JPH09248401A - 液体の脱気処理方法 - Google Patents
液体の脱気処理方法Info
- Publication number
- JPH09248401A JPH09248401A JP8753996A JP8753996A JPH09248401A JP H09248401 A JPH09248401 A JP H09248401A JP 8753996 A JP8753996 A JP 8753996A JP 8753996 A JP8753996 A JP 8753996A JP H09248401 A JPH09248401 A JP H09248401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- degassing
- liquid
- vacuum chamber
- treated
- deaeration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】脱気装置の保存中に脱気エレメント内に純水や
アルコール等を封入せず空気を封入した場合において、
脱気処理の初期に処理済液中に空気が混入しないように
し、被処理液の損失を少なくすることを課題とする。 【解決手段】脱気エレメントと真空チャンバーと減圧装
置からなり、脱気エレメントは気体透過性を有する非多
孔質膜製の脱気チューブからなり液体の流入口と流出口
を有し且つこの脱気エレメントは真空チャンバー内に設
置されており、真空チャンバー内は減圧装置の吸引力に
より減圧可能である脱気装置による液体の脱気処理方法
であって、まず第１工程として脱気エレメントのチュー
ブ内から気体を排気し、次に第２工程として被処理液を
脱気エレメントに送液してこの被処理液を脱気エレメン
トの流入口から流出口に向けて流すことを特徴とする液
体の脱気処理方法を提供することにより上記課題を解決
する。
アルコール等を封入せず空気を封入した場合において、
脱気処理の初期に処理済液中に空気が混入しないように
し、被処理液の損失を少なくすることを課題とする。 【解決手段】脱気エレメントと真空チャンバーと減圧装
置からなり、脱気エレメントは気体透過性を有する非多
孔質膜製の脱気チューブからなり液体の流入口と流出口
を有し且つこの脱気エレメントは真空チャンバー内に設
置されており、真空チャンバー内は減圧装置の吸引力に
より減圧可能である脱気装置による液体の脱気処理方法
であって、まず第１工程として脱気エレメントのチュー
ブ内から気体を排気し、次に第２工程として被処理液を
脱気エレメントに送液してこの被処理液を脱気エレメン
トの流入口から流出口に向けて流すことを特徴とする液
体の脱気処理方法を提供することにより上記課題を解決
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は液体の脱気処理方
法に係り、詳しくは液体中の溶存ガスを除去する膜式脱
気処理方法であって、脱気処理の初期における被処理液
の損失を少なく或いは無くすることができる液体の脱気
処理方法に関するものである。
法に係り、詳しくは液体中の溶存ガスを除去する膜式脱
気処理方法であって、脱気処理の初期における被処理液
の損失を少なく或いは無くすることができる液体の脱気
処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】溶存ガスを含有する被処理液から前記溶
存ガスを除去して脱気液とするための装置としては、脱
気エレメントと真空チャンバーと減圧装置からなり、脱
気エレメントは気体透過性を有する非多孔質膜製の脱気
チューブからなり液体の流入口と流出口を有し且つこの
脱気エレメントは真空チャンバー内に設置されており、
真空チャンバー内は減圧装置の吸引力により減圧可能で
ある脱気装置が挙げられる。上記の脱気装置を送液配管
系に接続した後に脱気処理は開始されるが、接続後すぐ
にこの脱気装置によって被処理液を脱気処理すると処理
済液中に空気が混入するので、まず脱気エレメント内を
排気する必要がある。
存ガスを除去して脱気液とするための装置としては、脱
気エレメントと真空チャンバーと減圧装置からなり、脱
気エレメントは気体透過性を有する非多孔質膜製の脱気
チューブからなり液体の流入口と流出口を有し且つこの
脱気エレメントは真空チャンバー内に設置されており、
真空チャンバー内は減圧装置の吸引力により減圧可能で
ある脱気装置が挙げられる。上記の脱気装置を送液配管
系に接続した後に脱気処理は開始されるが、接続後すぐ
にこの脱気装置によって被処理液を脱気処理すると処理
済液中に空気が混入するので、まず脱気エレメント内を
排気する必要がある。
【０００３】脱気エレメント内を排気する一般的な方法
として、脱気処理を開始する前に大量の被処理液を送液
することによりエレメント内の空気を押し出す方法が挙
げられる。この場合脱気エレメントの内容量に対し、５
０〜１００倍以上の被処理液を送液する必要がある。し
かしながら近年、被処理液として高価な液体を使用する
場合が多くなり被処理液の損失を少なくする必要が出て
きた。被処理液を用いて空気を押し出す方法においては
脱気処理を開始する前に多量の被処理液を捨てるため被
処理液の損失が多くなり、高価な被処理液を処理するに
は適さない。
として、脱気処理を開始する前に大量の被処理液を送液
することによりエレメント内の空気を押し出す方法が挙
げられる。この場合脱気エレメントの内容量に対し、５
０〜１００倍以上の被処理液を送液する必要がある。し
かしながら近年、被処理液として高価な液体を使用する
場合が多くなり被処理液の損失を少なくする必要が出て
きた。被処理液を用いて空気を押し出す方法においては
脱気処理を開始する前に多量の被処理液を捨てるため被
処理液の損失が多くなり、高価な被処理液を処理するに
は適さない。
【０００４】また脱気エレメント内にあらかじめ純水、
アルコール等の液体を封入することにより脱気エレメン
ト内に空気が入り込むことを防止する方法も従来より用
いられている。しかしながらこの方法では、脱気処理の
初期において脱気エレメント内に封入した液体が脱気済
液に混入するおそれがある。さらに脱気エレメント内に
純水を封入した場合は、この状態で長期保存するとバク
テリアが発生することがあり非衛生的である。また、ア
ルコール等の可燃物を封入した場合には保管時や輸送時
等に火災が起きやすくなり危険である。
アルコール等の液体を封入することにより脱気エレメン
ト内に空気が入り込むことを防止する方法も従来より用
いられている。しかしながらこの方法では、脱気処理の
初期において脱気エレメント内に封入した液体が脱気済
液に混入するおそれがある。さらに脱気エレメント内に
純水を封入した場合は、この状態で長期保存するとバク
テリアが発生することがあり非衛生的である。また、ア
ルコール等の可燃物を封入した場合には保管時や輸送時
等に火災が起きやすくなり危険である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の解決課題
は、脱気装置の保存中に脱気エレメント内に純水やアル
コール等を封入せず空気を封入した場合において、脱気
処理の初期に処理済液中に空気が混入しないようにする
ことができ、被処理液の損失を少なく或いは無くするこ
とができる液体の脱気処理方法を提供することにある。
は、脱気装置の保存中に脱気エレメント内に純水やアル
コール等を封入せず空気を封入した場合において、脱気
処理の初期に処理済液中に空気が混入しないようにする
ことができ、被処理液の損失を少なく或いは無くするこ
とができる液体の脱気処理方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、少なくとも脱気エレメントと真空チャンバーと減圧
装置からなり、脱気エレメントは気体透過性を有する非
多孔質膜製の脱気チューブからなり液体の流入口と流出
口を有し且つこの脱気エレメントは真空チャンバー内に
設置されており、真空チャンバー内は減圧装置の吸引力
により減圧可能である脱気装置による液体の脱気処理方
法であって、まず第１工程として脱気エレメントのチュ
ーブ内から気体を排気し、次に第２工程として被処理液
を脱気エレメントに送液してこの被処理液を脱気エレメ
ントの流入口から流出口に向けて流すことを特徴とする
液体の脱気処理方法である。請求項２に記載の発明は、
第１工程において真空チャンバー内を真空状態とするこ
とにより脱気エレメント内の気体を排気することを特徴
とする請求項１に記載の液体の脱気処理方法である。請
求項３に記載の発明は、第１工程において真空チャンバ
ー内及び脱気エレメント内を真空状態とすることを特徴
とする請求項１に記載の液体の脱気処理方法である。
は、少なくとも脱気エレメントと真空チャンバーと減圧
装置からなり、脱気エレメントは気体透過性を有する非
多孔質膜製の脱気チューブからなり液体の流入口と流出
口を有し且つこの脱気エレメントは真空チャンバー内に
設置されており、真空チャンバー内は減圧装置の吸引力
により減圧可能である脱気装置による液体の脱気処理方
法であって、まず第１工程として脱気エレメントのチュ
ーブ内から気体を排気し、次に第２工程として被処理液
を脱気エレメントに送液してこの被処理液を脱気エレメ
ントの流入口から流出口に向けて流すことを特徴とする
液体の脱気処理方法である。請求項２に記載の発明は、
第１工程において真空チャンバー内を真空状態とするこ
とにより脱気エレメント内の気体を排気することを特徴
とする請求項１に記載の液体の脱気処理方法である。請
求項３に記載の発明は、第１工程において真空チャンバ
ー内及び脱気エレメント内を真空状態とすることを特徴
とする請求項１に記載の液体の脱気処理方法である。
【０００７】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図面に基
づいて説明する。図１はこの発明の液体の脱気処理方法
を説明するための説明図である。図において（１）は脱
気装置、（２）は脱気エレメント、（３）は真空チャン
バー、（４）は減圧装置、（５）は加圧タンク、（６）
は窒素ボンベである。（７）は脱気エレメント（２）の
流入口、（８）は流出口、（９）は脱気エレメント用真
空計である。（１０）は真空チャンバー用真空計、（１
１）は真空チャンバー（３）と減圧装置（４）を結ぶパ
イプである。（１２）は送気パイプ、（１３）は流入パ
イプ、（１４）は流出パイプである。（１５）は第１バ
ルブ、（１６）は第２バルブ、（１７）は第３バルブで
ある。
づいて説明する。図１はこの発明の液体の脱気処理方法
を説明するための説明図である。図において（１）は脱
気装置、（２）は脱気エレメント、（３）は真空チャン
バー、（４）は減圧装置、（５）は加圧タンク、（６）
は窒素ボンベである。（７）は脱気エレメント（２）の
流入口、（８）は流出口、（９）は脱気エレメント用真
空計である。（１０）は真空チャンバー用真空計、（１
１）は真空チャンバー（３）と減圧装置（４）を結ぶパ
イプである。（１２）は送気パイプ、（１３）は流入パ
イプ、（１４）は流出パイプである。（１５）は第１バ
ルブ、（１６）は第２バルブ、（１７）は第３バルブで
ある。
【０００８】図１に記載の脱気装置（１）において、脱
気エレメント（２）は真空チャンバー（３）内に設置さ
れており、減圧装置（４）と真空チャンバー（３）は減
圧パイプ（１１）で結ばれており、減圧装置（４）を作
動することに真空チャンバー（３）内を真空状態にでき
るようになっている。また減圧パイプ（１１）の途中に
は真空チャンバー用真空計（１０）が設けられ、真空チ
ャンバー（３）内の空気圧が計測できるようになってい
る。この真空チャンバー用真空計（１０）は真空チャン
バー（３）に直接設けてもよい。
気エレメント（２）は真空チャンバー（３）内に設置さ
れており、減圧装置（４）と真空チャンバー（３）は減
圧パイプ（１１）で結ばれており、減圧装置（４）を作
動することに真空チャンバー（３）内を真空状態にでき
るようになっている。また減圧パイプ（１１）の途中に
は真空チャンバー用真空計（１０）が設けられ、真空チ
ャンバー（３）内の空気圧が計測できるようになってい
る。この真空チャンバー用真空計（１０）は真空チャン
バー（３）に直接設けてもよい。
【０００９】加圧タンク（５）内には被処理液が入って
おり、窒素ボンベ（６）には高圧の窒素ガスが入ってい
る。窒素ボンベ（６）と加圧タンク（５）は送気パイプ
（１２）で結ばれており、加圧タンク（５）と脱気エレ
メント（２）の流入口（７）は流入パイプ（１３）で結
ばれており、流入パイプ（１３）の途中には第１バルブ
（１５）が設けられている。第１バルブ（１５）を開く
と加圧タンク（５）の中の被処理液は流入パイプ（１
３）を通って脱気エレメント（２）に送られる。図１に
記載の脱気装置は窒素ボンベ（６）内の窒素ガスの圧力
により被処理液が脱気エレメント（２）に送液されるが
この発明においてはこれに限定されず、例えばポンプを
用いて被処理液が送液される脱気装置に対してもこの発
明の液体の脱気処理方法は使用できる。
おり、窒素ボンベ（６）には高圧の窒素ガスが入ってい
る。窒素ボンベ（６）と加圧タンク（５）は送気パイプ
（１２）で結ばれており、加圧タンク（５）と脱気エレ
メント（２）の流入口（７）は流入パイプ（１３）で結
ばれており、流入パイプ（１３）の途中には第１バルブ
（１５）が設けられている。第１バルブ（１５）を開く
と加圧タンク（５）の中の被処理液は流入パイプ（１
３）を通って脱気エレメント（２）に送られる。図１に
記載の脱気装置は窒素ボンベ（６）内の窒素ガスの圧力
により被処理液が脱気エレメント（２）に送液されるが
この発明においてはこれに限定されず、例えばポンプを
用いて被処理液が送液される脱気装置に対してもこの発
明の液体の脱気処理方法は使用できる。
【００１０】脱気エレメント（２）で脱気された処理済
液は流出口（８）から出て流出パイプ（１４）を通って
所定箇所に送られる。流出パイプ（１４）の途中には第
３バルブ（１７）が設けられ、流出口（８）と第３バル
ブ（１７）の間には脱気エレメント用真空計（９）が設
けられ、脱気エレメント用真空計（９）の付け根には第
２バルブ（１６）が設けられている。第１バルブ（１
５）と第３バルブ（１７）を閉じて第２バルブ（１６）
を開けば、脱気エレメント用真空計（９）で脱気エレメ
ント（２）内の空気圧を計測することができる。
液は流出口（８）から出て流出パイプ（１４）を通って
所定箇所に送られる。流出パイプ（１４）の途中には第
３バルブ（１７）が設けられ、流出口（８）と第３バル
ブ（１７）の間には脱気エレメント用真空計（９）が設
けられ、脱気エレメント用真空計（９）の付け根には第
２バルブ（１６）が設けられている。第１バルブ（１
５）と第３バルブ（１７）を閉じて第２バルブ（１６）
を開けば、脱気エレメント用真空計（９）で脱気エレメ
ント（２）内の空気圧を計測することができる。
【００１１】上記の様な脱気装置（１）の脱気エレメン
ト（２）内は配管直後には気体が充満している。この発
明の液体の脱気処理方法では、脱気処理を開始する前に
前記脱気エレメント（２）内の気体を排気する。脱気エ
レメント（２）内の気体を排気するには、第１バルブ
（１５）及び第３バルブ（１７）を閉じたのち減圧装置
（４）を作動させるとよい。こうすると脱気エレメント
（２）内の気体は脱気エレメント（２）の気体透過性の
膜を透過して真空チャンバー中に排気される。また脱気
エレメント（２）内の気体を排気する別の方法として
は、流入パイプ（１３）における流入口（７）と第１バ
ルブ（１５）の間或いは流出パイプ（１４）における流
出口（８）と第３バルブ（１７）の間に排気パイプ（図
示せず）を設けこの排気パイプに排気装置を接続するこ
とにより、脱気エレメント（２）内の気体を直接排気す
る方法を挙げることができる。また、第１バルブ（１
５）を開いて第２バルブ（１６）及び第３バルブ（１
７）を閉じ加圧タンク（５）内の被処理液を脱気エレメ
ント（２）に送液し、脱気エレメント（２）内に被処理
液を充満させた状態で真空チャンバー（３）内を真空状
態としてもよい。この他、脱気処理の開始前に脱気エレ
メント（２）内から気体を除くことができる方法である
ならどのような方法でも好適に使用することができる。
ト（２）内は配管直後には気体が充満している。この発
明の液体の脱気処理方法では、脱気処理を開始する前に
前記脱気エレメント（２）内の気体を排気する。脱気エ
レメント（２）内の気体を排気するには、第１バルブ
（１５）及び第３バルブ（１７）を閉じたのち減圧装置
（４）を作動させるとよい。こうすると脱気エレメント
（２）内の気体は脱気エレメント（２）の気体透過性の
膜を透過して真空チャンバー中に排気される。また脱気
エレメント（２）内の気体を排気する別の方法として
は、流入パイプ（１３）における流入口（７）と第１バ
ルブ（１５）の間或いは流出パイプ（１４）における流
出口（８）と第３バルブ（１７）の間に排気パイプ（図
示せず）を設けこの排気パイプに排気装置を接続するこ
とにより、脱気エレメント（２）内の気体を直接排気す
る方法を挙げることができる。また、第１バルブ（１
５）を開いて第２バルブ（１６）及び第３バルブ（１
７）を閉じ加圧タンク（５）内の被処理液を脱気エレメ
ント（２）に送液し、脱気エレメント（２）内に被処理
液を充満させた状態で真空チャンバー（３）内を真空状
態としてもよい。この他、脱気処理の開始前に脱気エレ
メント（２）内から気体を除くことができる方法である
ならどのような方法でも好適に使用することができる。
【００１２】真空チャンバー（３）内の空気圧は真空チ
ャンバー用真空計（１０）を見ることにより確認可能で
あり、第２バルブ（１６）を開くと脱気エレメント用真
空計（９）を見ることによって脱気エレメント中の空気
圧も確認可能であるが、脱気処理の初期において真空チ
ャンバー（３）内は真空状態であると好ましく、真空チ
ャンバー（３）内及び脱気エレメント（２）内がともに
真空状態であるとより好ましい。
ャンバー用真空計（１０）を見ることにより確認可能で
あり、第２バルブ（１６）を開くと脱気エレメント用真
空計（９）を見ることによって脱気エレメント中の空気
圧も確認可能であるが、脱気処理の初期において真空チ
ャンバー（３）内は真空状態であると好ましく、真空チ
ャンバー（３）内及び脱気エレメント（２）内がともに
真空状態であるとより好ましい。
【００１３】
（実施例１）脱気エレメントの内容量が１００ｃｃの脱
気装置を用い、この脱気装置の真空チャンバー内を−７
２０ｍｍＨｇで４時間保持した。この後、脱気エレメン
トに水を１００ｃｃ／ｍｉｎで送液し脱気処理を開始し
たが、処理済液中に気泡の発生は見られなかった。
気装置を用い、この脱気装置の真空チャンバー内を−７
２０ｍｍＨｇで４時間保持した。この後、脱気エレメン
トに水を１００ｃｃ／ｍｉｎで送液し脱気処理を開始し
たが、処理済液中に気泡の発生は見られなかった。
【００１４】（実施例２）実施例１と同じ脱気装置を用
い、脱気エレメントにアセトンを１００ｃｃ／ｍｉｎで
送液し、アセトンが脱気エレメント内及び流出パイプ内
に充満したところで送液を止め、この状態で脱気装置の
真空チャンバー内を−７２０ｍｍＨｇで４時間保持し
た。この後、脱気エレメントにアセトンを１００ｃｃ／
ｍｉｎで送液し脱気処理を開始したが、処理済液中に気
泡の発生は見られなかった。
い、脱気エレメントにアセトンを１００ｃｃ／ｍｉｎで
送液し、アセトンが脱気エレメント内及び流出パイプ内
に充満したところで送液を止め、この状態で脱気装置の
真空チャンバー内を−７２０ｍｍＨｇで４時間保持し
た。この後、脱気エレメントにアセトンを１００ｃｃ／
ｍｉｎで送液し脱気処理を開始したが、処理済液中に気
泡の発生は見られなかった。
【００１５】（比較例１）実施例１と同じ脱気装置を用
い、真空チャンバー内を脱気しながら脱気エレメントに
水を５００ｃｃ／ｍｉｎで送液し脱気処理をしたとこ
ろ、処理開始３０分後まで気泡の発生が確認された。
い、真空チャンバー内を脱気しながら脱気エレメントに
水を５００ｃｃ／ｍｉｎで送液し脱気処理をしたとこ
ろ、処理開始３０分後まで気泡の発生が確認された。
【００１６】（比較例２）実施例１と同じ脱気装置を用
い、脱気エレメントにアセトンを１００ｃｃ／ｍｉｎで
送液し、アセトンが脱気エレメント内及び流出パイプ内
に充満させた後に脱気処理開始をしたところ、処理開始
３０分後までに１５ｃｃの空気が発生した。
い、脱気エレメントにアセトンを１００ｃｃ／ｍｉｎで
送液し、アセトンが脱気エレメント内及び流出パイプ内
に充満させた後に脱気処理開始をしたところ、処理開始
３０分後までに１５ｃｃの空気が発生した。
【００１７】
【発明の効果】この発明は、少なくとも脱気エレメント
と真空チャンバーと減圧装置からなり、脱気エレメント
は気体透過性を有する非多孔質膜製の脱気チューブから
なり液体の流入口と流出口を有し且つこの脱気エレメン
トは真空チャンバー内に設置されており、真空チャンバ
ー内は減圧装置の吸引力により減圧可能である脱気装置
による液体の脱気処理方法であって、まず第１工程とし
て脱気エレメントのチューブ内から気体を排気し、次に
第２工程として被処理液を脱気エレメントに送液してこ
の被処理液を脱気エレメントの流入口から流出口に向け
て流すことを特徴とする液体の脱気処理方法であり、及
び第１工程において真空チャンバー内を真空状態とする
ことにより脱気エレメント内の気体を排気することを特
徴とする請求項１に記載の液体の脱気処理方法であり、
及び第１工程において真空チャンバー内及び脱気エレメ
ント内を真空状態とすることを特徴とする請求項１に記
載の液体の脱気処理方法であるから以下のような優れた
効果を奏する。請求項１に記載の発明は、第１工程にお
いて脱気エレメント内の気体を排気するから脱気処理の
初期において被処理液を捨てる必要がなく、歩留まりが
よいという効果を奏する。またこの方法を使用する脱気
装置には、脱気エレメント内に純水やアルコール等の液
体を封入する必要がないため、処理済液中にこれら液体
が混入するおそれがなく、さらに衛生的且つ安全であ
る。請求項２に記載の発明は、真空チャンバー内を真空
状態にすることにより脱気エレメント内の気体を排気す
るから、通常の脱気処理に使用する装置のみで脱気エレ
メント内の気体を排気することができるという効果を奏
する。請求項３に記載の発明は、脱気処理の初期におけ
る脱気処理効率が特に高く、処理済液中に気泡が発生す
るおそれが殆どないという効果を奏する。
と真空チャンバーと減圧装置からなり、脱気エレメント
は気体透過性を有する非多孔質膜製の脱気チューブから
なり液体の流入口と流出口を有し且つこの脱気エレメン
トは真空チャンバー内に設置されており、真空チャンバ
ー内は減圧装置の吸引力により減圧可能である脱気装置
による液体の脱気処理方法であって、まず第１工程とし
て脱気エレメントのチューブ内から気体を排気し、次に
第２工程として被処理液を脱気エレメントに送液してこ
の被処理液を脱気エレメントの流入口から流出口に向け
て流すことを特徴とする液体の脱気処理方法であり、及
び第１工程において真空チャンバー内を真空状態とする
ことにより脱気エレメント内の気体を排気することを特
徴とする請求項１に記載の液体の脱気処理方法であり、
及び第１工程において真空チャンバー内及び脱気エレメ
ント内を真空状態とすることを特徴とする請求項１に記
載の液体の脱気処理方法であるから以下のような優れた
効果を奏する。請求項１に記載の発明は、第１工程にお
いて脱気エレメント内の気体を排気するから脱気処理の
初期において被処理液を捨てる必要がなく、歩留まりが
よいという効果を奏する。またこの方法を使用する脱気
装置には、脱気エレメント内に純水やアルコール等の液
体を封入する必要がないため、処理済液中にこれら液体
が混入するおそれがなく、さらに衛生的且つ安全であ
る。請求項２に記載の発明は、真空チャンバー内を真空
状態にすることにより脱気エレメント内の気体を排気す
るから、通常の脱気処理に使用する装置のみで脱気エレ
メント内の気体を排気することができるという効果を奏
する。請求項３に記載の発明は、脱気処理の初期におけ
る脱気処理効率が特に高く、処理済液中に気泡が発生す
るおそれが殆どないという効果を奏する。
【図１】この発明の液体の脱気処理方法を説明するため
の説明図である。
の説明図である。
１・・・・脱気装置 ２・・・・脱気エレメント ３・・・・真空チャンバー ４・・・・減圧装置 ５・・・・加圧タンク ６・・・・窒素ボンベ ７・・・・流入口 ８・・・・流出口 ９・・・・脱気エレメント用真空計 １０・・・真空チャンバー用真空計 １１・・・減圧パイプ １２・・・送気パイプ １３・・・流入パイプ １４・・・流出パイプ １５・・・第１バルブ １６・・・第２バルブ １７・・・第３バルブ
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも脱気エレメントと真空チャン
バーと減圧装置からなり、脱気エレメントは気体透過性
を有する非多孔質膜製の脱気チューブからなり液体の流
入口と流出口を有し且つこの脱気エレメントは真空チャ
ンバー内に設置されており、真空チャンバー内は減圧装
置の吸引力により減圧可能である脱気装置による液体の
脱気処理方法であって、まず第１工程として脱気エレメ
ントのチューブ内から気体を排気し、次に第２工程とし
て被処理液を脱気エレメントに送液してこの被処理液を
脱気エレメントの流入口から流出口に向けて流すことを
特徴とする液体の脱気処理方法。 - 【請求項２】 第１工程において真空チャンバー内を真
空状態とすることにより脱気エレメント内の気体を排気
することを特徴とする請求項１に記載の液体の脱気処理
方法。 - 【請求項３】 第１工程において真空チャンバー内及び
脱気エレメント内を真空状態とすることを特徴とする請
求項１に記載の液体の脱気処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8753996A JPH09248401A (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 液体の脱気処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8753996A JPH09248401A (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 液体の脱気処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248401A true JPH09248401A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=13917798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8753996A Pending JPH09248401A (ja) | 1996-03-15 | 1996-03-15 | 液体の脱気処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09248401A (ja) |
-
1996
- 1996-03-15 JP JP8753996A patent/JPH09248401A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2149874T3 (es) | Dispositivos osmoticos con revestimientos permeables al vapor. | |
| JP2001054725A (ja) | 過飽和酸素化液体を製造する方法 | |
| JPH05317605A (ja) | 膜式真空脱気方法および膜式真空脱気装置 | |
| CN107879517B (zh) | 一种用于浸没式光刻的超纯水脱气装置 | |
| JPH09248401A (ja) | 液体の脱気処理方法 | |
| JP2000350902A (ja) | 脱気方法 | |
| JPH04176303A (ja) | 液中溶存ガスの除去方法 | |
| JPH07227504A (ja) | 溶存酸素除去方法 | |
| JPH08332307A (ja) | 脱気装置 | |
| JP2008080255A (ja) | 純水製造装置 | |
| JPH0568808A (ja) | 隔膜真空脱気装置および隔膜真空脱気方法 | |
| JPH03207420A (ja) | 窒素ガス分離方法 | |
| JPS6334746B2 (ja) | ||
| JP2000185203A (ja) | 膜脱気装置の運転方法 | |
| JP2001009401A (ja) | 接液部材の洗浄方法 | |
| JP2003126854A (ja) | 一次純水製造装置 | |
| JP2781931B2 (ja) | 脱酸素装置 | |
| JP2002346312A (ja) | 送液流路における濾材処理方法 | |
| JP2003010661A (ja) | 炭酸水製造装置および炭酸水製造装置の運転方法 | |
| JPH0596103A (ja) | 脱気・脱泡方法 | |
| JP3648790B2 (ja) | 膜分離装置 | |
| JPH01215312A (ja) | 液中溶存気体の除去処理方法 | |
| JPH07231Y2 (ja) | ２段式脱酸素装置 | |
| JPH0698345B2 (ja) | 脱酸素システムの制御装置 | |
| JP2004074091A (ja) | ろ過膜の洗浄方法 |