JPH09306669A - 有機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光効率が高く、かつ簡便にパターン化がで
き、かつ発光部の明るさを部分的に任意に調整できる有
機エレクトロルミネッセンス素子作製技術の提供。 【解決手段】 少なくとも一層のアリールアミンを含有
するホール輸送層および電子輸送性発光層を有する積層
型有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法に
おいて、ホール輸送層を電磁波照射により特性を変化さ
せて、素子の発光特性を変化させたことを特徴とする有
機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法およびそれ
により得られた有機エレクトロルミネッセンス素子。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平面光源や表示素子に
利用される有機エレクトロルミネッセンス素子とその製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】発光層が有機薄膜から構成される有機エ
レクトロルミネッセンス素子は低電圧駆動の大面積表示
素子を実現するものとして注目されている。素子の高効
率化にはキャリア輸送性の異なる有機層を積層する素子
構造が有効であり、ホール輸送層に低分子芳香族アミン
を、電子輸送性発光層にアルミキレート錯体を用いた素
子が報告されている〔Ｃ．Ｗ．Ｔａｎｇ，Ａｐｐｌ．Ｐ
ｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，５１，ｐ．９１３（１９８
７）〕。この素子では１０Ｖ以下の印加電圧で１０００
ｃｄ／ｍ²の実用化に十分な高輝度を得ている。特にア
リールアミン誘導体をホール輸送層に有する素子は実用
化に十分な耐久性を有することが報告されている〔Ｃ．
Ａｄａｃｈｉ，Ｋ．Ｎａｇａｉ，Ｎ．Ｔａｍｏｔｏ，Ａ
ｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，６６，２６７９（１９
９５）〕。

【０００３】一般的な素子構造体は、透明基板上に形成
したインジウム−スズ酸化物などの陽極となる透明電極
上に有機膜を形成し、その上部に陰極として用いる背面
電極がマグネシウム合金などを真空蒸着法などで形成す
ることにより製造されている。この場合、陽極あるいは
陰極電極、あるいはその両方を任意の大きさや形状にす
ることにより発光面の大きさや形状を制御することが可
能である。しかしこの方法では複雑な形状や微細な形状
をもつ発光面を形成することは不可能である。

【０００４】そこで、ホール輸送性かつ光分解性の直鎖
状ポリシランを素子構成材料として用い、素子作製時に
有機層を金属図形マスクなどを用いて部分的に光照射
し、ポリシランを劣化させてホール輸送性を失活させる
ことにより、光照射部を非発光部とし、発光面を微細パ
ターニングする方法が報告されている〔坂田、平本、横
山、第４１回応用物理学関係連合講演会、予稿集ｐ．１
０７８（１９９４）〕。

【０００５】ところが、この直鎖状ポリシランは、ＥＬ
素子の構成物質としては耐久性に欠けるので、実用的で
はない〔Ｊ．Ｋｉｄｏ，Ｋ．Ｎａｇａｉ，Ｙ．Ｏｋａｍ
ｏｔｏ ａｎｄ Ｔ．Ｓｋｏｔｈｅｉｍ，Ａｐｐｌ．Ｐ
ｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，５９，２７６０（１９９１）〕。
また、この方法では素子面が非発光部と発光部から構成
され、発光部の明るさは均一であり、部分的に明るさが
異なる発光部を有する素子は得られない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の事情に
鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、発光効
率が高く、かつ簡便にパターン化ができ、かつ発光部の
明るさを部分的に任意に調整できる有機エレクトロルミ
ネッセンス素子作製技術を提供する点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第一は、少なく
とも一層のアリールアミンを含有するホール輸送層およ
び電子輸送性発光層を有する積層型有機エレクトロルミ
ネッセンス素子を製造する方法において、ホール輸送層
を電磁波照射により特性を変化させて、素子の発光特性
を変化させたことを特徴とする有機エレクトロルミネッ
センス素子の製造方法に関する。

【０００８】本発明の第二は、少なくとも一層のアリー
ルアミンを含有するホール輸送層および電子輸送性発光
層を有する積層型有機エレクトロルミネッセンス素子に
おいて、ホール輸送層の少なくとも一層中のアリールア
ミンが変性されており、その結果その個所の素子の発光
特性が変化していることを特徴とする有機エレクトロル
ミネッセンス素子に関する。

【０００９】本発明において用いる電磁波は、真空波長
にして１０^-17〜１０⁵ｍ程度の範囲のものであり、γ
線、Ｘ線、紫外線、可視光線、赤外線などを包含する
が、とくに紫外線や可視光線が好ましい。

【００１０】アリールアミンを含有するホール輸送層に
対する電磁波照射は、（ィ）全面に対して照射強度を変
える場合（例えば白黒ネガフィルムのような部分的に透
過度の異なるフィルターを通して露光したり、微小な光
源から発生する光の照射強度を変化させながら走査させ
るなど）あるいは（ロ）マスキングにより部分的に照射
する場合などがある。部分露光をする場合は、例えばシ
ャドウマスクを用いて密着露光したり、あるいは投影露
光（レンズで集光した光、あるいは微小な光源から発生
する光を用いて部分的に露光する、あるいは、これにシ
ャドウマスクを併用するなど）によって実施する。

【００１１】前記アリールアミンを含有するホール輸送
層を構成する材料は、実施例に示すようにポリマーの繰
り返し単位中にアリールアミンを含有するものを用いて
もよいし、任意のアリールアミン化合物を蒸着したり、
任意のバインダーに溶解あるいは分散させて用いてもよ
い。

【００１２】前記ポリマーの繰り返し単位中にアリール
アミンを含有するものとしては、本出願人の出願にかか
る特願平８−９４８１９号、特願平８−６３６８７号、
特願平７−３１７３００号、特願平７−９４２９４号、
特願平６−２１０５４４号などのほか、特開平５−３１
０９４号公報などを挙げることができるが、これに限定
されるものではなく、アリールアミン構造を主鎖あるい
は側鎖に含有するすべてのポリマーを対象とすることが
できる。

【００１３】アリールアミン化合物としても、特に制限
はないが、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラフェニ
ル−４，４′−ジアミノフェニル、Ｎ，Ｎ′−ジフェニ
ル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニル）−４，４′−
ジアミノビフェニル、２，２−ビス（４−ジ−ｐ−トリ
ルアミノフェニル）プロパン、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テ
トラ−ｐ−トリル−４，４′−ジアミノビフェニル、ビ
ス（４−ジ−ｐ−トリルアミノフェニル）フェニルメタ
ン Ｎ，Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（４−メトキシフ
ェニル）−４，４′−ジアミノビフェニル、Ｎ，Ｎ，
Ｎ′，Ｎ′−テトラフェニル−４，４′−ジアミノジフ
ェニルエーテル、４，４′−ビス（ジフェニルアミノ）
クオードリフェニル、４−Ｎ，Ｎ−ジフェニルアミノ−
（２−ジフェニルビニル）ベンゼン、３−メトキシ−
４′−Ｎ，Ｎ−ジフェニルアミノスチルベンゼン、Ｎ−
フェニルカルバゾール、１，１−ビス（４−ジ−ｐ−ト
リアミノフェニル）−シクロヘキサン、１，１−ビス
（４−ジ−ｐ−トリアミノフェニル）−４−フェニルシ
クロヘキサン、ビス（４−ジメチルアミノ−２−メチル
フェニル）−フェニルメタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリ（ｐ−
トリル）アミン、４−（ジ−ｐ−トリルアミノ）−４′
−〔４（ジ−ｐ−トリルアミノ）スチリル〕スチルベ
ン、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラ−ｐ−トリル−４，
４′−ジアミノ−ビフェニル、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テ
トラフェニル−４，４′−ジアミノ−ビフェニルＮ−フ
ェニルカルバゾール、ポリ（Ｎ−ビニルカルバゾー
ル）、４，４′−ビス〔Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フ
ェニル−アミノ〕ビフェニル、４，４″−ビス〔Ｎ−
（１−ナフチル）−Ｎ−フェニル−アミノ〕ｐ−ターフ
ェニル、４，４′−ビス〔Ｎ−（２−ナフチル）−Ｎ−
フェニル−アミノ〕ビフェニル、４，４′−ビス〔Ｎ−
（３−アセナフテニル）−Ｎ−フェニルアミノ〕ビフェ
ニル、１，５−ビス〔Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェ
ニル−アミノ〕ナフタレン、４，４′−ビス〔Ｎ−（９
−アントリル）−Ｎ−フェニル−アミノ〕ビフェニル、
４，４″−ビス〔Ｎ−（１−アントリル）−Ｎ−フェニ
ル−アミノ〕ｐ−ターフェニル、４，４′−ビス〔Ｎ−
（２−フェナントリル）−Ｎ−フェニル−アミノ〕ビフ
ェニル、４，４′−ビス〔Ｎ−（８−フルオランテニ
ル）−Ｎ−フェニル−アミノ〕ビフェニル、４，４′−
ビス〔Ｎ−（２−ピレニル）−Ｎ−フェニル−アミノ〕
ビフェニル、４，４′−ビス〔Ｎ−（２−ペリレニル）
−Ｎ−フェニル−アミノ〕ビフェニル、４，４′−ビス
〔Ｎ−（１−コロネニル）−Ｎ−フェニル−アミノ〕ビ
フェニル、２，６−ビス（ジ−ｐ−トリルアミノ）ナフ
タレン、２，６−ビス〔ジ−（１−ナフチル）アミノ〕
ナフタレン、２，６−ビス〔Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ
−（２−ナフチル）アミノ〕ナフタレン、４，４″−ビ
ス〔Ｎ，Ｎ−ジ（２−ナフチル）アミノ〕ターフェニ
ル、４，４′−ビス｛Ｎ−フェニル−Ｎ−〔４−（１−
ナフチル）フェニル〕アミノ｝ビフェニル、４，４′−
ビス〔Ｎ−フェニル−Ｎ−（２−ピレニル）−アミノ〕
ビフェニル、２，６−ビス〔Ｎ，Ｎ−ジ（２−ナフチ
ル）アミノ〕フルオレン、４，４″−ビス（Ｎ，Ｎ−ジ
−ｐ−トリルアミノ）ターフェニル、ビス（Ｎ−１−ナ
フチル）（Ｎ−２−ナフチル）アミンなどがある。ま
た、これ以外の例としては特開平６−２５６５９号、同
６−２０３９６３号、同６−２１５８７４号、同７−１
０１９１１号、同７−１４５１１６号、同７−１２６２
２５号、同７−１２６２２６号、同７−１８８１３０
号、同７−２２４０１２号、同８−４０９９５号、同８
−４０９９６号、同８−４０９９７号、同８−４８６５
６号公報記載のものを挙げることができる。

【００１４】また、本発明に用いる電子輸送性発光物質
も、この性質を保有するものであれば、どれでも使用で
きる。その１例を示せばつぎのとおりである。

【００１５】たとえば、もっとも一般的なものとして
は、アントラセン、ナフタレン、フェナントレン、ピレ
ン、テトラセン、コロネン、クリセン、フルオロセイ
ン、ペリレン、フタロペリレン、ナフタロペリレン、ペ
リノン、フタロペリノン、ナフタロペリノン、ジフェニ
ルブタジエン、テトラフェニルブタジエン、クマリン、
オキサジアゾール、アルダジン、ビスベンゾキサゾリ
ン、ビススチリル、ピラジン、シクロペンタジエン、オ
キシン、アミノキノリン、イミン、ジフエニルエチレ
ン、ビニルアントラセン、ジアミノカルバゾール、ピラ
ン、チオピラン、ポリメチン、メロシアニン、イミダゾ
ールキレート化オキシノイド化合物、キナクリドン、ル
ブレン等およびそれらの誘導体などを挙げることができ
る。

【００１６】ベンゾオキサゾール系、ベンゾチアゾール
系、ベンゾイミダゾール系などの蛍光増白剤としては、
例えば、特開昭５９−１９４３９３号公報に開示されて
いるものが挙げられる。その代表例としては、２，５−
ビス（５，７−ジ−ｔ−ペンチル−２−ベンゾオキサゾ
リル）−１，３，４−チアゾール、４，４′−ビス
（５，７−ｔ−ペンチル−２−ベンゾオキサゾリル）ス
チルベン、４，４′−ビス〔５，７−ジ−（２−メチル
−２−ブチル）−２−ベンゾオキサゾリル〕スチルベ
ン、２，５−ビス（５，７−ジ−ｔ−ペンチル−２−ベ
ンゾオキサゾリル）チオフェン、２，５−ビス〔５−
（α，α−ジメチルベンジル）−２−ベンゾオキサゾリ
ル〕チオフェン、２，５−ビス〔５，７−ジ−（２−メ
チル−２−ブチル）−２−ベンゾオキサゾリル〕−３，
４−ジフェニルチオフェン、２，５−ビス（５−メチル
−２−ベンゾオキサゾリル）チオフェン、４，４′−ビ
ス（２−ベンゾオキサゾリル）ビフェニル、５−メチル
−２−｛２−〔４−（５−メチル−２−ベンゾオキサゾ
リル）フェニル〕ビニル｝ベンゾオキサゾール、２−
〔２−（４−クロロフェニル）ビニル〕ナフト（１，２
−ｄ）オキサゾールなどのベンゾオキサゾール系、２，
２′−（ｐ−フェニレンジビニレン）−ビスベンゾチア
ゾールなどのベンゾチアゾール系、２−｛２−〔４−
（２−ベンゾイミダゾリル）フェニル〕ビニル｝ベンゾ
イミダゾール、２−〔２−（４−カルボキシフェニル）
ビニル〕ベンゾイミダゾールなどのベンゾイミダゾール
系などの蛍光増白剤が挙げられる。

【００１７】金属キレート化オキサノイド化合物として
は、例えば特開昭６３−２９５６９５号公報に開示され
ているものを用いることができる。その代表例として
は、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、ビス
（８−キノリノール）マグネシウム、ビス〔ベンゾ
（ｆ）−８−キノリノール〕亜鉛、ビス（２−メチル−
８−キノリノラート）アルミニウムオキシド、トリス
（８−キノリノール）インジウム、トリス（５−メチル
−８−キノリノール）アルミニウム、８−キノリノール
リチウム、トリス（５−クロロ−８−キノリノール）ガ
リウム、ビス（５−クロロ−８−キノリノール）カルシ
ウム、ポリ〔亜鉛（II）−ビス−（８−ヒドロキシ−５
−キノリノニル）メタン〕などの８−ヒドロキシキノリ
ン系金属錯体やジリチウムエピンドリジオンなどが挙げ
られる。

【００１８】ジスチリルベンゼン系化合物としては、例
えば欧州特許第０３７３５８２号明細書に開示されてい
るものを用いることができる。その代表例としては、
１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼン、１，４
−ビス（３−メチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス
（４−メチルスチリル）ベンゼン、ジスチリルベンゼ
ン、１，４−ビス（２−エチルスチリル）ベンゼン、
１，４−ビス（３−エチルスチリル）ベンゼン、１，４
−ビス（２−メチルスチリル）−２−メチルベンゼン、
１，４−ビス（２−メチルスチリル）−２−エチルベン
ゼンなどが挙げられる。

【００１９】また、特開平２−２５２７９３号公報に開
示されているジスチリルピラジン誘導体も有機色素とし
て用いることができる。その代表例としては、２，５−
ビス（４−メチルスチリル）ピラジン、２，５−ビス
（４−エチルスチリル）ピラジン、２，５−ビス〔２−
（１−ナフチル）ビニル〕ピラジン、２，５−ビス（４
−メトキシスチリル）ピラジン、２，５−ビス〔２−
（４−ビフェニル）ビニル〕ピラジン、２，５−ビス
〔２−（１−ピレニル）ビニル〕ピラジンなどが挙げら
れる。

【００２０】その他、欧州特許第３８８７６８号明細書
や特開平３−２３１９７０号公報に開示されているジメ
チリデン誘導体を有機発光層の材料として用いることも
できる。その代表例としては、１，４−フェニレンジメ
チリディン、４，４′−フェニレンジメチリディン、
２，５−キシリレンジメチリディン、２，６−ナフチレ
ンジメチリディン、１，４−ビフェニレンジメチリディ
ン、１，４−ｐ−テレフェニレンジメチリディン、９，
１０−アントラセンジイルジメチリディン、４，４′−
（２，２−ジ−ｔ−ブチルフェニルビニル）ビフェニ
ル、４，４′−（２，２−ジフェニルビニル）ビフェニ
ルなど、およびこれらの誘導体が挙げられる。

【００２１】特開平６−４９０７９号公報、特開平６−
２９３７７８号公報に開示されているシラナミン誘導
体、特開平６−２７９３２２号公報、特開平６−２７９
３２３号公報に開示されている多官能スチリル化合物、
特開平６−１０７６４８号公報や特開平６−９２９４７
号公報に開示されているオキサジアゾール誘導体、特開
平６−２０６８６５号公報に開示されているアントラセ
ン化合物、特開平６−１４５１４６号公報に開示されて
いるオキシネイト誘導体、特開平４−９６９９０号公報
に開示されているテトラフェニルブタジエン化合物、特
開平３−２９６５９５号公報に開示されている有機三官
能化合物、さらには、特開平２−１９１６９４号公報に
開示されているクマリン誘導体、特開平２−１９６８８
５号公報に開示されているペリレン誘導体、特開平２−
２５５７８９号公報に開示されているナフタレン誘導
体、特開平２−２８９６７６号公報および同２−８８６
８９号公報に開示されているフタロペリノン誘導体、特
開平２−２５０２９２号公報に開示されているスチリル
アミン誘導体などを挙げることができる。

【００２２】有機エレクトロルミネッセンス素子では陽
極すなわちホール注入電極からホールが有機層へ注入さ
れ、陰極すなわち電子注入電極から電子が有機層へ注入
される。電子輸送層を発光層とし、アリールアミン類な
どのホール輸送層を陽極と発光層の間に挿入した二層型
素子においては、陽極から注入されたホールはホール輸
送層を通り、また陰極から注入された電子は電子輸送性
発光層を通り、いくらかホール輸送性も有する発光層を
有する有機化合物を発光層として使用した場合、発光層
の有機／有機界面付近にて両キャリアは再結合する。こ
の場合、ホール輸送層のアリールアミンのイオン化ポテ
ンシャルやホール移動度は駆動電圧や発光輝度など素子
特性に大きな影響を及ぼし、一般にイオン化ポテンシャ
ルの大きなホール輸送層はホール注入障壁が大きくな
り、駆動電圧が高くなる〔Ｃ．Ａｄａｃｈｉ，Ｋ．Ｎａ
ｇａｉ，Ｎ．Ｔａｍｏｔｏ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅ
ｔｔ．，６６，２６７９（１９９５）〕。

【００２３】本発明においては、このようなアリールア
ミンをホール輸送層として有する積層型有機ＥＬ素子に
おいて、アリールアミン層に光などの電磁波を照射する
ことにより、変性させ、露光部の素子特性を変化させた
ものである。

【００２４】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれにより限定されるものではない。

【００２５】実施例１ 図４は本発明の一実施例の断面図である。ガラス基板上
にはシート抵抗１５Ω／□のＩＴＯ（インジウム−スズ
酸化物）がコートされている。その上にホール輸送性か
つ青紫色の発光を有する下記式〔１〕

【化１】 で表される繰り返し単位を有するポリマー１〔城戸淳
二，太田浩全，原田学，長井勝利，第４３回応用物理学
関係連合講演会，講演予稿集，Ｎｏ．３，ｐ．１１２
６，（１９９６）および特願平８−９４８１９号 実施
例１のポリマー〕を１，２−ジクロロエタン溶液により
スピンコーティングにより２００Å厚に形成した。この
ようにしてポリマーの繰り返し単位中にアリールアミン
を含有させたものである。次にポリマー層上に電子輸送
層として緑色の発光を有する下記式

【化２】 で示されるトリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯
体層（以下「Ａｌｑ」という）を３×１０^-5Ｔｏｒｒの
真空下で７００Å厚に蒸着して形成した。最後に、陰極
となる背面電極としてＭｇとＡｇ（１０：１）を同じ真
空度で２０００Å共蒸着した。発光領域は縦０．５ｃ
ｍ、横０．５ｃｍの正方形状とした。前記の有機エレク
トロルミネッセンス素子においてＩＴＯを陽極、Ｍｇ：
Ａｇを陰極として、直流電圧を印加して発光層からの発
光を観察した。発光輝度はトプコン輝度計ＢＭ−８にて
測定した。この素子からは緑色発光がガラス面をとおし
て観測され、発光スペクトルから、この素子構造ではＡ
ｌｑが発光中心として機能していることがわかった。そ
の時の輝度−電圧特性を図１ａに示すが、初期特性とし
て最高約４０００ｃｄ／ｍ²の緑色発光が１４ボルトで
得られた。

【００２６】一方、ガラス基板上のＩＴＯ層上に同様の
方法でポリマー１を２００Å厚に形成したのち、大気中
で１００Ｗ高圧水銀ランプの紫外線を約５ｃｍの距離で
いろいろな時間照射した。そして、ポリマー層上に前述
の素子と同様、電子輸送層としてＡｌｑを３×１０^-5Ｔ
ｏｒｒの真空下で７００Å厚に蒸着して形成したのち、
陰極となる背面電極としてＭｇとＡｇ（１０：１）を同
じ真空度で２０００Åの厚みに共蒸着した。発光領域は
縦０．５ｃｍ、横０．５ｃｍの正方形状とした。前記の
有機エレクトロルミネッセンス素子においてＩＴＯを陽
極、Ｍｇ：Ａｇを陰極として、直流電圧を印加して発光
層からの発光を観察したところ、発光色は緑色でＡｌｑ
のものであり、その時の輝度−電圧特性を図１ｂに示す
が、初期特性として最高２０００ｃｄ／ｍ²の緑色発光
が１５ボルトで得られた。

【００２７】前記ポリマー１層に紫外線照射した場合に
は図１に見られるように、すべての電圧範囲で未照射の
素子に比べ輝度が低い。これは図２に見られるように電
流密度が低いためである。ポリマー１のイオン化ポテン
シャルは図３に見られるように紫外線照射とともに増大
しており、このため電極からのホール注入障壁が大きく
なり駆動電圧が高くなったと思われる。

【００２８】次に、ガラス基板上にＩＴＯ上に、同様の
方法でポリマー１を２００Å厚に形成したのち、シャド
ウマスクをポリマー表面に密着させ、部分的に高圧水銀
ランプの紫外線を大気中で１０分照射した。そして、ポ
リマー層上に前述の素子と同様、電子輸送層としてＡｌ
ｑを３×１０^-5Ｔｏｒｒの真空下で７００Å厚に蒸着し
て形成したのち、陰極となる背面電極としてＭｇとＡｇ
（１０：１）を同じ真空度で２０００Å共蒸着した。発
光領域は縦０．５ｃｍ、横０．５ｃｍの正方形状とし
た。前記の有機エレクトロルミネッセンス素子において
ＩＴＯを陽極、Ｍｇ：Ａｇを陰極として、直流電圧を印
加して素子からの発光を観察したところ、光照射部は未
照射部に比べて輝度が低かった。この素子は同一基板上
に異なる輝度の異なる発光部を有する素子である（この
ときの写真を物件提出書に示す）。

【００２９】

【効果】本発明によればアリールアミンを含有するホー
ル輸送層に素子製造過程において部分的に光照射し、光
照射した部分のホール輸送特性やホール注入特性を変化
させ、発光部の明るさを部分的に、かつ任意に調整する
ことができる。また、部分的に光照射することにより、
同一基板上に簡便に発光輝度の異なる素子を配置するこ
とができ、輝度の異なる微細な図形パターンを有する表
示素子などに広く利用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＩＴＯ／ポリマー１（２００Å）／Ａｌｑ（７
００Å）／Ｍｇ：Ａｇ素子の電圧−輝度特性を示すグラ
フであり、ａはポリマー１層が未露光の場合であり、ｂ
はポリマー１層を高圧水銀ランプにより６分間紫外線照
射した場合のものである。

【図２】ＩＴＯ／ポリマー１（２００Å）／Ａｌｑ（７
００Å）／Ｍｇ：Ａｇ素子の電流密度−輝度特性を示す
グラフであり、ａはポリマー１層が未露光の場合であ
り、ｂはポリマー１層を高圧水銀ランプにより６分間紫
外線照射した場合のものである。

【図３】ポリマー１のイオン化ポテンシャルの紫外線照
射量依存性を示す。

【図４】本発明の実施例における有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の断面図を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一層のアリールアミンを含有
   するホール輸送層および電子輸送性発光層を有する積層
   型有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法に
   おいて、ホール輸送層を電磁波照射により特性を変化さ
   せて、素子の発光特性を変化させたことを特徴とする有
   機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
2. 【請求項２】 少なくとも一層のアリールアミンを含有
   するホール輸送層および電子輸送性発光層を有する積層
   型有機エレクトロルミネッセンス素子において、ホール
   輸送層の少なくとも一層中のアリールアミンが変性され
   ており、その結果その個所の素子の発光特性が変化して
   いることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素
   子。