JPH09232648A - レーザ発振器における電極外放電検出方法およびその装置 - Google Patents
レーザ発振器における電極外放電検出方法およびその装置Info
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Abstract
外放電を確実に検出できるようにする。 【解決手段】 電源7にパルス指令部13からパルス指
令を与えて相対向した電極3,5間にパルス放電せしめ
てレーザビームを発振せしめるレーザ発振器1におい
て、前記電極3,5の近傍に設けられた電極外放電セン
サ11に接続された同期式カウンタ19で電極外放電を
カウントすると共にパルス指令部13で別に接続された
計数カウンタ21で一定間隔のパルス数を計数すると共
に、この一定間隔のパルス数内において、前記同期式カ
ウント19でカウントされた電極外放電の実際のカウン
ト数が予め設定された設定値以上になったときに電極外
放電アラームとして検出することを特徴とする。
Description
でレーザ発振を行っているときに電極外放電を検出する
レーザ発振装置における電極外放電検出方法およびその
装置に関する。
器において、電極以外の場所で放電を検出することを電
極外放電と呼んでいる。また、レーザ発振器の放電には
加工等の用途や切断条件などによって連続放電とパルス
放電とに大別される。従って、電極外放電も連続放電と
パルス放電の両方を検出する必要がある。
01では、相対向した電極103と105を備えてお
り、しかもこの電気回路には電源107が設けられてい
る。したがって、電源107をONせしめると、電極1
03と105との間の放電部109に放電が行われると
共に矢印で示したごとくレーザガスが流れてレーザビー
ムが図5において直交した方向へ発振されることにな
る。
111が設けられており、その出力レベルをコンパレー
タ113で比較し、あるレベルVref 以上の信号で電極
外放電と判断している。コンパレータ113の出力のC
Rフィルタ115はノイズ除去用のフィルタでノイズに
よる誤動作を防止している。
来のレーザ発振器101の構成では、連続放電時は電極
外放電センサ111で電極外連続放電を完全に検出する
ことができるが、パルス放電時は、電極外放電の信号も
パルス状となり、CRフィルタ115の時定数に近いパ
ルス周波数やデューティの狭いパルス放電時は、I/O
へ信号が達しないため検出できない場合がある。またC
Rフィルタ115をとるとノイズによる誤動作があり取
外すことができない。したがってノイズ耐力の低下とな
ってしまう。
放電させたときの電極外放電を確実に検出できるように
したレーザ発振器における電極外放電検出方法およびそ
の装置を提供することにある。
に請求項1によるこの発明のレーザ発振器における電極
外放電検出方法は、電源にパルス指令部からパルス指令
を与えて相対向した電極間にパルス放電せしめてレーザ
ビームを発振せしめるレーザ発振器において、前記電極
の近傍に設けられた電極外放電センサに接続された同期
式カウンタで電極外放電をカウントすると共にパルス指
令部に別に接続された計数カウンタで一定間隔のパルス
数を計数すると共に、この一定間隔のパルス数内におい
て、前記同期式カウントでカウントされた電極外放電の
実際のカウント数が予め設定された設定値以上になった
ときに電極外放電アラームとして検出することを特徴と
するものである。
おける電極外放電検出装置は、電源にパルス指令部から
パルス指令を与えて相対向した電極間にパルス放電せし
めてレーザビームを発振せしめるレーザ発振装置におい
て、前記電極の近傍に設けられた電極外放電センサと、
この電極外放電センサに接続された同期式カウンタと、
前記パルス指令部に接続された計数カウンタと、予め設
定した設定値を記憶せしめておくメモリと、前記計数カ
ウンタで一定間隔のパルス数を計数している間に前記同
期式カウンタでカウントされた実際のカウント値と前記
メモリに設定された設定値とを比較判断する比較判断装
置と、を備えてなることを特徴とするものである。
のレーザ発振器における電極外放電検出方法およびその
装置では、パルス指令部からパルス指令を電源に与える
ことにより相対向した電極間の放電部にパルス放電され
てレーザビームが発振される。
電極外放電センサに接続された同期式カウンタで電極外
放電がカウントされる。前記パルス指令部に接続された
計数カウンタで一定間隔のパルス数がカウントされる。
この一定間隔のパルス数内において、同期式カウンタで
カウントされた実際のカウント数とメモリに記憶されて
いる予め設定した設定値とが比較判断装置に取り込まれ
て、実際のカウント数が設定値以上となったときに電極
外放電アラームとして検出される。
を確実に検出できると共に、ノイズによる誤検出を防止
することができる。
おける電極外放電検出装置は、請求項2のレーザ発振器
における電極外放電検出装置において、連続放電とパル
ス放電との切換を行う切換装置を備えてなることを特徴
とするものである。
換えを行う切換装置が備えられているから、切換装置に
より連続放電とパルス放電とが選択され、それぞれによ
る電極外放電を検出することができる。
を図面に基いて詳細に説明する。
向した電極3,5を備えており、この電極3,5の電気
回路には電源7が設けられている。この電源7をONせ
しめると、電極3と5との間の放電部9に放電が行われ
ると共に矢印で示したごとくレーザガスが流れてレーザ
ビームが図1において紙面に対して直交する方向へ発振
されることになる。
1が設けられていると共に前記電源7にはパルス指令部
13と連続指令部15が接続されている。しかも、この
パルス指令部13、連続指令部15にはそれぞれパルス
放電と連続放電とを切換える切換装置17が接続されて
いる。
13には同期式カウンタ19が接続されていると共にパ
ルス指令部13には計数カウンタ21が接続されてい
る。前記同期式カウンタ19と計数カウンタ21には比
較判断装置23が接続されている。この比較判断装置2
3には予め設定した設定値を記憶せしめておくメモリ2
5が接続されている。
タ27が接続されていると共にこのコンパレータ27に
は抵抗R、コンデンサCからなるCRフィルタ29が接
続されている。
明する前に、まずパルス放電(指令)と電極外放電との
関係を説明すると、図2に示されているように、パルス
指令を与えると電源7がONして電極3と5との間の放
電部9にパルス放電される。パルス指令とパルス放電と
は相似しており、電極外放電はパルス放電終了時に時間
Tだけ遅れがある。
とは図2に示したごときタイミングになっているため、
同期式カウンタ19を使用し、パルス放電(パルス指
令)を同期クロックし、電極外放電(信号)をデータに
使用するようにしたものである。この原理を簡単に書く
と図3(A),(B)のようになる。
号があり、同期式カウンタ19に出力する。図3(B)
はパルス放電終了時信号がないため、電極外放電と判断
せず同期式カウンタ19に出力しないのである。
(B)に示したとおりであるが、ノイズがパルス放電終
了時に入る可能性もあり、誤動作も考えられる。そこ
で、同期式カウンタ19とは別にパルス放電のパルス数
をカウントする計数カウンタ21を設け、ある一定間隔
で規定回数すなわち予め設定した設定値以上の電極外放
電信号をカウントした場合、電極外放電アラームとして
認識することで誤動作を防止するようにしたものであ
る。
用を図4に示したフローチャートを基に説明すると、ス
テップS1で計数カウンタ21をN=0、同期式カウン
タ19をARC=0にする。ステップS2でパルス放電
と連続放電(CW)の選択を行い、連続放電を選択した
場合はそのまま終了する。
7をパルス放電用に切換えてパルス指令部13から電源
7にパルス指令を与えて電源3と5との間の放電部9で
パルス放電が行われる。すなわち、ステップS3で計数
カウンタ21をN=N+1とした後、ステップS4で同
期式カウンタ19において電極外放電カウント数ARC
が入力されたかどうかを判断し、電極外放電カウント数
ARCが入力されていなければ、ステップS8に進み、
計数カウンタ21がN=16となっていない(N<1
6)場合にはステップS2の手前に戻る。
外放電カウント数ARCが入力されていればステップS
5に進み、ARC=ARC+1がカウントされる。ステ
ップS6で同期式カウンタ19の電極外放電カウント数
ARCとメモリ25に記憶されている予め設定した設定
値例えば3とを比較判断装置23で比較し、ARC=3
となった場合には、ステップS7で電極外放電アラーム
を出力させる。ステップS6でARC<3の場合にはス
テップS8に進み、N<16の場合にはステップS2の
手前に、N=16の場合にはステップS1の手前に戻っ
て再度繰り返される。
は、切換装置17を連続放電用に切換え、連続指令部1
5から電源7へ連続指令を与えることにより、電極3と
5との間の放電部9に連続放電が行われる。この場合に
は従来と同様に電源外放電センサ11で電極外放電を検
出し、次いでコンパレータ27でレベルVref と比較
し、レベルVref 以上の信号をCRフィルタ29を経て
I/Oへ出力されることになる。
同期をとり、電極外放電を検出できるから、特に高い周
波数やデューティの狭いパルス放電を確実に検出するこ
とができる。また、パルス放電のパルスをカウントする
ことにより、ノイズを極力除去することができる。
連続放電による電極外放電とパルス放電による電極外放
電の検出の併用を容易に行うことができる。しかも安価
なディジタルICを用いて安価に製作できる。またノイ
ズによる誤検出を除去できるので、レーザ発振器1を停
止させないで済む。さらに確実に電極外放電を検出でき
ることにより、レーザ発振器1、電源7の保護が可能と
なる。
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
れるように、請求項1,2の発明によれば、パルス指令
部からパルス指令を電源に与えることにより相対向した
電極間の放電部にパルス放電されてレーザビームが発振
される。
電極外放電センサに接続された同期式カウンタで電極外
放電がカウントされる。前記パルス指令部に接続された
計数カウンタで一定間隔のパルス数がカウントされる。
この一定間隔のパルス数内において、同期式カウンタで
カウントされた実際のカウント数とメモリに記憶されて
いる予め設定した設定値とが比較判断装置に取り込まれ
て、実際のカウント数が設定値以上となったときに電極
外放電アラームとして検出される。
を確実に検出できると共に、ノイズによる誤検出を防止
することができる。
ス放電との切換えを行う切換装置が備えられているか
ら、切換装置による連続放電とパルス放電とが選択さ
れ、それぞれによる電極外放電を検出することができ
る。
出を行う説明図である。
説明図である。
図である。
トである。
説明する説明図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 電源にパルス指令部からパルス指令を与
えて相対向した電極間にパルス放電せしめてレーザビー
ムを発振せしめるレーザ発振器において、前記電極の近
傍に設けられた電極外放電センサに接続された同期式カ
ウンタで電極外放電をカウントすると共にパルス指令部
に別に接続された計数カウンタで一定間隔のパルス数を
計数すると共に、この一定間隔のパルス数内において、
前記同期式カウントでカウントされた電極外放電の実際
のカウント数が予め設定された設定値以上になったとき
に電極外放電アラームとして検出することを特徴とする
レーザ発振器における電極外放電検出方法。 - 【請求項2】 電源にパルス指令部からパルス指令を与
えて相対向した電極間にパルス放電せしめてレーザビー
ムを発振せしめるレーザ発振装置において、前記電極の
近傍に設けられた電極外放電センサと、この電極外放電
センサに接続された同期式カウンタと、前記パルス指令
部に接続された計数カウンタと、予め設定した設置値を
記憶せしめておくメモリと、前記計数カウンタで一定間
隔のパルス数を計数している間に前記同期式カウンタで
カウントされた実際のカウント値と前記メモリに設定さ
れた設定値とを比較判断する比較判断装置と、を備えて
なることを特徴とするレーザ発振器における電極外放電
検出装置。 - 【請求項3】 連続放電とパルス放電との切換を行う切
換装置を備えてなることを特徴とする請求項2記載のレ
ーザ発振装置における電極外放電検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3087596A JP3593410B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | レーザ発振器における電極外放電検出方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3087596A JP3593410B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | レーザ発振器における電極外放電検出方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09232648A true JPH09232648A (ja) | 1997-09-05 |
JP3593410B2 JP3593410B2 (ja) | 2004-11-24 |
Family
ID=12315914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3087596A Expired - Fee Related JP3593410B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | レーザ発振器における電極外放電検出方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3593410B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208746A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Komatsu Ltd | ガス制御方法及びレーザコントローラ |
JP2003031878A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Amada Eng Center Co Ltd | ガスレーザ発振器における電極外放電検出方法および電極外放電検出手段を備えたガスレーザ発振器 |
JP2010251411A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
-
1996
- 1996-02-19 JP JP3087596A patent/JP3593410B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208746A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Komatsu Ltd | ガス制御方法及びレーザコントローラ |
JP2003031878A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-31 | Amada Eng Center Co Ltd | ガスレーザ発振器における電極外放電検出方法および電極外放電検出手段を備えたガスレーザ発振器 |
JP4610133B2 (ja) * | 2001-07-18 | 2011-01-12 | 株式会社アマダエンジニアリングセンター | ガスレーザ発振器における電極外放電検出方法 |
JP2010251411A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器 |
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---|---|
JP3593410B2 (ja) | 2004-11-24 |
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