JP4404591B2 - 紫外線用撮像系 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 26
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 28
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 15
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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(1)−3<f/r1<−0.5
(2)65<ν(ALL)
(3)0<ν330(P)−ν330(N)<10
(4)−0.5<f/f 1-2 <0.1
(5)0.2<f/f 3-4 <0.8
(6)0.2<f/f 5-6 <0.8
(7)−0.5<f/f 7-8 <0.1
但し、
f:波長330nmにおける全系の焦点距離、
r1:負の第1レンズの物体側の面の曲率半径、
ν(ALL):全レンズの硝材のd線のν値(アッベ数)、
ν=(nd−1)/(nF−nC)
nd:d線に対する屈折率、
nF:F線に対する屈折率、
nC:C線に対する屈折率、
ν330(P):正レンズの紫外線領域に対するν値、
ν330(N):負レンズの紫外線領域に対するν値、
ν330=(n330−1)/(n250−n365)
ni:波長i(nm)の光線に対する屈折率、
f i-j :第iレンズと第jレンズの波長330nmにおける合成焦点距離、
である。
(8)0.1<1/ν1-2<1.0
(9)|1/ν3-4|<0.1
(10)|1/ν5-6|<0.1
(11)0.1<1/ν7-8<1.0
但し、
1/νi-j=Σfi-j/fkνk(k=i、j)
fk:第kレンズの波長330nmにおける焦点距離、
νk:第kレンズの紫外線領域に対するν値、
である。
(12)65<ν1<80
但し、
ν1:最も物体側のレンズのd線のν値(アッベ数)、
n1d:最も物体側のレンズのd線に対する屈折率、
n1F:最も物体側のレンズのF線に対する屈折率、
n1C:最も物体側のレンズのC線に対する屈折率、
である。
ν330=(n330-1)/(n250-n365)(但し、ni:波長i(nm)の屈折率)で定義した紫外線領域に対するν値であり、ν330(P)とν330(N)はそれぞれ、この定義に従って計算した、全系に含まれる正レンズの紫外線領域に対するν値と、同じく全系に含まれる負レンズの紫外線領域に対するν値である。
1/νi-j=Σfi-j/fkνk(k=i、j)(但し、νk=第kレンズの紫外線領域に対するν値)で定義される値(第iレンズと第jレンズの合成分散率)である。
図1、図2は本発明の紫外線用撮像系の第1実施例を示すもので、図1はレンズ構成図、図2はその諸収差図である。表1はその数値データである。絞りは第8面より像側に4.51、像面は第18面より3.95の位置、基準波長は330nmである。
FE= 1: 2.3
f= 24.96
M= -0.100
Y= 4.0
fB= 14.46(=10.00+0.75/1.48059+3.95)
面 No. r d 硝材
1 -17.078 2.00 石英
2 23.411 0.63
3 31.713 6.00 蛍石
4 -22.708 0.20
5 26.679 12.37 蛍石
6 -15.092 0.75
7 -14.093 1.20 石英
8 -35.309 7.00
9 31.661 1.00 石英
10 7.800 0.10
11 8.056 5.80 蛍石
12 -33.897 0.20
13 14.441 5.54 蛍石
14 -10.329 0.20
15 -10.783 1.00 石英
16 9.038 10.00
17 ∞ 0.75 石英(平行平面板)
18 ∞ -
[実施例2]
図3、図4は本発明の紫外線用撮像系の第2実施例を示すもので、図3はレンズ構成図、図4はその諸収差図である。表2はその数値データである。絞りは第8面より像側に2.43、像面は第18面より4.07の位置、基準波長は330nmである。
FE= 1: 2.7
f= 24.90
M= -0.100
Y= 4.0
fB= 14.58(=10.00+0.75/1.48059+4.07)
面 No. r d 硝材
1 -14.139 1.98 石英
2 32.429 0.45
3 40.347 4.94 蛍石
4 -22.903 0.20
5 27.029 7.92 蛍石
6 -15.467 0.35
7 -15.068 1.50 石英
8 -36.307 4.34
9 35.851 1.00 石英
10 8.706 0.10
11 9.101 4.94 蛍石
12 -37.510 0.20
13 16.408 9.14 蛍石
14 -9.300 0.24
15 -9.446 1.00 石英
16 9.880 10.00
17 ∞ 0.75 石英(平行平面板)
18 ∞ -
[実施例3]
図5、図6は本発明の紫外線用撮像系の第3実施例を示すもので、図5はレンズ構成図、図6はその諸収差図である。表3はその数値データである。絞りは第8面より像側に6.27、像面は第18面より3.95の位置、基準波長は330nmである。
FE= 1: 2.5
f= 24.95
M= -0.100
Y= 4.0
fB= 14.46(=10.00+0.75/1.48059+3.95)
面 No. r d 硝材
1 -12.941 2.00 石英
2 -50.000 0.20
3 -54.156 4.20 蛍石
4 -15.288 0.20
5 31.108 7.44 蛍石
6 -14.609 0.36
7 -13.763 1.20 石英
8 1059.491 8.13
9 33.193 1.00 石英
10 8.712 0.10
11 8.895 6.76 蛍石
12 -25.012 0.20
13 11.133 5.75 蛍石
14 -11.918 0.20
15 -11.529 1.68 石英
16 8.037 10.00
17 ∞ 0.75 石英(平行平面板)
18 ∞ -
実施例1 実施例2 実施例3
条件式(1) -1.92 -1.76 -1.93
条件式(2)(負レンズ68.2、正レンズ95.2)
条件式(3) 5.4 5.4 5.4
条件式(4) -0.25 -0.35 -0.43
条件式(5) 0.63 0.65 0.27
条件式(6) 0.56 0.48 0.68
条件式(7) -0.36 -0.31 -0.23
条件式(8) 0.169 0.13 0.44
条件式(9) 0.029 0.034 -0.027
条件式(10) 0.007 0.007 0.017
条件式(11) 0.235 0.285 0.385
条件式(12) 68.2 68.2 68.2
表4から明らかなように、実施例1ないし実施例3の数
値は、条件式(1)ないし(12)を満足しており、かつ
収差図に示すように、特に歪曲収差と280nm〜36
5nmの波長領域での色収差もよく補正されている。
Claims (3)
- 物体側から順に、負の第1レンズ、正の第2レンズ、正の第3レンズ、負の第4レンズ、負の第5レンズ、正の第6レンズ、正の第7レンズ、及び負の第8レンズを有し、次の条件式(1)ないし(7)を満足することを特徴とする紫外線用撮像系。
(1)−3<f/r1<−0.5
(2)65<ν(ALL)
(3)0<ν330(P)−ν330(N)<10
(4)−0.5<f/f 1-2 <0.1
(5)0.2<f/f 3-4 <0.8
(6)0.2<f/f 5-6 <0.8
(7)−0.5<f/f 7-8 <0.1
但し、
f:波長330nmにおける全系の焦点距離、
r1:負の第1レンズの物体側の面の曲率半径、
ν(ALL):全レンズの硝材のd線のν値(アッベ数)、
ν=(nd−1)/(nF−nC)
nd:d線に対する屈折率、
nF:F線に対する屈折率、
nC:C線に対する屈折率、
ν330(P):正レンズの紫外線領域に対するν値、
ν330(N):負レンズの紫外線領域に対するν値、
ν330=(n330−1)/(n250−n365)
ni:波長i(nm)の光線に対する屈折率、
f i-j :第iレンズと第jレンズの波長330nmにおける合成焦点距離。 - 請求項1記載の紫外線用撮像系において、次の条件式(8)ないし(11)を満足する紫外線用撮像系。
(8)0.1<1/ν1-2<1.0
(9)|1/ν3-4|<0.1
(10)|1/ν5-6|<0.1
(11)0.1<1/ν7-8<1.0
但し、
1/νi-j=Σfi-j/fkνk(k=i、j)
fk:第kレンズの波長330nmにおける焦点距離、
νk:第kレンズの紫外線領域に対するν値。 - 請求項1または2記載の紫外線用撮像系において、次の条件式(12)を満足する紫外線用撮像系。
(12)65<ν1<80
但し、
ν1:負の第1レンズのd線のν値(アッベ数)、
ν1=(n1d−1)/(n1F−n1C)
n1d:負の第1レンズのd線に対する屈折率、
n1F:負の第1レンズのF線に対する屈折率、
n1C:負の第1レンズのC線に対する屈折率。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003321203A JP4404591B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 紫外線用撮像系 |
US10/937,376 US7057804B2 (en) | 2003-09-12 | 2004-09-10 | Ultraviolet imaging system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003321203A JP4404591B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 紫外線用撮像系 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005091440A JP2005091440A (ja) | 2005-04-07 |
JP2005091440A5 JP2005091440A5 (ja) | 2006-07-20 |
JP4404591B2 true JP4404591B2 (ja) | 2010-01-27 |
Family
ID=34269950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003321203A Expired - Fee Related JP4404591B2 (ja) | 2003-09-12 | 2003-09-12 | 紫外線用撮像系 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7057804B2 (ja) |
JP (1) | JP4404591B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103777316B (zh) * | 2012-10-18 | 2015-08-19 | 常州光电技术研究所 | 一种紫外物镜 |
JP6278354B2 (ja) | 2014-04-15 | 2018-02-14 | 株式会社オプトロジック | 撮像レンズ |
CN104503066B (zh) * | 2015-01-06 | 2017-07-07 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头 |
USD840633S1 (en) * | 2015-05-25 | 2019-02-19 | Chris J. Katopis | Glove portion with interface adapted to receive a device |
US10656397B2 (en) | 2015-06-25 | 2020-05-19 | Young Optics Inc. | Optical lens system |
TWI569036B (zh) | 2015-12-31 | 2017-02-01 | 大立光電股份有限公司 | 取像用光學透鏡組、取像裝置及電子裝置 |
USD938135S1 (en) | 2017-05-30 | 2021-12-14 | Dorothy Katopis | Glove with keyboard |
CN117233931B (zh) * | 2023-11-10 | 2024-01-30 | 河南百合特种光学研究院有限公司 | 一种百瓦级紫外光刻镜头 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5930032A (en) | 1994-12-22 | 1999-07-27 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | UV image forming optical system and lens for UV radiation |
JPH08179201A (ja) | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Asahi Optical Co Ltd | 紫外線用レンズ |
JP3547103B2 (ja) * | 1995-09-19 | 2004-07-28 | 富士写真光機株式会社 | 広角結像レンズ |
JP2858639B2 (ja) | 1995-10-06 | 1999-02-17 | 防衛庁技術研究本部長 | 紫外線用広角レンズ |
JPH09243923A (ja) * | 1996-03-13 | 1997-09-19 | Nikon Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
JPH10104510A (ja) | 1996-09-28 | 1998-04-24 | Asahi Optical Co Ltd | 紫外線用収束レンズ |
KR20020004820A (ko) * | 2000-07-05 | 2002-01-16 | 시마무라 테루오 | 현미경 대물렌즈 |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003321203A patent/JP4404591B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-10 US US10/937,376 patent/US7057804B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050057795A1 (en) | 2005-03-17 |
JP2005091440A (ja) | 2005-04-07 |
US7057804B2 (en) | 2006-06-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060606 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060606 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070625 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091102 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131113 Year of fee payment: 4 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |