JPH0953847A - クリーンルームの制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各室内別に空調制御を行っていたのでは、統
括管理できず、該当する室内の基準が変わった場合には
その室内に行って調整を行わなければならない。また、
クリーンベンチを備えたものにあっては、電力の無駄を
生じたり、フィルターの交換頻度を高くすることがあ
る。 【解決手段】 複数のクリーンルーム１，２と、各クリ
ーンルーム１，２に個別に配置された空調機５，６およ
びパーティクルカウンタ８と、各パーティクルカウンタ
８の値を入力するとともに、前記各空調機５，６に接続
された統括制御装置９とを備え、制御装置９は各カウン
タ値に応じて各空調機５，６を個別制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、複数のクリーン
ルームの清浄度をその室内空間に応じて効率的に制御で
きるようにしたクリーンルームの制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体工場、薬品工場などのように高度
な清浄度を要求される室内空間がある場合には、空調機
を稼働して濾過された清浄空気を送り込むとともに、こ
れと室内空気を混合状態にして室内の汚染濃度を均一に
しつつ排出して濾過循環することによって空気中の塵埃
を除去するようにしている。

【０００３】この場合、建物内のクリーンルームが一つ
であって、クリーン度が同一レベルである場合には、一
台の空調機を稼働すればよいが、建物内にクリーンルー
ムが多数あって、それぞれの室内容積が異なる場合、一
台の空調機で全室内を清浄化しようとすると、その容量
が極めて大きくなものを必要とするうえ、ある室内では
清浄化程度が要求されるレベルより過大となったり、過
小となってしまうため、各室内別にその室内容積や清浄
化レベルに応じた容量や仕様の空調機を個別に設けた方
が有利である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各室内
別に空調制御を行っていたのでは、清浄化の基準がまち
まちになってしまい、全室を統括管理できず、該当する
室内の基準が変わった場合にはその室内に行って調整を
行わなければならない。またクリーンルーム間がドアな
どを介して連通している場合には出入りに応じてもその
影響が生ずる。

【０００５】さらには、クリーンルーム内にはクリーン
ベンチと称するさらに清浄な作業空間を設けている場合
が多いが、このクリーンベンチ内の空調は室内とは無関
係に稼働している場合が多く、例えばクリーンベンチ内
が高度に清浄化していても室内が汚染されている場合に
は、これの内部も影響を受け、空調機を強運転しなけれ
ばならないという悪循環に陥る不具合があり、特定の空
調機のみ負荷がかかり、電力の無駄を生じたり、フィル
ターの交換頻度を高くする。

【０００６】この種の空調機は高清浄度を要求されるた
め、常時稼働している場合が多く、経済性などに与える
影響が高いものとなる。

【０００７】この発明は、以上の問題を解決するために
なされたものであり、各クリーンルーム内およびクリー
ンベンチ内に個別に空調機を有するものにおいて、これ
ら各空調機を一箇所で統括制御することによって、特定
の空調機のみに負荷を与えることなく経済的な運転を行
えるようにしたクリーンルームの制御装置を提供するこ
とを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のうち請求項１に記載のものは、複数のクリ
ーンルームと、該各クリーンルームに個別に配置された
空調機およびパーティクルカウンタと、該各パーティク
ルカウンタの値を入力するとともに、前記各空調機に接
続された統括制御装置とを備え、該制御装置は各カウン
タ値に応じて各空調機を個別制御することによって、制
御装置は、各クリーンルーム内の運転状態、浄化程度を
一箇所でモニタし、これに応じた運転制御を行う。。

【０００９】また、本発明のうち請求項２に記載のもの
では、前記各クリーンルームにはそれぞれ一つのクリー
ンベンチを備えるとともに、空調機およびパーティクル
カウンタを備え、前記制御装置は、それぞれのカウンタ
値に応じて前記クリーンルームおよび／またはクリーン
ベンチのそれぞれに設けられた前記空調機を個別制御す
ることにより、クリーンルームのみならず、クリーンベ
ンチ内も一箇所でモニタし、これに応じた運転制御がな
される。

【００１０】さらにこの発明では、前記制御装置は、前
記クリーンルーム内のカウンタ値と、クリーンベンチ内
のカウンタ値を比較する手段と、該比較結果に基づき、
それぞれの空調機の制御量を可変設定する手段とを備え
るによって、クリーンルームとクリーンベンチのいずれ
か一方を強運転とすることがない。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図面を参照して詳細に説明する。

【００１２】図１はこの発明の第一実施形態を示すもの
である。図における建物は、クリーンルーム１，２、空
調機室３、コントロール室４が備えられている。

【００１３】クリーンルーム１，２はそれぞれ空調機室
３内に配置された空調機５，６に個別に接続されるもの
で、各クリーンルーム１，２の天井裏にはそれぞれＨＥ
ＰＡフィルター７が配置され、空調機５，６から給気ダ
クトＳＡを通じて送風された空調空気はフィルター７を
通過することによって清浄化され、各室内の天井面から
層流状態となって降下し、床面のグレーチングを透過し
床下から換気ダクトＲＡを通じて各空調機５，６に循環
することによって、最も高い清浄度を実現するようにし
ている。

【００１４】各クリーンルーム１、２の適宜位置にはパ
ーティクルカウンター８が配置されている。パーティク
ルカウンター８は、粒子の個数をカウントする検知器で
あって、汚染度を粒子の個数濃度として検出する。な
お、一般環境では重量濃度の検出で充分であるが、クリ
ーンルームでは０．３μｍ以上の粒子が３０cm立方の中
に一個など、かなりの清浄度を要求されるため、個数濃
度として検出するようにしている。

【００１５】この各カウンター８の検出値はコントロー
ル室４内に配置された統括制御装置９に入力される。

【００１６】制御装置９は、各カウンター８の検出値を
モニタするとともに、この検出値に基づき、各空調機の
５，６の制御を個別に行うもので、図２に示すように、
しきい値設定器９ａ、比較器９ｂ、および各空調機５，
６に接続した運転制御用の運転切替器９ｃなどを備え、
設定器９ａの値と各カウンター８からの入力信号を比較
器９ｂで比較し、入力信号が設定値より小さい場合に
は、各空調機５，６を低出力運転状態とし、設定値を越
えると高出力運転状態に切り替える。

【００１７】図においては、クリーンルーム１で人が作
業し、またクリーンルーム２は空室となっており、必然
的にクリーンルーム１の内部は塵埃が発生しやすく、ま
たクリーンルーム２内は塵埃の発生がほとんどない。し
たがって、制御装置９はカウンター８の出力状態を判断
することによってクリーンルーム１側の空調機５を強運
転するとともに、クリーンルーム２側の空調機６を弱運
転に制御する。

【００１８】さらに土日などクリーンルーム１，２に人
の出入りが無い場合にはその検出値を元に全てを弱運転
などに制御し、これによって電力の無駄を省き、フィル
ターの交換頻度を低減させることが出来る。

【００１９】さらには、各室内の清浄度の基準を変更す
る場合には、それぞれ設定器９ａの設定値を変更するだ
けで対応できる。

【００２０】図３は、この発明の第二実施形態を示すも
のである。この実施形態においては、クリーンルーム２
０内に清浄化作業空間としてのクリーンベンチ２２を備
えており、クリーンルーム２０は前記と同様の構造で空
調機２４によって清浄化されるとともに、カウンター２
６によって汚染度を検出され、制御装置２８によって制
御される。

【００２１】クリーンベンチ２２の上部には空調機３０
が設けられ、フィルター３２を介して内部に清浄化され
た空気が送られている一方、その床は室内床面と共通の
グレーチングであり、この部分を通じて前記空調機２４
側に循環されている。

【００２２】また、この空調機３０も前記空調機２４と
同様に制御装置２８によって駆動制御されるもので、カ
ウンター３４を備えている。

【００２３】制御装置２８は、前記各カウンター２６，
３４の検出値の差または比を比較する手段２８ａと、こ
の比較結果に応じてそれぞれの空調機２４，３０を切換
運転する切換器２８ｂを備えており、両者の差または比
が大きい場合には大きい側を強運転とし、小さい側を弱
運転とする。また、これによって差または比が小さくな
るとそれに応じた平均化した運転に制御を切換え、これ
によって空調機２４，３０の負荷を平均化させる。した
がって、クリーンベンチ２２内が高度に清浄化していて
も室内が汚染されている場合には、これの内部も影響を
受け、空調機を強運転しなければならない悪循環を防止
できることになる。

【００２４】なお、前記各実施形態では制御装置をディ
スクリート回路を用いて説明したが、コンピュータなど
のソフトウエアにより制御することも可能であることは
勿論である。

【００２５】

【発明の効果】以上各実施形態により詳細に説明したよ
うに、請求項１の発明によるクリーンルームの制御装置
にあっては、制御装置は各クリーンルーム内の運転状
態、浄化程度を一箇所でモニタし、これに応じた運転制
御を行うため、個々にクリーンルームで個別に制御する
場合に比べて電力使用量を削減できるとともに、フィル
ターの交換頻度も低減でき、また個別の設定を行う場合
にも便利なものとなる。

【００２６】請求項２の構成によれば、クリーンルーム
のみならず、クリーンベンチ内も一箇所でモニタし、こ
れに応じた運転制御がなされる利点がある。

【００２７】請求項３の構成によれば、クリーンルーム
とクリーンベンチのいずれか一方を強運転とすることな
く、調和の取れた運転形態とすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第一実施形態によるクリーンルーム
のシステム構成を示す説明図である。

【図２】同システムに用いる制御装置の電気的構成を示
すブロック図である。

【図３】この発明の第二実施形態を示す説明図である。

【符号の説明】

１，２，２０ クリーンルーム ５，６，２４，３０ 空調機 ８，２６，３４ パーティクルカウンター ９，２８ 制御装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のクリーンルームと、該各クリーン
   ルームに個別に配置された空調機およびパーティクルカ
   ウンタと、該各パーティクルカウンタの値を入力すると
   ともに、前記各空調機に接続された統括制御装置とを備
   え、該制御装置は各カウンタ値に応じて各空調機を個別
   制御することを特徴とするクリーンルームの制御装置。
2. 【請求項２】 前記各クリーンルームにはそれぞれ一つ
   のクリーンベンチを備えるとともに、空調機およびパー
   ティクルカウンタを備え、前記制御装置は、それぞれの
   カウンタ値に応じて前記クリーンルームおよび／または
   クリーンベンチのそれぞれに設けられた前記空調機を個
   別制御することを特徴とする請求項１記載のクリーンル
   ームの制御装置。
3. 【請求項３】 前記制御装置は、前記クリーンルーム内
   のカウンタ値と、クリーンベンチ内のカウンタ値を比較
   する手段と、該比較結果に基づき、それぞれの空調機の
   制御量を可変設定する手段とを備えることを特徴とする
   請求項２記載のクリーンルームの制御装置。