JPH09243923A - 顕微鏡用対物レンズ - Google Patents
顕微鏡用対物レンズInfo
- Publication number
- JPH09243923A JPH09243923A JP8084635A JP8463596A JPH09243923A JP H09243923 A JPH09243923 A JP H09243923A JP 8084635 A JP8084635 A JP 8084635A JP 8463596 A JP8463596 A JP 8463596A JP H09243923 A JPH09243923 A JP H09243923A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- doublets
- object side
- fluorite
- front group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】3枚貼り合わせレンズを用いることなく、主と
して紫外線領域にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提
供する。 【解決手段】物体側から順に前群GFと後群GRとからな
り、前群GFは物体側から順に、物体側に凹面を向けた
2個のメニスカスレンズL1、L2と、正レンズと負レン
ズとの貼り合わせよりなる7個のダブレットD1〜D7と
を含み、後群GRは、正レンズと負レンズとの貼り合せ
よりなる2個のダブレットD8、D9を含むことを特徴と
する。
して紫外線領域にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提
供する。 【解決手段】物体側から順に前群GFと後群GRとからな
り、前群GFは物体側から順に、物体側に凹面を向けた
2個のメニスカスレンズL1、L2と、正レンズと負レン
ズとの貼り合わせよりなる7個のダブレットD1〜D7と
を含み、後群GRは、正レンズと負レンズとの貼り合せ
よりなる2個のダブレットD8、D9を含むことを特徴と
する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡用対物レン
ズに関し、主として波長250nm付近の紫外線用対物
レンズに関するものである。
ズに関し、主として波長250nm付近の紫外線用対物
レンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】250nm付近の波長域で使用可能な紫
外線用顕微鏡対物レンズとしては、例えば特開平5−7
2482号公報に開示されたものがあり、これは、メニ
スカスレンズと凹凸接合レンズよりなる第1レンズ群
と、3枚接合レンズを少なくとも2個含んだ第2レンズ
群と、凹凸接合レンズを含んだ第3レンズ群とからなる
対物レンズである。
外線用顕微鏡対物レンズとしては、例えば特開平5−7
2482号公報に開示されたものがあり、これは、メニ
スカスレンズと凹凸接合レンズよりなる第1レンズ群
と、3枚接合レンズを少なくとも2個含んだ第2レンズ
群と、凹凸接合レンズを含んだ第3レンズ群とからなる
対物レンズである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】波長250nm付近で
十分な透過率を持つ光学材料としては、蛍石(Ca
F2)、石英、Ultran30(Schott社の商
標)などがあるが、これらの光学材料はアッベ数の差が
小さいために、上記従来技術では3枚貼り合わせレンズ
を多用することによって、色消しを行おうとしている。
しかし波長250nm付近で十分な透過率を持つ接着剤
としてはシリコン系のものしかなく、シリコン系の接着
剤は接着力が弱いために、高精度な3枚貼り合わせレン
ズを製造することは困難であり、すなわち設計すること
はできるものの、実際に製品を製造することが困難であ
るという問題点があった。したがって本発明は、3枚貼
り合わせレンズを用いることなく、主として紫外線領域
にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提供することを課
題とする。
十分な透過率を持つ光学材料としては、蛍石(Ca
F2)、石英、Ultran30(Schott社の商
標)などがあるが、これらの光学材料はアッベ数の差が
小さいために、上記従来技術では3枚貼り合わせレンズ
を多用することによって、色消しを行おうとしている。
しかし波長250nm付近で十分な透過率を持つ接着剤
としてはシリコン系のものしかなく、シリコン系の接着
剤は接着力が弱いために、高精度な3枚貼り合わせレン
ズを製造することは困難であり、すなわち設計すること
はできるものの、実際に製品を製造することが困難であ
るという問題点があった。したがって本発明は、3枚貼
り合わせレンズを用いることなく、主として紫外線領域
にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提供することを課
題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、すなわち、物体側から
順に前群と後群とからなり、前群は物体側から順に、物
体側に凹面を向けた2個のメニスカスレンズと、正レン
ズと負レンズとの貼り合わせよりなる7個のダブレット
とを含み、後群は、正レンズと負レンズとの貼り合せよ
りなる2個のダブレットを含む、顕微鏡用対物レンズで
ある。この構成により、3枚貼り合わせレンズを用いる
ことなく、十分に色消しされた対物レンズを得ることが
できる。
するためになされたものであり、すなわち、物体側から
順に前群と後群とからなり、前群は物体側から順に、物
体側に凹面を向けた2個のメニスカスレンズと、正レン
ズと負レンズとの貼り合わせよりなる7個のダブレット
とを含み、後群は、正レンズと負レンズとの貼り合せよ
りなる2個のダブレットを含む、顕微鏡用対物レンズで
ある。この構成により、3枚貼り合わせレンズを用いる
ことなく、十分に色消しされた対物レンズを得ることが
できる。
【0005】その際、対物レンズ単独で軸上色収差や倍
率色収差のない状態を達成するために、前群中の7つの
ダブレットは色消し、後群中の2つのダブレットは色出
しにすることが好ましい。したがって前群中の各ダブレ
ットでは、正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッベ
数よりも大きく、後群中の各ダブレットでは、正レンズ
のアッベ数の方が負レンズのアッベ数よりも小さく形成
することが好ましい。
率色収差のない状態を達成するために、前群中の7つの
ダブレットは色消し、後群中の2つのダブレットは色出
しにすることが好ましい。したがって前群中の各ダブレ
ットでは、正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッベ
数よりも大きく、後群中の各ダブレットでは、正レンズ
のアッベ数の方が負レンズのアッベ数よりも小さく形成
することが好ましい。
【0006】また前群による色消しを効果的に行うため
に、前群中の7個のダブレットのうち、物体側に配置し
た4個のダブレットの貼り合わせ面は物体側に凸に形成
し、像側に配置した3個のダブレットの貼り合わせ面は
物体側に凹に形成することが好ましい。
に、前群中の7個のダブレットのうち、物体側に配置し
た4個のダブレットの貼り合わせ面は物体側に凸に形成
し、像側に配置した3個のダブレットの貼り合わせ面は
物体側に凹に形成することが好ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を説明する。
図1及び図3は本発明による顕微鏡用対物レンズの第1
及び第2実施例を示し、各実施例の対物レンズとも、物
体側から順に前群GFと後群GRからなる。前群GFは物
体側から順に、物体側に凹面を向けた2個のメニスカス
レンズL1、L2と、正レンズと負レンズとの貼り合わせ
よりなる7個のダブレットD1〜D7とからなり、後群G
Rは、正レンズと負レンズとの貼り合せよりなる2個の
ダブレットD8、D9からなる。
図1及び図3は本発明による顕微鏡用対物レンズの第1
及び第2実施例を示し、各実施例の対物レンズとも、物
体側から順に前群GFと後群GRからなる。前群GFは物
体側から順に、物体側に凹面を向けた2個のメニスカス
レンズL1、L2と、正レンズと負レンズとの貼り合わせ
よりなる7個のダブレットD1〜D7とからなり、後群G
Rは、正レンズと負レンズとの貼り合せよりなる2個の
ダブレットD8、D9からなる。
【0008】表1及び表2に、両実施例の諸元を掲げ
る。[全体諸元]中、fは焦点距離、DOは物点距離、
NAは開口数を表わす。[レンズ諸元]中、第1カラム
は物体側からの各レンズ面の番号、第2カラムrは各レ
ンズ面の曲率半径、第3カラムdは各レンズ面の間隔、
第4カラムは各レンズの材質、第5カラムn246、第6
カラムn242、及び第7カラムn250は、それぞれ各レン
ズの波長λ=246nm、242nm、及び250nm
に対する屈折率、第8カラムνは、各レンズの波長λ=
246nmを基準としたアッベ数を示す。なお材質中、
U30はウルトラン30を示す。
る。[全体諸元]中、fは焦点距離、DOは物点距離、
NAは開口数を表わす。[レンズ諸元]中、第1カラム
は物体側からの各レンズ面の番号、第2カラムrは各レ
ンズ面の曲率半径、第3カラムdは各レンズ面の間隔、
第4カラムは各レンズの材質、第5カラムn246、第6
カラムn242、及び第7カラムn250は、それぞれ各レン
ズの波長λ=246nm、242nm、及び250nm
に対する屈折率、第8カラムνは、各レンズの波長λ=
246nmを基準としたアッベ数を示す。なお材質中、
U30はウルトラン30を示す。
【0009】
【表1】 [全体諸元] f=2.0 D0=0.34 NA=0.900 [レンズ諸元] r d 材質 n246 n242 n250 ν 1 -1.68 1.64 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 -1.59 0.05 3 -5.28 1.60 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 4 -3.82 0.05 5 -11.04 0.80 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 6 10.23 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 7 -5.77 0.10 8 300.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 9 7.86 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 10 -14.32 0.10 11 90.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 12 7.72 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 13 -18.00 0.10 14 250.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 15 7.51 3.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 16 -45.09 1.00 17 200.00 3.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 18 -8.59 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 19 -216.34 1.00 20 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 21 -7.87 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 22 -1680.00 1.00 23 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 24 -6.85 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 25 26.08 14.00 26 6.32 4.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 27 -6.00 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 28 5.15 1.50 29 -3.66 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 30 3.99 3.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 31 -13.00
【0010】
【表2】 [全体諸元] f=2.0 D0=0.34 NA=0.900 [レンズ諸元] r d 材質 n246 n242 n250 ν 1 -1.72 1.64 U30 1.60649 1.60929 1.60387 112.1 2 -1.66 0.05 3 -5.08 1.60 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 4 -3.95 0.05 5 -9.95 0.80 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 6 9.73 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 7 -5.66 0.10 8 300.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 9 7.54 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 10 -14.27 0.10 11 90.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 12 7.49 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 13 -18.00 0.10 14 250.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 15 7.78 3.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 16 -48.96 1.00 17 200.00 3.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 18 -8.91 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 19 -127.26 1.00 20 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 21 -8.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 22 -1220.00 1.00 23 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 24 -6.81 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 25 23.91 14.00 26 6.18 4.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 27 -6.00 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 28 5.22 1.50 29 -3.60 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 30 3.91 3.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 31 -13.00
【0011】図2及び図4に、それぞれ第1及び第2実
施例の球面収差、非点収差、倍率色収差、コマ収差、及
び歪曲収差を示す。球面収差図、倍率色収差図、及びコ
マ収差図において、実線は波長λ=246nm、点線は
λ=242nm、一点鎖線はλ=250nmを示す。ま
た非点収差図中、実線はサジタル像面を表わし、点線は
メリジオナル像面を表す。またNAは開口数を表し、Y
は像高を表す。また各実施例の対物レンズは無限遠補正
系であり、上記各収差図は、図5に示す結像レンズLIM
によって結像したものである。以下の表3に結像レンズ
LIMの諸元を掲げる。
施例の球面収差、非点収差、倍率色収差、コマ収差、及
び歪曲収差を示す。球面収差図、倍率色収差図、及びコ
マ収差図において、実線は波長λ=246nm、点線は
λ=242nm、一点鎖線はλ=250nmを示す。ま
た非点収差図中、実線はサジタル像面を表わし、点線は
メリジオナル像面を表す。またNAは開口数を表し、Y
は像高を表す。また各実施例の対物レンズは無限遠補正
系であり、上記各収差図は、図5に示す結像レンズLIM
によって結像したものである。以下の表3に結像レンズ
LIMの諸元を掲げる。
【0012】各収差図から明らかなように、第1及び第
2実施例とも、246±4nmにおいて視野数20でよ
く収差が補正されていることがわかる。なお両実施例と
も、光の波長が紫外領域である場合について述べたが、
本発明を可視光領域について適用することもできる。
2実施例とも、246±4nmにおいて視野数20でよ
く収差が補正されていることがわかる。なお両実施例と
も、光の波長が紫外領域である場合について述べたが、
本発明を可視光領域について適用することもできる。
【0013】
【表3】 f=200 r d 材質 n246 n242 n250 ν 1 -30.63 2.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 2406.00 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 3 -39.10 1.00 4 -417.40 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 5 -51.84
【0014】
【発明の効果】以上の通り本発明により、3枚貼り合わ
せレンズを用いることなく、良好に色消しされた顕微鏡
用対物レンズが得られた。
せレンズを用いることなく、良好に色消しされた顕微鏡
用対物レンズが得られた。
【図1】第1実施例のレンズ構成図
【図2】第1実施例の諸収差図
【図3】第2実施例のレンズ構成図
【図4】第2実施例の諸収差図
【図5】結像レンズのレンズ構成図
G1…前群 G2…後群 L1、L2…メニスカスレンズ D1〜D9…ダブレッ
ト LIM…結像レンズ
ト LIM…結像レンズ
Claims (4)
- 【請求項1】物体側から順に前群と後群とからなり、 前記前群は物体側から順に、物体側に凹面を向けた2個
のメニスカスレンズと、正レンズと負レンズとの貼り合
わせよりなる7個のダブレットとを含み、 前記後群は、正レンズと負レンズとの貼り合せよりなる
2個のダブレットを含む、顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項2】前群中の前記各ダブレットは、該ダブレッ
トを構成する正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッ
ベ数よりも大きく、 後群中の前記各ダブレットは、該ダブレットを構成する
正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッベ数よりも小
さい、請求項1記載の顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項3】前群中の各ダブレットの前記正レンズは蛍
石によって形成され、負レンズは石英によって形成さ
れ、 後群中の各ダブレットの前記正レンズは石英によって形
成され、負レンズは蛍石によって形成された、請求項2
記載の顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項4】前群中の前記7個のダブレットのうち、物
体側に配置した4個のダブレットの前記貼り合わせ面は
物体側に凸に形成され、像側に配置した3個のダブレッ
トの貼り合わせ面は物体側に凹に形成された、請求項
1、2又は3記載の顕微鏡用対物レンズ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8084635A JPH09243923A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
US08/815,161 US5886826A (en) | 1996-03-13 | 1997-03-11 | Microscope objective |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8084635A JPH09243923A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09243923A true JPH09243923A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=13836153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8084635A Pending JPH09243923A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5886826A (ja) |
JP (1) | JPH09243923A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000105340A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Nikon Corp | 顕微鏡対物レンズ |
US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3971134B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2007-09-05 | オリンパス株式会社 | 対物レンズ |
US6822805B2 (en) * | 2001-07-09 | 2004-11-23 | Olympus Corporation | Objective lens |
JP4404591B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2010-01-27 | Hoya株式会社 | 紫外線用撮像系 |
TWI757732B (zh) | 2020-05-05 | 2022-03-11 | 大立光電股份有限公司 | 攝像用光學透鏡組、取像裝置及電子裝置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5469299A (en) * | 1990-05-15 | 1995-11-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens system |
JP3242426B2 (ja) * | 1991-09-12 | 2001-12-25 | オリンパス光学工業株式会社 | 紫外対物レンズ |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP8084635A patent/JPH09243923A/ja active Pending
-
1997
- 1997-03-11 US US08/815,161 patent/US5886826A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000105340A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Nikon Corp | 顕微鏡対物レンズ |
US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5886826A (en) | 1999-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3559623B2 (ja) | 結像レンズ | |
JP3397439B2 (ja) | 結像レンズ | |
JPH10274742A (ja) | 液浸系顕微鏡対物レンズ | |
CN111381354A (zh) | 显微镜物镜 | |
JP4496568B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JPH09243923A (ja) | 顕微鏡用対物レンズ | |
JPH11174345A (ja) | 広視野接眼レンズ | |
JPH07234357A (ja) | ルーペ | |
JPS592885B2 (ja) | アクロマチツク顕微鏡対物レンズ | |
JPH0629897B2 (ja) | 結像用対物レンズ | |
JP4552248B2 (ja) | 顕微鏡用対物レンズ | |
JPH11326789A (ja) | 接眼レンズ | |
JPS6034738B2 (ja) | 広視野顕微鏡用対物レンズ | |
JPS61275812A (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JPS6190116A (ja) | レトロフオ−カス型広角レンズ | |
JP3435920B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JPS61275810A (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JPH0567004B2 (ja) | ||
JP3541285B2 (ja) | 接眼レンズ | |
JPH09243924A (ja) | 顕微鏡用対物レンズ | |
JPS60112010A (ja) | 低倍率顕微鏡対物レンズ | |
JP4238942B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
US4383739A (en) | Microscope objective | |
JP3414853B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JPH0358493B2 (ja) |