JPH09215337A - 高出力電気負荷へのエネルギ供給用の電圧変換回路装置 - Google Patents
高出力電気負荷へのエネルギ供給用の電圧変換回路装置Info
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- JPH09215337A JPH09215337A JP9009141A JP914197A JPH09215337A JP H09215337 A JPH09215337 A JP H09215337A JP 9009141 A JP9009141 A JP 9009141A JP 914197 A JP914197 A JP 914197A JP H09215337 A JPH09215337 A JP H09215337A
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
- H02M3/22—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac
- H02M3/24—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters
- H02M3/28—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的にわずかな技術的コストで、２０ＫＷ
以上の高い所要電力を有する電気負荷、例えば巻取機に
種々の給電源ー定格電圧の更なる適合化手段なしで所要
の給電電圧を給電し得る回路装置を提供すること。 【構成】 １次中間回路直流電圧（Ｕｚ）を矩形状の交
流電圧（ＵＴ）に変換するための整流器段（１）と、パ
ワースイッチング素子を備えた変換器段（２）と、矩形
状の交流電圧（ＵＴ）を給電電圧（ＵＢ）に変換するた
めの、２次の中間回路の接続された高電力変成器（３）
と、制御段（５）を有し、これにより、前記スイッチン
グ素子は、１次の中間回路直流電圧（Ｕｚ）と、高電力
（変成器の１次回路における電流強度（ＩＴ）と、２次
回路における電圧（ＵＢ）及び電流強度（ＩＢ）に依存
して、、少なくとも矩形状の交流電圧（ＵＴ）の可変パ
ルス幅調整を以て移相動作モードで無電圧スイッチング
すべく制御せしめられること。
以上の高い所要電力を有する電気負荷、例えば巻取機に
種々の給電源ー定格電圧の更なる適合化手段なしで所要
の給電電圧を給電し得る回路装置を提供すること。 【構成】 １次中間回路直流電圧（Ｕｚ）を矩形状の交
流電圧（ＵＴ）に変換するための整流器段（１）と、パ
ワースイッチング素子を備えた変換器段（２）と、矩形
状の交流電圧（ＵＴ）を給電電圧（ＵＢ）に変換するた
めの、２次の中間回路の接続された高電力変成器（３）
と、制御段（５）を有し、これにより、前記スイッチン
グ素子は、１次の中間回路直流電圧（Ｕｚ）と、高電力
（変成器の１次回路における電流強度（ＩＴ）と、２次
回路における電圧（ＵＢ）及び電流強度（ＩＢ）に依存
して、、少なくとも矩形状の交流電圧（ＵＴ）の可変パ
ルス幅調整を以て移相動作モードで無電圧スイッチング
すべく制御せしめられること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、種々の給電源ー定
格電圧を、それぞれの給電源ー定格電圧値に無関係な、
高出力電気負荷向けの、例えば巻取機向けの給電電圧に
変換するための回路装置に関する。
格電圧を、それぞれの給電源ー定格電圧値に無関係な、
高出力電気負荷向けの、例えば巻取機向けの給電電圧に
変換するための回路装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】今日の構成型式の巻取機（ワインダ）は
典型的には、２０ＫＷ〜４０ＫＷの所要電力のもとで、
ほぼ２６０Ｖの給電直流電圧で動作する。当業者、業界
にとって通有の給電源−定格電圧（これは５０Ｈｚ〜６
０Ｈｚの周波数のもとでほぼ１８０Ｖ〜６００Ｖの範囲
で変化する）からその様な給電を達成するため、巻取機
（ワインダ）にとって、ほぼ３０の種々の前置接続のト
ランス（変成器）種別、型式を有するサイリスタ整流器
が使用される。電圧整合のほかに、夫々のトランス（変
成器）は、給電網電圧と機械電圧との間での所要の直流
的（導電的）分離を保証しなければならない。当該の従
来の巻取機（ワインダ）−給電源は、種々の配電源電圧
（当業者、業界ないし世界における）をカバーするため
種々の多数トランス（変成器）種別、型式に基づき相当
の技術的コスト、複雑性を要するのみならず、大きな制
御時定数に基づく中程度の出力安定性しか有さず、亦、
大きな所要スペースのもとでの大きな重量を要する。
典型的には、２０ＫＷ〜４０ＫＷの所要電力のもとで、
ほぼ２６０Ｖの給電直流電圧で動作する。当業者、業界
にとって通有の給電源−定格電圧（これは５０Ｈｚ〜６
０Ｈｚの周波数のもとでほぼ１８０Ｖ〜６００Ｖの範囲
で変化する）からその様な給電を達成するため、巻取機
（ワインダ）にとって、ほぼ３０の種々の前置接続のト
ランス（変成器）種別、型式を有するサイリスタ整流器
が使用される。電圧整合のほかに、夫々のトランス（変
成器）は、給電網電圧と機械電圧との間での所要の直流
的（導電的）分離を保証しなければならない。当該の従
来の巻取機（ワインダ）−給電源は、種々の配電源電圧
（当業者、業界ないし世界における）をカバーするため
種々の多数トランス（変成器）種別、型式に基づき相当
の技術的コスト、複雑性を要するのみならず、大きな制
御時定数に基づく中程度の出力安定性しか有さず、亦、
大きな所要スペースのもとでの大きな重量を要する。
【０００３】上述の巻取機（ワインダ）の負荷に対して
比較定低い所要電力（せいぜいほぼ１０ＫＷまでの）を
有する電気負荷へのエネルギ供給のため、所謂スイッチ
ング電源網部の形の電圧変換回路装置の使用が公知であ
る。特別には、比較的に大きな電力に対しては、フルブ
リッジ段を有するプッシュブル変換器タイプのスイッチ
ング電源部が使用され、該スイッチング電源部は、制御
段により制御されるトランジスタパワースイッチング素
子を有する。
比較定低い所要電力（せいぜいほぼ１０ＫＷまでの）を
有する電気負荷へのエネルギ供給のため、所謂スイッチ
ング電源網部の形の電圧変換回路装置の使用が公知であ
る。特別には、比較的に大きな電力に対しては、フルブ
リッジ段を有するプッシュブル変換器タイプのスイッチ
ング電源部が使用され、該スイッチング電源部は、制御
段により制御されるトランジスタパワースイッチング素
子を有する。
【０００４】就中、使用される構成要素の限られた負荷
能力の故に、たんに、スイッチング電源部における個々
の構成素子の比較的に高い値の選定をするだけでは、比
較的低い電力のその種スイッチング電源部を、同じ動作
法で比較的高い電力を伝達し得るスイッチング電源部に
変更修正することが可能でない。寧ろ、技術的コストを
増大させる、複数の同種のスイッチング電源部の並列接
続を回避しようとする場合、そのため付加的な特別な手
段が必要である。そのような手法は、パルス幅変調制御
付きのパワースイッチング素子の所謂零電圧スイッチン
グ手段を形成する。このことは、１０ＫＷまでの電力を
有するスイッチング電源部に対して下記文献中の論文に
記載されている様な手段である、即ち、 Ｎ．Ｈ Ｋｕｔｋｕｔ ｅｔ ａｌ．著述による論文 Ａｎ Ｉｍｐｒｏｖｅｄ Ｆｕｌｌ−Ｂｒｉｄｇｅ Ｚ
ｅｒｏ−ＶｏｌｔａｇｅＳｗｉｔｃｈｉｎｇ ＰＷＭ
Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｔｗｏ−Ｉｎｄ
ｕｃｔｏｒ Ｒｅｃｔｉｆｉｅｒ、ＩＥＥＥ Ｔｒａｎ
ｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ、 第３１巻，Ｎｏ.１、１月／２月
１９９５、第１１９頁。５００Ｗの出力電力を有する類
似の動作形式のスイッチング電源部が、Ｉｎｉｔｒｏｄ
ｅ社のデータブック１９９４中にＵ−１３６の使用名称
のもとに記載されている。
能力の故に、たんに、スイッチング電源部における個々
の構成素子の比較的に高い値の選定をするだけでは、比
較的低い電力のその種スイッチング電源部を、同じ動作
法で比較的高い電力を伝達し得るスイッチング電源部に
変更修正することが可能でない。寧ろ、技術的コストを
増大させる、複数の同種のスイッチング電源部の並列接
続を回避しようとする場合、そのため付加的な特別な手
段が必要である。そのような手法は、パルス幅変調制御
付きのパワースイッチング素子の所謂零電圧スイッチン
グ手段を形成する。このことは、１０ＫＷまでの電力を
有するスイッチング電源部に対して下記文献中の論文に
記載されている様な手段である、即ち、 Ｎ．Ｈ Ｋｕｔｋｕｔ ｅｔ ａｌ．著述による論文 Ａｎ Ｉｍｐｒｏｖｅｄ Ｆｕｌｌ−Ｂｒｉｄｇｅ Ｚ
ｅｒｏ−ＶｏｌｔａｇｅＳｗｉｔｃｈｉｎｇ ＰＷＭ
Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ Ｕｓｉｎｇ ａ Ｔｗｏ−Ｉｎｄ
ｕｃｔｏｒ Ｒｅｃｔｉｆｉｅｒ、ＩＥＥＥ Ｔｒａｎ
ｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ、 第３１巻，Ｎｏ.１、１月／２月
１９９５、第１１９頁。５００Ｗの出力電力を有する類
似の動作形式のスイッチング電源部が、Ｉｎｉｔｒｏｄ
ｅ社のデータブック１９９４中にＵ−１３６の使用名称
のもとに記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の基礎を成す課
題とするところは、比較的にわずかな技術的コストで、
２０ＫＷ以上の高い所要電力を有する電気負荷、例えば
巻取機（ワインダ）に種々の給電源ー定格電圧に対する
更なる適合化手段なしで所要の給電電圧を給電し得る冒
頭に述べた形式の回路装置を提供することにある。
題とするところは、比較的にわずかな技術的コストで、
２０ＫＷ以上の高い所要電力を有する電気負荷、例えば
巻取機（ワインダ）に種々の給電源ー定格電圧に対する
更なる適合化手段なしで所要の給電電圧を給電し得る冒
頭に述べた形式の回路装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題は、請求項１な
いし２の構成要件を有する回路装置により解決される。
明らかになったところによれば、種々の給電源ー定格電
圧を、高出力電気負荷向けの、例えば巻取機向けのそれ
ぞれの給電源ー定格電圧値に無関係な給電電圧に変換す
るための回路装置であって、下記の構成要素を有するも
の、即ち、整流器段、例えば、ブリッジ整流器を有し、
２次の中間回路の接続された高電力（ハイパワー）変成
器を有し、可制御のパワースイッチング素子を備えた変
換器段、例えば、フルブリッジ変換器段を有する回路装
置構成により、当該の変換器段に設けられたパワースイ
ッチング素子に対する、当該の制御段により実施される
特別な制御と相俟って下記のことが可能になる、即ち、
例えば巻取機（ワインダ）の作動に必要な２０ＫＷ以上
の電力を、種々の定格電圧を有する給電源から所定の十
分に安定性のある給電電圧により生成することが可能で
ある。注目すべきことには変換器段の特別な制御形式に
より、上記の高い電力をパワースイッチング素子を介し
て伝送し得、ここで、高価な冷却手段を必要とせず、又
は、複数の並列の変換器段を使用しなくてもよいように
し得る。このために、特に、寄与する手段は、零電圧ス
イッチングによる移相動作モードにてパワースイッチン
グ素子の制御が行われ、そして、少なくとも所要の給電
電圧の制御のため変換器段により生ぜしめられた矩形状
交流電圧のパルス幅を調整する、又は、変換器段により
生ぜしめられた矩形状交流電圧のパルス幅を調整するの
みならず、上記の交流電圧の周波数を次のように可変に
調整する、即ち、パワースイッチング素子の寄生容量を
介してその都度、高電力（ハイパワー）変成器の漏れイ
ンダクタンス内に十分に蓄積されたエネルギ量が充放電
ないし反転充電されるように調整するのである。このた
めに、変成器段１次回路における電流強度が可及的に大
に調整され、ここで、しかも、変換器を過負荷しないよ
うに調整される。
いし２の構成要件を有する回路装置により解決される。
明らかになったところによれば、種々の給電源ー定格電
圧を、高出力電気負荷向けの、例えば巻取機向けのそれ
ぞれの給電源ー定格電圧値に無関係な給電電圧に変換す
るための回路装置であって、下記の構成要素を有するも
の、即ち、整流器段、例えば、ブリッジ整流器を有し、
２次の中間回路の接続された高電力（ハイパワー）変成
器を有し、可制御のパワースイッチング素子を備えた変
換器段、例えば、フルブリッジ変換器段を有する回路装
置構成により、当該の変換器段に設けられたパワースイ
ッチング素子に対する、当該の制御段により実施される
特別な制御と相俟って下記のことが可能になる、即ち、
例えば巻取機（ワインダ）の作動に必要な２０ＫＷ以上
の電力を、種々の定格電圧を有する給電源から所定の十
分に安定性のある給電電圧により生成することが可能で
ある。注目すべきことには変換器段の特別な制御形式に
より、上記の高い電力をパワースイッチング素子を介し
て伝送し得、ここで、高価な冷却手段を必要とせず、又
は、複数の並列の変換器段を使用しなくてもよいように
し得る。このために、特に、寄与する手段は、零電圧ス
イッチングによる移相動作モードにてパワースイッチン
グ素子の制御が行われ、そして、少なくとも所要の給電
電圧の制御のため変換器段により生ぜしめられた矩形状
交流電圧のパルス幅を調整する、又は、変換器段により
生ぜしめられた矩形状交流電圧のパルス幅を調整するの
みならず、上記の交流電圧の周波数を次のように可変に
調整する、即ち、パワースイッチング素子の寄生容量を
介してその都度、高電力（ハイパワー）変成器の漏れイ
ンダクタンス内に十分に蓄積されたエネルギ量が充放電
ないし反転充電されるように調整するのである。このた
めに、変成器段１次回路における電流強度が可及的に大
に調整され、ここで、しかも、変換器を過負荷しないよ
うに調整される。
【０００７】本発明の請求項３の発展形態によれば、前
記回路装置のコスト上最適な実現手法が次のようにして
可能になる、即ち、高電力（ハイパワー）変成器は、所
定の定格スイッチング周波数のもとで所定の定格電力
（パワー）に対して、最小の１次の中間回路直流電圧の
得られるように設計されているのである。
記回路装置のコスト上最適な実現手法が次のようにして
可能になる、即ち、高電力（ハイパワー）変成器は、所
定の定格スイッチング周波数のもとで所定の定格電力
（パワー）に対して、最小の１次の中間回路直流電圧の
得られるように設計されているのである。
【０００８】請求項４に規定された回路装置の発展形態
によれば、高電力（ハイパワー）変成器は、対称的に制
御され、このことにより、変化された電力領域における
適当な高電力（ハイパワー）変成器の使用が次のように
して容易化される、即ちそれの磁気材料が磁化特性曲線
の正及び負の領域に沿って対称的に励振、励起されるよ
うにするのである。
によれば、高電力（ハイパワー）変成器は、対称的に制
御され、このことにより、変化された電力領域における
適当な高電力（ハイパワー）変成器の使用が次のように
して容易化される、即ちそれの磁気材料が磁化特性曲線
の正及び負の領域に沿って対称的に励振、励起されるよ
うにするのである。
【０００９】本発明の有利な実施形態を従属請求項に記
載してあり、以下、図を用いて説明する。
載してあり、以下、図を用いて説明する。
【００１０】
【実施例】図１に示す回路装置は、入力側にて、通常
の、ここではさらに詳細には説明しない構成のブリッジ
整流器段1を有し、該整流器段は、入力側にて加わる給
電電圧Ｕｚを一次の中間回路直流電圧Ｕｚに整流する。
該直流電圧Ｕｚは、コンデンサＣ１により安定化され
る。ここで、入力側に加わる給電（網）電圧ＵＥは、ほ
ぼ１００Ｖないしほぼ６６０Ｖの任意の世界的に一般的
な定格電圧値のうちの１つの値をとり得る。ブリッジ整
流器１により整流及びろ波（フィルタリング）により形
成された１次の中間回路直流電圧Ｕｚは、装置システム
設計に応じて、ほぼ３００Ｖないしほぼ１０００Ｖの値
をとる。１次の中間回路直流電圧Ｕｚは、所謂ＩＧＢＴ
−型式の４つの可制御なトランジスタパワースイッチン
グ素子を有する１つのフルブリッジ変換器段２により矩
形状の交流電圧ＵＴに変換され、該交流電圧は、後続の
高電力（ハイパワー）変成器３の変成器１次回路電圧を
成す。ここで、関連のある２０ＫＷ以上の電力領域に対
する高電力（ハイパワー）変成器としては、例えば、Ｖ
ａｋｕｕｍｓｃｈｍｅｌｚｅ社により商標名Ｖｉｔｒｏ
ｐａｃで販売された変成器型式のうちの１つが使用可能
である。高電力（ハイパワー）変成器３の１次巻線３ａ
がフルブリッジ変換器段２の出力電流回路中に設けられ
ており、一方、それの２次巻線３ｂには２次の中間回路
として通常のように整流器段４、平滑化インダクタンス
Ｌ及びコンデンサＣ２が続いており、上記コンデンサか
らは、２次の中間回路直流電圧ＵＢが、所要の２次回路
電流強度ＩＢをもって、さらには図示してない巻取機
（ワインダ）に対する給電電圧として取出され得る。こ
こで、上記給電電圧ＵＢは、種々の電気負荷、例えば、
センサ、アクタ（アクチュエータ）、制御電子回路、ス
テップモータ、電気的に整流可能な直流電圧モータに、
それぞれ適当に後続処理されて供給される。
の、ここではさらに詳細には説明しない構成のブリッジ
整流器段1を有し、該整流器段は、入力側にて加わる給
電電圧Ｕｚを一次の中間回路直流電圧Ｕｚに整流する。
該直流電圧Ｕｚは、コンデンサＣ１により安定化され
る。ここで、入力側に加わる給電（網）電圧ＵＥは、ほ
ぼ１００Ｖないしほぼ６６０Ｖの任意の世界的に一般的
な定格電圧値のうちの１つの値をとり得る。ブリッジ整
流器１により整流及びろ波（フィルタリング）により形
成された１次の中間回路直流電圧Ｕｚは、装置システム
設計に応じて、ほぼ３００Ｖないしほぼ１０００Ｖの値
をとる。１次の中間回路直流電圧Ｕｚは、所謂ＩＧＢＴ
−型式の４つの可制御なトランジスタパワースイッチン
グ素子を有する１つのフルブリッジ変換器段２により矩
形状の交流電圧ＵＴに変換され、該交流電圧は、後続の
高電力（ハイパワー）変成器３の変成器１次回路電圧を
成す。ここで、関連のある２０ＫＷ以上の電力領域に対
する高電力（ハイパワー）変成器としては、例えば、Ｖ
ａｋｕｕｍｓｃｈｍｅｌｚｅ社により商標名Ｖｉｔｒｏ
ｐａｃで販売された変成器型式のうちの１つが使用可能
である。高電力（ハイパワー）変成器３の１次巻線３ａ
がフルブリッジ変換器段２の出力電流回路中に設けられ
ており、一方、それの２次巻線３ｂには２次の中間回路
として通常のように整流器段４、平滑化インダクタンス
Ｌ及びコンデンサＣ２が続いており、上記コンデンサか
らは、２次の中間回路直流電圧ＵＢが、所要の２次回路
電流強度ＩＢをもって、さらには図示してない巻取機
（ワインダ）に対する給電電圧として取出され得る。こ
こで、上記給電電圧ＵＢは、種々の電気負荷、例えば、
センサ、アクタ（アクチュエータ）、制御電子回路、ス
テップモータ、電気的に整流可能な直流電圧モータに、
それぞれ適当に後続処理されて供給される。
【００１１】典型的には、巻取機（ワインダ）には、２
５０Ｖないし２８０Ｖのオーダの２次の中間回路直流電
圧ＵＢが必要とされる。上記の給電電圧を、そのつど入
力側に加わる、給電源の定格電圧に無関係に生成するた
め、フルブリッジ変換器段２のＩＧＢＴ−パワースイッ
チング素子が特別な手法で所属の制御段５により、１次
の中間回路直流電圧Ｕｚ、変成器１次回路電流強度及び
給電電圧ＵＢ並びに所謂の電流強度ＩＢに依存して次の
ように制御される、即ち、フルブリッジ変換器２の出力
電圧、換言すれば、変成器１次回路電圧ＵＴが、それの
周波数及び/又はパルス幅の点で制御されるように制御
構成される。このためにフルブリッジ変換器２の制御
が、制御段５により移相動作モードでおこなわれ、ここ
において、トランジスタパワースイッチング素子の無電
圧の投入及び遮断が保証されるように制御が行われる。
上記移相（位相シフト）動作モードは、次のような作用
をする、即ち、トランジスタパワースイッチング素子の
寄生容量が、高電力（ハイパワー）変成器３の漏れイン
ダクタンス内に蓄積されたエネルギを介して充放電ない
し反転充電せしめられるような作用をする。変成器３の
漏れインダクタンス内に蓄積された上記エネルギは変成
器１次回路電流強度ＩＴに依存し、そして、充放電ない
し反転充電に必要なエネルギは、夫夫のパワースイッチ
ング素子の寄生容量の値により決定される。
５０Ｖないし２８０Ｖのオーダの２次の中間回路直流電
圧ＵＢが必要とされる。上記の給電電圧を、そのつど入
力側に加わる、給電源の定格電圧に無関係に生成するた
め、フルブリッジ変換器段２のＩＧＢＴ−パワースイッ
チング素子が特別な手法で所属の制御段５により、１次
の中間回路直流電圧Ｕｚ、変成器１次回路電流強度及び
給電電圧ＵＢ並びに所謂の電流強度ＩＢに依存して次の
ように制御される、即ち、フルブリッジ変換器２の出力
電圧、換言すれば、変成器１次回路電圧ＵＴが、それの
周波数及び/又はパルス幅の点で制御されるように制御
構成される。このためにフルブリッジ変換器２の制御
が、制御段５により移相動作モードでおこなわれ、ここ
において、トランジスタパワースイッチング素子の無電
圧の投入及び遮断が保証されるように制御が行われる。
上記移相（位相シフト）動作モードは、次のような作用
をする、即ち、トランジスタパワースイッチング素子の
寄生容量が、高電力（ハイパワー）変成器３の漏れイン
ダクタンス内に蓄積されたエネルギを介して充放電ない
し反転充電せしめられるような作用をする。変成器３の
漏れインダクタンス内に蓄積された上記エネルギは変成
器１次回路電流強度ＩＴに依存し、そして、充放電ない
し反転充電に必要なエネルギは、夫夫のパワースイッチ
ング素子の寄生容量の値により決定される。
【００１２】上記の充放電ないし反転充電の様子は、図
２の等価回路図から明かである。４つの全部のパワース
イッチング素子を代表的に示すＩＧＢＴーパワースイッ
チング素子６は、動作型式に応じてそれのスイッチング
区間に並列に、寄生容量６ａ及びダイオード６ｂを有す
る。夫々のトランジスタパワースイッチング素子６のス
イッチング区間に直列に接続されている変成器１次回路
３ａの変成器漏れインダクタンスと共に、振動回路が形
成され、該振動回路は、ＩＧＢＴーパワースイッチング
素子の投入持続時間の所定の位相位置を介する制御のパ
ルス幅変調で、次のように利用される、即ち、パワース
イッチング素子が、無電圧でスイッチングされるように
利用される。
２の等価回路図から明かである。４つの全部のパワース
イッチング素子を代表的に示すＩＧＢＴーパワースイッ
チング素子６は、動作型式に応じてそれのスイッチング
区間に並列に、寄生容量６ａ及びダイオード６ｂを有す
る。夫々のトランジスタパワースイッチング素子６のス
イッチング区間に直列に接続されている変成器１次回路
３ａの変成器漏れインダクタンスと共に、振動回路が形
成され、該振動回路は、ＩＧＢＴーパワースイッチング
素子の投入持続時間の所定の位相位置を介する制御のパ
ルス幅変調で、次のように利用される、即ち、パワース
イッチング素子が、無電圧でスイッチングされるように
利用される。
【００１３】ところで、高電力（ハイパワー）変成器３
は、有利にはコスト上最適化して、定格スイッチング周
波数のもとで回路装置の定格電力に対して、最小の一次
の中間回路電圧Ｕｚに設計されている。典型的な定格ス
イッチング周波数は、例えば、５０ＫＨｚまでの領域内
に位置する。上記の前提のもとで、可及的に大きな入力
電圧領域及び出力電力領域に対してパワースイッチング
素子の零（ゼロ）スイッチングを可能にするため、制御
段は、次のような制御を実施する、即ち、高電力（ハイ
パワー）変成器３の漏れインダクタンス内に蓄積された
エネルギが寄生するパワースイッチング素子容量の充放
電をさせるのに十分であるような制御を実施する。この
ために制御段は、スイッチング周波数を１次的中間直流
電圧Ｕｚ及び所要の出力電力に依存して次のように変化
させ得る、即ち、変成器１次回路−電流強度ＩＴが最大
値をとり、而も変成器３を過負荷しないように変化させ
る。それと同時に、制御段は、変成器１次回路電圧ＵＴ
のパルス幅を次のように調整し得る、即ち、２次の中間
回路直流電圧ＵＢが所望の値に制御されるように調整し
得る。
は、有利にはコスト上最適化して、定格スイッチング周
波数のもとで回路装置の定格電力に対して、最小の一次
の中間回路電圧Ｕｚに設計されている。典型的な定格ス
イッチング周波数は、例えば、５０ＫＨｚまでの領域内
に位置する。上記の前提のもとで、可及的に大きな入力
電圧領域及び出力電力領域に対してパワースイッチング
素子の零（ゼロ）スイッチングを可能にするため、制御
段は、次のような制御を実施する、即ち、高電力（ハイ
パワー）変成器３の漏れインダクタンス内に蓄積された
エネルギが寄生するパワースイッチング素子容量の充放
電をさせるのに十分であるような制御を実施する。この
ために制御段は、スイッチング周波数を１次的中間直流
電圧Ｕｚ及び所要の出力電力に依存して次のように変化
させ得る、即ち、変成器１次回路−電流強度ＩＴが最大
値をとり、而も変成器３を過負荷しないように変化させ
る。それと同時に、制御段は、変成器１次回路電圧ＵＴ
のパルス幅を次のように調整し得る、即ち、２次の中間
回路直流電圧ＵＢが所望の値に制御されるように調整し
得る。
【００１４】高電力（ハイパワー）変成器は、例えば、
商標Ｖｉｔｒｏｐｅｒｍ及びＶｉｔｒｏｖａｃのもとで
販売されているものの場合、次のように作動されるべき
でる、即ち、それの磁性材料が磁性特性曲線の正及び負
の領域に沿って対称的に励振、励起されるように作動さ
れるべきである。このことは、個々のパワースイッチン
グ素子の投入持続時間の適当な選定を介しての、制御段
により実施される制御により達成される。ここで、変成
器１次回路ー電流強度ＩＴは、操作量として用いられ、
そして、制御段５は、変成器１次回路ー電流強度ＩＴの
正ないし負の信号成分の平均値の差を零に補償制御す
る。
商標Ｖｉｔｒｏｐｅｒｍ及びＶｉｔｒｏｖａｃのもとで
販売されているものの場合、次のように作動されるべき
でる、即ち、それの磁性材料が磁性特性曲線の正及び負
の領域に沿って対称的に励振、励起されるように作動さ
れるべきである。このことは、個々のパワースイッチン
グ素子の投入持続時間の適当な選定を介しての、制御段
により実施される制御により達成される。ここで、変成
器１次回路ー電流強度ＩＴは、操作量として用いられ、
そして、制御段５は、変成器１次回路ー電流強度ＩＴの
正ないし負の信号成分の平均値の差を零に補償制御す
る。
【００１５】ほぼ４０ＫＷまでの高い電力に相応して巻
取機（ワインダ）へのエネルギ供給、又は選択的に他の
負荷へのエネルギ供給のための前述の回路装置を使用す
る際相当の利点が得られる。損失が少なく、零電圧スイ
ッチングするＩＧＢＴパワースイッチング素子の使用に
より、０．９より大の回路装置の効率を達成できる。そ
の都度給電をする給電源の種々の定格電力及び電圧変動
に無関係に高い出力電圧安定性を以て周波数及び／又は
パルス幅変調を用いて給電源電圧が所望の２次中間回路
直流電圧に変換される。相応の電力領域にける５０Ｈｚ
／６０Ｈｚ技術仕様におけるサイリスタ手段に比して、
所要スペース及び重畳の著しい低減が可能である。而し
て、図１の回路装置全体を、ほぼ３０Ｋｇないし５０Ｋ
ｇの典型的重畳で実現できる。構成素子コストは、フル
ブリッジ変換器段の特別な制御により、比較的わずかに
なり、ことに、ほぼ２Ｖ〜３ＶのＩＧＢＴパワースイッ
チング素子の飽和電圧に基づき、たんにわずかな冷却し
か必要でなくなる。更に、4つより多くのパワースイッ
チング素子を必要としなくなる。当該の変成器は、給電
源と２次中間回路との間の所要の確実な電位分離を保証
する。
取機（ワインダ）へのエネルギ供給、又は選択的に他の
負荷へのエネルギ供給のための前述の回路装置を使用す
る際相当の利点が得られる。損失が少なく、零電圧スイ
ッチングするＩＧＢＴパワースイッチング素子の使用に
より、０．９より大の回路装置の効率を達成できる。そ
の都度給電をする給電源の種々の定格電力及び電圧変動
に無関係に高い出力電圧安定性を以て周波数及び／又は
パルス幅変調を用いて給電源電圧が所望の２次中間回路
直流電圧に変換される。相応の電力領域にける５０Ｈｚ
／６０Ｈｚ技術仕様におけるサイリスタ手段に比して、
所要スペース及び重畳の著しい低減が可能である。而し
て、図１の回路装置全体を、ほぼ３０Ｋｇないし５０Ｋ
ｇの典型的重畳で実現できる。構成素子コストは、フル
ブリッジ変換器段の特別な制御により、比較的わずかに
なり、ことに、ほぼ２Ｖ〜３ＶのＩＧＢＴパワースイッ
チング素子の飽和電圧に基づき、たんにわずかな冷却し
か必要でなくなる。更に、4つより多くのパワースイッ
チング素子を必要としなくなる。当該の変成器は、給電
源と２次中間回路との間の所要の確実な電位分離を保証
する。
【００１６】
【発明の効果】本発明により、比較的にわずかな技術的
コストで、２０ＫＷ以上の高い所要電力を有する電気負
荷、例えば巻取機（ワインダ）に種々の給電源ー定格電
圧の更なる適合化手段なしで所要の給電電圧を給電し得
る回路装置を提供することにあるという効果が奏され
る。
コストで、２０ＫＷ以上の高い所要電力を有する電気負
荷、例えば巻取機（ワインダ）に種々の給電源ー定格電
圧の更なる適合化手段なしで所要の給電電圧を給電し得
る回路装置を提供することにあるという効果が奏され
る。
【図１】種々の給電源電圧をそのつどの定格電圧に無関
係の巻取機（ワインダ）に対する給電電圧へ変換するた
めの回路装置のブロック接続図である。
係の巻取機（ワインダ）に対する給電電圧へ変換するた
めの回路装置のブロック接続図である。
【図２】図１の回路装置のフルブリッジ変換器段にて使
用されたＩＧＢＴーパワースイッチング素子及び図１の
回路装置にて使用された高電力（ハイパワー）変成器の
１次巻線の等価回路図である。
用されたＩＧＢＴーパワースイッチング素子及び図１の
回路装置にて使用された高電力（ハイパワー）変成器の
１次巻線の等価回路図である。
１ 整流器段 ２ フルブリッジ変換器段 ３ 高電力（ハイパワー）変成器 ４ 整流器段 ５ 制御段 ６ パワースイッチング素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｍ 7/06 8726−5Ｈ Ｈ０２Ｍ 7/06 Ｇ (72)発明者 フランク ヴェーファース ドイツ連邦共和国 メンヒェングラートバ ッハ アルスシュトラーセ 132 (72)発明者 フランツ−ヨーゼフ フラム ドイツ連邦共和国 シュトルベルク フィ ヒター シュトラーセ 96
Claims (4)
- 【請求項１】 種々の給電源ー定格電圧を、それぞれの
給電源ー定格電圧値に無関係な、高出力電気負荷向け
の、例えば巻取機向けの給電電圧に変換するための回路
装置において、 下記の構成要素を有し、即ち、 整流器段（１）を有し、該整流器段は、ほぼ１８０Ｖと
ほぼ６００Ｖとの間の定格電圧値を有するそれぞれの給
電源ー電圧の整流及びろ波（フィルタリング）により、
ほぼ３００Ｖとほぼ１０００Ｖとの間の一次の中間回路
直流電圧（Ｕｚ）を生成するように構成されており、 可制御のパワースイッチング素子を備えた変換器段
（２）を有し、該変換器段は、１次の中間回路直流電圧
（Ｕｚ）を矩形状の交流電圧（ＵＴ）に変換するように
構成されており、 ２次の中間回路の接続された高電力（ハイパワー）変成
器（３）を有し、該変成器は、矩形状の交流電圧
（ＵＴ）を給電電圧（ＵＢ）に変換するように構成され
ており、 パワースイッチング素子を制御する制御段（５）を有
し、前記パワースイッチング素子の制御では、１次の中
間回路直流電圧（Ｕｚ）と、高電力（ハイパワー）変成
器の１次回路における電流強度（ＩＴ）と、２次中間回
路における電圧（ＵＢ）及び電流強度（ＩＢ）に依存し
て、前記のパワースイッチング素子は、制御せしめら
れ、ここで、少なくとも、所要の給電電圧（ＵＢ）を得
るべく矩形状の交流電圧（ＵＴ）の可変パルス幅調整操
作を以て移相動作（位相シフト）モードで無電圧スイッ
チングするように制御せしめられるように構成されてい
ることを特徴とする高出力電気負荷へのエネルギ供給用
の電圧変換回路装置。 - 【請求項２】 高出力電気負荷へのエネルギ供給用の電
圧変換回路装置において、 下記の構成要素を有し、即ち、 整流器段（１）を有し、該整流器段は、１８０Ｖとほぼ
６００Ｖとの間の（定格電圧値を有するそれぞれの給電
源−電圧の整流及びろ波（フィルタリング）により、ほ
ぼ３００Ｖとほぼ１０００Ｖとの間の中間回路直流電圧
（Ｕｚ）を生成するように構成されており、 可制御のパワースイッチング素子を備えた変換器段
（２）を有し、該変換器段は、１次の中間回路直流電圧
（Ｕｚ）を矩形状の交流電圧（ＵＴ）に変換するように
構成されており、 ２次の中間回路の接続された高電力（ハイパワー）変成
器（３）を有し、該変成器は、矩形状の交流電圧
（ＵＴ）を給電電圧（ＵＢ）に変換するように構成され
ており、 パワースイッチング素子を制御する制御段（５）を有
し、前記制御段（5）により、前記パワースイッチング
素子は、１次の中間回路直流電圧（Ｕｚ）と、高電力
（ハイパワー）変成器の１次回路における電流強度（Ｉ
Ｔ）と、２次回路における電圧（ＵＢ）及び電流強度
（ＩＢ）に依存して、前記のパワースイッチング素子
は、制御せしめられるように構成されており、ここで、
所要の給電電圧（ＵＢ）を得るべく矩形状の交流電圧
（ＵＴ）の可変パルス幅調整操作を以て、亦、付加的
に、変成器１次回路−電流強度（ＩＴ）の調整セッティ
ングのための可変の周波数調整操作を以て、要するに、
当該の双方の調整操作を以て、移相動作（位相シフト）
モードで無電圧スイッチングするように制御構成されて
おり、前記の可変の周波数調整操作に際しての電流強度
は、寄生的パワースイッチング素子容量の反転充電ない
し充放電に必要なエネルギを高電力（ハイパワー）変成
器の漏れインダクタンスにて蓄積するに十分なものであ
るように構成されていることを特徴とする請求項１記載
の装置。 - 【請求項３】 高電力（ハイパワー）変成器（３）は、
所定の定格スイッチング周波数のもとで所定の定格電力
（パワー）に対して、最小の１次の中間回路直流電圧の
得られるように設計されていることを特徴とする請求項
１又は２記載の装置。 - 【請求項４】 制御段（５）により、ＩＧＢＴパワース
イッチング素子は次のように制御される、即ち、変成器
一次回路−電流強度（ＩＴ）の正ないし負の信号成分の
平均値の差がゼロに補償されるように制御構成されてい
ることを特徴とする請求の範囲１項から３項までのうち
何れか１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19602745 | 1996-01-26 | ||
| DE19602745.4 | 1996-01-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09215337A true JPH09215337A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=7783729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9009141A Pending JPH09215337A (ja) | 1996-01-26 | 1997-01-22 | 高出力電気負荷へのエネルギ供給用の電圧変換回路装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5796598A (ja) |
| JP (1) | JPH09215337A (ja) |
| DE (1) | DE19702042A1 (ja) |
| IT (1) | IT1289479B1 (ja) |
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1997
- 1997-01-22 DE DE19702042A patent/DE19702042A1/de not_active Withdrawn
- 1997-01-22 JP JP9009141A patent/JPH09215337A/ja active Pending
- 1997-01-27 US US08/789,635 patent/US5796598A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017511103A (ja) * | 2014-02-28 | 2017-04-13 | クリー インコーポレイテッドＣｒｅｅ Ｉｎｃ． | 電力変換電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT1289479B1 (it) | 1998-10-15 |
| ITMI962683A1 (it) | 1998-06-20 |
| US5796598A (en) | 1998-08-18 |
| DE19702042A1 (de) | 1997-07-31 |
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