JPH0637375A - レーザ発振器の高周波電源 - Google Patents
レーザ発振器の高周波電源Info
- Publication number
- JPH0637375A JPH0637375A JP4187787A JP18778792A JPH0637375A JP H0637375 A JPH0637375 A JP H0637375A JP 4187787 A JP4187787 A JP 4187787A JP 18778792 A JP18778792 A JP 18778792A JP H0637375 A JPH0637375 A JP H0637375A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- inverters
- power source
- laser oscillator
- frequency power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器の高周波電源を簡素化し、高周
波電源のコストの低下及び省スペイス化を図る。 【構成】 商用交流を直流に変換する整流回路１と、こ
の整流回路に並列に接続され、直流を同一周波数の高周
波交流に変換する２個のインバータ３，５と、これらの
２個のインバータから出力する夫々の高周波交流の位相
を制御する位相制御装置７と、２個の１次巻線を備え前
記２個のインバータの高周波交流を夫々入力し、これら
を合成すると共に昇圧して出力する１個の２次巻線を備
えた合成トランス９とからなる。
波電源のコストの低下及び省スペイス化を図る。 【構成】 商用交流を直流に変換する整流回路１と、こ
の整流回路に並列に接続され、直流を同一周波数の高周
波交流に変換する２個のインバータ３，５と、これらの
２個のインバータから出力する夫々の高周波交流の位相
を制御する位相制御装置７と、２個の１次巻線を備え前
記２個のインバータの高周波交流を夫々入力し、これら
を合成すると共に昇圧して出力する１個の２次巻線を備
えた合成トランス９とからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレーザ発振器の高周波
電源の改良に関する。
電源の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波電力をインバータによって供給さ
れるレーザ発振器において、レーザの出力を制御するた
めには、放電電極に加える高周波電力を制御する必要が
ある。高周波電力の制御は、周波数が比較的低い（数百
キロＨz 以下）場合には、ＰＷＭ制御によりインバータ
自身で行うことができるが、周波数が比較的高い（数百
キロＨz 以上）場合には、ＰＷＭ制御による電力の制御
はスイッチング素子の能力不足により困難になる。従っ
て、このような場合には、インバータの前段にサイリス
タ・ユニットやＤＣ／ＤＣコンバータ等の電力制御装置
を設けて、電力の制御を行うのが一般的である。
れるレーザ発振器において、レーザの出力を制御するた
めには、放電電極に加える高周波電力を制御する必要が
ある。高周波電力の制御は、周波数が比較的低い（数百
キロＨz 以下）場合には、ＰＷＭ制御によりインバータ
自身で行うことができるが、周波数が比較的高い（数百
キロＨz 以上）場合には、ＰＷＭ制御による電力の制御
はスイッチング素子の能力不足により困難になる。従っ
て、このような場合には、インバータの前段にサイリス
タ・ユニットやＤＣ／ＤＣコンバータ等の電力制御装置
を設けて、電力の制御を行うのが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、放電電圧は周
波数に逆比例するので、高周波放電ガスレーザにおいて
も、放電電圧を下げるために周波数を高くする傾向があ
り、レーザの出力の制御は、前記のように一般には、イ
ンバータの前段にサイリスタ・ユニットやＤＣ／ＤＣコ
ンバータ等の電力制御装置を設け、これによって行なわ
れている。
波数に逆比例するので、高周波放電ガスレーザにおいて
も、放電電圧を下げるために周波数を高くする傾向があ
り、レーザの出力の制御は、前記のように一般には、イ
ンバータの前段にサイリスタ・ユニットやＤＣ／ＤＣコ
ンバータ等の電力制御装置を設け、これによって行なわ
れている。
【０００４】この発明は、比較的高価なサイリスタ・ユ
ニットやＤＣ／ＤＣコンバータ等を使用せず、２個のイ
ンバータ、位相制御装置及び合成トランスを使用し、各
インバータの位相を制御すると共に、それらの出力を合
成することにより、レーザ出力に対応した電力の得られ
る、レーザ発振器の高周波電源を提供することを目的と
するものである。
ニットやＤＣ／ＤＣコンバータ等を使用せず、２個のイ
ンバータ、位相制御装置及び合成トランスを使用し、各
インバータの位相を制御すると共に、それらの出力を合
成することにより、レーザ出力に対応した電力の得られ
る、レーザ発振器の高周波電源を提供することを目的と
するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明のレーザ発振器の高周波電源は、商用交
流を直流に変換する整流回路と、この整流回路に並列に
接続され、直流を同一周波数の高周波交流に変換する２
個のインバータと、これらの２個のインバータから出力
する夫々の高周波交流の位相を制御する位相制御装置
と、２個の１次巻線を備え前記２個のインバータの高周
波交流を夫々入力し、これらを合成すると共に昇圧して
出力する１個の２次巻線を備えた合成トランスとからな
るものである。
めに、この発明のレーザ発振器の高周波電源は、商用交
流を直流に変換する整流回路と、この整流回路に並列に
接続され、直流を同一周波数の高周波交流に変換する２
個のインバータと、これらの２個のインバータから出力
する夫々の高周波交流の位相を制御する位相制御装置
と、２個の１次巻線を備え前記２個のインバータの高周
波交流を夫々入力し、これらを合成すると共に昇圧して
出力する１個の２次巻線を備えた合成トランスとからな
るものである。
【０００６】
【作用】このように構成されているので、先ず、商用交
流は整流回路によって直流に変換される。この直流は並
列に接続された２個のインバータによって２個の同一周
波数の高周波交流に変換される。この場合、２個の高周
波交流は位相制御装置によって夫々所定の位相に制御さ
れる。この２個の高周波交流は、２個の１次巻線を備
え、１個の２次巻線を備えた合成トランスによって、昇
圧合成され所定の電圧の高周波交流に変換される。
流は整流回路によって直流に変換される。この直流は並
列に接続された２個のインバータによって２個の同一周
波数の高周波交流に変換される。この場合、２個の高周
波交流は位相制御装置によって夫々所定の位相に制御さ
れる。この２個の高周波交流は、２個の１次巻線を備
え、１個の２次巻線を備えた合成トランスによって、昇
圧合成され所定の電圧の高周波交流に変換される。
【０００７】
【実施例】次に、この発明の実施例について図面に基づ
いて説明する。図１に示すようにこの電源は、整流回路
１と、２個のインバータＡ３，Ｂ５と、位相制御装置７
及び合成トランス９等から構成されている。整流回路１
はダイオード群Ｄの三相ブリッジ回路からなり、商用交
流を直流に変換する。コンデンサＣ1 は平滑コンデンサ
である。インバータＡ３，Ｂ５はそれぞれＦＥＴトラン
ジスタＴＲ1 〜ＴＲ4 ，ＴＲ5 〜ＴＲ8 等のブリッジか
らなり、それぞれドライブ装置１１，１３により、前記
の直流を同一周波数の高周波交流に変換する。この場
合、それぞれの高周波交流はレーザ出力指令に基づい
て、位相制御装置７により位相差を適宜制御される。
いて説明する。図１に示すようにこの電源は、整流回路
１と、２個のインバータＡ３，Ｂ５と、位相制御装置７
及び合成トランス９等から構成されている。整流回路１
はダイオード群Ｄの三相ブリッジ回路からなり、商用交
流を直流に変換する。コンデンサＣ1 は平滑コンデンサ
である。インバータＡ３，Ｂ５はそれぞれＦＥＴトラン
ジスタＴＲ1 〜ＴＲ4 ，ＴＲ5 〜ＴＲ8 等のブリッジか
らなり、それぞれドライブ装置１１，１３により、前記
の直流を同一周波数の高周波交流に変換する。この場
合、それぞれの高周波交流はレーザ出力指令に基づい
て、位相制御装置７により位相差を適宜制御される。
【０００８】合成トランス９は１次側に２個の巻線９−
１，９−２を備えており、それぞれインバータＡ，Ｂの
出力側（それぞれの出力電圧ＶA ，ＶB ）へ接続されて
いる。２次側には１個の巻線９−３を備えており、イン
バータＡ，Ｂの合成出力ＶCを出力する。合成トランス
９の出力はＬ，Ｃ2 からなるマッチング回路１５を経
て、レーザ発振器の放電電極１７へ供給される。
１，９−２を備えており、それぞれインバータＡ，Ｂの
出力側（それぞれの出力電圧ＶA ，ＶB ）へ接続されて
いる。２次側には１個の巻線９−３を備えており、イン
バータＡ，Ｂの合成出力ＶCを出力する。合成トランス
９の出力はＬ，Ｃ2 からなるマッチング回路１５を経
て、レーザ発振器の放電電極１７へ供給される。
【０００９】図２はこの電源の動作の説明図である。図
（ａ）は電源の出力電圧の大きい場合で、インバータ
Ａ，Ｂの出力電圧ＶA ，ＶB は大きさ、周波数及び位相
が同一である。従って、合成出力電圧ＶC は出力電圧Ｖ
A ，ＶB をそまま加算したものになる。図（ｂ）は電源
の出力電圧の小さい場合で、インバータＡ，Ｂの出力電
圧ＶA ，ＶB は大きさ及び周波数は同一であるが、位相
が９０゜異なっている。従って、合成出力電圧ＶC は図
示のように出力電圧ＶA ，ＶB を加減算したものにな
り、図（ａ）の場合の半分なる。出力電圧ＶA ，ＶB の
位相を１８０゜ずらせると、合成出力電圧ＶC は０にな
る。
（ａ）は電源の出力電圧の大きい場合で、インバータ
Ａ，Ｂの出力電圧ＶA ，ＶB は大きさ、周波数及び位相
が同一である。従って、合成出力電圧ＶC は出力電圧Ｖ
A ，ＶB をそまま加算したものになる。図（ｂ）は電源
の出力電圧の小さい場合で、インバータＡ，Ｂの出力電
圧ＶA ，ＶB は大きさ及び周波数は同一であるが、位相
が９０゜異なっている。従って、合成出力電圧ＶC は図
示のように出力電圧ＶA ，ＶB を加減算したものにな
り、図（ａ）の場合の半分なる。出力電圧ＶA ，ＶB の
位相を１８０゜ずらせると、合成出力電圧ＶC は０にな
る。
【００１０】このように構成されているので、この電源
は極めて簡単に出力電圧を制御することができる。ま
た、この発明の２個のインバータの１個は、シマー放電
用の電源として利用することができる。
は極めて簡単に出力電圧を制御することができる。ま
た、この発明の２個のインバータの１個は、シマー放電
用の電源として利用することができる。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明のレーザ発振器の高周波電源は、特許請求の範囲に
記載の構成を備えているので、電源の出力を２個のイン
バータの位相を変えることにより、自由に制御すること
ができる。従って、電源が従来のものに比較して著しく
簡素化され、電源のコストの低下や省スペイス化等を図
ることができる。また、インバータはシマー電源として
共用することができる。
発明のレーザ発振器の高周波電源は、特許請求の範囲に
記載の構成を備えているので、電源の出力を２個のイン
バータの位相を変えることにより、自由に制御すること
ができる。従って、電源が従来のものに比較して著しく
簡素化され、電源のコストの低下や省スペイス化等を図
ることができる。また、インバータはシマー電源として
共用することができる。
【図１】この発明の電源の実施例の説明図である。
【図２】この発明の電源の実施例の動作の説明図であ
る。図（ａ）は電源の出力電圧の大きい場合、図（ｂ）
は出力電圧の小さい場合である。
る。図（ａ）は電源の出力電圧の大きい場合、図（ｂ）
は出力電圧の小さい場合である。
１ 整流回路 ３ インバータＡ ５ インバータＢ ７ 位相制御装置 ９ 合成トランス
Claims (1)
- 【請求項１】 商用交流を直流に変換する整流回路と、
この整流回路に並列に接続され、直流を同一周波数の高
周波交流に変換する２個のインバータと、これらの２個
のインバータから出力する夫々の高周波交流の位相を制
御する位相制御装置と、２個の１次巻線を備え前記２個
のインバータの高周波交流を夫々入力し、これらを合成
すると共に昇圧して出力する１個の２次巻線を備えた合
成トランスとからなることを特徴とするレーザ発振器の
高周波電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4187787A JPH0637375A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | レーザ発振器の高周波電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4187787A JPH0637375A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | レーザ発振器の高周波電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637375A true JPH0637375A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16212223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4187787A Pending JPH0637375A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | レーザ発振器の高周波電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637375A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6304475B1 (en) | 1998-06-16 | 2001-10-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching power supply for gas laser |
| US8902622B2 (en) | 2010-10-06 | 2014-12-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Power supply apparatus |
| JP2016073124A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
| JP2017077078A (ja) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | 新電元工業株式会社 | スイッチング電源装置 |
| WO2023112468A1 (ja) | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置及び高周波電力の出力制御方法 |
-
1992
- 1992-07-15 JP JP4187787A patent/JPH0637375A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6304475B1 (en) | 1998-06-16 | 2001-10-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching power supply for gas laser |
| US8902622B2 (en) | 2010-10-06 | 2014-12-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Power supply apparatus |
| JP2016073124A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
| JP2017077078A (ja) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | 新電元工業株式会社 | スイッチング電源装置 |
| WO2023112468A1 (ja) | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置及び高周波電力の出力制御方法 |
| KR20240101692A (ko) | 2021-12-16 | 2024-07-02 | 가부시끼가이샤교산세이사꾸쇼 | 고주파 전원 장치 및 고주파 전력의 출력 제어 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |