CN103014707A - 刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供的刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备，其中，摆动装置包括用于传递驱动力的连杆机构以及用于容纳连杆机构的壳体，连杆机构包括与驱动电机的输出轴连接的第一螺杆以及与第一螺杆通过螺帽连接的第二螺杆，摆动装置还包括固定于第一螺杆上的标示装置以及用于检测标示装置的位置的传感器，传感器与警示设备电连接。本发明的刻蚀设备，包括本发明的刻蚀设备中的摆动装置。本发明的刻蚀设备中的摆动装置利用传感器检测第一螺杆位置的变化，以此监测螺帽是否松动，避免因壳体被带动、破坏而影响摆动装置的正常工作。本发明的刻蚀设备，因为安装了本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其安全性得到进一步加强。
Description
技术领域
本发明涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备。
背景技术
在平板显示（FPD，Flat Panel Display）技术中，由于液晶显示器（LCD，Liquid Crystal Display）具备轻薄短小、大幅节省摆放空间等优点，已经逐渐取代阴极射线管显示器，成为主流的显示器。在各种类型的LCD中，薄膜场效应晶体管液晶显示器（TFT-LCD，Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display）是有源矩阵类型液晶显示器的一种，TFT-LCD性能优良，适合大规模的自动化生产，且原材料成本低廉，因此在LCD中占据重要地位。
TFT-LCD的制造工艺包括以下几部分：TFT-LCD阵列基板制成；在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及ITO导电层；用两块基板形成液晶盒；安装外围电路、组装背光源等的模块组装。而TFT-LCD阵列基板的制成又大体分为成膜、光刻、刻蚀三大工艺。其中，刻蚀工艺包括湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀是通过对对象材料（一般为金属导电膜）与药液之间的化学反应，对对象材料进行刻蚀；干法刻蚀主要是指利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基与材料发生化学反应或通过轰击等物理作用进行刻蚀。经过刻蚀工艺，光刻工程显影后，例如去除(有的刻蚀方法中为保留)没有被光阻覆盖的膜层部分，形成最终需要的线路图形。
上述湿法刻蚀工艺需要借助刻蚀设备完成，一般常见的刻蚀设备包括：用于承托玻璃基板的承托装置、设置于所述玻璃基板上方的用于向所述玻璃基板喷涂刻蚀液的多个并排设置的喷淋管、以及设置在喷淋管上的喷嘴，为保证喷嘴将刻蚀液均匀地喷淋到玻璃基板表面，保证刻蚀的均一性，刻蚀设备一般包括摆动装置，摆动装置进而包括驱动电机以及与驱动电机的输出轴连接的连杆机构，上述连杆机构通过连接板连接上述多个喷淋管，当这种刻蚀设备工作时，驱动电机通过连杆机构带动上述喷淋管摆动。
上述摆动装置虽然能有效提高刻蚀的均匀性，但是在其使用过程中，其中连杆机构中的用于固定螺杆的螺帽会松动，导致螺杆被拉伸，由于反作用力较大，与马达相连的用于容纳连杆机构的壳体被带动，久而久之，壳体与承托装置的连接处出现裂缝，壳体可能会脱落，甚至药液渗出，严重影响摆动装置的正常工作，进而影响刻蚀设备的工作效率。
发明内容
本发明的目的是提供一种可以及时监测螺帽松动，避免壳体被带动的刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，包括用于传递驱动力的连杆机构以及用于容纳所述连杆机构的壳体，所述连杆机构包括与驱动电机的输出轴连接的第一螺杆以及与所述第一螺杆通过螺帽连接的第二螺杆，所述摆动装置包括固定于所述第一螺杆上的标示装置以及用于检测所述标示装置的位置的传感器，所述传感器与警示设备电连接。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述标示装置为套接指示部件，所述套接指示部件包括固定于所述第一螺杆上的指示杆，所述指示杆的末端向所述壳体的与所述第一螺杆平行的内壁延伸。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述传感器包括位于所述指示杆的面向所述驱动电机的输出轴的一侧的第一传感器，所述第一传感器的检测范围在所述指示杆的正常的运动范围之外，所述第一传感器与警示设备电连接，当所述第一传感器检测到所述指示杆后，向所述警示设备提供电信号。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述传感器还包括位于所述指示杆的面向所述第二螺杆的一侧的第二传感器，所述第二传感器的检测范围在所述指示杆的正常的运动范围之外，所述第二传感器与警示设备电连接，当所述第二传感器检测到所述指示杆后，向所述警示设备提供电信号。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述第一传感器以及所述第二传感器均固定于所述壳体的与所述第一螺杆平行的内壁上。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述套接指示部件还包括垂直地连接于所述指示杆的末端并向所述驱动电机的输出轴的所在方向延伸的指针，所述第一传感器的检测范围在所述指针的正常的运动范围之外，当所述第一传感器检测到所述指针后，向所述警示设备提供电信号。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述第一传感器与所述第二传感器均为光感传感器。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，所述警示设备为声音报警器或光闪报警器。
本发明的刻蚀设备，包括本发明的刻蚀设备中的摆动装置。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置利用传感器检测第一螺杆位置的变化，以此监测螺帽是否松动，避免因螺帽松动，导致壳体被带动、破坏而影响摆动装置的正常工作。
本发明的刻蚀设备，因为安装了本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其安全性得到进一步加强。
附图说明
图1为本发明的刻蚀设备的结构示意图；
图2为本发明的刻蚀设备中的摆动装置的结构示意图的主视图；
图3为本发明的刻蚀设备中的摆动装置的结构示意图的俯视图；
图4为本发明的刻蚀设备中的摆动装置的结构示意图的左视图。
具体实施方式
如图1、图2所示，本发明的刻蚀设备，包括本发明的刻蚀设备中的摆动装置。本发明的刻蚀设备中的摆动装置包括驱动电机1以及与驱动电机1的输出轴2连接的连杆机构10。连杆机构10用于传递运动。
连杆机构10通过连接板4连接刻蚀设备中的多个喷淋管3，当刻蚀设备工作时，驱动电机1通过连杆机构10带动多个喷淋管3摆动，以提高刻蚀的均匀性。
结合图3、图4所示，本发明的刻蚀设备中的摆动装置，包括用于传递驱动力的连杆机构10以及用于容纳连杆机构10的壳体5。其中，连杆机构10包括与驱动电机1的输出轴2连接的第一螺杆11以及与第一螺杆11通过螺帽13连接的第二螺杆12。第一螺杆11通过传动板6与驱动电机1的输出轴2连接，第二螺杆12与连接板4连接。本发明的刻蚀设备中的摆动装置还包括固定于第一螺杆11上的标示装置15以及用于检测标示装置15的位置的传感器16，传感器16与警示设备（图中未示出）电连接。
当本发明的刻蚀设备进行刻蚀工作时，驱动电机1通过连杆机构10驱动连接板4摆动。图2中的空心箭头示出了连杆机构10的摆动方向。当螺帽13与第一螺杆11之间的螺纹连接松动，第一螺杆11的位置发生改变，这样固定于第一螺杆上11的标示装置15的位置随之发生改变，当传感器16检测到标示装置15的位置的变化，即向警示设备传递电信号，警示设备报警，以提示操作者维修螺帽13或第一螺杆11，由此避免壳体5被带动，保证刻蚀设备正常工作。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，标示装置15为套接指示部件。上述套接指示部件包括固定于第一螺杆11上的指示杆21。指示杆21的末端向壳体5的与第一螺杆11平行的内壁41延伸。传感器16包括位于指示杆21的面向驱动电机1的输出轴2的一侧的第一传感器31。第一传感器31的检测范围在指示杆21的正常的运动范围之外，第一传感器31与警示设备电连接，当第一传感器31检测到指示杆21后，向警示设备提供电信号。
当本发明的刻蚀设备正常工作时，第一传感器31的检测范围在指示杆21的正常的运动范围之外，第一传感器31不会向警示设备提供电信号。当螺帽13与第一螺杆11之间的螺纹连接松动，第一螺杆11的位置一般会向驱动电机1的输出轴2的所在方向移动，指示杆21移动进入第一传感器31的检测范围之内，这样第一传感器31向警示设备传递电信号，警示设备报警。
为使传感器16的监测更为灵敏、有效，本发明的刻蚀设备中的摆动装置中，传感器16还包括位于指示杆21的面向第二螺杆12的一侧的第二传感器32，第二传感器32的检测范围在指示杆21的正常的运动范围之外，第二传感器32与警示设备电连接，当第二传感器32检测到指示杆21后，向警示设备提供电信号。当螺帽13与第一螺杆11之间的螺纹连接松动，第一螺杆11的位置也有可能向第二螺杆12的所在方向移动。图3中的空心箭头示出了第一螺杆11位置的移动方向。这样当指示杆21移动进入第二传感器32的检测范围之内，这样第二传感器32向警示设备传递电信号，警示设备报警。
具体来说，本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，第一传感器31以及第二传感器32均固定于壳体5的与第一螺杆11平行的内壁41的内侧面上。
为进一步使第一传感器31的监测更为灵敏，本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，套接指示部件还包括垂直地连接于指示杆21的末端并向驱动电机1的输出轴2的所在方向延伸的指针22。第一传感器31的检测范围在指针22的正常的运动范围之外，当第一传感器31检测到指针22后，向警示设备提供电信号。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，第一传感器31与第二传感器32均为光感传感器。
本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其中，警示设备为声音报警器或光闪报警器。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种刻蚀设备中的摆动装置，包括用于传递驱动力的连杆机构以及用于容纳所述连杆机构的壳体，所述连杆机构包括与驱动电机的输出轴连接的第一螺杆以及与所述第一螺杆通过螺帽连接的第二螺杆，其特征在于，所述摆动装置包括固定于所述第一螺杆上的标示装置以及用于检测所述标示装置的位置的传感器，所述传感器与警示设备电连接。
2.根据权利要求1所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述标示装置为套接指示部件，所述套接指示部件包括固定于所述第一螺杆上的指示杆，所述指示杆的末端向所述壳体的与所述第一螺杆平行的内壁延伸。
3.根据权利要求2所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述传感器包括位于所述指示杆的面向所述驱动电机的输出轴的一侧的第一传感器，所述第一传感器的检测范围在所述指示杆的正常的运动范围之外，所述第一传感器与警示设备电连接，当所述第一传感器检测到所述指示杆后，向所述警示设备提供电信号。
4.根据权利要求3所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述传感器还包括位于所述指示杆的面向所述第二螺杆的一侧的第二传感器，所述第二传感器的检测范围在所述指示杆的正常的运动范围之外，所述第二传感器与警示设备电连接，当所述第二传感器检测到所述指示杆后，向所述警示设备提供电信号。
5.根据权利要求4所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述第一传感器以及所述第二传感器均固定于所述壳体的与所述第一螺杆平行的内壁上。
6.根据权利要求5所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述套接指示部件还包括垂直地连接于所述指示杆的末端并向所述驱动电机的输出轴的所在方向延伸的指针，所述第一传感器的检测范围在所述指针的正常的运动范围之外，当所述第一传感器检测到所述指针后，向所述警示设备提供电信号。
7.根据权利要求5所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述第一传感器与所述第二传感器均为光感传感器。
8.根据权利要求1所述的刻蚀设备中的摆动装置，其特征在于，所述警示设备为声音报警器或光闪报警器。
9.一种刻蚀设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的刻蚀设备中的摆动装置。
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