JPH09277150A - 研磨加工方法及びその装置 - Google Patents
研磨加工方法及びその装置Info
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- JPH09277150A JPH09277150A JP9270296A JP9270296A JPH09277150A JP H09277150 A JPH09277150 A JP H09277150A JP 9270296 A JP9270296 A JP 9270296A JP 9270296 A JP9270296 A JP 9270296A JP H09277150 A JPH09277150 A JP H09277150A
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- Japan
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- polishing
- polishing tape
- tape
- guided
- pressure receiving
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被加工面を研磨テープの一方向移送により常
時新たな研磨テープの研磨面をもって研磨加工すること
ができ、研磨テープを案内部材に形成された行案内面及
び戻案内面により行戻移送案内すると共にこの行戻移送
案内される研磨テープの折返部分を折返受圧面により側
方に迂回案内し、この折返受圧面により迂回案内された
研磨テープにより研磨部を形成することができる。 【解決手段】 案内部材９に研磨テープＴを行戻移送案
内可能な行案内面２３及び戻案内面２４を形成すると共
に、行戻移送案内される研磨テープの折返部分Ｂを側方
に迂回案内可能な折返受圧面２５を形成し、折返受圧面
により迂回案内された研磨テープにより研磨部Ｋを形成
してなる。
時新たな研磨テープの研磨面をもって研磨加工すること
ができ、研磨テープを案内部材に形成された行案内面及
び戻案内面により行戻移送案内すると共にこの行戻移送
案内される研磨テープの折返部分を折返受圧面により側
方に迂回案内し、この折返受圧面により迂回案内された
研磨テープにより研磨部を形成することができる。 【解決手段】 案内部材９に研磨テープＴを行戻移送案
内可能な行案内面２３及び戻案内面２４を形成すると共
に、行戻移送案内される研磨テープの折返部分Ｂを側方
に迂回案内可能な折返受圧面２５を形成し、折返受圧面
により迂回案内された研磨テープにより研磨部Ｋを形成
してなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えばメッキ加工後
の穴の内周面の凸部の除去加工や表面みがき加工等の研
磨加工に用いられる研磨加工方法及びその装置に関する
ものである。
の穴の内周面の凸部の除去加工や表面みがき加工等の研
磨加工に用いられる研磨加工方法及びその装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の研磨加工方法及びその装置とし
ては、例えば内面研削盤、ホーニング盤等が知られてい
る。
ては、例えば内面研削盤、ホーニング盤等が知られてい
る。
【０００３】
【０００４】しかしながら上記従来構造の場合、砥石や
ホーン等の工具管理が不可欠であるため、研磨加工の最
適条件の維持管理が厄介であり、それだけ作業能率を低
下させることがあると共に装置の複雑化により大型化が
避けられず、装置の低廉化を図ることが困難であるとい
う不都合を有している。
ホーン等の工具管理が不可欠であるため、研磨加工の最
適条件の維持管理が厄介であり、それだけ作業能率を低
下させることがあると共に装置の複雑化により大型化が
避けられず、装置の低廉化を図ることが困難であるとい
う不都合を有している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決することを目的とし、本発明のうち、請求項１記
載の方法の発明は、連続移送される研磨テープを案内部
材により移送案内し、該研磨テープにより被加工物を研
磨加工するに際し、上記案内部材に形成された行案内面
及び戻案内面により研磨テープを行戻移送案内すると共
に、該行戻移送案内される研磨テープの折返部分を折返
受圧面により側方に迂回案内し、該折返受圧面により迂
回案内された研磨テープにより研磨部を形成することを
特徴とする研磨加工方法にある。
を解決することを目的とし、本発明のうち、請求項１記
載の方法の発明は、連続移送される研磨テープを案内部
材により移送案内し、該研磨テープにより被加工物を研
磨加工するに際し、上記案内部材に形成された行案内面
及び戻案内面により研磨テープを行戻移送案内すると共
に、該行戻移送案内される研磨テープの折返部分を折返
受圧面により側方に迂回案内し、該折返受圧面により迂
回案内された研磨テープにより研磨部を形成することを
特徴とする研磨加工方法にある。
【０００６】又、請求項２記載の方法の発明は、上記研
磨部により被加工物を研磨加工するに際し、上記被加工
物を回転させることを特徴とするものであり、又、請求
項３記載の方法の発明にあっては、上記研磨部により被
加工物を研磨加工するに際し、上記研磨部を揺振運動さ
せることを特徴とするものである。
磨部により被加工物を研磨加工するに際し、上記被加工
物を回転させることを特徴とするものであり、又、請求
項３記載の方法の発明にあっては、上記研磨部により被
加工物を研磨加工するに際し、上記研磨部を揺振運動さ
せることを特徴とするものである。
【０００７】又、請求項４記載の装置の発明は、連続移
送される研磨テープを案内部材により移送案内し、該研
磨テープにより被加工物を研磨加工する装置において、
上記案内部材に上記研磨テープを行戻移送案内可能な行
案内面及び戻案内面を形成すると共に、該行戻移送案内
される研磨テープの折返部分を側方に迂回案内可能な折
返受圧面を形成し、該折返受圧面により迂回案内された
研磨テープにより研磨部を形成してなることを特徴とす
る研磨加工装置にある。
送される研磨テープを案内部材により移送案内し、該研
磨テープにより被加工物を研磨加工する装置において、
上記案内部材に上記研磨テープを行戻移送案内可能な行
案内面及び戻案内面を形成すると共に、該行戻移送案内
される研磨テープの折返部分を側方に迂回案内可能な折
返受圧面を形成し、該折返受圧面により迂回案内された
研磨テープにより研磨部を形成してなることを特徴とす
る研磨加工装置にある。
【０００８】又、請求項５記載の装置の発明は、上記折
返案内面は上記研磨テープの行側部分及び戻側部分のう
ちの行側部分を行案内面から側方に折返すと共に戻側部
分を側方から戻案内面に折返す二つの折返面と、該両折
返面により側方に折り返された研磨テープを案内すると
と共に被加工物に対しての研磨圧力を受ける受圧面とか
らなることを特徴とするものであり、又、請求項６記載
の装置の発明は、上記受圧面はゴム又は合成樹脂等の弾
性材或いは硬質材からなる受圧パッドにより形成されて
いることを特徴とするものである。
返案内面は上記研磨テープの行側部分及び戻側部分のう
ちの行側部分を行案内面から側方に折返すと共に戻側部
分を側方から戻案内面に折返す二つの折返面と、該両折
返面により側方に折り返された研磨テープを案内すると
と共に被加工物に対しての研磨圧力を受ける受圧面とか
らなることを特徴とするものであり、又、請求項６記載
の装置の発明は、上記受圧面はゴム又は合成樹脂等の弾
性材或いは硬質材からなる受圧パッドにより形成されて
いることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１乃至図１０は本発明の実施の
形態例を示し、１はテープ移送機構であって、この場合
図外の機台の上部に取付部材２を上下方向Ｍに上下動及
び又は前後方向Ｓに前後動作自在に取付け、この取付部
材２の左右両側位置にポリエステルフィルム、メタル、
クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シ
リコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒
子をコーティング又は結合してなる約７ｃｍ程度の研磨
テープＴの実巻リール３及び巻取リール４を軸着し、実
巻リール３を繰出回転させる繰出用モータ５を設け、か
つ巻取リール４及び一対の送りロール６を巻取回転させ
る巻取用モータ７を設け、実巻リール３から引き出した
研磨テープＴを案内ロール８、案内部材９及び案内ロー
ル１０を介して下向きに折り返し案内してのち巻取リー
ル４に巻回し、実巻リール３及び巻取リール４を回転さ
せると共に送りロール６を回転させ、これにより研磨テ
ープＴを矢印方向の一方向に連続移送させるように構成
している。
形態例を示し、１はテープ移送機構であって、この場合
図外の機台の上部に取付部材２を上下方向Ｍに上下動及
び又は前後方向Ｓに前後動作自在に取付け、この取付部
材２の左右両側位置にポリエステルフィルム、メタル、
クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シ
リコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒
子をコーティング又は結合してなる約７ｃｍ程度の研磨
テープＴの実巻リール３及び巻取リール４を軸着し、実
巻リール３を繰出回転させる繰出用モータ５を設け、か
つ巻取リール４及び一対の送りロール６を巻取回転させ
る巻取用モータ７を設け、実巻リール３から引き出した
研磨テープＴを案内ロール８、案内部材９及び案内ロー
ル１０を介して下向きに折り返し案内してのち巻取リー
ル４に巻回し、実巻リール３及び巻取リール４を回転さ
せると共に送りロール６を回転させ、これにより研磨テ
ープＴを矢印方向の一方向に連続移送させるように構成
している。
【００１０】Ｗは被加工物であって、この場合その穴の
内面としての被加工面Ｗ1が研磨加工され、図外の機台
の下部に図外のチャック機構を配置し、チャック機構に
より被加工物Ｗを中心軸線Ｎを上下方向に配して上記案
内部材９に対向位置して着脱自在に取り付けられるよう
に構成している。
内面としての被加工面Ｗ1が研磨加工され、図外の機台
の下部に図外のチャック機構を配置し、チャック機構に
より被加工物Ｗを中心軸線Ｎを上下方向に配して上記案
内部材９に対向位置して着脱自在に取り付けられるよう
に構成している。
【００１１】この場合上記取付部材２は図外の揺振機構
により揺振方向Ｍ1の上下方向に揺振運動するように構
成され、又、上記被加工物Ｗは中心軸線Ｎを回転軸線と
して回転方向Ｒに回転するように構成されている。
により揺振方向Ｍ1の上下方向に揺振運動するように構
成され、又、上記被加工物Ｗは中心軸線Ｎを回転軸線と
して回転方向Ｒに回転するように構成されている。
【００１２】又、この場合上記取付部材２の下部に保持
部材１１を取付け、保持部材１１に摺動部材１２を上記
被加工物Ｗの中心軸線Ｎに直交する方向としての前後方
向Ｓに摺動部１２ａにより摺動自在に取付け、保持部材
１１と摺動部材１２との間に弾圧機構１３を配設し、こ
の場合、弾圧機構１３は、上記摺動部材１２の後部にバ
ネ受け板１４を取付けると共に保持部材１１の後部に調
節ナット１５を螺着し、バネ受け板１４と調節ナット１
５との間に摺動部材１２を後退付勢可能な弾圧用バネ１
６を介装すると共に保持部材１０に摺動部材１２の後退
限度を定めるストッパ面１７を形成してなり、この摺動
部材１１に支持部材１８をボルト１９により取付け、支
持部材１８に上記案内部材９をボルト２０により上下方
向にして取付け構成している。
部材１１を取付け、保持部材１１に摺動部材１２を上記
被加工物Ｗの中心軸線Ｎに直交する方向としての前後方
向Ｓに摺動部１２ａにより摺動自在に取付け、保持部材
１１と摺動部材１２との間に弾圧機構１３を配設し、こ
の場合、弾圧機構１３は、上記摺動部材１２の後部にバ
ネ受け板１４を取付けると共に保持部材１１の後部に調
節ナット１５を螺着し、バネ受け板１４と調節ナット１
５との間に摺動部材１２を後退付勢可能な弾圧用バネ１
６を介装すると共に保持部材１０に摺動部材１２の後退
限度を定めるストッパ面１７を形成してなり、この摺動
部材１１に支持部材１８をボルト１９により取付け、支
持部材１８に上記案内部材９をボルト２０により上下方
向にして取付け構成している。
【００１３】この案内部材９は、この場合、上部左右両
側に案内ロール２１ａ及び２１ｂを取付けると共に上下
方向に延びて左右に案内溝２２ａ・２２ｂを形成し、こ
の左右に案内溝２２ａ・２２ｂのそれぞれ外側内面を研
磨テープＴを行戻移送案内可能な行案内面２３及び戻案
内面２４に形成し、この案内部材９の下端部に行戻移送
案内される研磨テープＴの折返部分Ｂを加工側となる側
方に迂回案内可能な折返受圧面２５を形成し、この場合
折返受圧面２５は、上記研磨テープＴの行側部分Ｔ1及
び戻側部分Ｔ2のうちの行側部分Ｔ1を行案内面２３から
側方に折返すと共に戻側部分Ｔ2を側方から戻案内面２
３に折返す４５度に切欠されてなる二つの折返面２５ａ
・２５ｂと、両折返面２５ａ・２５ｂにより側方に折り
返された研磨テープＴを案内するとと共に被加工物Ｗに
対しての研磨圧力を受ける受圧面２５ｃとにより形成さ
れ、この折返受圧面２５により迂回案内された研磨テー
プにより研磨部Ｋを形成している。
側に案内ロール２１ａ及び２１ｂを取付けると共に上下
方向に延びて左右に案内溝２２ａ・２２ｂを形成し、こ
の左右に案内溝２２ａ・２２ｂのそれぞれ外側内面を研
磨テープＴを行戻移送案内可能な行案内面２３及び戻案
内面２４に形成し、この案内部材９の下端部に行戻移送
案内される研磨テープＴの折返部分Ｂを加工側となる側
方に迂回案内可能な折返受圧面２５を形成し、この場合
折返受圧面２５は、上記研磨テープＴの行側部分Ｔ1及
び戻側部分Ｔ2のうちの行側部分Ｔ1を行案内面２３から
側方に折返すと共に戻側部分Ｔ2を側方から戻案内面２
３に折返す４５度に切欠されてなる二つの折返面２５ａ
・２５ｂと、両折返面２５ａ・２５ｂにより側方に折り
返された研磨テープＴを案内するとと共に被加工物Ｗに
対しての研磨圧力を受ける受圧面２５ｃとにより形成さ
れ、この折返受圧面２５により迂回案内された研磨テー
プにより研磨部Ｋを形成している。
【００１４】この場合、上記受圧面２５ｃはゴム又は合
成樹脂等の弾性材を貼付してなるもの或いは硬質材から
なる受圧パッド２６により形成され、受圧パッド２６は
ピン２７により案内部材９の下端部に固定的又はピン２
７を中心として上下に首振揺動自在に取り付けられ、弾
性材により過大な研磨圧力を吸収することもでき、首振
揺動可能とすることにより被加工面Ｗ1と研磨テープＴ
との圧接を良好なものとすることができ、案内溝２２ａ
・２２ｂの上方を覆う案内板２８を案内部材９に取付ネ
ジ２８ａにより取付けて構成している。
成樹脂等の弾性材を貼付してなるもの或いは硬質材から
なる受圧パッド２６により形成され、受圧パッド２６は
ピン２７により案内部材９の下端部に固定的又はピン２
７を中心として上下に首振揺動自在に取り付けられ、弾
性材により過大な研磨圧力を吸収することもでき、首振
揺動可能とすることにより被加工面Ｗ1と研磨テープＴ
との圧接を良好なものとすることができ、案内溝２２ａ
・２２ｂの上方を覆う案内板２８を案内部材９に取付ネ
ジ２８ａにより取付けて構成している。
【００１５】この実施の形態例は上記構成であるから、
例えばメッキ加工後の穴の内周面の凸部の除去加工に際
し、連続移送される研磨テープＴを案内部材９により移
送案内して研磨テープＴにより被加工物を研磨加工する
ことになり、この際、研磨テープＴを案内部材９に形成
された行案内面２３及び戻案内面２４により行戻移送案
内すると共に、この行戻移送案内される研磨テープＴの
折返部分Ｂを折返受圧面２５により側方に迂回案内し、
この折返受圧面２５により迂回案内された研磨テープＴ
により研磨部Ｋを形成し、この研磨部Ｋを案内部材９の
下降により図中Ｍ方向に下降させると共にＳ方向に移動
させ、研磨部Ｋを被加工物Ｗの穴の内周面としての被加
工面Ｗ1に適宜研磨圧力をもって圧接し、加工条件に応
じて乾式状態又は加工部位に研磨液を供給する湿式状態
の雰囲気において、研磨加工が行われることになる。
例えばメッキ加工後の穴の内周面の凸部の除去加工に際
し、連続移送される研磨テープＴを案内部材９により移
送案内して研磨テープＴにより被加工物を研磨加工する
ことになり、この際、研磨テープＴを案内部材９に形成
された行案内面２３及び戻案内面２４により行戻移送案
内すると共に、この行戻移送案内される研磨テープＴの
折返部分Ｂを折返受圧面２５により側方に迂回案内し、
この折返受圧面２５により迂回案内された研磨テープＴ
により研磨部Ｋを形成し、この研磨部Ｋを案内部材９の
下降により図中Ｍ方向に下降させると共にＳ方向に移動
させ、研磨部Ｋを被加工物Ｗの穴の内周面としての被加
工面Ｗ1に適宜研磨圧力をもって圧接し、加工条件に応
じて乾式状態又は加工部位に研磨液を供給する湿式状態
の雰囲気において、研磨加工が行われることになる。
【００１６】したがって、被加工面Ｗ1を研磨テープＴ
の一方向移送により常時新たな研磨テープＴの研磨面を
もって研磨加工することができ、それだけ良好な研磨加
工を行うことができると共に工具管理が不要となり、そ
れだけ作業性を工場することができ、しかも研磨テープ
Ｔを案内部材９に形成された行案内面２３及び戻案内面
２４により行戻移送案内すると共にこの行戻移送案内さ
れる研磨テープＴの折返部分Ｂを折返受圧面２５により
側方に迂回案内し、この折返受圧面２５により迂回案内
された研磨テープＴにより研磨部Ｋを形成しているか
ら、研磨部Ｋを被加工物Ｗの穴の内周面に挿入配置し、
穴の内周面に向けて研磨加工を行うことができると共に
研磨テープＴの折返部分Ｂにおいて研磨テープＴの行側
部分Ｔ1及び戻側部分Ｔ2にテープ送りの繰出側及び巻取
側の張力制御により相互に逆の張力を付与することによ
り折返受圧面２５に研磨テープＴが圧接密着し、折返受
圧面２５における研磨テープＴのたるみ現象を阻止する
ことができ、それだけ良好な研磨加工を行うことができ
る。
の一方向移送により常時新たな研磨テープＴの研磨面を
もって研磨加工することができ、それだけ良好な研磨加
工を行うことができると共に工具管理が不要となり、そ
れだけ作業性を工場することができ、しかも研磨テープ
Ｔを案内部材９に形成された行案内面２３及び戻案内面
２４により行戻移送案内すると共にこの行戻移送案内さ
れる研磨テープＴの折返部分Ｂを折返受圧面２５により
側方に迂回案内し、この折返受圧面２５により迂回案内
された研磨テープＴにより研磨部Ｋを形成しているか
ら、研磨部Ｋを被加工物Ｗの穴の内周面に挿入配置し、
穴の内周面に向けて研磨加工を行うことができると共に
研磨テープＴの折返部分Ｂにおいて研磨テープＴの行側
部分Ｔ1及び戻側部分Ｔ2にテープ送りの繰出側及び巻取
側の張力制御により相互に逆の張力を付与することによ
り折返受圧面２５に研磨テープＴが圧接密着し、折返受
圧面２５における研磨テープＴのたるみ現象を阻止する
ことができ、それだけ良好な研磨加工を行うことができ
る。
【００１７】又、この場合上記研磨部Ｋにより被加工物
Ｗを研磨加工する際に、被加工物Ｗを図中Ｒ方向に回転
させるので、上記研磨テープＴの一方向移送の研磨加工
に加えて被加工物Ｗの回転作用を伴って研磨加工するこ
とができ、それだけ良好に研磨加工を行うことができ、
又、この場合被加工物Ｗを研磨加工する際に、上記研磨
部Ｋを図中Ｍ1方向に揺振運動させるので、研磨テープ
Ｔの揺振運動による研磨作用が付加され、それだけ良好
に研磨加工を行うことができる。
Ｗを研磨加工する際に、被加工物Ｗを図中Ｒ方向に回転
させるので、上記研磨テープＴの一方向移送の研磨加工
に加えて被加工物Ｗの回転作用を伴って研磨加工するこ
とができ、それだけ良好に研磨加工を行うことができ、
又、この場合被加工物Ｗを研磨加工する際に、上記研磨
部Ｋを図中Ｍ1方向に揺振運動させるので、研磨テープ
Ｔの揺振運動による研磨作用が付加され、それだけ良好
に研磨加工を行うことができる。
【００１８】又、この場合、上記折返案内面２５は、上
記研磨テープＴの行側部分Ｔ1及び戻側部分Ｔ2のうちの
行側部分Ｔ1を行案内面２３から側方に折返すと共に戻
側部分Ｔ2を側方から戻案内面２４に折返す二つの折返
面２５ａ・２５ｂと、両折返面２５ａ・２５ｂにより側
方に折り返された研磨テープＴを案内するとと共に被加
工物Ｗに対しての研磨圧力を受ける受圧面２５ｃとによ
り形成しているから、研磨テープＴの側方への迂回移送
案内を良好に行うことができ、研磨テープＴの移送を円
滑に行うことができ、又、この場合上記受圧面２５ｃは
ゴム又は合成樹脂等の弾性材或いは硬質材からなる受圧
パッドにより形成されているから、研磨圧力を良好に受
けることができる。
記研磨テープＴの行側部分Ｔ1及び戻側部分Ｔ2のうちの
行側部分Ｔ1を行案内面２３から側方に折返すと共に戻
側部分Ｔ2を側方から戻案内面２４に折返す二つの折返
面２５ａ・２５ｂと、両折返面２５ａ・２５ｂにより側
方に折り返された研磨テープＴを案内するとと共に被加
工物Ｗに対しての研磨圧力を受ける受圧面２５ｃとによ
り形成しているから、研磨テープＴの側方への迂回移送
案内を良好に行うことができ、研磨テープＴの移送を円
滑に行うことができ、又、この場合上記受圧面２５ｃは
ゴム又は合成樹脂等の弾性材或いは硬質材からなる受圧
パッドにより形成されているから、研磨圧力を良好に受
けることができる。
【００１９】又、この場合弾圧機構１３を配設している
ので、案内部材９の図中Ｓ方向への移動に伴う圧接力を
被加工物Ｗに応じて吸収することができると共に研磨部
Ｋの被加工面Ｗ1に対する圧接力を調節することがで
き、過大な研磨圧力を吸収することができ、それだけ良
好に研磨加工を行うことができる。
ので、案内部材９の図中Ｓ方向への移動に伴う圧接力を
被加工物Ｗに応じて吸収することができると共に研磨部
Ｋの被加工面Ｗ1に対する圧接力を調節することがで
き、過大な研磨圧力を吸収することができ、それだけ良
好に研磨加工を行うことができる。
【００２０】尚、本発明は上記実施の形態例に示す、テ
ープ移送機構１、案内部材９の構造に限られるものでは
なく、又、上記実施例とは逆に、テープ移送機構１を回
転させたり、被加工物Ｗを揺振運動させることもあり、
又、上記形態例は案内部材９と被加工物Ｗとが上下に対
向した、いわゆる縦型構造となっているが、案内部材９
と被加工物Ｗとが水平方向に対向した、横型構造とする
こともできる。
ープ移送機構１、案内部材９の構造に限られるものでは
なく、又、上記実施例とは逆に、テープ移送機構１を回
転させたり、被加工物Ｗを揺振運動させることもあり、
又、上記形態例は案内部材９と被加工物Ｗとが上下に対
向した、いわゆる縦型構造となっているが、案内部材９
と被加工物Ｗとが水平方向に対向した、横型構造とする
こともできる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は上述の如く、請求項１又は４記
載の発明にあっては、被加工面を研磨テープの一方向移
送により常時新たな研磨テープの研磨面をもって研磨加
工することができ、それだけ良好な研磨加工を行うこと
ができると共に工具管理が不要となり、それだけ作業性
を工場することができ、しかも研磨テープを案内部材に
形成された行案内面及び戻案内面により行戻移送案内す
ると共にこの行戻移送案内される研磨テープの折返部分
を折返受圧面により側方に迂回案内し、この折返受圧面
により迂回案内された研磨テープにより研磨部を形成し
ているから、被加工物の側方に向けて研磨加工を行うこ
とができると共に研磨テープの折返部分において研磨テ
ープの行側部分及び戻側部分にテープ送りの繰出側及び
巻取側の張力制御により相互に逆の張力を付与すること
により折返受圧面に研磨テープが圧接密着し、折返受圧
面における研磨テープのたるみ現象を阻止することもで
き、それだけ良好な研磨加工を行うことができる。
載の発明にあっては、被加工面を研磨テープの一方向移
送により常時新たな研磨テープの研磨面をもって研磨加
工することができ、それだけ良好な研磨加工を行うこと
ができると共に工具管理が不要となり、それだけ作業性
を工場することができ、しかも研磨テープを案内部材に
形成された行案内面及び戻案内面により行戻移送案内す
ると共にこの行戻移送案内される研磨テープの折返部分
を折返受圧面により側方に迂回案内し、この折返受圧面
により迂回案内された研磨テープにより研磨部を形成し
ているから、被加工物の側方に向けて研磨加工を行うこ
とができると共に研磨テープの折返部分において研磨テ
ープの行側部分及び戻側部分にテープ送りの繰出側及び
巻取側の張力制御により相互に逆の張力を付与すること
により折返受圧面に研磨テープが圧接密着し、折返受圧
面における研磨テープのたるみ現象を阻止することもで
き、それだけ良好な研磨加工を行うことができる。
【００２２】又、請求項２記載の発明にあっては、研磨
部により被加工物を研磨加工する際に、被加工物を回転
させるので、研磨テープの一方向移送の研磨加工に加え
て被加工物の回転作用を伴って研磨加工することがで
き、それだけ良好に研磨加工を行うことができ、又、請
求項３記載の発明にあっては、被加工物を研磨加工する
際に、研磨部を揺振運動させるので、研磨テープの揺振
運動による研磨作用が付加され、それだけ良好に研磨加
工を行うことができる。
部により被加工物を研磨加工する際に、被加工物を回転
させるので、研磨テープの一方向移送の研磨加工に加え
て被加工物の回転作用を伴って研磨加工することがで
き、それだけ良好に研磨加工を行うことができ、又、請
求項３記載の発明にあっては、被加工物を研磨加工する
際に、研磨部を揺振運動させるので、研磨テープの揺振
運動による研磨作用が付加され、それだけ良好に研磨加
工を行うことができる。
【００２３】又、請求項５記載の発明にあっては、上記
折返案内面は、上記研磨テープの行側部分及び戻側部分
のうちの行側部分を行案内面から側方に折返すと共に戻
側部分を側方から戻案内面に折返す二つの折返面と、こ
の両折返面により側方に折り返された研磨テープを案内
すると共に被加工物に対しての研磨圧力を受ける受圧面
とにより形成しているから、研磨テープの側方への迂回
移送案内を良好に行うことができ、研磨テープの移送を
円滑に行うことができ、又、請求項６記載の発明にあっ
ては、上記受圧面はゴム又は合成樹脂等の弾性材或いは
硬質材からなる受圧パッドにより形成されているから、
それだけ研磨圧力を良好に受けることができる。
折返案内面は、上記研磨テープの行側部分及び戻側部分
のうちの行側部分を行案内面から側方に折返すと共に戻
側部分を側方から戻案内面に折返す二つの折返面と、こ
の両折返面により側方に折り返された研磨テープを案内
すると共に被加工物に対しての研磨圧力を受ける受圧面
とにより形成しているから、研磨テープの側方への迂回
移送案内を良好に行うことができ、研磨テープの移送を
円滑に行うことができ、又、請求項６記載の発明にあっ
ては、上記受圧面はゴム又は合成樹脂等の弾性材或いは
硬質材からなる受圧パッドにより形成されているから、
それだけ研磨圧力を良好に受けることができる。
【００２４】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。
きる。
【図１】本発明の実施の形態例の全体説明正面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施の形態例の部分拡大正面図であ
る。
る。
【図３】本発明の実施の形態例の部分拡大側断面図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施の形態例の部分拡大平断面図であ
る。
る。
【図５】本発明の実施の形態例の部分分解斜視図であ
る。
る。
【図６】本発明の実施の形態例の部分斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態例の部分拡大斜視図であ
る。
る。
【図８】本発明の実施の形態例の部分分解斜視図であ
る。
る。
【図９】本発明の実施の形態例の研磨テープの説明斜視
図である。
図である。
【図１０】本発明の実施の形態例の研磨テープの説明斜
視図である。
視図である。
Ｗ 被加工物 Ｔ 研磨テープ Ｋ 研磨部 １ テープ移送機構 ９ 案内部材 ２３ 行案内面 ２４ 戻案内面 ２５ 折返案内面 ２５ａ 折返面 ２５ｂ 折返面 ２５ｃ 受圧面
Claims (6)
- 【請求項１】 連続移送される研磨テープを案内部材に
より移送案内し、該研磨テープにより被加工物を研磨加
工するに際し、上記案内部材に形成された行案内面及び
戻案内面により研磨テープを行戻移送案内すると共に、
該行戻移送案内される研磨テープの折返部分を折返受圧
面により側方に迂回案内し、該折返受圧面により迂回案
内された研磨テープにより研磨部を形成することを特徴
とする研磨加工方法。 - 【請求項２】 上記研磨部により被加工物を研磨加工す
るに際し、上記被加工物を回転させることを特徴とする
請求項１記載の研磨加工方法。 - 【請求項３】 上記研磨部により被加工物を研磨加工す
るに際し、上記研磨部を揺振運動させることを特徴とす
る請求項１又は２記載の研磨加工方法。 - 【請求項４】 連続移送される研磨テープを案内部材に
より移送案内し、該研磨テープにより被加工物を研磨加
工する装置において、上記案内部材に上記研磨テープを
行戻移送案内可能な行案内面及び戻案内面を形成すると
共に、該行戻移送案内される研磨テープの折返部分を側
方に迂回案内可能な折返受圧面を形成し、該折返受圧面
により迂回案内された研磨テープにより研磨部を形成し
てなることを特徴とする研磨加工装置。 - 【請求項５】 上記折返案内面は上記研磨テープの行側
部分及び戻側部分のうちの行側部分を行案内面から側方
に折返すと共に戻側部分を側方から戻案内面に折返す二
つの折返面と、該両折返面により側方に折り返された研
磨テープを案内するとと共に被加工物に対しての研磨圧
力を受ける受圧面とからなることを特徴とする請求項４
記載の研磨加工装置。 - 【請求項６】 上記受圧面はゴム又は合成樹脂等の弾性
材或いは硬質材からなる受圧パッドにより形成されてい
ることを特徴とする請求項５記載の研磨加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9270296A JP3764979B2 (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 研磨加工方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9270296A JP3764979B2 (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 研磨加工方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09277150A true JPH09277150A (ja) | 1997-10-28 |
| JP3764979B2 JP3764979B2 (ja) | 2006-04-12 |
Family
ID=14061828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9270296A Expired - Lifetime JP3764979B2 (ja) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 研磨加工方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3764979B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012040643A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sanshin Co Ltd | 基板研磨方法及びその装置 |
| JP2017159414A (ja) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | 株式会社サンシン | 内周面研磨装置 |
| JP2018058145A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社サンシン | ボールねじ用ナット研磨方法及びその装置 |
-
1996
- 1996-04-15 JP JP9270296A patent/JP3764979B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012040643A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sanshin Co Ltd | 基板研磨方法及びその装置 |
| JP2017159414A (ja) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | 株式会社サンシン | 内周面研磨装置 |
| JP2018058145A (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社サンシン | ボールねじ用ナット研磨方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3764979B2 (ja) | 2006-04-12 |
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