JPH06174279A - クリーンルームの清浄度維持装置 - Google Patents
クリーンルームの清浄度維持装置Info
- Publication number
- JPH06174279A JPH06174279A JP35000992A JP35000992A JPH06174279A JP H06174279 A JPH06174279 A JP H06174279A JP 35000992 A JP35000992 A JP 35000992A JP 35000992 A JP35000992 A JP 35000992A JP H06174279 A JPH06174279 A JP H06174279A
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- Japan
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- clean room
- hepa filter
- hepa
- cleanliness
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 １系統の電源系に異常があっても、クリーン
ルームの清浄度が著しく低下しないようにすること。 【構成】 一方のヘパフィルタ群２Ａは内調機５内のブ
レーカ１０から電源切替盤１４を介して電源ＩＩへ接続
され、また、他方のヘパフィルタ群２Ｂは内調機６内の
ブレーカ１１から電源切替盤１５を介して電源ＩＩＩへ
接続される。ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの配置は、千鳥
状もしくは市松状に配置されている。これによって、複
数の供給電源系（電源ＩＩ，電源ＩＩＩ）に分けられた
ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの各ヘパフィルタ２を平均的
にそれぞれ分散して、クリーンルーム内に配置したの
で、異常時における最低１系統のみのヘパフィルタ群へ
の電源供給であっても、分散配置されたヘパフィルタに
より、クリーンルーム全体があるレベルの清浄度を維持
することができる。
ルームの清浄度が著しく低下しないようにすること。 【構成】 一方のヘパフィルタ群２Ａは内調機５内のブ
レーカ１０から電源切替盤１４を介して電源ＩＩへ接続
され、また、他方のヘパフィルタ群２Ｂは内調機６内の
ブレーカ１１から電源切替盤１５を介して電源ＩＩＩへ
接続される。ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの配置は、千鳥
状もしくは市松状に配置されている。これによって、複
数の供給電源系（電源ＩＩ，電源ＩＩＩ）に分けられた
ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの各ヘパフィルタ２を平均的
にそれぞれ分散して、クリーンルーム内に配置したの
で、異常時における最低１系統のみのヘパフィルタ群へ
の電源供給であっても、分散配置されたヘパフィルタに
より、クリーンルーム全体があるレベルの清浄度を維持
することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高清浄度が要求されるク
リーンルームの清浄度維持装置に関するものである。
リーンルームの清浄度維持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造においては、高清浄度の雰
囲気を要求する工程があり、このような現場には他の作
業エリアと隔離をする施設、例えばクリーンルームが設
置されている。
囲気を要求する工程があり、このような現場には他の作
業エリアと隔離をする施設、例えばクリーンルームが設
置されている。
【０００３】図３は、従来のクリーンルームの概略構成
を示した側断面図である。クリーンルーム１は、図３に
示すように天井部にＨＥＰＡ(High Efficiency Particl
e Airfilter：以下、ヘパフィルタという）２が設置さ
れ、床面には室内に導入した空気を排出するための多孔
板床３が設けられている。このような構造のクリーンル
ーム１にあって、その室内４は、ヘパフィルタ２の群
（この例では２Ａ，２Ｂ）上部及び床下に上下にそれぞ
れ一対のダクト口（５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ）が設けら
れ、これらダクト口の上下間は循環経路が形成されてお
り、その途中に送風ファンを有する二次空調設備として
の内調機５，６が配設されている。また、ダクト口５
ｂ，６ｂには、ダクト７ａ，７ｂが接続されて一つの通
路が形成され、その途中に送風ファンを有する一次空調
設備としての外調機７が配設されている。なお、ここで
は図示を省略しているが、室内４の空気の全量が内調機
５，６に戻されるわけではなく、一部がクリーンルーム
１外へ排出される。
を示した側断面図である。クリーンルーム１は、図３に
示すように天井部にＨＥＰＡ(High Efficiency Particl
e Airfilter：以下、ヘパフィルタという）２が設置さ
れ、床面には室内に導入した空気を排出するための多孔
板床３が設けられている。このような構造のクリーンル
ーム１にあって、その室内４は、ヘパフィルタ２の群
（この例では２Ａ，２Ｂ）上部及び床下に上下にそれぞ
れ一対のダクト口（５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ）が設けら
れ、これらダクト口の上下間は循環経路が形成されてお
り、その途中に送風ファンを有する二次空調設備として
の内調機５，６が配設されている。また、ダクト口５
ｂ，６ｂには、ダクト７ａ，７ｂが接続されて一つの通
路が形成され、その途中に送風ファンを有する一次空調
設備としての外調機７が配設されている。なお、ここで
は図示を省略しているが、室内４の空気の全量が内調機
５，６に戻されるわけではなく、一部がクリーンルーム
１外へ排出される。
【０００４】以上の構成において、外調機７により外気
が取り込まれ、内調機５，６が必要とする温度及び湿度
の第１次空調を行う。第１次空調後の空気はダクト７
ａ，７ｂを介して内調機５，６に送り込まれ、これら内
調機５，６においてクリーンルーム１が必要とする温度
及び湿度の第２次空調が実施される。また、ヘパフィル
タ群２Ａ，２Ｂは内調機５，６からそれぞれダクト５
ａ，６ａを通して供給される空気をクリーンルーム１が
必要とする清浄度へろ過する。さらに、内調機５，６か
ら供給された空気がヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂ間で混合
しないように隔離壁８を設けている。
が取り込まれ、内調機５，６が必要とする温度及び湿度
の第１次空調を行う。第１次空調後の空気はダクト７
ａ，７ｂを介して内調機５，６に送り込まれ、これら内
調機５，６においてクリーンルーム１が必要とする温度
及び湿度の第２次空調が実施される。また、ヘパフィル
タ群２Ａ，２Ｂは内調機５，６からそれぞれダクト５
ａ，６ａを通して供給される空気をクリーンルーム１が
必要とする清浄度へろ過する。さらに、内調機５，６か
ら供給された空気がヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂ間で混合
しないように隔離壁８を設けている。
【０００５】また、図２（ａ）は、従来のヘパフィルタ
群２Ａ，２Ｂの配置に対応して設けられた空調機（送風
ファンを備える）への電源供給を説明するためのブロッ
ク図であり、同図（ｂ）は、クリーンルーム内の天井に
おけるヘパフィルタ配置を示す配置図である。
群２Ａ，２Ｂの配置に対応して設けられた空調機（送風
ファンを備える）への電源供給を説明するためのブロッ
ク図であり、同図（ｂ）は、クリーンルーム内の天井に
おけるヘパフィルタ配置を示す配置図である。
【０００６】２つのヘパフィルタ群２Ａ（Ａ−１，Ａ−
２，…，Ａ−６），２Ｂ（Ｂ−１，Ｂ−２，…，Ｂ−
６）は、同図（ｂ）に示すよう順序よく配置されてい
る。また、各ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂは同図（ａ）に
示したように、各々個別の空調機（内調機）が設けら
れ、各ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの内調機５，６への電
源の供給は、各内調機５，６に備えられた送風ファンに
接続された各々のブレーカ１０，１１から共通の電源切
替盤１３を介して１つの電源Ｉ、もしくは電源Ｉの異常
時には、非常用発電機１２に接続することによりなされ
ている。
２，…，Ａ−６），２Ｂ（Ｂ−１，Ｂ−２，…，Ｂ−
６）は、同図（ｂ）に示すよう順序よく配置されてい
る。また、各ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂは同図（ａ）に
示したように、各々個別の空調機（内調機）が設けら
れ、各ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの内調機５，６への電
源の供給は、各内調機５，６に備えられた送風ファンに
接続された各々のブレーカ１０，１１から共通の電源切
替盤１３を介して１つの電源Ｉ、もしくは電源Ｉの異常
時には、非常用発電機１２に接続することによりなされ
ている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のク
リーンルームにおけるヘパフィルタの配置、及びこの配
置によるヘパフィルタ群を備えた送風ファン（内調機）
への電源供給回路の構成にすると、以下のような問題点
を生ずる。 ヘパフィルタ群への供給電源系は、１系統のみであ
り、その系統が停電すると、ヘパフィルタは全数一斉に
運転を停止し、クリーンルームの清浄度は著しく悪化す
る。 ヘパフィルタ群への１系統の供給電源系に非常用発電
機から、全ヘパフィルタ群へ電源を供給することになっ
ており、非常用発電機への負荷が大きくなりすぎてい
た。このため、非常用電源を他の設備が必要とした場
合、ヘパフィルタ群への非常用電源供給を一斉に停止し
なければならず、段階的な最低限の清浄度を維持するこ
とができなかった。 ヘパフィルタ群は、供給電源系末端のブレーカ単位に
複数個ずつ分割されているが、その複数個が、クリーン
ルーム内に平均的に分散されず、クリーンルーム内のあ
る区画単位に配置されているため、ブレーカダウン時
は、クリーンルーム内のある区画のみ著しく清浄度が悪
化する。
リーンルームにおけるヘパフィルタの配置、及びこの配
置によるヘパフィルタ群を備えた送風ファン（内調機）
への電源供給回路の構成にすると、以下のような問題点
を生ずる。 ヘパフィルタ群への供給電源系は、１系統のみであ
り、その系統が停電すると、ヘパフィルタは全数一斉に
運転を停止し、クリーンルームの清浄度は著しく悪化す
る。 ヘパフィルタ群への１系統の供給電源系に非常用発電
機から、全ヘパフィルタ群へ電源を供給することになっ
ており、非常用発電機への負荷が大きくなりすぎてい
た。このため、非常用電源を他の設備が必要とした場
合、ヘパフィルタ群への非常用電源供給を一斉に停止し
なければならず、段階的な最低限の清浄度を維持するこ
とができなかった。 ヘパフィルタ群は、供給電源系末端のブレーカ単位に
複数個ずつ分割されているが、その複数個が、クリーン
ルーム内に平均的に分散されず、クリーンルーム内のあ
る区画単位に配置されているため、ブレーカダウン時
は、クリーンルーム内のある区画のみ著しく清浄度が悪
化する。
【０００８】本発明はかかる従来の課題を解決するため
になされたもので、電源系統が１つ停電しても全部のヘ
パフィルタの機能は停止せず、また、ヘパフィルタの一
部のみによる部分的作動を一時的に余儀なくされてもク
リーンルームの清浄度が著しく悪化するのを防止するこ
とのできるクリーンルームの清浄度維持装置を提供する
ことを目的とする。
になされたもので、電源系統が１つ停電しても全部のヘ
パフィルタの機能は停止せず、また、ヘパフィルタの一
部のみによる部分的作動を一時的に余儀なくされてもク
リーンルームの清浄度が著しく悪化するのを防止するこ
とのできるクリーンルームの清浄度維持装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明のクリーンルームの清浄度維持装置は、
請求項１において、ヘパフィルタ群を備えた前記各送風
ファンへの供給電源系を複数系統に分割する構成を有す
るものであり、また、請求項２において、複数系統に分
割された各供給電源系は、それぞれ選択的に非常用電源
に接続可能な構成を有するものであり、さらに、請求項
３において、ヘパフィルタ群を構成する各々のヘパフィ
ルタはクリーンルーム内に平均的に混合分散して配置さ
れるものであり、特に、請求項４において、平均的に混
合分散して配置される各々のヘパフィルタは千鳥状また
は市松状に配置されるものである。
めに、この発明のクリーンルームの清浄度維持装置は、
請求項１において、ヘパフィルタ群を備えた前記各送風
ファンへの供給電源系を複数系統に分割する構成を有す
るものであり、また、請求項２において、複数系統に分
割された各供給電源系は、それぞれ選択的に非常用電源
に接続可能な構成を有するものであり、さらに、請求項
３において、ヘパフィルタ群を構成する各々のヘパフィ
ルタはクリーンルーム内に平均的に混合分散して配置さ
れるものであり、特に、請求項４において、平均的に混
合分散して配置される各々のヘパフィルタは千鳥状また
は市松状に配置されるものである。
【００１０】
【作用】上記請求項１の構成を有することにより、 電源ＩＩ，ＩＩＩより各ブレーカ１０，１１を経由し
て各々のヘパフィルタ群へ給電され、それぞれのヘパフ
ィルタが運転される。
て各々のヘパフィルタ群へ給電され、それぞれのヘパフ
ィルタが運転される。
【００１１】また、請求項２の構成を有することによ
り、 例えば、電源ＩＩ停電時、従来は、全てのヘパフィル
タへの給電が止まるが、本発明では、Ａ系列のヘパフィ
ルタは停止するが、Ｂ系列のヘパフィルタは運転を継続
することができ、さらに、 非常用発電機からの給電を、本発明では、Ａ系列，Ｂ
系列にに選択的に受給することができ、給電負荷調整が
可能となる。
り、 例えば、電源ＩＩ停電時、従来は、全てのヘパフィル
タへの給電が止まるが、本発明では、Ａ系列のヘパフィ
ルタは停止するが、Ｂ系列のヘパフィルタは運転を継続
することができ、さらに、 非常用発電機からの給電を、本発明では、Ａ系列，Ｂ
系列にに選択的に受給することができ、給電負荷調整が
可能となる。
【００１２】そして、請求項３，４の構成を有すること
により、 ブレーカの一方がダウン時、従来は、例えばＡ系列の
ブレーカ１０がダウン時、クリーンルームの左半分のヘ
パフィルタが全て停止するが、本発明では、分散して平
均的に配置されたＢ系列のヘパフィルタが運転されてい
るので、クリーンルーム全体があるレベルの清浄度を維
持することができる。
により、 ブレーカの一方がダウン時、従来は、例えばＡ系列の
ブレーカ１０がダウン時、クリーンルームの左半分のヘ
パフィルタが全て停止するが、本発明では、分散して平
均的に配置されたＢ系列のヘパフィルタが運転されてい
るので、クリーンルーム全体があるレベルの清浄度を維
持することができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を図面を用いて説明する。
【００１４】図１は、本発明の第１の実施例である主要
部の概略構成を示す説明図である。図１（ａ）は、本発
明の第１の実施例であるヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの配
置に対応して設けられた空調機（送風ファンを備える）
への電源供給を説明するためのブロック図であり、同図
（ｂ）はクリーンルーム内の天井におけるヘパフィルタ
の配置を示す配置図である。なお、図１中で、図２，図
３と同一または相当の機能を有するものには、同一の符
号を付し、その説明は省略する。
部の概略構成を示す説明図である。図１（ａ）は、本発
明の第１の実施例であるヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの配
置に対応して設けられた空調機（送風ファンを備える）
への電源供給を説明するためのブロック図であり、同図
（ｂ）はクリーンルーム内の天井におけるヘパフィルタ
の配置を示す配置図である。なお、図１中で、図２，図
３と同一または相当の機能を有するものには、同一の符
号を付し、その説明は省略する。
【００１５】図１において、一方のヘパフィルタ群２Ａ
は、内調機５内のブレーカ１０から電源切替盤１４を介
して電源ＩＩへ接続され、また、他方のヘパフィルタ群
２Ｂは、内調機６内のブレーカ１１から電源切替盤１５
を介して、電源ＩＩＩへ接続される。
は、内調機５内のブレーカ１０から電源切替盤１４を介
して電源ＩＩへ接続され、また、他方のヘパフィルタ群
２Ｂは、内調機６内のブレーカ１１から電源切替盤１５
を介して、電源ＩＩＩへ接続される。
【００１６】従って、供給電源系（電源ＩＩ及び電源Ｉ
ＩＩ）を複数化したことにより、全ての供給電源系が一
斉に停電する心配はない。また、電源ＩＩ及び電源ＩＩ
Ｉに非常用発電機１３からそれぞれ選択的に電源供給が
可能となる。
ＩＩ）を複数化したことにより、全ての供給電源系が一
斉に停電する心配はない。また、電源ＩＩ及び電源ＩＩ
Ｉに非常用発電機１３からそれぞれ選択的に電源供給が
可能となる。
【００１７】次に、ヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの配置
は、図１（ｂ）に示すように、千鳥状もしくは市松状に
配置されている。これによって、複数の供給電源系（電
源ＩＩ，電源ＩＩＩ）に分けられたヘパフィルタ群２
Ａ，２Ｂの各ヘパフィルタ２を平均的にそれぞれ分散し
てクリーンルーム内に配置したので、例えば、異常時に
おける最低１系統のみのヘパフィルタ群への電源供給で
あっても、分散配置されたヘパフィルタにより、クリー
ンルーム全体があるレベルの清浄度を維持することがで
きる。
は、図１（ｂ）に示すように、千鳥状もしくは市松状に
配置されている。これによって、複数の供給電源系（電
源ＩＩ，電源ＩＩＩ）に分けられたヘパフィルタ群２
Ａ，２Ｂの各ヘパフィルタ２を平均的にそれぞれ分散し
てクリーンルーム内に配置したので、例えば、異常時に
おける最低１系統のみのヘパフィルタ群への電源供給で
あっても、分散配置されたヘパフィルタにより、クリー
ンルーム全体があるレベルの清浄度を維持することがで
きる。
【００１８】図２は、本発明の第２の実施例を示す回路
ブロック図である。図２中２Ａ′，２Ｂ′はヘパフィル
タ部であり、各ヘパフィルタＡ−１，Ａ−２，…，Ａ−
６及びＢ−１，Ｂ−２，…，Ｂ−６と、それらに接続さ
れた送風ファンＦＡ−１，ＦＡ−２，…，ＦＡ−６及び
ＦＢ−１，ＦＢ−２，…，ＦＢ−６とを備えている。ま
た、このヘパフィルタ部２Ａ′，２Ｂ′内の各ヘパフィ
ルタＡ−１，Ａ−２，…，Ａ−６及びＢ−１，Ｂ−２，
…，Ｂ−６の各々の配置は、図１（ｂ）に示した第１の
実施例における配置図と同じである。なお、図２中、図
１と同一符号は同一または相当の機能を有するので、そ
の説明は省略する。
ブロック図である。図２中２Ａ′，２Ｂ′はヘパフィル
タ部であり、各ヘパフィルタＡ−１，Ａ−２，…，Ａ−
６及びＢ−１，Ｂ−２，…，Ｂ−６と、それらに接続さ
れた送風ファンＦＡ−１，ＦＡ−２，…，ＦＡ−６及び
ＦＢ−１，ＦＢ−２，…，ＦＢ−６とを備えている。ま
た、このヘパフィルタ部２Ａ′，２Ｂ′内の各ヘパフィ
ルタＡ−１，Ａ−２，…，Ａ−６及びＢ−１，Ｂ−２，
…，Ｂ−６の各々の配置は、図１（ｂ）に示した第１の
実施例における配置図と同じである。なお、図２中、図
１と同一符号は同一または相当の機能を有するので、そ
の説明は省略する。
【００１９】図２において、一方のヘパフィルタ部２
Ａ′内の各々のヘパフィルタＡ−１，Ａ−２，…，Ａ−
６の各送風ファンＦＡ−１，ＦＡ−２，…，ＦＡ−６は
それぞれ、空調機５と共にブレーカ１０から電源切替盤
１４を介して電源ＩＩへ接続され、また、他方のヘパフ
ィルタ部２Ｂ′内の各々のヘパフィルタＢ−１，Ｂ−
２，…，Ｂ−６の各送風ファンＦＢ−１，ＦＢ−２，
…，ＦＢ−６はそれぞれ、空調機６と共にブレーカ１１
から電源切替盤１５を介して電源ＩＩＩへ接続される。
Ａ′内の各々のヘパフィルタＡ−１，Ａ−２，…，Ａ−
６の各送風ファンＦＡ−１，ＦＡ−２，…，ＦＡ−６は
それぞれ、空調機５と共にブレーカ１０から電源切替盤
１４を介して電源ＩＩへ接続され、また、他方のヘパフ
ィルタ部２Ｂ′内の各々のヘパフィルタＢ−１，Ｂ−
２，…，Ｂ−６の各送風ファンＦＢ−１，ＦＢ−２，
…，ＦＢ−６はそれぞれ、空調機６と共にブレーカ１１
から電源切替盤１５を介して電源ＩＩＩへ接続される。
【００２０】従って、第２の実施例においても、供給電
源系（電源ＩＩ及び電源ＩＩＩ）を複数化しているの
で、全ての供給電源系が一斉に停電する心配はなく、ま
た、これら各電源系ＩＩ及びＩＩＩに非常用発電機１２
からそれぞれ選択的に電源供給が可能となる。
源系（電源ＩＩ及び電源ＩＩＩ）を複数化しているの
で、全ての供給電源系が一斉に停電する心配はなく、ま
た、これら各電源系ＩＩ及びＩＩＩに非常用発電機１２
からそれぞれ選択的に電源供給が可能となる。
【００２１】さらに、この第２の実施例においても、ヘ
パフィルタの配置は第１の実施例と同じであるので、電
源系統の異常時の際も、クリーンルーム全体があるレベ
ルの清浄度を維持することができる。
パフィルタの配置は第１の実施例と同じであるので、電
源系統の異常時の際も、クリーンルーム全体があるレベ
ルの清浄度を維持することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、以
下のような効果が得られる。 複数の供給電源系を設けることにより、ヘパフィルタ
の運転が一斉に停止するという事故確率が確実に下が
り、クリーンルームの清浄度の著しい悪化を防止でき
る。 非常用発電機の負荷状況により、ヘパフィルタへの給
電負荷を調整できるため、負荷オーバーによる、ヘパフ
ィルタへの給電完全停止の確率が下がり、クリーンルー
ムの清浄度の著しい悪化を防止できる。 ヘパフィルタ群をそれぞれ分散して平均的にクリーン
ルーム内に配置したため、あるヘパフィルタ群が停止し
てもクリーンルーム内のある区画の清浄度が著しく悪化
することを防止できる。
下のような効果が得られる。 複数の供給電源系を設けることにより、ヘパフィルタ
の運転が一斉に停止するという事故確率が確実に下が
り、クリーンルームの清浄度の著しい悪化を防止でき
る。 非常用発電機の負荷状況により、ヘパフィルタへの給
電負荷を調整できるため、負荷オーバーによる、ヘパフ
ィルタへの給電完全停止の確率が下がり、クリーンルー
ムの清浄度の著しい悪化を防止できる。 ヘパフィルタ群をそれぞれ分散して平均的にクリーン
ルーム内に配置したため、あるヘパフィルタ群が停止し
てもクリーンルーム内のある区画の清浄度が著しく悪化
することを防止できる。
【図１】本発明の一実施例であるヘパフィルタ群２Ａ，
２Ｂの配置に対応して設けられた空調機（送風ファンを
備える）への電源供給を説明するためのブロック図、及
びクリーンルーム内の天井におけるヘパフィルタの配置
を示す配置図である。
２Ｂの配置に対応して設けられた空調機（送風ファンを
備える）への電源供給を説明するためのブロック図、及
びクリーンルーム内の天井におけるヘパフィルタの配置
を示す配置図である。
【図２】本発明の第２の実施例であるヘパフィルタ部２
Ａ′，２Ｂ′と、空調機５，６とに電源を供給する回路
ブロック図である。
Ａ′，２Ｂ′と、空調機５，６とに電源を供給する回路
ブロック図である。
【図３】従来のヘパフィルタ群２Ａ，２Ｂの配置に対応
して設けられた空調機（送風ファンを備える）への電源
供給を説明するためのブロック図、及びクリーンルーム
内の天井におけるヘパフィルタ配置を示す配置図であ
る。
して設けられた空調機（送風ファンを備える）への電源
供給を説明するためのブロック図、及びクリーンルーム
内の天井におけるヘパフィルタ配置を示す配置図であ
る。
【図４】従来のクリーンルームの概略構成を示した側断
面図である。
面図である。
１ クリーンルーム ２ ヘパフィルタ ２Ａ，２Ｂ ヘパフィルタ群 ５，６ 内調機 １０，１１ ブレーカ １２ 非常用発電機 １３，１４，１５ 電源切替盤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川崎 篤 神奈川県相模原市淵野辺５−10−１ 新日 本製鐵株式会社エレクトロニクス研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 外気を取り込んで所望の温度、湿度及び
清浄度に空調した空気を複数の送風ファンによって、複
数のヘパフィルタ群を介してクリーンルームに供給する
クリーンルームの清浄度維持装置において、前記ヘパフ
ィルタ群を備えた前記各送風ファンへの供給電源系を複
数系統に分割することを特徴とするクリーンルームの清
浄度維持装置。 - 【請求項２】 請求項１において、複数系統に分割され
た各供給電源系は、それぞれ選択的に非常用電源に接続
可能であることを特徴とするクリーンルームの清浄度維
持装置。 - 【請求項３】 請求項１または２において、ヘパフィル
タ群を構成する各々のヘパフィルタはクリーンルーム内
に平均的に混合分散して配置されることを特徴とするク
リーンルームの清浄度維持装置。 - 【請求項４】 請求項３において、平均的に混合分散し
て配置される各々のヘパフィルタは千鳥状または市松状
に配置されることを特徴とするクリーンルームの清浄度
維持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4350009A JP2627041B2 (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | クリーンルームの清浄度維持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4350009A JP2627041B2 (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | クリーンルームの清浄度維持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174279A true JPH06174279A (ja) | 1994-06-24 |
| JP2627041B2 JP2627041B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=18407619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4350009A Expired - Lifetime JP2627041B2 (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | クリーンルームの清浄度維持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2627041B2 (ja) |
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| JP2627041B2 (ja) | 1997-07-02 |
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