JPH09268384A - 被製版ロールのエッチング装置 - Google Patents
被製版ロールのエッチング装置Info
- Publication number
- JPH09268384A JPH09268384A JP10327496A JP10327496A JPH09268384A JP H09268384 A JPH09268384 A JP H09268384A JP 10327496 A JP10327496 A JP 10327496A JP 10327496 A JP10327496 A JP 10327496A JP H09268384 A JPH09268384 A JP H09268384A
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- Japan
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- etching
- making roll
- roll
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被製版ロールの直径のいかんにかかわらずノ
ズルと被製版ロールとの距離を一定寸法に確保してエッ
チング液の露出金属面に当たる力を最適にしてサイドエ
ッチを少なく抑えた網グラビア版を製版できる，被製版
ロールのエッチング装置。 【構成】 現像処理を終えてレジスト画像が形成された
被製版ロールＲを水平に両端チャックしてタンク１の上
部開口部よりタンク１内に収容して低速回転する前記被
製版ロールＲに対し、タンク１内に設けたエッチング液
導入パイプ３を平行するように近づけて該エッチング液
導入パイプ３に等ピッチに配設したノズル２と前記被製
版ロールＲとの距離を一定寸法に確保してノズル２より
噴射するエッチング液を前記被製版ロールＲに当てて露
出金属面をエッチングして版を形成する。
ズルと被製版ロールとの距離を一定寸法に確保してエッ
チング液の露出金属面に当たる力を最適にしてサイドエ
ッチを少なく抑えた網グラビア版を製版できる，被製版
ロールのエッチング装置。 【構成】 現像処理を終えてレジスト画像が形成された
被製版ロールＲを水平に両端チャックしてタンク１の上
部開口部よりタンク１内に収容して低速回転する前記被
製版ロールＲに対し、タンク１内に設けたエッチング液
導入パイプ３を平行するように近づけて該エッチング液
導入パイプ３に等ピッチに配設したノズル２と前記被製
版ロールＲとの距離を一定寸法に確保してノズル２より
噴射するエッチング液を前記被製版ロールＲに当てて露
出金属面をエッチングして版を形成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、サイドエッチが少
なく抑えたエッチングできる被製版ロールのエッチング
装置を提供することを目的としている。 【０００２】 【従来の技術】従来の被製版ロールのエッチング装置
は、上部が開放したタンク内に、ノズルを等ピッチに有
するエッチング液導入パイプを、被製版ロールに対して
平行に、かつ直径が最大の、具体的には300mm の被製版
ロールに対してノズルと被製版ロールとの距離が最適エ
ッチングが行われる80mm〜90mmとなるように固設し、ノ
ズルより噴射するエッチング液を被製版ロールに当てて
露出金属面をエッチングして網グラビア版を製版するよ
うに構成されている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記の従来の被製版ロ
ールのエッチング装置は、被製版ロールの直径が小さく
なればなるほど、ノズルと被製版ロールとの距離が最適
エッチングの範囲を大きく離れていく。具体的には、直
径が100mm の被製版ロールではノズルと被製版ロールと
の距離は 180mm〜190mm となり、ノズルより噴射するエ
ッチング液は被製版ロールのレジスト画像で覆われてい
ない露出金属面に弱い噴射力で当たるために、噴射力が
弱いエッチング液は露出金属面に接触更新して浸食する
作用が弱くなり、サイドエッチが大きくなり、求めよう
とする濃淡快調度よりも濃度が大きいエッチングが行わ
れたり、スクリン線が欠落したりする欠点を有してい
る。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した点
に鑑み案出したもので、被製版ロールの直径のいかんに
かかわらずノズルと被製版ロールとの距離を一定寸法に
確保してエッチング液の露出金属面に当たる力を最適に
してサイドエッチを少なく抑えた網グラビア版を製版で
きる，被製版ロールのエッチング装置を提供することを
目的としている。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本願発明は、タンク１内
に、ノズル２を等ピッチに有するエッチング液導入パイ
プ３を、処理しようとする被製版ロールＲに平行にして
かつノズル２の噴射方向が被製版ロールＲに向くように
設け、ノズル２より噴射するエッチング液を回転される
被製版ロールＲに当ててレジスト画像で覆われていない
ロール金属面をエッチングして製版する被製版ロールの
エッチング装置において、前記エッチング液導入パイプ
３は、被製版ロールＲに接近離隔自在に設けられ、エッ
チング前及びエッチング後は、処理し得る被製版ロール
Ｒの中、最大径の被製版ロールＲと干渉しない位置に待
機するように構成され、かつエッチング時は、現に処理
しようとする被製版ロールＲについて予め他所で計測し
た直径データを受信し該直径に対応する接近移動を行い
ノズル２と被製版ロールＲとの距離を一定寸法に確保し
得るように構成されていることを特徴とする被製版ロー
ルのエッチング装置を提供することにある。 【０００６】 【発明の実施の形態】図１(a) ，(b) ，(c) ，(d) は、
本願発明の実施の形態に係る被製版ロールのエッチング
装置を示す。構成を説明する。この被製版ロールのエッ
チング装置Ｅは、天井走行するスタッカクレーンＳによ
り昇降自在に吊り上げられ移送されるロールチャック吊
り上げカセット装置Ｋにより、被製版ロールＲを水平に
両端チャックして吊り上げて移送し該ロールチャック吊
り上げカセット装置Ｋを装置本体フレーム５の切欠き内
に挟着されるように吊り下ろすことにより、被製版ロー
ルＲをタンク１内に収容するとともに、該ロールチャッ
ク吊り上げカセット装置Ｋの一方のチャックと直結した
歯車６を装置本体フレーム５の外部に設けられたモータ
７ａとチェーン巻掛け機構７ｂからなるロール駆動装置
７に係合してエッチング時に回転されるように構成され
ている。なお、ロールチャック吊り上げカセット装置Ｋ
は、エッチング装置の構成要素ではない。構成を説明す
ると、一方の端面板２０に設けられたエアシリンダ装置
２１がエアタンク２２から供給される高圧空気により作
動しチャック動作を行うチャック２３と、他方の端面板
２４に軸支され歯車６へ回転を伝達されることにより回
転する回転駆動側チャック２５とで被製版ロールＲを水
平に両端チャックするように構成されている。 【０００７】そして、タンク１内の両側には、ノズル２
を100mm ピッチ毎に有するエッチング液導入パイプ３，
３を、被製版ロールＲに平行にしてかつノズル２を水平
ないし斜め下向きに被製版ロールＲに向けて対称的に設
けてあり、ノズル２より噴射するエッチング液を前記被
製版ロールＲに当てて露出金属面をエッチングして製版
するように構成されている。 【０００８】特に、本願発明の被製版ロールのエッチン
グ装置は、軸方向に低速度で往復動を反復するオシレー
ト軸９に四節平行リンクよりなる揺動アーム機構８，８
の縦アーム８ａの下端が固定されかつ下部水平アーム８
ｂを固定リンクとされていて上部リンクである水平維持
アーム８ｃの先端にエッチング液導入パイプ３が両端支
持され、さらに、オシレート軸９の両端に直動自在かつ
相対回転不能に被嵌されているスリーブ軸受１０ａ，１
０ｂが装置本体フレーム５の両側の側面板５ａ，５ｂに
軸支され、スリーブ軸受１０ａがモータ１１ａとスプロ
ケット・チェーン巻掛け機構１１ｂからなるア−ム揺動
装置１１により回動されることにより前記揺動アーム機
構８が被製版ロールＲの径に応じてどの位置に揺動され
てもノズル２の噴射方向が被製版ロールＲの中心に向か
った姿勢を保ってエッチング液導入パイプ３が被製版ロ
ールＲに接近離隔自在となるように設けられかつノズル
２から被製版ロールＲへ噴射するエッチング液のはね返
りがタンク１外へ漏れないように両側のノズル２の背後
を閉じるはね受け板１３，１３が揺動アーム機構８，８
の水平維持アーム８ｃに支持されているとともに、オシ
レート軸９がモータ１２ａとベルト巻掛け機構１２ｂと
てこ・クランク機構１２ｃとからなるオシレート作動装
置１２により低速度で往復動され、前記揺動アーム機構
８に支持されたエッチング液導入パイプ３が低速度で往
復動しノズル２から被製版ロールＲへ噴射するエッチン
グ液を被製版ロールＲに対して均一に吹き付けるように
構成されており、エッチング前及びエッチング後は、処
理し得る被製版ロールＲの中、最大径Ｄmax の被製版ロ
ールＲと干渉しない位置に待機するように構成され、エ
ッチング時は、現に処理しようとする被製版ロールＲに
ついて予め他所で計測した直径データを受信し該直径に
対応する接近移動を行いノズル２と被製版ロールＲとの
距離を80mm〜100mm の一定寸法に確保して軸方向に約10
0mm のストロークで往復動するように構成されている。 【０００９】前記エッチング液導入パイプ３にはエッチ
ング液回収タンク１４内に貯留されたポンプ１５で汲み
上げるエッチング液が管１６、可撓管１７を通して送給
されるように構成され、タンク１内の底部に溜まるエッ
チング液は管１８を通してエッチング液回収タンク１４
内に還流する。 【００１０】次に、作用を説明する。ロールチャック吊
り上げカセット装置Ｋにより現像処理を終えてレジスト
画像が形成された被製版ロールＲを水平に両端チャック
してタンク１の上部開口部よりタンク１内に収容する
と、ア−ム揺動装置１１のモータ１１ａが駆動して揺動
アーム機構８が揺動され両側のエッチング液導入パイプ
３，３が接近してノズル２が被製版ロールＲに対向しノ
ズル２と被製版ロールＲとの距離を80mm〜100mmの一定
寸法に確保され、次いで、ロール駆動装置７のモータ７
ａが駆動して被製版ロールＲが回転されるとともに図示
しないエッチング液回収タンク内のエッチング液をポン
プで汲み上げてエッチング液導入パイプ３，３に送給す
ることによりノズル２より噴射するエッチング液を被製
版ロールＲに当てて露出金属面をエッチングして版を形
成する。タンク１内のエッチング液はエッチング液回収
タンクに流入する。 【００１１】上記の実施の形態においては、エッチング
液導入パイプ３，３を接近して被製版ロールＲに対して
接近離隔させる構成は、エッチング液導入パイプ３を揺
動アーム機構８，８で両端支持して揺動することにより
達成しているが、エッチング液導入パイプ３を被製版ロ
ールＲの中心を通る直線上を接近離隔させる構成として
も良い。 【００１２】 【発明の効果】以上説明してきたように、本願発明の被
製版ロールのエッチング装置によれば、現像処理を終え
てレジスト画像が形成された被製版ロールＲをタンク１
内に水平に収容しエッチング液導入パイプ３を接近させ
て被製版ロールＲの直径のいかんにかかわらずノズル２
を被製版ロールＲに対して80mm〜100mm に確保してノズ
ル２より噴射するエッチング液を前記被製版ロールＲに
当てて露出金属面をエッチングして版を形成する構成と
したので、ノズル２より噴射するエッチング液は被製版
ロールＲの直径のいかんにかかわらず被製版ロールＲの
レジスト画像で覆われていない露出金属面に一定の噴射
力で当たるために、エッチング液が露出金属面に良好に
接触更新して食刻作用を有効に発揮し、サイドエッチが
大きくならない比較的短い時間内に深度方向に食刻作用
が行われる結果、サイドエッチを小さく抑えたエッチン
グを行うことができ、従来装置のような、サイドエッチ
が大きく求めようとする濃淡快調度よりも濃度が大きい
エッチングが行われたり、スクリン線が欠落したりする
欠点を解消できる。
なく抑えたエッチングできる被製版ロールのエッチング
装置を提供することを目的としている。 【０００２】 【従来の技術】従来の被製版ロールのエッチング装置
は、上部が開放したタンク内に、ノズルを等ピッチに有
するエッチング液導入パイプを、被製版ロールに対して
平行に、かつ直径が最大の、具体的には300mm の被製版
ロールに対してノズルと被製版ロールとの距離が最適エ
ッチングが行われる80mm〜90mmとなるように固設し、ノ
ズルより噴射するエッチング液を被製版ロールに当てて
露出金属面をエッチングして網グラビア版を製版するよ
うに構成されている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記の従来の被製版ロ
ールのエッチング装置は、被製版ロールの直径が小さく
なればなるほど、ノズルと被製版ロールとの距離が最適
エッチングの範囲を大きく離れていく。具体的には、直
径が100mm の被製版ロールではノズルと被製版ロールと
の距離は 180mm〜190mm となり、ノズルより噴射するエ
ッチング液は被製版ロールのレジスト画像で覆われてい
ない露出金属面に弱い噴射力で当たるために、噴射力が
弱いエッチング液は露出金属面に接触更新して浸食する
作用が弱くなり、サイドエッチが大きくなり、求めよう
とする濃淡快調度よりも濃度が大きいエッチングが行わ
れたり、スクリン線が欠落したりする欠点を有してい
る。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した点
に鑑み案出したもので、被製版ロールの直径のいかんに
かかわらずノズルと被製版ロールとの距離を一定寸法に
確保してエッチング液の露出金属面に当たる力を最適に
してサイドエッチを少なく抑えた網グラビア版を製版で
きる，被製版ロールのエッチング装置を提供することを
目的としている。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本願発明は、タンク１内
に、ノズル２を等ピッチに有するエッチング液導入パイ
プ３を、処理しようとする被製版ロールＲに平行にして
かつノズル２の噴射方向が被製版ロールＲに向くように
設け、ノズル２より噴射するエッチング液を回転される
被製版ロールＲに当ててレジスト画像で覆われていない
ロール金属面をエッチングして製版する被製版ロールの
エッチング装置において、前記エッチング液導入パイプ
３は、被製版ロールＲに接近離隔自在に設けられ、エッ
チング前及びエッチング後は、処理し得る被製版ロール
Ｒの中、最大径の被製版ロールＲと干渉しない位置に待
機するように構成され、かつエッチング時は、現に処理
しようとする被製版ロールＲについて予め他所で計測し
た直径データを受信し該直径に対応する接近移動を行い
ノズル２と被製版ロールＲとの距離を一定寸法に確保し
得るように構成されていることを特徴とする被製版ロー
ルのエッチング装置を提供することにある。 【０００６】 【発明の実施の形態】図１(a) ，(b) ，(c) ，(d) は、
本願発明の実施の形態に係る被製版ロールのエッチング
装置を示す。構成を説明する。この被製版ロールのエッ
チング装置Ｅは、天井走行するスタッカクレーンＳによ
り昇降自在に吊り上げられ移送されるロールチャック吊
り上げカセット装置Ｋにより、被製版ロールＲを水平に
両端チャックして吊り上げて移送し該ロールチャック吊
り上げカセット装置Ｋを装置本体フレーム５の切欠き内
に挟着されるように吊り下ろすことにより、被製版ロー
ルＲをタンク１内に収容するとともに、該ロールチャッ
ク吊り上げカセット装置Ｋの一方のチャックと直結した
歯車６を装置本体フレーム５の外部に設けられたモータ
７ａとチェーン巻掛け機構７ｂからなるロール駆動装置
７に係合してエッチング時に回転されるように構成され
ている。なお、ロールチャック吊り上げカセット装置Ｋ
は、エッチング装置の構成要素ではない。構成を説明す
ると、一方の端面板２０に設けられたエアシリンダ装置
２１がエアタンク２２から供給される高圧空気により作
動しチャック動作を行うチャック２３と、他方の端面板
２４に軸支され歯車６へ回転を伝達されることにより回
転する回転駆動側チャック２５とで被製版ロールＲを水
平に両端チャックするように構成されている。 【０００７】そして、タンク１内の両側には、ノズル２
を100mm ピッチ毎に有するエッチング液導入パイプ３，
３を、被製版ロールＲに平行にしてかつノズル２を水平
ないし斜め下向きに被製版ロールＲに向けて対称的に設
けてあり、ノズル２より噴射するエッチング液を前記被
製版ロールＲに当てて露出金属面をエッチングして製版
するように構成されている。 【０００８】特に、本願発明の被製版ロールのエッチン
グ装置は、軸方向に低速度で往復動を反復するオシレー
ト軸９に四節平行リンクよりなる揺動アーム機構８，８
の縦アーム８ａの下端が固定されかつ下部水平アーム８
ｂを固定リンクとされていて上部リンクである水平維持
アーム８ｃの先端にエッチング液導入パイプ３が両端支
持され、さらに、オシレート軸９の両端に直動自在かつ
相対回転不能に被嵌されているスリーブ軸受１０ａ，１
０ｂが装置本体フレーム５の両側の側面板５ａ，５ｂに
軸支され、スリーブ軸受１０ａがモータ１１ａとスプロ
ケット・チェーン巻掛け機構１１ｂからなるア−ム揺動
装置１１により回動されることにより前記揺動アーム機
構８が被製版ロールＲの径に応じてどの位置に揺動され
てもノズル２の噴射方向が被製版ロールＲの中心に向か
った姿勢を保ってエッチング液導入パイプ３が被製版ロ
ールＲに接近離隔自在となるように設けられかつノズル
２から被製版ロールＲへ噴射するエッチング液のはね返
りがタンク１外へ漏れないように両側のノズル２の背後
を閉じるはね受け板１３，１３が揺動アーム機構８，８
の水平維持アーム８ｃに支持されているとともに、オシ
レート軸９がモータ１２ａとベルト巻掛け機構１２ｂと
てこ・クランク機構１２ｃとからなるオシレート作動装
置１２により低速度で往復動され、前記揺動アーム機構
８に支持されたエッチング液導入パイプ３が低速度で往
復動しノズル２から被製版ロールＲへ噴射するエッチン
グ液を被製版ロールＲに対して均一に吹き付けるように
構成されており、エッチング前及びエッチング後は、処
理し得る被製版ロールＲの中、最大径Ｄmax の被製版ロ
ールＲと干渉しない位置に待機するように構成され、エ
ッチング時は、現に処理しようとする被製版ロールＲに
ついて予め他所で計測した直径データを受信し該直径に
対応する接近移動を行いノズル２と被製版ロールＲとの
距離を80mm〜100mm の一定寸法に確保して軸方向に約10
0mm のストロークで往復動するように構成されている。 【０００９】前記エッチング液導入パイプ３にはエッチ
ング液回収タンク１４内に貯留されたポンプ１５で汲み
上げるエッチング液が管１６、可撓管１７を通して送給
されるように構成され、タンク１内の底部に溜まるエッ
チング液は管１８を通してエッチング液回収タンク１４
内に還流する。 【００１０】次に、作用を説明する。ロールチャック吊
り上げカセット装置Ｋにより現像処理を終えてレジスト
画像が形成された被製版ロールＲを水平に両端チャック
してタンク１の上部開口部よりタンク１内に収容する
と、ア−ム揺動装置１１のモータ１１ａが駆動して揺動
アーム機構８が揺動され両側のエッチング液導入パイプ
３，３が接近してノズル２が被製版ロールＲに対向しノ
ズル２と被製版ロールＲとの距離を80mm〜100mmの一定
寸法に確保され、次いで、ロール駆動装置７のモータ７
ａが駆動して被製版ロールＲが回転されるとともに図示
しないエッチング液回収タンク内のエッチング液をポン
プで汲み上げてエッチング液導入パイプ３，３に送給す
ることによりノズル２より噴射するエッチング液を被製
版ロールＲに当てて露出金属面をエッチングして版を形
成する。タンク１内のエッチング液はエッチング液回収
タンクに流入する。 【００１１】上記の実施の形態においては、エッチング
液導入パイプ３，３を接近して被製版ロールＲに対して
接近離隔させる構成は、エッチング液導入パイプ３を揺
動アーム機構８，８で両端支持して揺動することにより
達成しているが、エッチング液導入パイプ３を被製版ロ
ールＲの中心を通る直線上を接近離隔させる構成として
も良い。 【００１２】 【発明の効果】以上説明してきたように、本願発明の被
製版ロールのエッチング装置によれば、現像処理を終え
てレジスト画像が形成された被製版ロールＲをタンク１
内に水平に収容しエッチング液導入パイプ３を接近させ
て被製版ロールＲの直径のいかんにかかわらずノズル２
を被製版ロールＲに対して80mm〜100mm に確保してノズ
ル２より噴射するエッチング液を前記被製版ロールＲに
当てて露出金属面をエッチングして版を形成する構成と
したので、ノズル２より噴射するエッチング液は被製版
ロールＲの直径のいかんにかかわらず被製版ロールＲの
レジスト画像で覆われていない露出金属面に一定の噴射
力で当たるために、エッチング液が露出金属面に良好に
接触更新して食刻作用を有効に発揮し、サイドエッチが
大きくならない比較的短い時間内に深度方向に食刻作用
が行われる結果、サイドエッチを小さく抑えたエッチン
グを行うことができ、従来装置のような、サイドエッチ
が大きく求めようとする濃淡快調度よりも濃度が大きい
エッチングが行われたり、スクリン線が欠落したりする
欠点を解消できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の実施の形態に係る被製版ロールのエ
ッチング装置を示すもので、(a) は一部切欠き断面した
正面図、(b) は被製版ロールが最大径のときのエッチン
グ時の断面図、(c) 被製版ロールが最小径のときのエッ
チング時の断面図、(d)は右側面図。 【符号の説明】 Ｒ ・・・被製版ロール １ ・・・タンク ２ ・・・ノズル ３ ・・・エッチング液導入パイプ ８ ・・・揺動アーム機構 ８ｃ ・・・水平維持アーム
ッチング装置を示すもので、(a) は一部切欠き断面した
正面図、(b) は被製版ロールが最大径のときのエッチン
グ時の断面図、(c) 被製版ロールが最小径のときのエッ
チング時の断面図、(d)は右側面図。 【符号の説明】 Ｒ ・・・被製版ロール １ ・・・タンク ２ ・・・ノズル ３ ・・・エッチング液導入パイプ ８ ・・・揺動アーム機構 ８ｃ ・・・水平維持アーム
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 タンク１内に、ノズル２を等ピッチに有
するエッチング液導入パイプ３を、処理しようとする被
製版ロールＲに平行にしてかつノズル２の噴射方向が被
製版ロールＲに向くように設け、ノズル２より噴射する
エッチング液を回転される被製版ロールＲに当ててレジ
スト画像で覆われていないロール金属面をエッチングし
て製版する被製版ロールのエッチング装置において、 前記エッチング液導入パイプ３は、被製版ロールＲに接
近離隔自在に設けられ、エッチング前及びエッチング後
は、処理し得る被製版ロールＲの中、最大径の被製版ロ
ールＲと干渉しない位置に待機するように構成され、か
つエッチング時は、現に処理しようとする被製版ロール
Ｒについて予め他所で計測した直径データを受信し該直
径に対応する接近移動を行いノズル２と被製版ロールＲ
との距離を一定寸法に確保し得るように構成されている
ことを特徴とする被製版ロールのエッチング装置。 【請求項２】 前記エッチング液導入パイプ３は、エッ
チング時にパイプ軸方向に低速度で往復動を反復するよ
うに構成されていることを特徴とする〔請求項１〕に記
載の被製版ロールのエッチング装置。 【請求項３】 前記エッチング液導入パイプ３は、四節
平行リンクよりなる揺動アーム機構８，８の水平維持ア
ーム８ｃに支持されノズル２の噴射方向が被製版ロール
Ｒの中心に向かった姿勢を保つように構成されているこ
とを特徴とする〔請求項１〕又は〔請求項２〕に記載の
被製版ロールのエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10327496A JPH09268384A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 被製版ロールのエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10327496A JPH09268384A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 被製版ロールのエッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09268384A true JPH09268384A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=14349803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10327496A Pending JPH09268384A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 被製版ロールのエッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09268384A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100368279B1 (ko) * | 1998-12-18 | 2003-03-17 | 주식회사 포스코 | 쌍롤형박판주조장치의냉각롤표면에의딤플형성방법 |
| KR100489237B1 (ko) * | 2000-08-25 | 2005-05-17 | 주식회사 포스코 | 쌍롤형 박판주조기의주조롤 표면에 딤플형성방법 |
| US7395824B2 (en) * | 2003-08-22 | 2008-07-08 | Au Optronics Corp. | Cleaning apparatus for pillared devices |
| CN103014707A (zh) * | 2012-12-14 | 2013-04-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备 |
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