KR102637724B1 - 연삭·연마 복합가공장치 및 연마장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 1대의 가공 장치로 작업물의 연삭 가공 및 연마 가공을 할 수 있는 동시에, 연마 기구가 심플하고 연마 품질이 뛰어난 연삭·연마 복합가공장치의 제공을 목적으로 한다.
또, 연마 효율 및 품질이 뛰어난 연마장치의 제공을 목적으로 한다.
작업물을 연삭 가공하기 위한 연삭 스테이지와, 연마 가공하기 위한 연마 스테이지와, 상기 연삭 스테이지로부터 연마 스테이지로의 작업물 반송 수단을 구비하고, 상기 연마 스테이지는 연마 테이프를 이용한 테이프 연마 수단을 가지는 것을 특징으로 한다.

Description

연삭·연마 복합가공장치 및 연마장치{GRINDING·POLISHING COMBINED APPARATUS, AND POLISHING APPARATUS}

본 발명은, 연삭(硏削) 가공과 그 후의 연마(硏磨) 가공을 연속적으로 할 수 있는 복합가공장치에 관한 것이다.

또, 테이프 연마에 의한 연마장치에 관한 것이다.

각종 디바이스에 사용되는 각종 기판 등의 분야에 있어서는, 외형을 연삭 가공에 의해 성형한 후에 추가로 경면(鏡面) 형상으로 연마 가공이 실시되고 있다.

여기서 연삭 가공은, 고속 회전하는 지석(砥石)으로 작업물(work)의 표면, 외형 등을 깎아 성형하는 공법으로서, 표면의 평활도에 따라 예비(粗) 연삭, 중간 연삭, 마무리 연삭 등이 행해지고 있다.

연마 가공은, 미세한 지립(砥粒)을 이용하여 표면을 경면 형상으로 가는 것을 말한다.

연마 방법으로서는, 종래부터 연마액 속에 유리(遊離) 지립을 분산시킨 것이나, 에칭(etching)이라 불리는 화학반응에 의한 표면 가공이 채용되고 있었지만, 최근 환경 보전, 클린(clean) 작업성의 관점에서, 또 소재에 따라서는 에칭 가공을 할 수 없다는 등의 이유 때문에, 미세한 지립을 테이프 형상의 필름에 도포 및 고정화한 연마 테이프(래핑 테이프(lapping tape), 래핑 필름 등으로도 불리고 있다.)를 이용하는 방법이 행해지고 있다.

[0003] 이러한 가공 장치는, 지금까지 연삭장치, 연마장치로서 각각 별개의 가공 장치로 되어 있었기 때문에, 이들을 복수 종(種) 배열하거나, 그 가공기의 사이에 작업물 반송 장치를 설치할 필요가 있게 되어, 각 장치의 설치 기준을 마련하는 등의 작업이 어려우며, 비용 면에서도 고가(高價)가 되었다.

따라서, 본 발명자들은 연삭 수단과 테이프에 의한 연마 수단 간의 위치결정이 용이하고, 쿨런트(coolant) 순환계통 등의 부대설비의 공통화를 검토한 결과, 본 발명에 이르렀다.

[0004] 또, 종래의 연마 테이프에 의한 연마장치는, 예컨대 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이 한 쌍의 테이프 릴 사이에 연마 테이프를 걸치고, 이 연마 테이프를 회전하는 피(被)가공물에 압접(壓接)하기 위한 압접 기구를 가지는 것이었다.

이러한 압접 기구는, 탄성체의 탄력성의 조정, 선정이 매우 어렵다.

예컨대, 도 13에 나타내는 바와 같이 기판의 연삭한 연삭면의 성형 형상은, 용도에 따라 다양한 각도로 성형할 필요가 있어 복잡하기 때문에, 이러한 형상에 맞추어 압접 기구를 이동 제어하기 위해서는 복잡한 선회 유닛이나 다수의 축으로 이루어지는 제어 기구가 필요해질 뿐만 아니라, 피(被)연마면과의 사이에 틈새가 발생하기 쉬워 연마가 어려웠다.

일본 특허공개공보 제2011-45957호

[0006] 본 발명은, 1대의 가공 장치에 의해 작업물의 연삭 가공 및 연마 가공을 할 수 있는 동시에, 연마 기구가 심플하며 연마 품질이 뛰어난 연삭·연마 복합가공장치의 제공을 목적으로 한다.

또, 연마 효율 및 품질이 뛰어난 연마장치의 제공을 목적으로 한다.

[0007] 본 발명에 관한 연삭·연마 복합가공장치는, 작업물을 연삭 가공하기 위한 연삭 스테이지와, 연마 가공하기 위한 연마 스테이지와, 상기 연삭 스테이지로부터 연마 스테이지로의 작업물 반송 수단을 구비하고, 상기 연마 스테이지는 연마 테이프를 이용한 테이프 연마 수단을 가지는 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 연삭 가공기와 연마 가공기를 1대로 복합화하였기 때문에, 작업물의 위치결정이 용이하며 부대설비의 공통화가 가능해졌으므로, 저비용의 장치가 된다.

여기서, 연삭 스테이지와 연마 스테이지는, 작업물의 회전 유지 수단을 가지고 있다.

또, 테이프 연마 수단으로 되어 있기 때문에, 종래의 유리 지립을 이용한 것에 비해 환경 보전성이 뛰어나다.

[0008] 본 발명에 있어서, 테이프 연마 수단은, 연마 테이프를 걸쳐 놓은 한 쌍의 지지 롤과, 상기 한 쌍의 지지 롤에 걸쳐 놓은 연마 테이프를 작업물의 피연마면을 따라서 모방하도록 해당 한 쌍의 지지 롤을 선회시키기 위한 선회 수단을 가지도록 하여도 된다.

이와 같이 한 쌍의 지지 롤의 사이에 연마 테이프를 걸쳐서 당겨 설치(張設)하였기 때문에, 작업물과, 한 쌍의 지지 롤의 선회 수단의 사이를 근접 및 이격 제어함으로써, 복잡한 형상의 피연마면을 따라서 연마 테이프를 모방하게 하도록 선회시킬 수가 있다.

이 때에 한 쌍의 지지 롤에 당겨 설치하여, 걸쳐 놓은 연마 테이프와 작업물 간의 접촉 위치를, 예컨대 한 쌍의 지지 롤 간의 중앙부 등, 소정의 위치가 되도록 제어하면서 선회시킴으로써, 균일한 접촉압을 확보하기가 용이하다.

또, 연마 테이프와 작업물 간의 접촉 위치를 선회하는 한 쌍의 지지 롤 간의 중앙부로부터 어긋나게 하면, 작업물에 압접하는 테이프 면의 지립이 상기 연마 테이프의 선회에 의해서도 작업물의 접촉면을 따라서 이동하기 때문에, 연마량의 조정 기능을 갖는다.

연마 테이프의 이송 속도의 빠르기나 일시 정지 등의 제어가 용이하며, 물 등의 냉각 윤활액을 연마부에 공급하기 위해 작업물과의 접촉부를 일시적으로 이격 제어하는 것도 용이하다.

본 발명에서 연마 테이프의 이송은, 작업물의 회전과의 동기, 비(非)동기에 관계 없이 작용할 수 있다.

[0009] 연마 테이프를 작업물의 피연마 형상을 따라서 모방하게 하는 방법으로서, 테이프 연마 수단은, 연마 테이프를 걸쳐 놓은 제 1 및 제 2 롤로 이루어지는 한 쌍의 지지 롤과, 상기 한 쌍의 지지 롤에 걸쳐 놓은 연마 테이프를 작업물의 연삭면을 따라서 모방하도록 상기 제 1 롤과 제 2 롤을 작업물을 향해 전진 및 후퇴 방향으로 상대 이동시키기 위한 이동 제어 수단을 가지도록 하여도 된다.

이로써, 한 쌍의 지지 롤 간에 걸쳐 놓은 연마 테이프를 선회시키는 것과 마찬가지의 이동 제어가 가능하다.

여기서, 한 쌍의 지지 롤을 작업물을 향해 상대 이동시킬 경우에, 서보 모터에 의한 선회 기구에 링크 기구를 조합하여, 한 쌍의 링크에 각각 지지 롤을 설치하여도 된다.

또, 제 1 및 제 2 롤은, 연마 테이프의 이송 속도를 변화시키거나, 정지시킬 수도 있으며, 또 제 1, 제 2 롤을 동기화 또는 비동기에 의해 제어할 수가 있다.

[0010] 본 발명에 있어서, 한 쌍의 지지 롤은 연마 테이프의 연마면이 작업물의 피연마면에 대하여 좌우 방향으로 비스듬하게 맞닿도록 경사지게 하기 위한 경사 제한 수단을 가지도록 하여도 된다.

여기서 좌우 방향으로 경사지게 한다는 것은, 예컨대 회전 유지된 작업물을 수평으로 배치했을 경우에, 연마 테이프를 상하 수직 방향으로 당겨 설치한 것에 대하여 시계방향으로, 혹은 반(反)시계방향으로 비스듬하게 한 것을 말한다.

이로써, 작업물에 형성된 노치부(notch portion)에 연마 테이프가 들어가기 쉬워지거나, 작업물의 피연마면에 접촉하는 면적을 증대시켜, 연마 효율을 향상시키거나 할 수 있으며, 연마시의 냉각 윤활액의 공급도 용이해진다.

본 발명에 있어서, 한 쌍의 지지 롤에 걸쳐 놓은 연마 테이프를 해당 연마 테이프의 이면(裏面) 측으로부터 작업물을 향해 가압하는 백업(backup) 수단을 가지도록 하여도 된다.

이와 같이 하면, 작업물의 피연마부의 형상에 맞추어 연마 테이프가 이면 측으로부터 백업된다.

이와 같이 본 발명은, 테이프 연마 수단 그 자체에도 특징이 있기 때문에, 이러한 연마 기구를 이용한 단독의 연마장치로 하여도 된다.

[0011] 본 발명에 관한 연삭·연마 복합가공장치는, 연삭 스테이지와 연마 스테이지를 작업물의 반송 수단과 함께 일체화하였기 때문에, 이들의 복수의 가공을 1대의 장치로 할 수 있게 된다.

연마 수단으로서, 연마 테이프를 걸쳐 놓은 한 쌍의 지지 롤을 선회하거나 혹은, 상기 한 쌍의 지지 롤의 제 1 및 제 2 롤을 작업물에 대해, 각각 전진, 후퇴 이동하도록 제어하였기 때문에, 작업물의 피연마면의 형상을 모방하도록 연마할 수 있으므로, 종래의 컨택트 부품 등이 불필요하여, 심플한 구조이면서 연마의 균일성이 우수하다.

[0012] 도 1은 본 발명에 관한 연삭·연마 복합가공장치의 구성예를 나타낸다.
도 2의 (a)는 연삭 스테이지에 설치한 연삭 수단의 예를 나타내고, (b), (c)는 연삭 가공에 의해 성형한 기판의 단면 형상예를 나타낸다.
도 3은 연마 스테이지에 설치한 한 쌍의 지지 롤의 선회 수단의 움직임의 예를 (a)~(c)에 나타낸 것이다.
도 4는 선회 기구(선회 수단)를 작업물로부터 후퇴시킨 상태를 나타낸다.
도 5는 선회 수단의 움직임을 도 3의 (a)~(c)에 대응시켜 확대한 확대도를 나타낸다.
도 6은 한 쌍의 지지 롤의 이동 제어의 예를 (a)~(c)에 나타낸다.
도 7의 (a)는 연마 테이프의 접촉 부위를 중심으로부터 어긋나게 한 예이고, (b)는 텐션 롤러로 가압하는 예를 나타낸다.
도 8의 (a)는 연마 테이프를 작업물에 대해 상하방향으로 배치한 예이고, (b)는 좌우 방향으로 경사지게 한 예를 나타낸다.
도 9는 작업물의 노치부를 연마하는 예를 나타내는 것으로서, (a)는 연마 테이프를 비스듬하게 움직인 예이고, (b)는 백업한 예를 나타낸다.
도 10의 (a), (b)는 선회 기구와 링크 기구를 조합한 예를 나타낸다.
도 11은 백업 롤러를 구비한 예를 나타낸다.
도 12의 (a)는 사각형 기판의 연삭예를 나타내고, (b)는 외형 형상예를 나타낸다.
도 13은 종래의 테이프 연마의 예를 나타낸다.

[0013] 본 발명에 관한 연삭·연마 복합가공장치(이하, 본 장치라 부름; 100)의 구성예를 도 1에 나타낸다.

본 장치(100)는, 작업물을 연삭 가공하기 위한 연삭 스테이지(10)와, 연마 가공하기 위한 연마 스테이지(20)와, 연삭 스테이지(10)로부터 연마 스테이지(20)로 작업물을 반송하기 위한 반송 시스템(30)을 구비한다.

본 실시예에 관한 반송 시스템(30)은, 작업물을 핸들링하는 예컨대, 흡착 패드 등을 구비한 제 1 핸드(33a), 제 2 핸드(33b)를 가지며, 제 1 핸드(33a)는 도 1에서 상하방향으로 이동 제어하는 제 1 X 레일(31a)과, 좌우 방향으로 이동 제어하는 제 1 Y 레일(32a)을 갖는다.

제 2 핸드(33b)도 마찬가지로 제 2 X 레일(31b)과, 제 2 Y 레일(32b)에 의해, X-Y 방향이 이동 제어되고 있다.

기판 등의 작업물은, 원재료 스톡야드(stockyard)(제 1 스톡야드; 34)에 외부로부터 공급되고, 제 1 핸드(33a)에 의해 작업물을 연삭 스테이지(10)로 반송하며, 연삭 가공 후에 제 2 스톡야드(35)로 반송된다.

제 2 스톡야드(35)의 작업물은, 제 1 핸드(33a) 또는 제 2 핸드(33b)에 의해 핸들링되어, 제 3 스톡야드(36)로 이송된다.

제 2 핸드(33b)는, 제 3 스톡야드(36)로부터 연삭을 마친 작업물을 인수하여, 연마 스테이지(20)에서 연마하고, 연마 가공 후의 완성품 스톡야드(제 4 스톡야드; 37)로 반송되어, 다음 공정으로 반출된다.

본 실시예는, X-Y 레일에 의해 작업물의 반송을 행하는 예로 되어 있으나, 본 발명에 있어서 반송 시스템에 제한이 없으며, 예컨대 로봇 핸드를 이용하여도 무방하다.

이와 같이, 연삭 스테이지와 연마 스테이지를 복합화함으로써 작업물의 반송 및 위치결정이 용이해질 뿐만 아니라, 연삭, 연마시에 사용하는 쿨런트 계통의 공통화가 가능하다.

[0014] 도 2는, 연삭 스테이지(10)에 구비한 연삭 수단의 예를 나타낸다.

작업물(1)을 회전 유지하는 회전 테이블(11)과, 작업물을 연삭하는 지석(砥石, 12)을 갖는다.

회전 테이블(11)은, 흡인구멍 등의 작업물(1)의 유지 수단을 가지며, 구동부(11a)에 의해 회전 제어되고 있다.

지석(12)은, 지석 축(13)에 의해 구동계에 연결되어, 고속 회전 제어되고 있다.

또, 지석(12)은 작업물에 대한 전진·후퇴, 상하방향 및 기울기가 제어되고 있다.

또, 지석은 교체하거나 또는 복수로 구비함으로써 예비 연삭, 중간 연삭, 마무리 연삭 등의 전환이 가능하다.

도 2의 (b), (c)에 작업물(기판; 1)의 단면(端面)의 모따기 연삭의 예를 나타낸다.

기판의 용도, 요구 품질 등에 따라, (b)와 같이 단면(1c)에 대한 C 모따기(C chamfering)부(1a, 1b)가 동일한 정도인 것 이외에, (c)에 나타내는 바와 같이 C 모따기부의 크기가 1a와 1b로 상이한 것도 있다.

또, 작업물(1)의 단부(端部)에 V 노치 등의 노치부를 형성하는 경우도 있다.

본 발명에 관한 연마 수단을 이용하면, 이러한 복잡한 형상으로 연삭 성형한 부분의 연마도 가능하다.

[0015] 도 3~도 5에, 연마 스테이지(20)에 구비한 연마 수단의 제 1 실시예를 나타낸다.

턴테이블(21)이 구동부(21a)에 의해 회전 제어되고, 턴테이블 상에 작업물(1)을 흡착 유지한다.

상기 작업물(1)에 대하여, 근접 및 이격 제어된 베이스부(29)와, 이것에 연결된 선회 아암(22)을 갖는다.

선회 아암(22)은, 주요부만이 모식적으로 나타내어져 있으며, 베이스부(29)로부터 도시를 생략한 지지 부재 등에 의해 서보 모터 등의 구동부를 부착하고, 선회 중심(O) 둘레로 선회 제어되고 있다.

선회 아암(22)의 양단부에는, 제 1 지지 롤(23)과 제 2 지지 롤(24)로 이루어지는 한 쌍의 지지 롤을 갖는다.

연마 테이프(2)는, 릴(26)로부터 이송 롤(25)에 의해 송출하고, 그 한 쌍의 지지 롤(23, 24)에 걸쳐지며, 당김 롤(27)을 통해 릴(28) 측으로 되돌려진다.

이 때에, 이송 롤(25)과 당김 롤(27)의 조정에 의해, 연마 테이프(2)에 소정의 장력(張力)이 가해지도록 당겨 설치되어 있다.

도 3의 (a)~(c)에 대응시켜, 확대도를 도 5의 (a)~(c)에 나타내었다.

이로써, 선회 아암(22)을 연마 테이프(2)가 연삭면을 모방하도록 선회시킴으로써 기판의 단면의 연삭 형상에 맞추어 연마할 수가 있다.

선회 속도는, 서보 모터에 의해 제어되고 있으며, 단면의 형상이나 부위에 따라 연마 시간을 조정할 수 있다.

연마 테이프는, 10㎛ 이하의 미립자를 폴리에스테르·우레탄 수지 등과 혼합하여, 테이프 기재(基材) 상에 도포한 고정 지립(砥粒) 연마재이다.

지립에는, 화이트 알루미나, 그린 카보런덤(green carborundum), 다이아몬드 등, 각종 재료가 제안되며, 기판(작업물)의 재질에 따라 선정된다.

연마 테이프(2)는, 한 쌍의 지지 롤 사이에 당겨져 설치되어 있지만, 도 3의 (a)~(c)에서 선회 아암(22)이 선회될 때에 균일한 접촉압이 작업물(1)에 가해지는 것이 바람직하다.

따라서, 작업물(1)의 단면의 상하 중앙부를 선회 중심(O)의 위치에 대응시켜도 된다.

또, 도 7에 나타내는 바와 같이 연마 테이프(2)의 작업물(1)에 접촉하는 위치를 선회 중심보다 상부 측, 혹은 하부 측으로 어긋나게 하여도 된다.

이와 같이 하면, 연마 테이프(2)의 선회 중에 테이프 면의 지립이 작업물(1)의 접촉면을 따라서 이동하면서 연마하게 되어, 연마량이 늘어난다.

[0016] 이와 같이 연마 테이프(2)를 당겨 설치하였기 때문에, 연마 테이프(2)의 이송 속도의 조정이나, 일시 정지 등이 용이하다.

또, 도 4에 나타내는 바와 같이, 일단 작업물(1)로부터 후퇴시키는 것도 용이하다.

[0017] 도 6에 연마 수단의 제 2 실시예를 나타내는데, 선회 아암을 이용하는 일 없이, 제 1 지지 롤(123)과 제 2 지지 롤(124)을 각각 독립적으로 전진 및 후퇴 제어하여도 된다.

이러한 경우에도 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제 1 지지 롤(123)과 제 2 지지 롤(124) 간의 연마 테이프(2)에 가해지는 장력을 조정하면서, (a)에서는 제 1 지지 롤(123)을 제 2 지지 롤(124)보다 상대적으로 전진시켜, 상측의 연삭면(1a)을 연마하고, 그 후에 연속적으로 (b), (c)에 나타내는 바와 같이 제 1 지지 롤(123)을 후퇴시키면서 제 2 지지 롤(124)을 전진시킴으로써, 순차적으로 기판의 단면을 모방하도록 하여 연마할 수가 있다.

도 7의 (b)에는, 제 1 지지 롤(223)과 제 2 지지 롤(224)을 고정하고, 텐션 롤(223a)을 전진, 후퇴 이동함으로써, 제 1, 제 2 지지 롤의 상대 이동과 마찬가지로 할 수도 있다.

또, 도 10에 나타내는 바와 같이 구동반(驅動盤, 41)과 종동반(從動盤, 42)에 의해, 한 쌍의 제 1 링크(43)와 제 2 링크(44)를 유지한 예를 나타낸다.

제 1 링크(43)의 후부 측과 제 2 링크(44)의 후부 측이 각각 선회 제어된 구동반(41)에 대향하여 축부(41b, 41c)에 의해 축 부착되고, 제 1 링크(43) 및 제 2 링크(44)의 도중(途中)이 종동반(42)에 대향된 축부(42b, 42c)에 의해 축 부착되어 있다.

한 쌍의 링크의 선단 측에는, 한 쌍의 지지 롤러(43a, 44a)가 부착되어 있다.

구동반(41)은, 서보 모터와 축 연결(41a)되어 있으며, 서보 모터의 선회 제어에 따라 한 쌍의 지지 롤러(43a, 44a)가 서로 전진, 후퇴 이동한다.

연마 테이프(2)는, 한 쌍의 링크의 앞의 한 쌍의 지지 롤러(43a, 44a) 및 보조 롤러(43b, 44b) 및 텐션 롤러(25a)에 의해 당겨져 설치되어 있다.

본 실시예는, 선회 기구와 링크 기구를 조합함으로써, 구동 부품과 작업물 간의 거리를 길게 할 수 있어, 작업물의 선회시에 구동 부품과의 간섭을 피할 수가 있다.

[0018] 본 발명에 있어서는, 도 8에 나타내는 바와 같이 연마 테이프(2)를 (a)로부터 (b)의 경사지게 한 상태로 회전시키는 경사 제어 수단을 설치하여도 된다.

(b)에 나타낸 바와 같이, 연마 테이프를 경사지게 하면 접촉 면적이 늘어나, 연마 효율이 향상된다.

또, 도 9에 나타내는 바와 같이 연마 테이프(2)를 비스듬하게 선회시키면, 작업물(1)에 형성된 V 노치 등의 노치부(1d)의 내부에 연마 테이프(2)가 구부러지듯이 들어가기가 쉬워진다.

[0019] 본 발명에 있어서는, 연마 테이프의 접촉압을 한 쌍의 지지 롤 사이의 당겨 설치한 힘(張設力)으로 조정하였으나, 예컨대 에어를 주입한 주머니체(袋體) 등의 탄력재를 이용하여 연마 테이프의 이면 측으로부터 백업하여도 된다.

또, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이 자유롭게 회전하는 백업 롤러(50)의 외주부에 탄성체(51)를 장착하고, 연마 테이프(2)의 이면으로부터 작업물을 향해 가압(백업)하면, 작업물(1)의 노치부(1d)의 연마도 용이해진다.

도 11에는, 백업 롤러(50)의 백업의 힘을 스프링 등의 백업 탄성 수단(52)에 의해 조정할 수 있게 한 예를 나타낸다.

[0020] 본 발명의 대상이 되는 작업물의 형상도 원형뿐만 아니라, 도 12에 나타낸 사각형(方形) 기판 등, 각종 형상의 작업물에 대해서도 극좌표(極座標) 제어함으로써 대응할 수가 있다.

[0021] 10; 연삭 스테이지
11; 회전 테이블(회전 유지 수단)
12; 지석
13; 지석 축
20; 연마 스테이지
22; 선회 아암
23; 제 1 지지 롤
24; 제 2 지지 롤
29; 베이스부
30; 반송 시스템
41; 구동반
42; 종동반
43; 제 1 링크
44; 제 2 링크
100; 연삭·연마 복합가공장치

Claims (7)

1. 작업물을 연삭(硏削) 가공하기 위한 연삭 스테이지와, 연마(硏磨) 가공하기 위한 연마 스테이지와, 상기 연삭 스테이지와 상기 연마 스테이지에 각각 작업물을 반송하기 위한 작업물 반송 수단을 구비하고,
   상기 작업물 반송 수단은 작업물을 핸들링하는 핸드와, 상기 핸드를 서로 직교하는 방향으로 이동 제어하는 X레일과 Y레일로 이루어지고,
   상기 연마 스테이지는 연마 테이프를 이용한 테이프 연마 수단을 가지며,
   상기 테이프 연마 수단은 연마 테이프를 걸쳐 놓은 한 쌍의 지지 롤과, 상기 한 쌍의 지지 롤에 걸쳐 놓은 연마 테이프를 작업물의 피(被)연마면을 따라서 모방하도록 상기 한 쌍의 지지 롤을 선회시키기 위한 선회 아암을 가지며, 또한, 상기 연마 테이프의 상기 작업물에 접촉하는 위치가 상기 한 쌍의 지지 롤의 선회 중심보다 해당 한 쌍의 지지 롤 중 어느 한쪽의 지지 롤 측으로 치우쳐 있는 것을 특징으로 하는,
   연삭·연마 복합가공장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 한 쌍의 지지 롤은 연마 테이프의 연마면이 작업물의 피연마면에 대하여 좌우 방향으로 비스듬하게 맞닿도록 경사지게 하기 위한 경사 제한 수단을 가지는 것을 특징으로 하는,
   연삭·연마 복합가공장치.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 한 쌍의 지지 롤에 걸쳐 놓은 연마 테이프를 해당 연마 테이프의 이면(裏面) 측으로부터 작업물을 향해 가압하는 백업(backup) 수단을 가지는 것을 특징으로 하는,
   연삭·연마 복합가공장치.
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