JPH0637375A - レーザ発振器の高周波電源 - Google Patents
レーザ発振器の高周波電源Info
- Publication number
- JPH0637375A JPH0637375A JP4187787A JP18778792A JPH0637375A JP H0637375 A JPH0637375 A JP H0637375A JP 4187787 A JP4187787 A JP 4187787A JP 18778792 A JP18778792 A JP 18778792A JP H0637375 A JPH0637375 A JP H0637375A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- inverters
- power source
- laser oscillator
- frequency power
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器の高周波電源を簡素化し、高周
波電源のコストの低下及び省スペイス化を図る。 【構成】 商用交流を直流に変換する整流回路1と、こ
の整流回路に並列に接続され、直流を同一周波数の高周
波交流に変換する2個のインバータ3,5と、これらの
2個のインバータから出力する夫々の高周波交流の位相
を制御する位相制御装置7と、2個の1次巻線を備え前
記2個のインバータの高周波交流を夫々入力し、これら
を合成すると共に昇圧して出力する1個の2次巻線を備
えた合成トランス9とからなる。
波電源のコストの低下及び省スペイス化を図る。 【構成】 商用交流を直流に変換する整流回路1と、こ
の整流回路に並列に接続され、直流を同一周波数の高周
波交流に変換する2個のインバータ3,5と、これらの
2個のインバータから出力する夫々の高周波交流の位相
を制御する位相制御装置7と、2個の1次巻線を備え前
記2個のインバータの高周波交流を夫々入力し、これら
を合成すると共に昇圧して出力する1個の2次巻線を備
えた合成トランス9とからなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はレーザ発振器の高周波
電源の改良に関する。
電源の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】高周波電力をインバータによって供給さ
れるレーザ発振器において、レーザの出力を制御するた
めには、放電電極に加える高周波電力を制御する必要が
ある。高周波電力の制御は、周波数が比較的低い(数百
キロHz 以下)場合には、PWM制御によりインバータ
自身で行うことができるが、周波数が比較的高い(数百
キロHz 以上)場合には、PWM制御による電力の制御
はスイッチング素子の能力不足により困難になる。従っ
て、このような場合には、インバータの前段にサイリス
タ・ユニットやDC/DCコンバータ等の電力制御装置
を設けて、電力の制御を行うのが一般的である。
れるレーザ発振器において、レーザの出力を制御するた
めには、放電電極に加える高周波電力を制御する必要が
ある。高周波電力の制御は、周波数が比較的低い(数百
キロHz 以下)場合には、PWM制御によりインバータ
自身で行うことができるが、周波数が比較的高い(数百
キロHz 以上)場合には、PWM制御による電力の制御
はスイッチング素子の能力不足により困難になる。従っ
て、このような場合には、インバータの前段にサイリス
タ・ユニットやDC/DCコンバータ等の電力制御装置
を設けて、電力の制御を行うのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】一般に、放電電圧は周
波数に逆比例するので、高周波放電ガスレーザにおいて
も、放電電圧を下げるために周波数を高くする傾向があ
り、レーザの出力の制御は、前記のように一般には、イ
ンバータの前段にサイリスタ・ユニットやDC/DCコ
ンバータ等の電力制御装置を設け、これによって行なわ
れている。
波数に逆比例するので、高周波放電ガスレーザにおいて
も、放電電圧を下げるために周波数を高くする傾向があ
り、レーザの出力の制御は、前記のように一般には、イ
ンバータの前段にサイリスタ・ユニットやDC/DCコ
ンバータ等の電力制御装置を設け、これによって行なわ
れている。
【0004】この発明は、比較的高価なサイリスタ・ユ
ニットやDC/DCコンバータ等を使用せず、2個のイ
ンバータ、位相制御装置及び合成トランスを使用し、各
インバータの位相を制御すると共に、それらの出力を合
成することにより、レーザ出力に対応した電力の得られ
る、レーザ発振器の高周波電源を提供することを目的と
するものである。
ニットやDC/DCコンバータ等を使用せず、2個のイ
ンバータ、位相制御装置及び合成トランスを使用し、各
インバータの位相を制御すると共に、それらの出力を合
成することにより、レーザ出力に対応した電力の得られ
る、レーザ発振器の高周波電源を提供することを目的と
するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明のレーザ発振器の高周波電源は、商用交
流を直流に変換する整流回路と、この整流回路に並列に
接続され、直流を同一周波数の高周波交流に変換する2
個のインバータと、これらの2個のインバータから出力
する夫々の高周波交流の位相を制御する位相制御装置
と、2個の1次巻線を備え前記2個のインバータの高周
波交流を夫々入力し、これらを合成すると共に昇圧して
出力する1個の2次巻線を備えた合成トランスとからな
るものである。
めに、この発明のレーザ発振器の高周波電源は、商用交
流を直流に変換する整流回路と、この整流回路に並列に
接続され、直流を同一周波数の高周波交流に変換する2
個のインバータと、これらの2個のインバータから出力
する夫々の高周波交流の位相を制御する位相制御装置
と、2個の1次巻線を備え前記2個のインバータの高周
波交流を夫々入力し、これらを合成すると共に昇圧して
出力する1個の2次巻線を備えた合成トランスとからな
るものである。
【0006】
【作用】このように構成されているので、先ず、商用交
流は整流回路によって直流に変換される。この直流は並
列に接続された2個のインバータによって2個の同一周
波数の高周波交流に変換される。この場合、2個の高周
波交流は位相制御装置によって夫々所定の位相に制御さ
れる。この2個の高周波交流は、2個の1次巻線を備
え、1個の2次巻線を備えた合成トランスによって、昇
圧合成され所定の電圧の高周波交流に変換される。
流は整流回路によって直流に変換される。この直流は並
列に接続された2個のインバータによって2個の同一周
波数の高周波交流に変換される。この場合、2個の高周
波交流は位相制御装置によって夫々所定の位相に制御さ
れる。この2個の高周波交流は、2個の1次巻線を備
え、1個の2次巻線を備えた合成トランスによって、昇
圧合成され所定の電圧の高周波交流に変換される。
【0007】
【実施例】次に、この発明の実施例について図面に基づ
いて説明する。図1に示すようにこの電源は、整流回路
1と、2個のインバータA3,B5と、位相制御装置7
及び合成トランス9等から構成されている。整流回路1
はダイオード群Dの三相ブリッジ回路からなり、商用交
流を直流に変換する。コンデンサC1 は平滑コンデンサ
である。インバータA3,B5はそれぞれFETトラン
ジスタTR1 〜TR4 ,TR5 〜TR8 等のブリッジか
らなり、それぞれドライブ装置11,13により、前記
の直流を同一周波数の高周波交流に変換する。この場
合、それぞれの高周波交流はレーザ出力指令に基づい
て、位相制御装置7により位相差を適宜制御される。
いて説明する。図1に示すようにこの電源は、整流回路
1と、2個のインバータA3,B5と、位相制御装置7
及び合成トランス9等から構成されている。整流回路1
はダイオード群Dの三相ブリッジ回路からなり、商用交
流を直流に変換する。コンデンサC1 は平滑コンデンサ
である。インバータA3,B5はそれぞれFETトラン
ジスタTR1 〜TR4 ,TR5 〜TR8 等のブリッジか
らなり、それぞれドライブ装置11,13により、前記
の直流を同一周波数の高周波交流に変換する。この場
合、それぞれの高周波交流はレーザ出力指令に基づい
て、位相制御装置7により位相差を適宜制御される。
【0008】合成トランス9は1次側に2個の巻線9−
1,9−2を備えており、それぞれインバータA,Bの
出力側(それぞれの出力電圧VA ,VB )へ接続されて
いる。2次側には1個の巻線9−3を備えており、イン
バータA,Bの合成出力VCを出力する。合成トランス
9の出力はL,C2 からなるマッチング回路15を経
て、レーザ発振器の放電電極17へ供給される。
1,9−2を備えており、それぞれインバータA,Bの
出力側(それぞれの出力電圧VA ,VB )へ接続されて
いる。2次側には1個の巻線9−3を備えており、イン
バータA,Bの合成出力VCを出力する。合成トランス
9の出力はL,C2 からなるマッチング回路15を経
て、レーザ発振器の放電電極17へ供給される。
【0009】図2はこの電源の動作の説明図である。図
(a)は電源の出力電圧の大きい場合で、インバータ
A,Bの出力電圧VA ,VB は大きさ、周波数及び位相
が同一である。従って、合成出力電圧VC は出力電圧V
A ,VB をそまま加算したものになる。図(b)は電源
の出力電圧の小さい場合で、インバータA,Bの出力電
圧VA ,VB は大きさ及び周波数は同一であるが、位相
が90゜異なっている。従って、合成出力電圧VC は図
示のように出力電圧VA ,VB を加減算したものにな
り、図(a)の場合の半分なる。出力電圧VA ,VB の
位相を180゜ずらせると、合成出力電圧VC は0にな
る。
(a)は電源の出力電圧の大きい場合で、インバータ
A,Bの出力電圧VA ,VB は大きさ、周波数及び位相
が同一である。従って、合成出力電圧VC は出力電圧V
A ,VB をそまま加算したものになる。図(b)は電源
の出力電圧の小さい場合で、インバータA,Bの出力電
圧VA ,VB は大きさ及び周波数は同一であるが、位相
が90゜異なっている。従って、合成出力電圧VC は図
示のように出力電圧VA ,VB を加減算したものにな
り、図(a)の場合の半分なる。出力電圧VA ,VB の
位相を180゜ずらせると、合成出力電圧VC は0にな
る。
【0010】このように構成されているので、この電源
は極めて簡単に出力電圧を制御することができる。ま
た、この発明の2個のインバータの1個は、シマー放電
用の電源として利用することができる。
は極めて簡単に出力電圧を制御することができる。ま
た、この発明の2個のインバータの1個は、シマー放電
用の電源として利用することができる。
【0011】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明のレーザ発振器の高周波電源は、特許請求の範囲に
記載の構成を備えているので、電源の出力を2個のイン
バータの位相を変えることにより、自由に制御すること
ができる。従って、電源が従来のものに比較して著しく
簡素化され、電源のコストの低下や省スペイス化等を図
ることができる。また、インバータはシマー電源として
共用することができる。
発明のレーザ発振器の高周波電源は、特許請求の範囲に
記載の構成を備えているので、電源の出力を2個のイン
バータの位相を変えることにより、自由に制御すること
ができる。従って、電源が従来のものに比較して著しく
簡素化され、電源のコストの低下や省スペイス化等を図
ることができる。また、インバータはシマー電源として
共用することができる。
【図1】この発明の電源の実施例の説明図である。
【図2】この発明の電源の実施例の動作の説明図であ
る。図(a)は電源の出力電圧の大きい場合、図(b)
は出力電圧の小さい場合である。
る。図(a)は電源の出力電圧の大きい場合、図(b)
は出力電圧の小さい場合である。
1 整流回路 3 インバータA 5 インバータB 7 位相制御装置 9 合成トランス
Claims (1)
- 【請求項1】 商用交流を直流に変換する整流回路と、
この整流回路に並列に接続され、直流を同一周波数の高
周波交流に変換する2個のインバータと、これらの2個
のインバータから出力する夫々の高周波交流の位相を制
御する位相制御装置と、2個の1次巻線を備え前記2個
のインバータの高周波交流を夫々入力し、これらを合成
すると共に昇圧して出力する1個の2次巻線を備えた合
成トランスとからなることを特徴とするレーザ発振器の
高周波電源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4187787A JPH0637375A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | レーザ発振器の高周波電源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4187787A JPH0637375A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | レーザ発振器の高周波電源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0637375A true JPH0637375A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16212223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4187787A Pending JPH0637375A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | レーザ発振器の高周波電源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0637375A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6304475B1 (en) | 1998-06-16 | 2001-10-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching power supply for gas laser |
US8902622B2 (en) | 2010-10-06 | 2014-12-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Power supply apparatus |
JP2016073124A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
JP2017077078A (ja) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | 新電元工業株式会社 | スイッチング電源装置 |
WO2023112468A1 (ja) | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置及び高周波電力の出力制御方法 |
-
1992
- 1992-07-15 JP JP4187787A patent/JPH0637375A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6304475B1 (en) | 1998-06-16 | 2001-10-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching power supply for gas laser |
US8902622B2 (en) | 2010-10-06 | 2014-12-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Power supply apparatus |
JP2016073124A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
JP2017077078A (ja) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | 新電元工業株式会社 | スイッチング電源装置 |
WO2023112468A1 (ja) | 2021-12-16 | 2023-06-22 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置及び高周波電力の出力制御方法 |
KR20240101692A (ko) | 2021-12-16 | 2024-07-02 | 가부시끼가이샤교산세이사꾸쇼 | 고주파 전원 장치 및 고주파 전력의 출력 제어 방법 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |