲート電位
(N1の電位)をブーストする。この時、同時にアドレ
ス信号の逆相信号がLとなるので、トランジスタ1がオ
フとなり、よってトランジスタ2のゲート電位がブース
トされたレベルから降下しなくなり、効率が良い。ま
た、トランジスタ1のゲートへの電源供給ライン(図1
のVB ライン)が不要となり、IC化に適する。
【0049】他の動作は図1のそれと同一であるが、ア
ドレス信号の逆相信号のHレベルは、図1の回路ではト
ランジスタ3をオンさせるのに充分な電圧レベルで良い
ために、図2に示す如くVB >VCCなるVCCレベルで良
いが、図4の回路では図5に示す如く、伝達ゲートトラ
ンジスタ1を充分オンさせて、トランジスタ2のゲート
のブーストを効果的にするために、アドレス信号の逆相
信号のHレベルもVBとしている。
【0050】
【発明の効果】叙上の如く、本発明によれば、分割デコ
ーダを全て同一導電型のMOSトランジスタで構成し、
主ワード線の逆相信号を用いないようにし、かつアドレ
ス信号をトランジスタのドレインへ入力できるように
し、更に、主ワード線と副ワード線との間にフローティ
ング防止用トランジスタを設けたので、占有面積が小さ
く、アドレス信号の負荷が小さく、主ワード線間の電源
リークがなく、更に副ワード線のフローティングがない
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の回路図である。
【図2】図1の回路の各部信号の波形例を示す図であ
る。
【図3】図1の回路の入出力関係を示す論理表である。
【図4】本発明の他の実施例の回路図である。
【図5】図4の回路の各部信号波形を示す図である。
【図6】ワード線階層化型のDRAMの概略ブロック図
である。
【図7】分割デコーダの従来の一例を示す回路図であ
る。
【図8】図7の回路の各部信号波形例を示す図である。
【図9】分割デコーダの従来の他の例を示す回路図であ
る。
【図10】図9の回路の各部信号波形例を示す図であ
る。
【図11】分割デコーダの従来の別の例を示す回路図で
ある。
【図12】図11の回路の各部信号波形例を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 伝達ゲート用トランジスタ 2 ドライブ用トランジスタ 3 リセット用トランジスタ 4 フローティング防止用トランジスタ RA アドレス信号 MW 主ワード線 SW 副ワード線

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行アドレス信号の一部をデコードする主
    デコーダ回路と、この主デコーダ回路の出力により駆動
    される主ワード線と、前記アドレス信号の残余の信号と
    前記主ワード線の信号とをデコードする分割デコーダ回
    路と、この分割デコーダ回路の出力により駆動される副
    ワード線と含む半導体記憶装置であって、 前記分割デコーダ回路は、 前記副ワード線を選択状態の電位にドライブすべくドレ
    インに前記アドレス信号の残余の信号が供給され、ソー
    スに前記副ワード線が接続されたドライブ用トランジス
    タ素子と、 このドライブ用トランジスタ素子のゲートに対して前記
    主ワード線の電位を伝達するための伝達ゲート用トラン
    ジスタ素子と、 前記副ワード線を非選択状態の電位にリセットすべくド
    レインに前記副ワード線が接続され、ソースにリセット
    電位が供給され、またゲートに前記アドレス信号の残余
    の信号の逆相信号が供給されたリセット用トランジスタ
    素子と、 前記副ワード線のフローティング状態を防止すべくトレ
    インに前記主ワード線の電位が供給され、ソースに前記
    副ワード線が接続され、またゲートに前記アドレス信号
    の残余の信号が供給されたフローティング防止用トラン
    ジスタ素子と、 を有することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記伝達ゲート用トランジスタ素子のゲ
    ートには、このトランジスタを常時オン状態とするに十
    分な固定電位が供給されていることを特徴とする請求項
    1記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記伝達ゲート用トランジスタ素子のゲ
    ートには、前記アドレス信号の残余の信号の逆相信号が
    供給されていることを特徴とする請求項1記載の半導体
    記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記ドライブ用トランジスタ素子、前記
    伝達ゲート用トランジスタ素子、前記リセット用トラン
    ジスタ素子及び前記フローティング防止用トランジスタ
    素子は全て同一導電型のトランジスタ素子であることを
    特徴とする請求項1〜3いずれか記載の半導体記憶装
    置。
  5. 【請求項5】 前記トランジスタ素子の全てはN型MO
    Sトランジスタ素子であり、前記副ワード線の選択開始
    時には、前記主ワード線の電位がハイレベルに遷移後に
    前記アドレス信号の残余の信号がハイレベルに遷移する
    よう構成されていることを特徴とする請求項4記載の半
    導体記憶装置。
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