JPH09243923A - 顕微鏡用対物レンズ - Google Patents
顕微鏡用対物レンズInfo
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- JPH09243923A JPH09243923A JP8084635A JP8463596A JPH09243923A JP H09243923 A JPH09243923 A JP H09243923A JP 8084635 A JP8084635 A JP 8084635A JP 8463596 A JP8463596 A JP 8463596A JP H09243923 A JPH09243923 A JP H09243923A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- doublets
- object side
- fluorite
- front group
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】３枚貼り合わせレンズを用いることなく、主と
して紫外線領域にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提
供する。 【解決手段】物体側から順に前群ＧFと後群ＧRとからな
り、前群ＧFは物体側から順に、物体側に凹面を向けた
２個のメニスカスレンズＬ1、Ｌ2と、正レンズと負レン
ズとの貼り合わせよりなる７個のダブレットＤ1〜Ｄ7と
を含み、後群ＧRは、正レンズと負レンズとの貼り合せ
よりなる２個のダブレットＤ8、Ｄ9を含むことを特徴と
する。
して紫外線領域にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提
供する。 【解決手段】物体側から順に前群ＧFと後群ＧRとからな
り、前群ＧFは物体側から順に、物体側に凹面を向けた
２個のメニスカスレンズＬ1、Ｌ2と、正レンズと負レン
ズとの貼り合わせよりなる７個のダブレットＤ1〜Ｄ7と
を含み、後群ＧRは、正レンズと負レンズとの貼り合せ
よりなる２個のダブレットＤ8、Ｄ9を含むことを特徴と
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡用対物レン
ズに関し、主として波長２５０ｎｍ付近の紫外線用対物
レンズに関するものである。
ズに関し、主として波長２５０ｎｍ付近の紫外線用対物
レンズに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】２５０ｎｍ付近の波長域で使用可能な紫
外線用顕微鏡対物レンズとしては、例えば特開平５−７
２４８２号公報に開示されたものがあり、これは、メニ
スカスレンズと凹凸接合レンズよりなる第１レンズ群
と、３枚接合レンズを少なくとも２個含んだ第２レンズ
群と、凹凸接合レンズを含んだ第３レンズ群とからなる
対物レンズである。
外線用顕微鏡対物レンズとしては、例えば特開平５−７
２４８２号公報に開示されたものがあり、これは、メニ
スカスレンズと凹凸接合レンズよりなる第１レンズ群
と、３枚接合レンズを少なくとも２個含んだ第２レンズ
群と、凹凸接合レンズを含んだ第３レンズ群とからなる
対物レンズである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】波長２５０ｎｍ付近で
十分な透過率を持つ光学材料としては、蛍石（Ｃａ
Ｆ2）、石英、Ｕｌｔｒａｎ３０（Ｓｃｈｏｔｔ社の商
標）などがあるが、これらの光学材料はアッベ数の差が
小さいために、上記従来技術では３枚貼り合わせレンズ
を多用することによって、色消しを行おうとしている。
しかし波長２５０ｎｍ付近で十分な透過率を持つ接着剤
としてはシリコン系のものしかなく、シリコン系の接着
剤は接着力が弱いために、高精度な３枚貼り合わせレン
ズを製造することは困難であり、すなわち設計すること
はできるものの、実際に製品を製造することが困難であ
るという問題点があった。したがって本発明は、３枚貼
り合わせレンズを用いることなく、主として紫外線領域
にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提供することを課
題とする。
十分な透過率を持つ光学材料としては、蛍石（Ｃａ
Ｆ2）、石英、Ｕｌｔｒａｎ３０（Ｓｃｈｏｔｔ社の商
標）などがあるが、これらの光学材料はアッベ数の差が
小さいために、上記従来技術では３枚貼り合わせレンズ
を多用することによって、色消しを行おうとしている。
しかし波長２５０ｎｍ付近で十分な透過率を持つ接着剤
としてはシリコン系のものしかなく、シリコン系の接着
剤は接着力が弱いために、高精度な３枚貼り合わせレン
ズを製造することは困難であり、すなわち設計すること
はできるものの、実際に製品を製造することが困難であ
るという問題点があった。したがって本発明は、３枚貼
り合わせレンズを用いることなく、主として紫外線領域
にて使用可能な顕微鏡用対物レンズを提供することを課
題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたものであり、すなわち、物体側から
順に前群と後群とからなり、前群は物体側から順に、物
体側に凹面を向けた２個のメニスカスレンズと、正レン
ズと負レンズとの貼り合わせよりなる７個のダブレット
とを含み、後群は、正レンズと負レンズとの貼り合せよ
りなる２個のダブレットを含む、顕微鏡用対物レンズで
ある。この構成により、３枚貼り合わせレンズを用いる
ことなく、十分に色消しされた対物レンズを得ることが
できる。
するためになされたものであり、すなわち、物体側から
順に前群と後群とからなり、前群は物体側から順に、物
体側に凹面を向けた２個のメニスカスレンズと、正レン
ズと負レンズとの貼り合わせよりなる７個のダブレット
とを含み、後群は、正レンズと負レンズとの貼り合せよ
りなる２個のダブレットを含む、顕微鏡用対物レンズで
ある。この構成により、３枚貼り合わせレンズを用いる
ことなく、十分に色消しされた対物レンズを得ることが
できる。
【０００５】その際、対物レンズ単独で軸上色収差や倍
率色収差のない状態を達成するために、前群中の７つの
ダブレットは色消し、後群中の２つのダブレットは色出
しにすることが好ましい。したがって前群中の各ダブレ
ットでは、正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッベ
数よりも大きく、後群中の各ダブレットでは、正レンズ
のアッベ数の方が負レンズのアッベ数よりも小さく形成
することが好ましい。
率色収差のない状態を達成するために、前群中の７つの
ダブレットは色消し、後群中の２つのダブレットは色出
しにすることが好ましい。したがって前群中の各ダブレ
ットでは、正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッベ
数よりも大きく、後群中の各ダブレットでは、正レンズ
のアッベ数の方が負レンズのアッベ数よりも小さく形成
することが好ましい。
【０００６】また前群による色消しを効果的に行うため
に、前群中の７個のダブレットのうち、物体側に配置し
た４個のダブレットの貼り合わせ面は物体側に凸に形成
し、像側に配置した３個のダブレットの貼り合わせ面は
物体側に凹に形成することが好ましい。
に、前群中の７個のダブレットのうち、物体側に配置し
た４個のダブレットの貼り合わせ面は物体側に凸に形成
し、像側に配置した３個のダブレットの貼り合わせ面は
物体側に凹に形成することが好ましい。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を説明する。
図１及び図３は本発明による顕微鏡用対物レンズの第１
及び第２実施例を示し、各実施例の対物レンズとも、物
体側から順に前群ＧFと後群ＧRからなる。前群ＧFは物
体側から順に、物体側に凹面を向けた２個のメニスカス
レンズＬ1、Ｌ2と、正レンズと負レンズとの貼り合わせ
よりなる７個のダブレットＤ1〜Ｄ7とからなり、後群Ｇ
Rは、正レンズと負レンズとの貼り合せよりなる２個の
ダブレットＤ8、Ｄ9からなる。
図１及び図３は本発明による顕微鏡用対物レンズの第１
及び第２実施例を示し、各実施例の対物レンズとも、物
体側から順に前群ＧFと後群ＧRからなる。前群ＧFは物
体側から順に、物体側に凹面を向けた２個のメニスカス
レンズＬ1、Ｌ2と、正レンズと負レンズとの貼り合わせ
よりなる７個のダブレットＤ1〜Ｄ7とからなり、後群Ｇ
Rは、正レンズと負レンズとの貼り合せよりなる２個の
ダブレットＤ8、Ｄ9からなる。
【０００８】表１及び表２に、両実施例の諸元を掲げ
る。［全体諸元］中、ｆは焦点距離、ＤOは物点距離、
ＮＡは開口数を表わす。［レンズ諸元］中、第１カラム
は物体側からの各レンズ面の番号、第２カラムｒは各レ
ンズ面の曲率半径、第３カラムｄは各レンズ面の間隔、
第４カラムは各レンズの材質、第５カラムｎ246、第６
カラムｎ242、及び第７カラムｎ250は、それぞれ各レン
ズの波長λ＝２４６ｎｍ、２４２ｎｍ、及び２５０ｎｍ
に対する屈折率、第８カラムνは、各レンズの波長λ＝
２４６ｎｍを基準としたアッベ数を示す。なお材質中、
Ｕ30はウルトラン３０を示す。
る。［全体諸元］中、ｆは焦点距離、ＤOは物点距離、
ＮＡは開口数を表わす。［レンズ諸元］中、第１カラム
は物体側からの各レンズ面の番号、第２カラムｒは各レ
ンズ面の曲率半径、第３カラムｄは各レンズ面の間隔、
第４カラムは各レンズの材質、第５カラムｎ246、第６
カラムｎ242、及び第７カラムｎ250は、それぞれ各レン
ズの波長λ＝２４６ｎｍ、２４２ｎｍ、及び２５０ｎｍ
に対する屈折率、第８カラムνは、各レンズの波長λ＝
２４６ｎｍを基準としたアッベ数を示す。なお材質中、
Ｕ30はウルトラン３０を示す。
【０００９】
【表１】 ［全体諸元］ ｆ＝2.0 Ｄ0＝0.34 ＮＡ＝0.900 ［レンズ諸元］ ｒ ｄ 材質 ｎ246 ｎ242 ｎ250 ν 1 -1.68 1.64 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 -1.59 0.05 3 -5.28 1.60 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 4 -3.82 0.05 5 -11.04 0.80 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 6 10.23 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 7 -5.77 0.10 8 300.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 9 7.86 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 10 -14.32 0.10 11 90.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 12 7.72 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 13 -18.00 0.10 14 250.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 15 7.51 3.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 16 -45.09 1.00 17 200.00 3.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 18 -8.59 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 19 -216.34 1.00 20 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 21 -7.87 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 22 -1680.00 1.00 23 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 24 -6.85 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 25 26.08 14.00 26 6.32 4.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 27 -6.00 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 28 5.15 1.50 29 -3.66 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 30 3.99 3.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 31 -13.00
【００１０】
【表２】 ［全体諸元］ ｆ＝2.0 Ｄ0＝0.34 ＮＡ＝0.900 ［レンズ諸元］ ｒ ｄ 材質 ｎ246 ｎ242 ｎ250 ν 1 -1.72 1.64 Ｕ30 1.60649 1.60929 1.60387 112.1 2 -1.66 0.05 3 -5.08 1.60 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 4 -3.95 0.05 5 -9.95 0.80 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 6 9.73 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 7 -5.66 0.10 8 300.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 9 7.54 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 10 -14.27 0.10 11 90.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 12 7.49 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 13 -18.00 0.10 14 250.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 15 7.78 3.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 16 -48.96 1.00 17 200.00 3.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 18 -8.91 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 19 -127.26 1.00 20 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 21 -8.00 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 22 -1220.00 1.00 23 200.00 2.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 24 -6.81 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 25 23.91 14.00 26 6.18 4.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 27 -6.00 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 28 5.22 1.50 29 -3.60 1.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 30 3.91 3.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 31 -13.00
【００１１】図２及び図４に、それぞれ第１及び第２実
施例の球面収差、非点収差、倍率色収差、コマ収差、及
び歪曲収差を示す。球面収差図、倍率色収差図、及びコ
マ収差図において、実線は波長λ＝２４６ｎｍ、点線は
λ＝２４２ｎｍ、一点鎖線はλ＝２５０ｎｍを示す。ま
た非点収差図中、実線はサジタル像面を表わし、点線は
メリジオナル像面を表す。またＮＡは開口数を表し、Ｙ
は像高を表す。また各実施例の対物レンズは無限遠補正
系であり、上記各収差図は、図５に示す結像レンズＬIM
によって結像したものである。以下の表３に結像レンズ
ＬIMの諸元を掲げる。
施例の球面収差、非点収差、倍率色収差、コマ収差、及
び歪曲収差を示す。球面収差図、倍率色収差図、及びコ
マ収差図において、実線は波長λ＝２４６ｎｍ、点線は
λ＝２４２ｎｍ、一点鎖線はλ＝２５０ｎｍを示す。ま
た非点収差図中、実線はサジタル像面を表わし、点線は
メリジオナル像面を表す。またＮＡは開口数を表し、Ｙ
は像高を表す。また各実施例の対物レンズは無限遠補正
系であり、上記各収差図は、図５に示す結像レンズＬIM
によって結像したものである。以下の表３に結像レンズ
ＬIMの諸元を掲げる。
【００１２】各収差図から明らかなように、第１及び第
２実施例とも、２４６±４ｎｍにおいて視野数２０でよ
く収差が補正されていることがわかる。なお両実施例と
も、光の波長が紫外領域である場合について述べたが、
本発明を可視光領域について適用することもできる。
２実施例とも、２４６±４ｎｍにおいて視野数２０でよ
く収差が補正されていることがわかる。なお両実施例と
も、光の波長が紫外領域である場合について述べたが、
本発明を可視光領域について適用することもできる。
【００１３】
【表３】 ｆ＝200 ｒ ｄ 材質 ｎ246 ｎ242 ｎ250 ν 1 -30.63 2.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 2406.00 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 3 -39.10 1.00 4 -417.40 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 5 -51.84
【００１４】
【発明の効果】以上の通り本発明により、３枚貼り合わ
せレンズを用いることなく、良好に色消しされた顕微鏡
用対物レンズが得られた。
せレンズを用いることなく、良好に色消しされた顕微鏡
用対物レンズが得られた。
【図１】第１実施例のレンズ構成図
【図２】第１実施例の諸収差図
【図３】第２実施例のレンズ構成図
【図４】第２実施例の諸収差図
【図５】結像レンズのレンズ構成図
Ｇ1…前群 Ｇ2…後群 Ｌ1、Ｌ2…メニスカスレンズ Ｄ1〜Ｄ9…ダブレッ
ト ＬIM…結像レンズ
ト ＬIM…結像レンズ
Claims (4)
- 【請求項１】物体側から順に前群と後群とからなり、 前記前群は物体側から順に、物体側に凹面を向けた２個
のメニスカスレンズと、正レンズと負レンズとの貼り合
わせよりなる７個のダブレットとを含み、 前記後群は、正レンズと負レンズとの貼り合せよりなる
２個のダブレットを含む、顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項２】前群中の前記各ダブレットは、該ダブレッ
トを構成する正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッ
ベ数よりも大きく、 後群中の前記各ダブレットは、該ダブレットを構成する
正レンズのアッベ数の方が負レンズのアッベ数よりも小
さい、請求項１記載の顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項３】前群中の各ダブレットの前記正レンズは蛍
石によって形成され、負レンズは石英によって形成さ
れ、 後群中の各ダブレットの前記正レンズは石英によって形
成され、負レンズは蛍石によって形成された、請求項２
記載の顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項４】前群中の前記７個のダブレットのうち、物
体側に配置した４個のダブレットの前記貼り合わせ面は
物体側に凸に形成され、像側に配置した３個のダブレッ
トの貼り合わせ面は物体側に凹に形成された、請求項
１、２又は３記載の顕微鏡用対物レンズ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8084635A JPH09243923A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
| US08/815,161 US5886826A (en) | 1996-03-13 | 1997-03-11 | Microscope objective |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8084635A JPH09243923A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243923A true JPH09243923A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=13836153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8084635A Pending JPH09243923A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5886826A (ja) |
| JP (1) | JPH09243923A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000105340A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Nikon Corp | 顕微鏡対物レンズ |
| US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3971134B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2007-09-05 | オリンパス株式会社 | 対物レンズ |
| US6822805B2 (en) * | 2001-07-09 | 2004-11-23 | Olympus Corporation | Objective lens |
| JP4404591B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2010-01-27 | Ｈｏｙａ株式会社 | 紫外線用撮像系 |
| TWI757732B (zh) | 2020-05-05 | 2022-03-11 | 大立光電股份有限公司 | 攝像用光學透鏡組、取像裝置及電子裝置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5469299A (en) * | 1990-05-15 | 1995-11-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens system |
| JP3242426B2 (ja) * | 1991-09-12 | 2001-12-25 | オリンパス光学工業株式会社 | 紫外対物レンズ |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP8084635A patent/JPH09243923A/ja active Pending
-
1997
- 1997-03-11 US US08/815,161 patent/US5886826A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000105340A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-04-11 | Nikon Corp | 顕微鏡対物レンズ |
| US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5886826A (en) | 1999-03-23 |
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