JPH09243924A - 顕微鏡用対物レンズ - Google Patents
顕微鏡用対物レンズInfo
- Publication number
- JPH09243924A JPH09243924A JP8084636A JP8463696A JPH09243924A JP H09243924 A JPH09243924 A JP H09243924A JP 8084636 A JP8084636 A JP 8084636A JP 8463696 A JP8463696 A JP 8463696A JP H09243924 A JPH09243924 A JP H09243924A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- object side
- bonding
- cemented
- lenses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】主として１０倍程度の紫外線用低倍対物レンズ
において、開口数、視野数とも十分に大きな対物レンズ
を提供する。 【解決手段】物体側から順に、物体側に凹面を向けた接
合メニスカスレンズＤ1と、接合レンズＤ2と、物体側に
凸面を向けた接合メニスカスレンズＤ3と、物体側に凹
面を向けた接合メニスカスレンズＤ4と、物体側に凸面
を向けた接合メニスカスレンズＤ5よりなる。
において、開口数、視野数とも十分に大きな対物レンズ
を提供する。 【解決手段】物体側から順に、物体側に凹面を向けた接
合メニスカスレンズＤ1と、接合レンズＤ2と、物体側に
凸面を向けた接合メニスカスレンズＤ3と、物体側に凹
面を向けた接合メニスカスレンズＤ4と、物体側に凸面
を向けた接合メニスカスレンズＤ5よりなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡用対物レン
ズに関し、主として波長２５０ｎｍ付近の紫外線用対物
レンズに関するものである。
ズに関し、主として波長２５０ｎｍ付近の紫外線用対物
レンズに関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】２５０ｎｍ付近の波長
域で使用可能な紫外線用顕微鏡対物レンズとしては、例
えば特公平４−７６４５３号公報に開示されたものがあ
り、これは、ＮＡ（開口数）が０．０８３、視野数が１
０．６、結像倍率が−１０倍の対物レンズである。上記
の如き従来の技術においては、ＮＡが０．０８３と小さ
く、また視野数も１０．６（対物レンズの焦点距離ｆ＝
３０）と小さかった。そこで本発明は、主として１０倍
程度の紫外線用低倍対物レンズにおいて、開口数、視野
数とも十分に大きな対物レンズを提供することを課題と
する。
域で使用可能な紫外線用顕微鏡対物レンズとしては、例
えば特公平４−７６４５３号公報に開示されたものがあ
り、これは、ＮＡ（開口数）が０．０８３、視野数が１
０．６、結像倍率が−１０倍の対物レンズである。上記
の如き従来の技術においては、ＮＡが０．０８３と小さ
く、また視野数も１０．６（対物レンズの焦点距離ｆ＝
３０）と小さかった。そこで本発明は、主として１０倍
程度の紫外線用低倍対物レンズにおいて、開口数、視野
数とも十分に大きな対物レンズを提供することを課題と
する。
【０００３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明では、ＮＡ＝０．２５程度まで色収差補正を行え
るように、接合レンズを５個用い、また視野数２５程度
を確保できるように、５個の接合レンズのうち４個を接
合メニスカスレンズとした。すなわち本発明は、物体側
から順に、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ
と、接合レンズと、物体側に凸面を向けた接合メニスカ
スレンズと、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレン
ズと、物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズより
なる顕微鏡用対物レンズである。
本発明では、ＮＡ＝０．２５程度まで色収差補正を行え
るように、接合レンズを５個用い、また視野数２５程度
を確保できるように、５個の接合レンズのうち４個を接
合メニスカスレンズとした。すなわち本発明は、物体側
から順に、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ
と、接合レンズと、物体側に凸面を向けた接合メニスカ
スレンズと、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレン
ズと、物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズより
なる顕微鏡用対物レンズである。
【０００４】色収差補正のために接合レンズを用いるこ
とはよく知られているが、特に紫外線用の対物レンズの
ときには、蛍石（ＣａＦ2）、石英、Ｕｌｔｒａｎ３０
（Ｓｃｈｏｔｔ社の商標）など、波長２５０ｎｍ付近で
十分な透過率を持つ材料のみを用いることが好ましい。
この場合、ＮＡ＝０．２５まで色収差補正を行おうとす
ると、接合レンズが最低５個は必要である。また視野数
を大きくするために、像面の平坦性をよくしようとする
と、ペッツバール和を小さく抑える必要があるが、この
ために本発明ではメニスカスレンズを４個用いたもので
ある。
とはよく知られているが、特に紫外線用の対物レンズの
ときには、蛍石（ＣａＦ2）、石英、Ｕｌｔｒａｎ３０
（Ｓｃｈｏｔｔ社の商標）など、波長２５０ｎｍ付近で
十分な透過率を持つ材料のみを用いることが好ましい。
この場合、ＮＡ＝０．２５まで色収差補正を行おうとす
ると、接合レンズが最低５個は必要である。また視野数
を大きくするために、像面の平坦性をよくしようとする
と、ペッツバール和を小さく抑える必要があるが、この
ために本発明ではメニスカスレンズを４個用いたもので
ある。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を説明する。
図１及び図３は本発明による顕微鏡用対物レンズの第１
及び第２実施例を示し、各実施例の対物レンズとも、物
体側から順に、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレ
ンズＤ1と、接合レンズＤ2と、物体側に凸面を向けた接
合メニスカスレンズＤ3と、物体側に凹面を向けた接合
メニスカスレンズＤ4と、物体側に凸面を向けた接合メ
ニスカスレンズＤ5よりなる。各接合メニスカスレンズ
Ｄ1、Ｄ3、Ｄ4、及びＤ5は一対のレンズによって構成さ
れているが、凸面側のレンズは両凸レンズに形成されて
おり、すなわち物体側に凹面を向けた接合メニスカスレ
ンズＤ1及びＤ4の接合面は、物体側に凸となっており、
物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズＤ3及びＤ5
の接合面は、物体側に凹となっている。また接合レンズ
Ｄ2は両凸形状に形成されている。
図１及び図３は本発明による顕微鏡用対物レンズの第１
及び第２実施例を示し、各実施例の対物レンズとも、物
体側から順に、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレ
ンズＤ1と、接合レンズＤ2と、物体側に凸面を向けた接
合メニスカスレンズＤ3と、物体側に凹面を向けた接合
メニスカスレンズＤ4と、物体側に凸面を向けた接合メ
ニスカスレンズＤ5よりなる。各接合メニスカスレンズ
Ｄ1、Ｄ3、Ｄ4、及びＤ5は一対のレンズによって構成さ
れているが、凸面側のレンズは両凸レンズに形成されて
おり、すなわち物体側に凹面を向けた接合メニスカスレ
ンズＤ1及びＤ4の接合面は、物体側に凸となっており、
物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズＤ3及びＤ5
の接合面は、物体側に凹となっている。また接合レンズ
Ｄ2は両凸形状に形成されている。
【０００６】表１及び表２に、両実施例の諸元を掲げ
る。［全体諸元］中、ｆは焦点距離、ＤOは物点距離、
ＮＡは開口数を表わす。［レンズ諸元］中、第１カラム
は物体側からの各レンズ面の番号、第２カラムｒは各レ
ンズ面の曲率半径、第３カラムｄは各レンズ面の間隔、
第４カラムは各レンズの材質、第５カラムｎ246、第６
カラムｎ242、及び第７カラムｎ250は、それぞれ各レン
ズの波長λ＝２４６ｎｍ、２４２ｎｍ、及び２５０ｎｍ
に対する屈折率、第８カラムνは、各レンズの波長λ＝
２４６ｎｍを基準としたアッベ数を示す。なお材質中、
Ｕ３０はウルトラン３０を示す。
る。［全体諸元］中、ｆは焦点距離、ＤOは物点距離、
ＮＡは開口数を表わす。［レンズ諸元］中、第１カラム
は物体側からの各レンズ面の番号、第２カラムｒは各レ
ンズ面の曲率半径、第３カラムｄは各レンズ面の間隔、
第４カラムは各レンズの材質、第５カラムｎ246、第６
カラムｎ242、及び第７カラムｎ250は、それぞれ各レン
ズの波長λ＝２４６ｎｍ、２４２ｎｍ、及び２５０ｎｍ
に対する屈折率、第８カラムνは、各レンズの波長λ＝
２４６ｎｍを基準としたアッベ数を示す。なお材質中、
Ｕ３０はウルトラン３０を示す。
【０００７】
【表１】 ［全体諸元］ ｆ＝20 Ｄo＝14.8 ＮＡ＝0.25 ［レンズ諸元］ ｒ ｄ 材質 ｎ246 ｎ242 ｎ250 ν 1 -60.09 4.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 11.97 4.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 3 -15.88 0.20 4 25.69 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 5 12.49 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 6 -22.86 0.20 7 11.10 6.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 8 -18.60 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 9 6.21 3.50 10 -7.10 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 11 14.38 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 12 -9.03 0.20 13 16.50 5.00 Ｕ30 1.60649 1.60929 1.60387 112.1 14 -9.93 3.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 15 12.95
【０００８】
【表２】 ［全体諸元］ ｆ＝20 Ｄo＝14.8 ＮＡ＝0.25 ［レンズ諸元］ ｒ ｄ 材質 ｎ246 ｎ242 ｎ250 ν 1 -57.24 4.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 11.97 4.50 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 3 -15.76 0.20 4 24.61 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 5 -12.03 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 6 -22.35 0.20 7 11.49 6.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 8 -17.69 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 9 6.21 3.50 10 -7.10 1.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 11 13.98 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 12 -9.03 0.20 13 16.50 5.00 Ｕ30 1.60649 1.60929 1.60387 112.1 14 -9.92 3.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 15 13.04
【０００９】図２及び図４に、それぞれ第１及び第２実
施例の球面収差、非点収差、倍率色収差、コマ収差、及
び歪曲収差を示す。球面収差図、倍率色収差図、及びコ
マ収差図において、実線は波長λ＝２４６ｎｍ、点線は
λ＝２４２ｎｍ、一点鎖線はλ＝２５０ｎｍを示す。ま
た非点収差図中、実線はサジタル像面を表わし、点線は
メリジオナル像面を表す。またＮＡは開口数を表し、Ｙ
は像高を表す。また各実施例の対物レンズは無限遠補正
系であり、上記各収差図は、図５に示す結像レンズＬIM
によって結像したものである。以下の表３に結像レンズ
ＬIMの諸元を掲げる。
施例の球面収差、非点収差、倍率色収差、コマ収差、及
び歪曲収差を示す。球面収差図、倍率色収差図、及びコ
マ収差図において、実線は波長λ＝２４６ｎｍ、点線は
λ＝２４２ｎｍ、一点鎖線はλ＝２５０ｎｍを示す。ま
た非点収差図中、実線はサジタル像面を表わし、点線は
メリジオナル像面を表す。またＮＡは開口数を表し、Ｙ
は像高を表す。また各実施例の対物レンズは無限遠補正
系であり、上記各収差図は、図５に示す結像レンズＬIM
によって結像したものである。以下の表３に結像レンズ
ＬIMの諸元を掲げる。
【００１０】各収差図から明らかなように、第１及び第
２実施例とも、２４６±４ｎｍにおいて視野数２５でよ
く収差が補正されていることがわかる。なお両実施例と
も、光の波長が紫外領域である場合について述べたが、
本発明を可視光領域について適用することもできる。
２実施例とも、２４６±４ｎｍにおいて視野数２５でよ
く収差が補正されていることがわかる。なお両実施例と
も、光の波長が紫外領域である場合について述べたが、
本発明を可視光領域について適用することもできる。
【００１１】
【表３】 ｆ＝200 ｒ ｄ 材質 ｎ246 ｎ242 ｎ250 ν 1 -30.63 2.00 石英 1.50952 1.51189 1.50729 110.8 2 2406.00 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 3 -39.10 1.00 4 -417.40 5.00 蛍石 1.46863 1.47021 1.46714 153.1 5 -51.84
【００１２】
【発明の効果】以上の通り本発明により、比較的低倍の
顕微鏡用対物レンズにおいて、開口数、視野数とも十分
に大きな対物レンズが得られた。
顕微鏡用対物レンズにおいて、開口数、視野数とも十分
に大きな対物レンズが得られた。
【図１】第１実施例のレンズ構成図
【図２】第１実施例の諸収差図
【図３】第２実施例のレンズ構成図
【図４】第２実施例の諸収差図
【図５】結像レンズのレンズ構成図
【符号の説明】 Ｄ1、Ｄ3、Ｄ4、Ｄ5…接合メニスカスレンズ Ｄ2…接合レンズ ＬIM…結像レンズ
Claims (3)
- 【請求項１】物体側から順に、物体側に凹面を向けた接
合メニスカスレンズと、接合レンズと、物体側に凸面を
向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けた
接合メニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた接合メ
ニスカスレンズよりなる顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項２】前記各接合メニスカスレンズを構成する一
対のレンズのうちの凸面側のレンズは両凸レンズであ
り、且つ前記接合レンズは両凸形状に形成された、請求
項１記載の顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項３】前記各レンズを構成する硝子材料が、蛍
石、石英又はウルトラン３０である請求項１又は２記載
の顕微鏡用対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8084636A JPH09243924A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8084636A JPH09243924A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09243924A true JPH09243924A (ja) | 1997-09-19 |
Family
ID=13836185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8084636A Pending JPH09243924A (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 顕微鏡用対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09243924A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009054388A1 (ja) * | 2007-10-22 | 2009-04-30 | Nikon Corporation | 結像レンズ及びそれを用いた顕微鏡装置 |
| CN118363152A (zh) * | 2024-06-19 | 2024-07-19 | 长春智灵光电科技有限公司 | 一种紫外飞秒激光器的镜头 |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP8084636A patent/JPH09243924A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009054388A1 (ja) * | 2007-10-22 | 2009-04-30 | Nikon Corporation | 結像レンズ及びそれを用いた顕微鏡装置 |
| US7864438B2 (en) | 2007-10-22 | 2011-01-04 | Nikon Corporation | Image forming lens and microscope apparatus using the same |
| CN118363152A (zh) * | 2024-06-19 | 2024-07-19 | 长春智灵光电科技有限公司 | 一种紫外飞秒激光器的镜头 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3559623B2 (ja) | 結像レンズ | |
| EP0725296A2 (en) | Projection exposure apparatus | |
| JP3397439B2 (ja) | 結像レンズ | |
| JP2008519433A (ja) | アポクロマート等倍投影光学系 | |
| JPH10274742A (ja) | 液浸系顕微鏡対物レンズ | |
| EP2192434A1 (en) | Immersion microscope objective lens | |
| US6181480B1 (en) | Microscope objective | |
| JP3010365B2 (ja) | 対物レンズ | |
| US5729391A (en) | Microscope objective lens | |
| JPS6132654B2 (ja) | ||
| JPS6034737B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
| JPH0380211A (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
| JPH09138352A (ja) | 液浸系顕微鏡対物レンズ | |
| JPH07234357A (ja) | ルーペ | |
| JPH09243924A (ja) | 顕微鏡用対物レンズ | |
| US4279477A (en) | Objective lens system for microscopes | |
| JPH0629897B2 (ja) | 結像用対物レンズ | |
| JP4765229B2 (ja) | 結像光学系 | |
| US4101201A (en) | Low magnification microscope objective | |
| JP3435920B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
| JPH09243923A (ja) | 顕微鏡用対物レンズ | |
| JPH11316337A (ja) | 結像レンズ | |
| JPH0567003B2 (ja) | ||
| JP3541285B2 (ja) | 接眼レンズ | |
| JPS6111715A (ja) | 大口径単レンズ |