DE19702042A1 - Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine - Google Patents

Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine

Info

Publication number
DE19702042A1
DE19702042A1 DE19702042A DE19702042A DE19702042A1 DE 19702042 A1 DE19702042 A1 DE 19702042A1 DE 19702042 A DE19702042 A DE 19702042A DE 19702042 A DE19702042 A DE 19702042A DE 19702042 A1 DE19702042 A1 DE 19702042A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
voltage
circuit
transformer
primary
power
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19702042A
Other languages
English (en)
Inventor
Hans-Georg Nowak
Michael Quante
Frank Wefers
Franz-Josef Flamm
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oerlikon Textile GmbH and Co KG
Original Assignee
W Schlafhorst AG and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by W Schlafhorst AG and Co filed Critical W Schlafhorst AG and Co
Priority to DE19702042A priority Critical patent/DE19702042A1/de
Publication of DE19702042A1 publication Critical patent/DE19702042A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/22Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac
    • H02M3/24Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/28Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanordnung zur Wandlung unterschiedlicher Stromnetzspannungen in eine vom jeweiligen Nennspannungswert unabhängige Versorgungsspannung für einen elektrischen Verbraucher hoher Leistung, insbeson­ dere für eine Spulmaschine.
Spulmaschinen heutiger Bauart arbeiten typischerweise mit ei­ ner Versorgungsgleichspannung von ca. 260 V bei einem Lei­ stungsbedarf zwischen 20 kW und 40 kW. Um eine solche Versor­ gung aus den auf der Welt üblichen Stromnetz-Nennspannungen, die bei Frequenzen von ca. 50 Hz bis 60 Hz zwischen etwa 180 V und 600 V variieren, zu erreichen, wird für die Spulmaschine herkömmlicherweise ein Thyristorgleichrichter mit annäherend dreißig verschiedenen vorgeschalteten Transformatorvarianten eingesetzt. Außer der Spannungsanpassung muß der jeweilige Transformator die erforderliche galvanische Trennung zwischen der Stromnetzspannung und der Maschinenspannung sicherstel­ len. Diese konventionelle Spulmaschinen-Stromversorgung er­ fordert nicht nur einen relativ hohen technischen Aufwand aufgrund der hohen Zahl unterschiedlicher Transformatorvari­ anten zur Abdeckung der verschiedenen Weltnetzspannungen, sie besitzt auch nur eine mäßige Ausgangsstabilität infolge gro­ ßer Regelzeitkonstanten sowie einen relativ geringen Wir­ kungsgrad und ein hohes Gewicht bei großem Platzbedarf.
Zur Energieversorgung elektrischer Verbraucher mit zu demje­ nigen der oben genannten Spulmaschinen vergleichsweise nied­ rigem Leistungsbedarf von höchstens bis etwa 10 kW ist die Verwendung spannungswandelnder Schaltungsanordnungen in Form sogenannter Schaltnetzteile bekannt. Speziell werden für et­ was größere Leistungen Schaltnetzteile vom Gegentaktwandler­ typ mit einer Vollbrückenwandlerstufe eingesetzt, die vier von einer Regelungsstufe angesteuerte Transistorleistungs­ schalter enthält.
Unter anderem wegen der begrenzten maximalen Belastbarkeit der verwendeten Bauelemente, ist es nicht möglich, derartige Schaltnetzteile vergleichsweise niedriger Leistung lediglich durch höhere Dimensionierung der einzelnen Bauelemente in Schaltnetzteile zu modifizieren, die mit der gleichen Funkti­ onsweise höhere Leistungen übertragen können. Vielmehr sind hierfür zusätzliche spezielle Maßnahmen erforderlich, wenn eine den technischen Aufwand vergrößernde Parallelschaltung mehrerer gleichartiger Schaltnetzteile vermieden werden soll. Eine solche Maßnahme bildet das sogenannte Nullspannungs­ schalten der Leistungsschalter mit pulsweitenmodulierter An­ steuerung, wie es in dem Aufsatz von N.H. Kutkut et al., An Improved Full-Bride Zero-Voltage Switching PWM Converter Using a Two-Inductor Rectifier, IEEE Transactions on Industry Applications, Band 31, Nr. 1, Januar/Februar 1995, Seite 119 für Schaltnetzteile bis zu einer Leistung von 10 kW beschrie­ ben wird. Ein Schaltnetzteil ähnlicher Funktionsweise mit ei­ ner Ausgangsleistung von 500 W ist im Datenbuch 1994 der Firma Unitrode unter der Anwendungsbezeichnung U-136 beschrieben.
Der Erfindung liegt als technisches Problem die Bereitstel­ lung einer Schaltungsanordnung der eingangs genannten Art zu­ grunde, mit der mit vergleichsweise geringem technischen Auf­ wand ein elektrischer Verbraucher mit hohem Leistungsbedarf von 20 kW und mehr, insbesondere eine Spulmaschine, ohne wei­ tere Anpassungsmaßnahmen von unterschiedlichen Stromnetzspan­ nungen mit einer erforderlichen Versorgungsspannung gespeist werden kann.
Dieses Problem wird durch eine Schaltungsanordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Es hat sich gezeigt, daß es durch den bei dieser Schaltungsanordnung gewählten Schal­ tungsaufbau aus einer Gleichrichterstufe, vorzugsweise einer Brückengleichrichterstufe, einer Wandlerstufe, vorzugsweise einer Vollbrückenwandlerstufe, einer Regelungsstufe und einem Hochleistungsübertrager mit angeschlossener Sekundärkreisstu­ fe in Verbindung mit der von der Regelungsstufe bereitge­ stellten, speziellen Ansteuerung der in der Wandlerstufe vor­ gesehenen Leistungsschalter möglich ist, die beispielsweise zum Betrieb von Spulmaschinen erforderliche Leistung von 20 kW und mehr mit einer bestimmten, ausreichend konstanten Versor­ gungsspannung aus Stromnetzen mit unterschiedlichen Nennspan­ nungen bereitzustellen. Bemerkenswerterweise ist es durch die spezielle Art der Ansteuerung der Wandlerstufe möglich, diese hohe Leistung über die Leistungsschalter zu übertragen, ohne daß aufwendige Kühlungsmaßnahmen erforderlich sind oder meh­ rere parallele Wandlerstufen eingesetzt werden müssen. Dazu trägt insbesondere bei, daß die Ansteuerung der Leistungs­ schalter im Phasenverschiebungsbetrieb mit Nullspannungs­ schalten erfolgt und wenigstens die Pulsweite der von der Wandlerstufe erzeugten, rechteckförmigen Wechselspannung zur Einregelung der gewünschten Versorgungsspannung variabel ein­ gestellt wird.
In Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 2 wird zusätz­ lich die Frequenz dieser Wechselspannung variabel derart ein­ gestellt, daß die parasitären Kapazitäten der Leistungsschal­ ter jeweils von einer ausreichend in die Streuinduktivität des Hochleistungsübertragers eingespeicherten Energiemenge umgeladen werden können. Dazu wird die Stromstärke im Über­ tragerprimärkreis jeweils so groß wie möglich eingestellt, ohne andererseits den Übertrager zu überlasten.
Eine Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 3 realisiert eine kostenoptimierte Auslegung der Schaltungsanordnung, in­ dem der Hochleistungsübertrager auf eine minimale primäre Zwischenkreisspannung für eine vorgegebene Nennleistung bei vorgegebener Nennschaltfrequenz ausgelegt ist.
In einer nach Anspruch 4 weitergebildeten Schaltungsanordnung wird der Hochleistungsübertrager symmetrisch angesteuert, was den Einsatz eines geeigneten Hochleistungsübertragers im ge­ forderten Leistungsbereich erleichtert, indem dessen Magnet­ material entlang des positiven und negativen Bereiches der Magnetisierungskennlinie symmetrisch ausgesteuert wird.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird nachfolgend beschrieben. Hierbei zeigen:
Fig. 1 ein Blockschaltbild einer Schaltungsanordnung zur Wandlung unterschiedlicher Stromnetzspannungen in eine von der jeweiligen Nennspannung unabhängige Versorgungsspannung für eine Spulmaschine und
Fig. 2 ein Ersatzschaltbild eines in einer Vollbrückenwand­ lerstufe der Schaltungsanordnung von Fig. 1 verwen­ deten IGBT-Leistungsschalters und der Primärwicklung eines in der Schaltungsanordnung von Fig. 1 verwen­ deten Hochleistungsübertragers.
Die in Fig. 1 dargestellte Schaltungsanordnung beinhaltet eingangsseitig eine Brückengleichrichterstufe (1) üblichen, hier nicht näher zu beschreibenden Aufbaus, die eine ein­ gangsseitig anstehende Stromnetzspannung (UE) in eine primäre Zwischenkreisgleichspannung (UZ) gleichrichtet, die von einem Kondensator (C₁) stabilisiert wird. Dabei kann die eingangs­ seitig anliegende Stromnetzspannung (UE) einen beliebigen der weltweit gebräuchlichen Nennspannungswerte zwischen etwa 180 V und etwa 660 V besitzen. Die durch Gleichrichtung und Siebung der Stromnetzspannung (UE) von der Brückengleichrichterstufe (1) erzeugte primäre Zwischenkreisgleichspannung (UZ) nimmt je nach Systemauslegung Werte zwischen etwa 300 V und etwa 1000 V an. Die primäre Zwischenkreisgleichspannung (UZ) wird von einer Vollbrückenwandlerstufe (2) mit vier ansteuerbaren Transistorleistungsschaltern vom sogenannten IGBT-Typ in eine rechteckförmige Wechselspannung (UT) gewandelt, welche die Übertragerprimärkreisspannung eines anschließenden Hochlei­ stungsübertragers (3) darstellt. Als Hochleistungsübertrager (3) für den hier relevanten Leistungsbereich von 20 kW und mehr ist beispielsweise einer der von der Firma Vakuumschmel­ ze GmbH unter den Marken Vitroperm und Vitrovac vertriebenen Übertragertypen verwendbar. Während die Primärwicklung (3a) des Hochleistungsübertragers (3) im Ausgangsstromkreis der Vollbrückenwandlerstufe (2) liegt, schließt sich an dessen Sekundärwicklung (3b) als ein sekundärer Zwischenkreis in üb­ licher Weise eine Gleichrichterstufe (4), eine Glättungsin­ duktivität (L) und ein Kondensator (C₂) an, an welchem die sekundäre Zwischenkreisgleichspannung (UB) als Versorgungs­ spannung für die nicht weiter gezeigte Spulmaschine mit einer zugehörigen Sekundärkreis-Stromstärke (IB) abgegriffen werden kann, wobei diese Versorgungsspannung (UB) den verschiedenen elektrischen Verbrauchern der Spulmaschine, wie Sensoren, Ak­ toren, Steuerungselektronik, Schrittmotore und elektrisch kommutierte Gleichspannungsmotore, in jeweils geeignet wei­ terverarbeiteter Weise zugeführt wird.
Typischerweise wird für Spulmaschinen eine sekundäre Zwi­ schenkreisgleichspannung (UB) in der Größenordnung zwischen 250 V und 280 V benötigt. Um diese Versorgungsspannung unabhän­ gig von der jeweils eingangsseitig anliegenden Nennspannung (UB) des speisenden Stromnetzes bereitzustellen, werden die vier IGBT-Leistungsschalter der Vollbrückenwandlerstufe (2) in einer speziellen Weise von einer zugeordneten Regelungs­ stufe (5) in Abhängigkeit von der primären Zwischenkreis­ gleichspannung (UZ), der Übertragerprimärkreis-Stromstärke (IT) sowie der Versorgungsspannung (UB) und der zugehörigen Stromstärke (IB) so angesteuert, daß die Ausgangsspannung der Vollbrückenwandlerstufe (2), d. h. die Übertragerprimär­ kreisspannung (UT), in ihrer Frequenz und Pulsweite geeignet eingeregelt wird. Dazu erfolgt die Ansteuerung der Vollbrückenwandlerstufe (2) durch die Regelungsstufe (5) im Phasen­ verschiebungsbetrieb derart, daß ein spannungsloses Ein- und Ausschalten der Transistorleistungsschalter gewährleistet wird. Der Phasenverschiebungsbetrieb bewirkt, daß die parasi­ tären Kapazitäten der Transistorleistungsschalter durch die in der Streuinduktivität des Hochleistungsübertragers (3) ge­ speicherte Energie umgeladen werden. Diese in der Streuinduk­ tivität des Übertragers (3) gespeicherte Energie hängt von der Übertragerprimärkreis-Stromstärke (IT) ab, und die zur Umladung minimal benötigte Energie ist durch den Wert der je­ weiligen parasitären Leistungsschalterkapazität determiniert.
Diese Umladung läßt sich anschaulich anhand des Ersatzschalt­ bildes von Fig. 2 verstehen. Der dort stellvertretend für al­ le vier Leistungsschalter gezeigte IGBT-Leistungsschalter (6) beinhaltet bauartbedingt parallel zu seiner Schaltstrecke ei­ ne parasitäre Kapazität (6a) sowie eine Diode (6b). Zusammen mit der seriell zur Schaltstrecke des jeweiligen Transistor­ leistungsschalters (6) liegenden Übertragerstreuinduktivität der Übertragerprimärwicklung (3a) bildet sich ein Schwing­ kreis, der von der Pulsweitenmodulation der Regelung durch eine definierte Phasenlage der Einschaltdauern der IGBT-Leistungsschalter so benutzt wird, daß die Leistungsschalter spannungslos schalten.
Der Hochleistungsübertrager (3) ist nun vorzugsweise ko­ stenoptimiert auf eine minimale primäre Zwischenkreisspannung (UZ) für Nennleistung der Schaltungsanordnung bei Nennschalt­ frequenz ausgelegt. Typische Nennschaltfrequenzen liegen bei­ spielsweise im Bereich von bis zu 50 kHz. Um unter dieser Vor­ aussetzung für einen möglichst großen Eingangsspannungsbe­ reich und Ausgangsleistungsbereich Nullspannungsschalten der Leistungsschalter zu ermöglichen, führt die Regelungsstufe (5) die Regelung dergestalt durch, daß die in die Streuinduk­ tivität des Hochleistungsübertragers (3) eingespeicherte Energie ausreicht, um die kapazitären Leistungsschalterkapa­ zitäten umzuladen. Dazu variiert sie die Schaltfrequenz in Abhängigkeit von der primären Zwischenkreisgleichspannung (UZ) und der geforderten Ausgangsleistung so, daß die Über­ tragerprimärkreis-Stromstärke (IT) maximale Werte annimmt, ohne den Übertrager (3) zu überlasten. Gleichzeitig stellt die Regelungsstufe (5) die Pulsweite der Übertragerprimär­ kreisspannung (UT) variabel so ein, daß die sekundäre Zwi­ schenkreisgleichspannung (UB) auf den gewünschten Wert einge­ regelt wird. In einer vereinfachten Variante kann die Rege­ lungsstufe so ausgelegt sein, daß sie nur die variable Ein­ stellung der Pulsweite ohne gleichzeitige Variation der Fre­ quenz vornimmt.
Der Hochleistungsübertrager sollte, z. B. wenn einer der er­ wähnten, unter den Marken Vitroperm und Vitrovac vertriebenen Übertragertypen eingesetzt wird, so betrieben werden, daß sein Magnetmaterial entlang des positiven und negativen Be­ reiches der Magnetisierungskennlinie symmetrisch ausgesteuert wird. Dies wird durch die von der Regelungsstufe (5) bewerk­ stelligten Regelung durch passende Wahl der Einschaltdauern der einzelnen Leistungsschalter erreicht. Dabei dient die Übertragerprimärkreis-Stromstärke (IT) als Stellgröße, und die Regelungsstufe (5) regelt die Differenz der Mittelwerte der positiven bzw. negativen Signalanteile der Übertragerpri­ märkreis-Stromstärke (IT) zu null aus.
Beim Einsatz der beschriebenen Schaltungsanordnung für die Energieversorgung einer Spulmaschine oder alternativ auch ei­ nes anderen Verbrauchers entsprechend hoher Leistung von bis zu etwa 40 kW ergeben sich beträchtliche Vorteile. Durch den Einsatz verlustarmer, nullspannungsschaltender IGBT-Lei­ stungsschalter in der Vollbrückenwandlerstufe und eines ge­ eigneten Hochleistungsübertragers läßt sich ein Wirkungsgrad der Schaltungsanordnung größer als 0,9 erreichen. Unabhängig von verschiedenen Nennspannungen und Spannungsschwankungen des jeweils speisenden Stromnetzes wird die Stromnetzspannung mittels Frequenz- und Pulsweitenmodulation mit hoher Aus­ gangsspannungskonstanz in die gewünschte sekundäre Zwischen­ kreisgleichspannung umgesetzt. Im Vergleich zu konventionel­ len Thyristor-Lösungen in 50 Hz/60 Hz-Technologie im entspre­ chenden Leistungsbereich ergibt sich eine deutliche Reduzie­ rung des Platzbedarfs und des Gewichtes. So kann die gesamte Schaltungsanordnung von Fig. 1 mit einem typischen Gewicht zwischen ca. 30 kg und 50 kg realisiert werden. Der Bauelement­ aufwand ist durch die spezielle Ansteuerung der Vollbrücken­ wandlerstufe vergleichsweise gering, insbesondere ist auf­ grund der Sättigungsspannung der IGBT von ungefähr 2 V bis 3 V nur eine geringe Kühlung notwendig. Des weiteren werden auch nicht mehr als vier Leistungsschalter benötigt. Der Übertra­ ger gewährleistet die geforderte, sichere Potentialtrennung zwischen Stromnetz und sekundärem Zwischenkreis.

Claims (4)

1. Schaltungsanordnung zur Wandlung unterschiedlicher Stromnetz-Nennspannungen in eine vom jeweiligen Stromnetz-Nennspannungswert unabhängige Versorgungsspannung für einen elektrischen Verbraucher hoher Leistung, insbesondere für ei­ ne Spulmaschine, gekennzeichnet durch folgende Elemente:
  • - eine Gleichrichterstufe (1) zur Erzeugung einer primären Zwischenkreisgleichspannung (UZ) zwischen etwa 300 V und etwa 1000 V mittels Gleichrichtung und Siebung der jeweili­ gen Stromnetzspannung mit Nennspannungswerten zwischen et­ wa 180 V und etwa 600 V,
  • - eine Wandlerstufe (2) mit ansteuerbaren Leistungsschaltern zur Wandlung der primären Zwischenkreisgleichspannung (UZ) in eine rechteckförmige Wechselspannung (UT),
  • - einen Hochleistungsübertrager (3) mit angeschlossenem se­ kundärem Zwischenkreis zur Transformation der rechteckför­ migen Wechselspannung (UT) in die Versorgungsspannung (UB) und
  • - eine Regelungsstufe (5), welche die Leistungsschalter in Abhängigkeit von der primären Zwischenkreisgleichspannung (UZ), der Stromstärke (IT) im Primärkreis des Hochlei­ stungsübertragers sowie der Spannung (UB) und der Strom­ stärke (IB) im sekundären Zwischenkreis im Phasenverschie­ bungsbetrieb spannungslos schaltend wenigstens mit zur Er­ zielung der erforderlichen Versorgungsspannung (UB) varia­ bler Pulsweite der rechteckförmigen Wechselspannung (UT) ansteuert.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, weiter dadurch gekennzeichnet, daß die Regelungsstufe (5) die Leistungsschal­ ter zum einen mit variabler Frequenz zur Einstellung einer Übertragerprimärkreis-Stromstärke (IT), die zur Speicherung der zur Umladung der parasitären Leistungsschalterkapazitäten benötigten Energie in der Streuinduktivität des Hochlei­ stungsübertragers ausreicht, und zum anderen mit zur Erzie­ lung der erforderlichen Versorgungsspannung (UB) variabler Pulsweite der rechteckförmigen Wechselspannung (UT) ansteu­ ert.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, weiter da­ durch gekennzeichnet, daß der Hochleistungsübertrager (3) auf eine minimale primäre Zwischenkreisgleichspannung (UZ) für eine vorgegebene Nennleistung bei vorgegebener Nennschaltfre­ quenz ausgelegt ist.
4. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter dadurch gekennzeichnet, daß die Regelungsstufe (5) die IGBT-Leistungsschalter derart ansteuert, daß die Differenz der Mittelwerte der positiven bzw. negativen Signalanteile der Übertragerprimärkreis-Stromstärke (IT) zu null ausgere­ gelt wird.
DE19702042A 1996-01-26 1997-01-22 Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine Withdrawn DE19702042A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702042A DE19702042A1 (de) 1996-01-26 1997-01-22 Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19602745 1996-01-26
DE19702042A DE19702042A1 (de) 1996-01-26 1997-01-22 Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19702042A1 true DE19702042A1 (de) 1997-07-31

Family

ID=7783729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19702042A Withdrawn DE19702042A1 (de) 1996-01-26 1997-01-22 Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5796598A (de)
JP (1) JPH09215337A (de)
DE (1) DE19702042A1 (de)
IT (1) IT1289479B1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7622825B2 (en) 2005-09-06 2009-11-24 Siemens Aktiengesellschaft Wide-voltage-range converter

Families Citing this family (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6804129B2 (en) * 1999-07-22 2004-10-12 02 Micro International Limited High-efficiency adaptive DC/AC converter
US6259615B1 (en) 1999-07-22 2001-07-10 O2 Micro International Limited High-efficiency adaptive DC/AC converter
CN1251558C (zh) 2000-05-12 2006-04-12 O2米克罗国际有限公司 用于灯具加热和减光控制的集成电路
US6501234B2 (en) 2001-01-09 2002-12-31 02 Micro International Limited Sequential burst mode activation circuit
US7042952B1 (en) * 2001-02-12 2006-05-09 Custom One Design, Inc. Methods and apparatuses for receiving and transmitting signals
US6570344B2 (en) 2001-05-07 2003-05-27 O2Micro International Limited Lamp grounding and leakage current detection system
EP1400008A1 (de) * 2001-05-24 2004-03-24 Comair Rotron, Inc. Stator mit mehrfachwicklungskonfigurationen
US6856519B2 (en) 2002-05-06 2005-02-15 O2Micro International Limited Inverter controller
US6873322B2 (en) * 2002-06-07 2005-03-29 02Micro International Limited Adaptive LCD power supply circuit
US6756769B2 (en) 2002-06-20 2004-06-29 O2Micro International Limited Enabling circuit for avoiding negative voltage transients
US6949912B2 (en) 2002-06-20 2005-09-27 02Micro International Limited Enabling circuit for avoiding negative voltage transients
US6778415B2 (en) * 2003-01-22 2004-08-17 O2Micro, Inc. Controller electrical power circuit supplying energy to a display device
US7057611B2 (en) * 2003-03-25 2006-06-06 02Micro International Limited Integrated power supply for an LCD panel
US6936975B2 (en) * 2003-04-15 2005-08-30 02Micro International Limited Power supply for an LCD panel
US6897698B1 (en) 2003-05-30 2005-05-24 O2Micro International Limited Phase shifting and PWM driving circuits and methods
US9553501B2 (en) 2010-12-08 2017-01-24 On-Bright Electronics (Shanghai) Co., Ltd. System and method providing over current protection based on duty cycle information for power converter
CN102937665B (zh) * 2012-11-08 2015-03-18 温州大学 调制式直流电压互感器
CN103401424B (zh) 2013-07-19 2014-12-17 昂宝电子(上海)有限公司 用于调整电源变换系统的输出电流的系统和方法
EP4210223A1 (de) 2013-11-14 2023-07-12 Eagle Harbor Technologies, Inc. Hochspannungs-nanosekunden-impulsgeber
US10892140B2 (en) 2018-07-27 2021-01-12 Eagle Harbor Technologies, Inc. Nanosecond pulser bias compensation
US10020800B2 (en) 2013-11-14 2018-07-10 Eagle Harbor Technologies, Inc. High voltage nanosecond pulser with variable pulse width and pulse repetition frequency
US11539352B2 (en) 2013-11-14 2022-12-27 Eagle Harbor Technologies, Inc. Transformer resonant converter
US10978955B2 (en) 2014-02-28 2021-04-13 Eagle Harbor Technologies, Inc. Nanosecond pulser bias compensation
US9680376B2 (en) * 2014-02-28 2017-06-13 Cree, Inc. Power conversion electronics having conversion and inverter circuitry
US10483089B2 (en) 2014-02-28 2019-11-19 Eagle Harbor Technologies, Inc. High voltage resistive output stage circuit
WO2015131199A1 (en) 2014-02-28 2015-09-03 Eagle Harbor Technologies, Inc. Galvanically isolated output variable pulse generator disclosure
CN108809100B (zh) * 2014-04-18 2020-08-04 昂宝电子(上海)有限公司 用于调节电源变换系统的输出电流的系统和方法
US9584005B2 (en) 2014-04-18 2017-02-28 On-Bright Electronics (Shanghai) Co., Ltd. Systems and methods for regulating output currents of power conversion systems
CN104660022B (zh) 2015-02-02 2017-06-13 昂宝电子(上海)有限公司 为电源变换器提供过流保护的系统和方法
US10270334B2 (en) 2015-05-15 2019-04-23 On-Bright Electronics (Shanghai) Co., Ltd. Systems and methods for output current regulation in power conversion systems
CN106981985B (zh) 2015-05-15 2019-08-06 昂宝电子(上海)有限公司 用于电源转换系统中的输出电流调节的系统和方法
US10903047B2 (en) 2018-07-27 2021-01-26 Eagle Harbor Technologies, Inc. Precise plasma control system
US11004660B2 (en) 2018-11-30 2021-05-11 Eagle Harbor Technologies, Inc. Variable output impedance RF generator
US11430635B2 (en) 2018-07-27 2022-08-30 Eagle Harbor Technologies, Inc. Precise plasma control system
EP4266579A3 (de) 2017-02-07 2023-12-27 Eagle Harbor Technologies, Inc. Transformator-resonanzwandler
CN110771041B (zh) * 2017-03-31 2023-10-03 鹰港科技有限公司 高压电阻性输出级电路
JP6902167B2 (ja) 2017-08-25 2021-07-14 イーグル ハーバー テクノロジーズ, インク.Eagle Harbor Technologies, Inc. ナノ秒パルスを使用する任意波形の発生
US10510575B2 (en) 2017-09-20 2019-12-17 Applied Materials, Inc. Substrate support with multiple embedded electrodes
US10555412B2 (en) 2018-05-10 2020-02-04 Applied Materials, Inc. Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage
US11532457B2 (en) 2018-07-27 2022-12-20 Eagle Harbor Technologies, Inc. Precise plasma control system
US11302518B2 (en) 2018-07-27 2022-04-12 Eagle Harbor Technologies, Inc. Efficient energy recovery in a nanosecond pulser circuit
US11222767B2 (en) 2018-07-27 2022-01-11 Eagle Harbor Technologies, Inc. Nanosecond pulser bias compensation
US10607814B2 (en) 2018-08-10 2020-03-31 Eagle Harbor Technologies, Inc. High voltage switch with isolated power
CN112805920A (zh) 2018-08-10 2021-05-14 鹰港科技有限公司 用于rf等离子体反应器的等离子体鞘控制
US11476145B2 (en) 2018-11-20 2022-10-18 Applied Materials, Inc. Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias
TW202308306A (zh) 2019-01-08 2023-02-16 美商鷹港科技股份有限公司 產生高壓脈波之方法
JP7451540B2 (ja) 2019-01-22 2024-03-18 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド パルス状電圧波形を制御するためのフィードバックループ
US11508554B2 (en) 2019-01-24 2022-11-22 Applied Materials, Inc. High voltage filter assembly
TWI778449B (zh) 2019-11-15 2022-09-21 美商鷹港科技股份有限公司 高電壓脈衝電路
US11527383B2 (en) 2019-12-24 2022-12-13 Eagle Harbor Technologies, Inc. Nanosecond pulser RF isolation for plasma systems
US11462389B2 (en) 2020-07-31 2022-10-04 Applied Materials, Inc. Pulsed-voltage hardware assembly for use in a plasma processing system
US11901157B2 (en) 2020-11-16 2024-02-13 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for controlling ion energy distribution
US11798790B2 (en) 2020-11-16 2023-10-24 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for controlling ion energy distribution
US11495470B1 (en) 2021-04-16 2022-11-08 Applied Materials, Inc. Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma
US11791138B2 (en) 2021-05-12 2023-10-17 Applied Materials, Inc. Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing
US11948780B2 (en) 2021-05-12 2024-04-02 Applied Materials, Inc. Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing
US11810760B2 (en) 2021-06-16 2023-11-07 Applied Materials, Inc. Apparatus and method of ion current compensation
US11569066B2 (en) 2021-06-23 2023-01-31 Applied Materials, Inc. Pulsed voltage source for plasma processing applications
US11476090B1 (en) 2021-08-24 2022-10-18 Applied Materials, Inc. Voltage pulse time-domain multiplexing
US11694876B2 (en) 2021-12-08 2023-07-04 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for delivering a plurality of waveform signals during plasma processing

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL73560A (en) * 1983-12-22 1989-05-15 Gen Electric Antisaturation control for x-ray generator inverter
US4719550A (en) * 1986-09-11 1988-01-12 Liebert Corporation Uninterruptible power supply with energy conversion and enhancement
DE3819978A1 (de) * 1988-06-11 1989-12-14 Willner Lutz Prof Dr Wechselrichter mit zwischenkreis
EP0409226A3 (en) * 1989-07-21 1993-01-13 Hitachi, Ltd. Power supply control system
JPH04317565A (ja) * 1991-04-12 1992-11-09 Pulse Denshi Gijutsu Kk 直流高圧安定化電源
DE4134461A1 (de) * 1991-10-18 1993-04-22 Bosch Gmbh Robert Verfahren und vorrichtung zur vermeidung uebergrosser stroeme in einem schweissumrichter
JP2791273B2 (ja) * 1993-09-07 1998-08-27 株式会社東芝 電力変換装置
DE9403447U1 (de) * 1994-03-01 1994-04-28 Siemens Ag Energieversorgungseinrichtung für Reisezugwagen
DE4416353C2 (de) * 1994-05-09 2000-02-17 Niepenberg Dalex Werke Lichtbogenschweißgerät mit einem transformatorlosen Netzgerät
US5644483A (en) * 1995-05-22 1997-07-01 Lockheed Martin Energy Systems, Inc. Voltage balanced multilevel voltage source converter system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7622825B2 (en) 2005-09-06 2009-11-24 Siemens Aktiengesellschaft Wide-voltage-range converter

Also Published As

Publication number Publication date
US5796598A (en) 1998-08-18
IT1289479B1 (it) 1998-10-15
ITMI962683A1 (it) 1998-06-20
JPH09215337A (ja) 1997-08-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19702042A1 (de) Spannungswandelnde Schaltungsanordnung zur Energieversorgung eines elektrischen Verbrauchers hoher Leistung, insbesondere einer Spulmaschine
DE2653333C2 (de) Anordnung zur stufenlosen Kompensation von Blindleistung in einem elektrischen Wechselspannungsnetz
Nathan et al. Analysis, simulation and design of series resonant converter for high voltage applications
DE69830284T2 (de) Schaltnetzteil und Regelverfahren dafür
DE2257197A1 (de) Schaltungsanordnung fuer leistungsumformer
DE3241413A1 (de) Stromversorgungsschaltung
US4695934A (en) Multiple output resonant power supply
DE4443551A1 (de) Anordnung zur Leistungsversorgung eines elektrischen Verbrauchers, insbesondere Röntgen-Apparat
DE69931863T2 (de) Wechselstromwandlervorrichtung mit gesteuerter Leistungsabgabe
EP2783457A2 (de) Verdoppler-gleichrichter für mehrphasiges kontaktloses energieübertragungssystem
DE19824409A1 (de) AC-DC-Wandler
US5319534A (en) Series-parallel active power line conditioner utilizing reduced-turns-ratio transformer for enhanced peak voltage regulation capability
US5446644A (en) DC voltage divider
DE69532749T2 (de) Hybrides Gleichrichtungsschaltkreis mit einphasigem Eingang
US4739463A (en) High voltage source providing continuously regulated output voltage, preferably for supplying low-power ion and electron beam machining and evaporating apparatuses
WO2019063211A1 (de) Resonanter gleichstromsteller
DE60125336T2 (de) Stromwandler mit wechselstrom- und gleichstrombetriebsmodus und verfahren zum betrieb desselben
EP0050753A1 (de) Schaltungsanordnung mit einem Wechselrichter zur Speisung eines Wechselstromverbrauchers mit einer alternierenden Spannung, insbesondere einer sinusförmigen Wechselspannung
EP1283587B1 (de) Netzgerät
DE4412766C1 (de) Hochfrequenz-Hochspannungsgenerator
DE2852066C2 (de)
DE2162988C3 (de) Stellglied für einen Wechselspannungsregler
DE102012201642A1 (de) Resonanzumformer mit Stromwandler
DE4405370C2 (de) Netzversorgung für einfache Elektroniken - wie Haushaltskleingeräte
WO2023006949A1 (de) Stromrichterschaltung zum erzeugen einer potentialgetrennten gleichspannung

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee