JPH09218416A - 液晶の注入方法およびその装置 - Google Patents

液晶の注入方法およびその装置

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JPH09218416A
JPH09218416A JP8048058A JP4805896A JPH09218416A JP H09218416 A JPH09218416 A JP H09218416A JP 8048058 A JP8048058 A JP 8048058A JP 4805896 A JP4805896 A JP 4805896A JP H09218416 A JPH09218416 A JP H09218416A
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injection
crystal cell
injection port
jig
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Nobumasa Oshima
信正 大島
Hideyuki Abe
英之 阿部
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Ayumi Kogyo Co Ltd
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Ayumi Industry Co Ltd
Ayumi Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶セル内に短時間で液晶を注入する。 【解決手段】 相対する上下端面にそれぞれ少なくとも
1個の注入口2a、2bを設けるように2枚の基板をシ
ール剤3で貼り合わせて液晶注入部4を形成した液晶セ
ル1と、この液晶セル1の注入口2a、2bに接触可能
であって昇降機構8を有し、液晶を含浸している液晶注
入治具6とを真空容器11内に具備し、この容器11内
を真空減圧後、上記液晶注入治具6の昇降によって上記
液晶セル1の注入口2a、2bに上記液晶注入治具6を
接触させたのち、上記容器11内を不活性ガスで大気圧
にして上記液晶注入部4内に液晶を注入する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、フラットパネル
ディスプレイの1つである液晶ディスプレイの製造工程
における液晶セルへの液晶の注入方法とそれに用いる装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶セルへの液晶の注入方法とし
ては、パターン状透明電極、カラーフィルター、配向膜
などの必要な機能層(図示せず)を形成した2枚の透明
基板52、52′の周辺部を液晶注入口54を設けたシ
ール剤53で固着して液晶注入部55を形成した図9
(a)に示す構造の液晶セル51を、図9(b)のよう
に液晶61を充填した液晶皿62を設置した真空容器7
0内に入れ、該容器70内を真空ポンプ71にて減圧に
した後、液晶セル51の液晶注入口54を液晶61に浸
した状態で容器70内を不活性ガスにて大気圧に変え
て、減圧された注入部55内に液晶61を吸い込ませて
注入する浸漬法や図9(c)のように真空容器70内の
液晶61に半ば浸漬して液晶61をしみ込ませた紐状物
質63の先端に液晶注入口54を接触させて注入するヤ
ーン法などがセルと真空容器の圧力差および毛細管現象
を利用して液晶を注入する接触方式として知られてい
る。
【0003】上記の浸漬法の場合、液晶注入時に液晶セ
ル51の液晶注入口54だけでなくセル端面全体が液晶
61に浸漬されるため、セル端面にも液晶が付着して高
価な液晶のロスが多く、また上記のように液晶セル端面
に接触し汚染されて特性が低下するという問題がある。
【0004】また、後者のヤーン法の場合は、液晶注入
口が液晶を浸透した紐状物質と接触するだけなので、浸
漬法に比べると液晶のロスや汚染は少ないが、液晶皿の
構造が複雑になるという問題がある。
【0005】上記した接触法による問題を解決するため
に、図9(d)のように液晶注入口54を上方に向け
て、高精度の真空ディスペンサー65から液晶61を滴
下する方法が行われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶セ
ル51の液晶注入部55の間隙が数μm程度と極めて薄
いので、パソコン用の大型セルになると、接触法でも滴
下法でも注入に長時間を要するという問題がある。この
ため、液晶セルの注入口を大きくしたり、注入口の数を
増やしたり、真空ディスペンサーの数を増やすなどが考
えられている。
【0007】しかし、液晶セルの注入口を大きくした
り、注入口の数を増やしたりする対策は、基板周辺に取
り付ける駆動用LSI用電極パターンとの関係や、封口
の信頼性などから、その大きさや数にも制約があり、ま
たディスペンサーの数を増やすことは高額になるなど上
記問題の解決には至っていない。
【0008】実用上液晶セルの液晶注入部が6μm前後
で、その大きさが300×400mm、液晶注入口の幅
が5〜6mmで注入口の数を2個にしたとしても、パソ
コンなどのように大型化したものでは液晶注入に2〜3
時間の長時間を要する。このようなことから、液晶の注
入工程が液晶セルの生産性向上の障害の1つとなってい
る。
【0009】この発明は、上記の問題点を解消すべく検
討の結果、液晶セルの注入部への液晶の注入速度を倍加
させることによって、注入時間を大幅に短縮することの
できる液晶の注入法およびその装置を提供することを目
的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明のうち請
求項1記載の発明は、相対する上下端面に夫々少なくと
も1個の注入口を設けるように2枚の基板をシール剤で
貼り合わせて液晶注入部を形成した液晶セルを真空容器
内で真空減圧後、該容器内の液晶注入治具を上記液晶セ
ルの相対する上下の注入口に接触させ、その後容器内を
大気圧にすることによって上記液晶セルの液晶注入部に
液晶を注入することを特徴とする液晶の注入方法であ
る。
【0011】請求項2記載の発明は、請求項1において
相対する上下端面に設けた少なくとも1個の注入口のう
ち、上方の注入口からは滴下法にて、下方の注入口から
は接触法にて同時に液晶を注入することを特徴とするも
のであり、請求項3記載の発明は相対する上下端面に設
けた注入口から接触法にて同時に液晶を注入することを
特徴とする請求項1記載の液晶の注入方法である。
【0012】また、請求項4記載の発明は上記請求項2
または3において、接触法が浸漬または吸い上げによっ
て液晶を含浸した帯状物質を介して液晶を注入する方法
であることを特徴とする。
【0013】上記の液晶注入方法に用いる装置として、
請求項5記載の発明は相対する上下端面に夫々少なくと
も1個の注入口を有し、この注入口と連通する液晶注入
部を有する液晶セルと、昇降機構を有して上記液晶セル
の注入口に接触可能な液晶注入治具とを真空容器内に具
備し、真空減圧後上記液晶注入治具の昇降によって上記
液晶セルの注入口に上記液晶注入治具を接触させ、次い
で真空容器内を大気圧にすることによって液晶を注入す
るようにしたことを特徴とする液晶注入装置を提供す
る。
【0014】さらに、請求項6記載の発明は相対する上
下端面に夫々少なくとも1個の注入口を有し、この注入
口と連通する液晶注入部を有する液晶セルと、昇降機構
による上下動によって上記液晶セルの注入口に接触可能
な液晶注入治具とを夫々ゲートバルブで連結された別個
の真空容器内に具備し、それらの容器内を減圧したの
ち、上記ゲートバルブを開口して上記液晶注入治具を上
記液晶セルを有する真空容器内に移動させるとともにそ
の昇降によって上記液晶セルの注入口に接触させ、次い
で真空容器内を大気圧にすることによって液晶を上記注
入口から液晶注入部に注入するようにしたことを特徴と
する液晶注入装置を提供するものである。
【0015】請求項7記載の発明は、請求項5または6
記載の発明において、液晶セルの注入口に対応するよう
に所要間隔に複数の開口部を側面に設けた管状体内に、
液晶を含浸した帯状物質を挿入した構成の液晶注入治具
であって、この治具の昇降および回転によって該治具の
開口部を上記液晶セルの注入口と一致する位置に移動さ
せ、この開口部に露出した液晶を含浸した帯状物質を液
晶セルの注入口に接触させるようにしたことを特徴と
し、請求項8記載の発明は、請求項5または6記載の発
明において、液晶セルの注入口に対応するように所要間
隔に複数の開口部を側面に設け、一方が回転またはスラ
イド可能に嵌合された2本の管状体の内側の管状体内に
液晶を含浸した帯状物質を挿入した構成の液晶注入治具
であって、この治具の何れか一方の管状体を回転または
スライドさせて該治具の開口部を開口しながら該治具の
昇降によって開口部を液晶セルの注入口と一致する位置
に移動させ、この開口部に露出した液晶を含浸した帯状
物質を液晶セルの注入口に接触させるようにしたことを
特徴とするものである。
【0016】上記のように、この発明は、液晶セルの相
対向する端面、例えば上下のシール部分にそれぞれ注入
口を設け、この双方の注入口から同時に液晶を注入しよ
うとするものであり、これによって液晶セル注入部への
液晶注入時間を大幅に短縮するとともに液晶のロスや汚
染を防ぐものである。
【0017】このような上下の注入口から液晶を注入す
る場合、例えば図1のように真空容器70内の液晶セル
51の下側の注入口54からはヤーン法による接触法、
上側の注入口54からは真空ディスペンサーを用いた滴
下法といった公知の方法を組み合わせて実施することが
可能である。接触法としてはヤーン法のほか浸漬法、フ
ロート法でもよい。
【0018】しかしながら、上側の注入口から液晶を注
入する滴下法の場合は、液晶のロスが少なく、汚染も少
ないという長所がある反面、高精度の真空ディスペンサ
ーを用いて上向きの注入口に定量づつ正確に液晶を滴下
しなければならないため、下側の注入口に対する接触法
による液晶注入に比べると、操作が煩雑なだけでなく、
装置自体も複雑でコスト高になるという問題がある。
【0019】そこで、液晶セルの上側の注入口からの液
晶注入を滴下法ではなく下側の注入口におけると同様の
接触法にて液晶を注入できるようにするならば、上、下
の注入口からの同時注入がより簡単に行え、しかも多数
個のセルに同時に上下から注入可能になるので、量産性
を大幅に向上させることができるとの考えから装置の発
明に至ったものである。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図に基づいてこの発明の液
晶注入装置を説明する。図2(a)はこの発明の装置の
一実施例を示す概念図であり、図において1は2枚の基
板をその上下中央部端面に液晶注入口2a、2bを形成
するようにシール剤3で貼り合わせることによって内部
に液晶注入部4を形成した液晶セルである。
【0021】この液晶セル1は、基板用カセット5にそ
の複数枚が等間隔に収納されて真空容器11内に固定配
置されている。6は真空容器11内で上記液晶セル1の
上下の注入口2a、2bに夫々対応するようにして該セ
ル1より若干離れた位置に配置されている液晶注入治具
であって、これらの治具6は夫々真空容器11外の昇降
機構8に接続されており、該機構8の作動で上下動して
注入口に接触するようになっている。なお、12は真空
ポンプ、13、14は容器内を大気圧に戻すための窒素
ガスなどの不活性ガスの送入路および排出路である。
【0022】次に、上記のような構成の液晶注入装置に
よる液晶注入について述べると、まず真空ポンプ12に
て真空容器11内を10-2〜10-3Torr程度の減圧
にして該容器内および液晶セル内を排気し、かつ液晶注
入治具6内の液晶の脱泡を十分に行った後、昇降機構8
を作動して液晶注入治具6を上昇あるいは下降させて図
2(b)に示すように液晶セル1の注入口2a、2bに
液晶注入治具6を接触させる。
【0023】その後、送入路13から容器11内に不活
性ガスを導入して大気圧状態に変えることにより、真空
容器11内と液晶セルの液晶注入部4内の圧力差および
毛細管現象によって液晶注入部4内に液晶注入治具6内
の液晶が注入されるのである。
【0024】上記において、液晶セル1の上、下の注入
口2a、2bに対して注入治具6として同じ治具を用い
ることができるが、特に上側の注入口2aから液晶を注
入するに当たっては、液晶が垂れることなく、また溢れ
ることなく注入口に接触させることのできる液晶注入治
具であることが必要である。
【0025】上述のことから、この発明は液晶注入治具
の1つとして、図3(a)に示すように、所要間隔に4
〜6mm程度の幅で1/2〜1/4円を切欠することに
よって側面に開口部21を形成した管状体20内に液晶
を含浸した2〜6mm幅程度の帯状物質22を複数本挿
通した構成の液晶注入治具6aを用いるものである。
【0026】この液晶注入治具6aにおいて開口部21
を形成する所要間隔というのは、図4から明らかなよう
に、基板カセット5に等間隔に収納されている複数枚の
液晶セル1の注入口2a、2bに対応するように開口部
21を設けるということである。そして、このような構
成の液晶注入治具6aを液晶セル1の上下の注入口2
a、2bに治具6aの開口部21が夫々対応するように
真空容器11内にセットし、上述した図2の場合と同じ
ようにして容器11内を真空減圧後、昇降機構8を動作
して治具6aを下降または上昇させて開口部21に露出
している液晶を含浸している帯状物質22を上下の注入
口2a、2bに接触させた後、不活性ガス等にて容器1
1内を大気圧にすることにより、帯状物質22内の液晶
を注入口2a、2bから液晶セル1の注入部4内へ注入
させる。
【0027】図4においては、上側の液晶注入治具6a
をその開口部21を下側にしてセットした状態を示して
いるが、これは帯状物質22に含浸させる液晶が粘度と
表面張力の関係から開口部21から垂れ落ちる恐れがな
い場合に可能で、若し垂れ落ちる恐れのある液晶を用い
る場合には、開口部21を上向きにして真空容器11内
にセットしておき、真空にした後の注入時に治具6aの
下降と同時に180°回転させて下向きとして接触する
ようにすればよい。
【0028】なお、図4における24は液晶23を入れ
た液晶容器であって、この液晶容器24に帯状物質22
の一方端が浸っている。この他、帯状物質22への液晶
の含浸方法としては、管状体20に挿通した帯状物質2
2に、開口部21の反対側に設けた開口部(図示せず)
からスポイト、注射器、ディスペンサーなどで液晶を注
入する方法も適用できる。また、帯状物質としては不織
布、合成繊維やガラス繊維など液晶を汚染せずに含浸で
きるものが適用できる。
【0029】液晶の粘度が低くて図3(a)の構造の液
晶注入治具6aではどうしても液晶が垂れ落ちて実用化
が難しい場合には、図3(b)のような二重構造の液晶
注入治具6bとしてもよい。これは図3(a)の構造の
液晶注入治具6aにおける管状体20の外側に管状体3
0を回転またはスライド可能に嵌合したもので、この管
状体30にも管状体20と同じように開口部21′が形
成されており、管状体20または30の何れか一方の回
転またはスライドにより開口部が開閉できる構造であ
る。従って、この治具6bを使用する場合には、真空容
器内を減圧にする間は開口部を閉塞の状態にしておき、
注入時に一方の管状体を回転またはスライドさせて開口
部を開口し、該開口部から露出している帯状物質を液晶
セルの各注入口に接触させた後、不活性ガスで容器内を
大気圧にすることによって帯状物質に含浸している液晶
をセル内の隙間に注入することができる。
【0030】図5はこの発明の装置の他の実施例を示す
概念図であって、図2と異なるのは液晶を注入する液晶
セル1と液晶注入治具6、6′とが夫々別の真空容器1
1、11a内に配置されていて、前者が注入室、後者が
脱泡室と区別されていることである。即ち、注入室であ
る11の真空容器内には上下に注入口2a、2bを有す
る液晶セル1が基板カセット5に支持されて配置されて
いる。
【0031】一方、液晶注入治具6、6′は夫々脱泡室
である11aの真空容器内に配置されており、容器11
a外の昇降機構8に連結されている。15は真空容器1
1と11aの間に取り付けられているゲートバルブであ
り、それぞれの真空容器を減圧して脱泡終了後、これを
用いて昇降機構8と注入治具6、6′を容器11内に移
動させるとともに、治具6、6′を昇降作動して液晶セ
ル1の注入口2a、2bに治具6、6′が接触する構造
である。
【0032】そして、容器11と11aはそれぞれに真
空ポンプ12、12′にて減圧され、不活性ガス導入路
13、14とも接続されているので、容易に大気圧にす
ることができる。これによって液晶セル1の脱気および
液晶注入治具6、6′に含浸されている液晶の脱泡およ
び注入をより短時間に完全に行うことができ、より性能
のよい液晶パネルを得ることができる。液晶セル1と液
晶注入治具が同一の真空容器11内にある場合には、液
晶に含まれている揮発性成分の蒸発によって液晶セルの
脱気に時間がかかるが、図5のように別々に配置するこ
とで液晶セルの脱気と液晶の脱泡を短時間で行うことが
できるのである。
【0033】上記した図2あるいは図5の装置による場
合の液晶注入治具として、上記図3のこの発明の液晶注
入治具を上下に用いて同時に上下から注入するならば、
従来の上向きの注入口に対する滴下法や、下向きの注入
口に対する接触法などのような一方からの注入に比べて
注入時間を著しく短縮することができ、生産効率を大幅
に向上させることができる。また、この発明の液晶注入
治具と従来の接触法との組み合わせを採用することも可
能である。
【0034】
【実施例】次に、この発明を実施例によりさらに詳細に
説明する。図4に示すようにして上下面両側に内法8m
mの注入口2a、2bを形成した5インチサイズの液晶
セル1を上下の注入口がそれぞれ一直線上に並ぶように
10mm間隔で20枚を基板カセット5に装着して真空
容器11内に配置した。
【0035】次に、直径10mm(肉厚0.5mm程
度)のステンレス細管20の側面に、上記基板カセット
5に装着した液晶セル1の注入口2a、2bの位置に対
応するように幅5mm程度の開口部21をその中心間隔
が10mmになるように設け、この細管20の内部に帯
状物質22として径が2mm程度のレーヨン縒糸を5本
挿入した液晶注入治具6aを2つ用意し、1つは開口部
21を下向きにしてセル1の上側に、他の1つは開口部
21を上向きにしてセル1の下側にそれぞれ一定間隔を
保持して設置した。そして、両治具6aの一方端を液晶
23の入った液晶容器24に浸漬した。
【0036】このように液晶セルおよび液晶注入治具を
真空容器内にセットした後、容器内を10-2〜10-3
orrまで減圧し、次いで上、下の液晶注入治具6a、
6aを昇降機構8を作動して下降または上昇させ、治具
の開口部21から露出した液晶23を含浸した帯状物質
をセル1の注入口2a、2bに全て接触させる。この状
態で真空容器11内に不活性ガスを13より導入して容
器内を大気圧にすることによって、減圧になっているセ
ルの液晶注入部に液晶が注入された。
【0037】上記の実施例と同じ5インチサイズの液晶
セルを用いた液晶注入の状態を、上記実施例のこの発明
の方法と、従来のヤーン法による下側のみからの注入方
法とについて、液晶の注入時間と注入口からの注入距離
との関係を比較したところ、図6の結果が得られた。な
お、図中Aは従来のヤーン法による下側のみからの注入
(図9(c)に示す方法)によるもの、Bは上記実施例
の注入方法によるものであり、Cは5インチサイズの液
晶セルを図7(a)のように2連にして下方の注入口5
4から従来のヤーン法にて注入したもの、Dは同じく図
7(b)のように2連にして上下の注入口2a、2bか
ら上記実施例の注入方法によったものである。
【0038】図6から、この発明の上下の注入口から液
晶を注入した場合(線図B)には、従来の片側注入口か
らの注入の場合(線図A)に比べて注入時間が1/2以
下に半減していることが認められた。また、図7のよう
な2連のセルになると、線図C、Dからその差が1/
4.5と一層大となり、この発明の上下注入口からの同
時注入の効果が顕著であることがわかった。
【0039】また、この発明の上下注入口からの液晶注
入方法によれば、セルサイズが5インチ以下の小さいセ
ルの場合は、図7のような2連セルに限らず、例えば図
8に示すような6連構成のセルであっても短時間に液晶
を注入することが可能である。実際にセルサイズ32×
8mmで上、下の注入口2a、2bを内法3mmとした
6連構成のセルについて、上側の注入口2aを閉じて下
側の注入口2bのみからヤーン法で液晶注入を行うと、
注入に38分を要したが、上記の実施例に従って上下の
注入口2a、2bから液晶注入を行ったところ、注入時
間は12分になり従来の1/3以下であった。
【0040】上記のことから、大型セルでLSI実装と
の関連を考慮しても一辺上に2個またはそれ以上の注入
口を設け得る場合、この発明の方法にて上下両側から液
晶を注入することにより、大型セルであっても短時間で
注入を終えることが可能である。
【0041】上記したこの発明の液晶注入方法とその装
置に関する技術は、液晶の注入に限らず、低粘度の機能
材料を間隙が数μm程度のセルに注入するような技術分
野において応用が可能である。
【0042】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明は、液晶
パネルの製造工程において、液晶セルの相対する上下両
面にそれぞれ注入口を設け、この発明による液晶注入治
具を用いることにより上下の注入口から同時に多数個の
セルに簡単な操作で液晶を注入できるようにしたので、
液晶注入時間の短縮、更には低コスト化を図ることがで
きる。また、管状体の側面に開口部を設け、その内部に
挿通されている帯状物質の開口部から露出した部分から
帯状物質に含浸している液晶をセルに注入できる液晶注
入治具を具現化したことによって、これまで困難とされ
ていた上側の注入口からの液晶注入の量産化を可能と
し、かつこの治具による多数個のセルに対する上下の注
入口からの同時液晶注入によって液晶セルへの液晶注入
効率を著しく高めることができ、液晶パネルの製造工程
全体の生産性向上に寄与するのである。
【0043】従って、今後ディスプレイの大型化が更に
進むなかで、これまで生産性を低下させる工程の一つと
されていた液晶注入工程の課題がこの発明のような簡単
な方法、装置によって解決できたことの工業的価値は極
めて大である。そして、この発明によれば、最小限の液
晶が必要部分にのみ接触してセルに注入できるので、液
晶のロスも使用量も少なく、かつ汚染の恐れも解消でき
るのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の液晶注入方法の一例を示す正面図で
ある。
【図2】この発明の液晶注入装置の構成の一例を示し、
(a)は減圧時の状態を示す正面図であり、(b)は液
晶注入時の状態を示す正面図である。
【図3】この発明の液晶注入装置に用いる液晶注入治具
の斜視図である。
【図4】図3(a)の液晶注入治具を用いたこの発明の
液晶注入装置の減圧時の状態を示す側面図である。
【図5】この発明の液晶注入装置の構成の他の例を示す
説明図である。
【図6】この発明の液晶注入効果を示す線図である。
【図7】図6で用いる液晶セルの形状を示す説明図であ
る。
【図8】この発明の一実施例に用いる液晶セルの形状を
示す説明図である。
【図9】(a)は液晶セルの構成説明図であり、(b)
〜(d)は従来の液晶注入方法を示す説明図である。
【符号の説明】
1 液晶セル 2a、2b 液晶注入口 4 液晶注入部 6、6′、6a、6b 液晶注入治具 8 昇降機構 11、11a 真空容器 20、30 管状体 21、21′ 開口部 22 帯状物質 23 液晶 24 液晶容器

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 相対する上下端面に夫々少なくとも1個
    の注入口を設けるように2枚の基板をシール剤で貼り合
    わせて液晶注入部を形成した液晶セルを真空容器内で真
    空減圧後、該容器内の液晶注入治具を上記液晶セルの相
    対する上下の注入口に接触させ、その後容器内を大気圧
    にすることによって上記液晶セルの液晶注入部に液晶を
    注入することを特徴とする液晶の注入方法。
  2. 【請求項2】 相対する上下端面に設けた少なくとも1
    個の注入口のうち、上方の注入口からは滴下法にて、下
    方の注入口からは接触法にて同時に液晶を注入すること
    を特徴とする請求項1記載の液晶の注入方法。
  3. 【請求項3】 相対する上下端面に設けた注入口から接
    触法にて同時に液晶を注入することを特徴とする請求項
    1記載の液晶の注入方法。
  4. 【請求項4】 上記接触法が浸漬または吸い上げによっ
    て液晶を含浸した帯状物質を介して液晶を注入する方法
    であることを特徴とする請求項2または3記載の液晶の
    注入方法。
  5. 【請求項5】 相対する上下端面に夫々少なくとも1個
    の注入口を有し、この注入口と連通する液晶注入部を有
    する液晶セルと、昇降機構を有して上記液晶セルの注入
    口に接触可能な液晶注入治具とを真空容器内に具備し、
    真空減圧後上記液晶注入治具の昇降によって上記液晶セ
    ルの注入口に上記液晶注入治具を接触させ、次いで真空
    容器内を大気圧にすることによって液晶を注入するよう
    にしたことを特徴とする液晶注入装置。
  6. 【請求項6】 相対する上下端面に夫々少なくとも1個
    の注入口を有し、この注入口と連通する液晶注入部を有
    する液晶セルと、昇降機構による上下動によって上記液
    晶セルの注入口に接触可能な液晶注入治具とを夫々ゲー
    トバルブで連結された別個の真空容器内に具備し、それ
    らの容器内を減圧したのち、上記ゲートバルブを開口し
    て上記液晶注入治具を上記液晶セルを有する真空容器内
    に移動させるとともにその昇降によって上記液晶セルの
    注入口に接触させ、次いで真空容器内を大気圧にするこ
    とによって液晶を上記注入口から液晶注入部に注入する
    ようにしたことを特徴とする液晶注入装置。
  7. 【請求項7】 液晶セルの注入口に対応するように所要
    間隔に複数の開口部を側面に設けた管状体内に、液晶を
    含浸した帯状物質を挿入した構成の液晶注入治具であっ
    て、この治具の昇降および回転によって該治具の開口部
    を上記液晶セルの注入口と一致する位置に移動させ、こ
    の開口部に露出した液晶を含浸した帯状物質を液晶セル
    の注入口に接触させるようにしたことを特徴とする請求
    項5または6記載の液晶注入装置。
  8. 【請求項8】 液晶セルの注入口に対応するように所要
    間隔に複数の開口部を側面に設け、一方が回転またはス
    ライド可能に嵌合された2本の管状体の内側の管状体内
    に液晶を含浸した帯状物質を挿入した構成の液晶注入治
    具であって、この治具の何れか一方の管状体を回転また
    はスライドさせて該治具の開口部を開口しながら該治具
    の昇降によって開口部を液晶セルの注入口と一致する位
    置に移動させ、この開口部に露出した液晶を含浸した帯
    状物質を液晶セルの注入口に接触させるようにしたこと
    を特徴とする請求項5または6記載の液晶注入装置。
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