JPH09214128A - ボンディングツール - Google Patents
ボンディングツールInfo
- Publication number
- JPH09214128A JPH09214128A JP8019899A JP1989996A JPH09214128A JP H09214128 A JPH09214128 A JP H09214128A JP 8019899 A JP8019899 A JP 8019899A JP 1989996 A JP1989996 A JP 1989996A JP H09214128 A JPH09214128 A JP H09214128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding tool
- outer lead
- solder
- bonding
- tool body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3494—Heating methods for reflowing of solder
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
- H05K3/363—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits by soldering
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
の平行度、傾き角度調整等の煩わしい作業が不要となり
生産性の向上を図ることができるボンディングツールを
提供することにある。 【解決手段】多端子電子部品としてのTAB部品のアウ
タリード4を予めはんだ3が塗布された電極パッド2に
対して重ね合わせ、前記アウタリード4の配列方向に延
長するボンディングツール本体14によって前記アウタ
リード4を一括的に加熱・加圧して前記はんだ3を溶融
し、前記アウタリード4を電極パッド2にボンディング
するボンディングツールにおいて、前記ボンディングツ
ール本体14の先端部14aの縦断面形状を円弧状に形
成したことを特徴とする。
Description
tomated Bonding)、フラットパッケージIC/LSI等
の多端子電子部品を基板等に実装する際に用いるボンデ
ィングツールに関する。
等の多端子電子部品は、電子部品本体に対して2方向あ
るいは4方向に多数本のアウタリードが導出されてい
る。この多端子電子部品をプリント基板等に実装する場
合には、前記アウタリードを予めはんだが塗布された電
極パッドに対して重ね合わせ、ボンディングツール本体
によって前記アウタリードを加熱・加圧して前記はんだ
を溶融し、前記アウタリードを電極パッドにボンディン
グしている。
ており、ボンディングツールが下降してアウタリードを
はんだを介して電極パッドに加圧し、ボンディングツー
ルに給電してボンディングツールを加熱することによ
り、前記アウタリードを介してはんだを溶融してアウタ
リードを電極パッドに接続するようになっている。
実装装置は、例えば特開平5−90726号公報、特開
平7−66238号公報等で知られており、ボンディン
グツール本体は、アウタリードの配列方向に延長し、複
数本のアウタリードを一括的に加熱・加圧してはんだを
溶融してボンディングするようになっている。
を示し、1はプリント基板であり、このプリント基板1
の表面には電極パッド2が形成され、この電極パッド2
の表面には予めはんだ3が塗布されている。4は多端子
電子部品としてのTAB部品のアウタリードを示し、T
AB部品をプリント基板1に実装する場合には、前記ア
ウタリード4をはんだ3が塗布された電極パッド2に対
して重ね合わせ、ボンディングツール本体5によってボ
ンディングしているが、ボンディングツール本体5は、
金属の平板状で、肉厚が1〜2mmであり、その下面、
つまりアウタリード4と接触する面は研磨加工によって
平坦面6に形成されている。
たように、ボンディングツール本体5の下面が平坦面6
に形成されていると、ボンディングツール本体5を熱圧
着機に取り付ける際には、前記平坦面6をプリント基板
1と平行に保つために、ボンディングツール本体5の傾
きを調整する必要がある。
板1に対してボンディングツール本体5の平坦面6が傾
いて取り付けられた場合、ボンディング時の加圧時にボ
ンディングツール本体5のエッジ部5aがアウタリード
4に当接し、アウタリード4を損傷させる恐れがある。
したがって、ボンディングツール本体5を熱圧着機に取
り付ける際には、ボンディングツール本体5の傾き(θ
゜)、プリント基板1との平行度を高精度に調整する必
要があるが、その調整に多くの時間を要していた。
狭ピッチ化に伴い接合部が狭幅になり、ボンディングツ
ール本体5と接合部との位置合わせが困難になってきて
いるが、前述したように、ボンディングツール本体5の
アウタリード4との接触する面が平坦面6で、押圧面が
広くなっていると、図6に示すように、加圧時に溶融し
たはんだ3がアウタリード4の間に流れ、はんだブリッ
ジ7が発生することがあり、接続不良を招くことがあ
る。
もので、第1の目的は、基板に対するボンディングツー
ル本体の傾き調整を行うことなく、確実なボンディング
が可能なボンディングツールを提供することにある。
く、良好なはんだフィレットを形成して信頼性の高いボ
ンディングができるボンディングツールを提供すること
にある。
成するために、請求項1は、多端子電子部品のアウタリ
ードを予めはんだが塗布された電極パッドに対して重ね
合わせ、前記アウタリードの配列方向に延長するボンデ
ィングツール本体によって前記アウタリードを一括的に
加熱・加圧して前記はんだを溶融し、前記アウタリード
を電極パッドにボンディングするボンディングツールに
おいて、前記ボンディングツール本体の先端部の縦断面
形状を円弧状に形成したことを特徴とする。
ィングツール本体の先端部を曲率半径が0.3〜0.6
mmの円弧状にしたことを特徴とする。請求項3は、多
端子電子部品のアウタリードを予めはんだが塗布された
電極パッドに対して重ね合わせ、前記アウタリードの配
列方向に延長するボンディングツール本体によって前記
アウタリードを一括的に加熱・加圧して前記はんだを溶
融し、前記アウタリードを電極パッドにボンディングす
るボンディングツールにおいて、前記ボンディングツー
ル本体の先端部を端部に向って漸次狭幅となる三角形に
形成したことを特徴とする。
ドを予めはんだが塗布された電極パッドに対して重ね合
わせ、前記アウタリードの配列方向に延長するボンディ
ングツール本体によって前記アウタリードを一括的に加
熱・加圧して前記はんだを溶融し、前記アウタリードを
電極パッドにボンディングするボンディングツールにお
いて、前記ボンディングツール本体の先端部を端部に向
って漸次狭幅となる台形状に形成したことを特徴とす
る。
ングツール本体が傾いても、その先端部がアウタリード
に対して線接触状態となり、接合部への位置合わせが容
易で、しかも信頼性の高いボンディングが実現できる。
面に基づいて説明する。図1はボンディングツールの正
面図および側面図、図2は前記ボンディングツールを取
付けた熱圧着機の概略的構成を示す斜視図、図3はボン
ディング状態を示す断面図であり、従来と同一構成部分
は同一番号を付して説明を省略する。
明すると、11は制御機器を内蔵した本体であり、この
本体11の上面中央部にはプリント基板1を載置するス
テージ12がXY方向に移動自在に設けられている。本
体11の中央部後方にはボンディングヘッド13が昇降
自在に設けられ、このボンディングヘッド13には後述
するボンディングツール14が取付けられている。
表面のはんだ3に対してフラックスを塗布するフラック
ス塗布ユニット15が設けられ、他側部には電極パッド
2と多端子電子部品としてのTAB部品のアウタリード
4との位置を認識するカメラユニット16が設けられて
いる。
布されたプリント基板1をステージ12に載置し、この
プリント基板1の上面にTAB部品が圧着された液晶ガ
ラスを載置し、プリント基板1の電極パッド2とTAB
部品のアウタリード4とを位置決めする。このとき、カ
メラユニット16がステージ12の上方まで移動し、カ
メラユニット16によって電極パッド2とアウタリード
4との位置を認識して位置合わせする。
認識して位置合わせが完了すると、フラックス塗布ユニ
ット15がステージ12の上方へ移動して電極パッド2
のはんだ3の表面にフラックスを塗布する。次に、ステ
ージ12が後方へ移動して液晶ガラスが載置されたプリ
ント基板1をボンディングヘッド13の直下に位置決め
されると、ボンディングヘッド13が下降してボンディ
ングツール本体14によって複数本のアウタリード4を
一括的に電極パッド2に押え付ける。
に給電し、ボンディングツール14を加熱すると、ボン
ディングツール本体14の熱はアウタリード4を介して
はんだ3に伝導し、はんだ3が溶融してアウタリード4
の電極パッド2とが接続される。
への給電を停止し、冷却を開始して溶融したはんだ3が
凝固した後、ボンディングヘッド13とともにボンディ
ングツール本体14が上昇し、ステージ12が前方へ移
動して熱圧着工程が完了する。
ツール本体14に説明すると、図1に示すように構成さ
れている。ボンディングツール本体14は電気抵抗が高
い金属、例えばモリブデンによって板厚が1〜2mmの
板状体で、アウタリード4の配列方向に延長して複数本
のアウタリード4を一括的に加熱、加圧できるように形
成されている。
端部14aは漸次肉薄に形成されているとともに、その
端部は例えば曲率半径が0.3〜0.6mm、好ましく
は0.5mmの円弧状に形成されていて、アウタリード
4に対して線接触するようになっている。
aの縦断面形状を円弧状に形成することにより、ボンデ
ィングヘット13に対してボンディングツール本体14
を取付ける際に、ボンディングツール本体14がプリン
ト基板1に対して傾いてもアウタリード4に対して線接
触し、プリント基板1との平行度、傾き角度の調整が不
要となり、接合部への位置合わせの範囲が広く取れ、接
合部に対しての位置合わせが容易となる。さらに、図3
に示すように、ボンディングツール本体14の接合部へ
の接触面積(押圧面積)が狭くなることにより、はんだ
ブリッジの発生がなく、良好なはんだフィレットを形成
することができる。
ングツール本体14の先端部14aの縦断面形状を円弧
状に形成したが、ボンディングツール本体14の先端部
14aを端部に向って漸次狭幅となる鋭角三角形にして
もよく、また端部に向って漸次狭幅となる台形状に形成
してもよい。但し、前述のように、ボンディングツール
本体14の下端部14aを鋭角三角形または台形状に形
成した場合、TAB部品のアウタリードのはんだ付けに
は不向きである。
が35μm程度の比較的柔らかい材質、例えば銅で形成
されているため、加圧時にはアウタリード4に傷を付け
る恐れがあり、QFP(Quad Flat Package) などのフラ
ットパッケージIC/LSIのアウタリードにおいても
同様である。したがって、ボンディングツール本体14
の先端部14aを鋭角三角形または台形状に形成した場
合には、フラットパッケージIC〜LSIのアウタリー
ドのボンディングに適用でき、前述した実施の形態のよ
うにボンディングツール本体14の先端部14aを円弧
状に形成した場合には、TAB部品のアウタリード4、
例えばQFPなどのフラットパッケージIC/LSIの
アウタリードのボンディングのいずれにも適用できる。
1,2によれば、ボンディングツール本体の先端部を円
弧状に形成することにより、ボンディングツール本体の
取付け時に、基板との平行度、傾き角度調整等の煩わし
い作業が不要となり生産性の向上を図ることができる。
しかも、接合部への位置合わせの範囲が広く取れ、接合
部に対しての位置合わせが容易となる。
への接触面積(押圧面積)が狭くなることにより、はん
だブリッジの発生がなく、良好なはんだフィレットを形
成することができ、信頼性を向上できる。
様な効果が得られ、TAB部品、例えばQFP部品など
のフラットパッケージIC/LSI等の多端し電子部品
の実装に適用できる。
の正面図および側面図。
グした際にはんだブリッジが発生した状態を示す平面
図。
Claims (4)
- 【請求項1】 多端子電子部品のアウタリードを予めは
んだが塗布された電極パッドに対して重ね合わせ、前記
アウタリードの配列方向に延長するボンディングツール
本体によって前記アウタリードを一括的に加熱・加圧し
て前記はんだを溶融し、前記アウタリードを電極パッド
にボンディングするボンディングツールにおいて、 前記ボンディングツール本体の先端部の縦断面形状を円
弧状に形成したことを特徴とするボンディングツール。 - 【請求項2】 前記ボンディングツール本体の先端部を
曲率半径が0.3〜0.6mmの円弧状にしたことを特
徴とする請求項1記載のボンディングツール。 - 【請求項3】 多端子電子部品のアウタリードを予めは
んだが塗布された電極パッドに対して重ね合わせ、前記
アウタリードの配列方向に延長するボンディングツール
本体によって前記アウタリードを一括的に加熱・加圧し
て前記はんだを溶融し、前記アウタリードを電極パッド
にボンディングするボンディングツールにおいて、 前記ボンディングツール本体の先端部を端部に向って漸
次狭幅となる三角形に形成したことを特徴とするボンデ
ィングツール。 - 【請求項4】 多端子電子部品のアウタリードを予めは
んだが塗布された電極パッドに対して重ね合わせ、前記
アウタリードの配列方向に延長するボンディングツール
本体によって前記アウタリードを一括的に加熱・加圧し
て前記はんだを溶融し、前記アウタリードを電極パッド
にボンディングするボンディングツールにおいて、 前記ボンディングツール本体の先端部を端部に向って漸
次狭幅となる台形状に形成したことを特徴とするボンデ
ィングツール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8019899A JPH09214128A (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | ボンディングツール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8019899A JPH09214128A (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | ボンディングツール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09214128A true JPH09214128A (ja) | 1997-08-15 |
Family
ID=12012056
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8019899A Pending JPH09214128A (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | ボンディングツール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09214128A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100612048B1 (ko) * | 2005-07-04 | 2006-08-14 | 한국전자통신연구원 | 칩 본딩 방법 |
JP2007311599A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Fujitsu Ltd | 端子の接合方法 |
-
1996
- 1996-02-06 JP JP8019899A patent/JPH09214128A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100612048B1 (ko) * | 2005-07-04 | 2006-08-14 | 한국전자통신연구원 | 칩 본딩 방법 |
JP2007311599A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Fujitsu Ltd | 端子の接合方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5813115A (en) | Method of mounting a semiconductor chip on a wiring substrate | |
JP5794577B2 (ja) | ヒータチップ及び接合装置及び接合方法並びに導体細線と端子の接続構造 | |
US6137183A (en) | Flip chip mounting method and semiconductor apparatus manufactured by the method | |
KR100283501B1 (ko) | 반도체소자 및 그 제조방법과 반도체 장치 및 그 제조방법 | |
JPH0778932A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH10284535A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体部品 | |
JPH09214128A (ja) | ボンディングツール | |
JPH08107123A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法、その製造装置および半導体集積回路装置 | |
JP3974834B2 (ja) | 電子部品の装着方法 | |
JP2947220B2 (ja) | フリップチップ接続方法及びフリップチップ搭載装置 | |
JP2812304B2 (ja) | フリップチップ型半導体装置のリペア方法 | |
JP3553246B2 (ja) | Icカード用icモジュールの製造方法、icモジュールの製造方法 | |
JP3061017B2 (ja) | 集積回路装置の実装構造およびその実装方法 | |
KR19980025053A (ko) | 범프본더 | |
JP3243906B2 (ja) | 半導体装置と外部端子との接合方法 | |
JPH0391990A (ja) | 半導体装置のボンディング方法及びボンディング装置 | |
JP3445687B2 (ja) | 半導体チップの実装方法 | |
JP2822997B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH07176570A (ja) | Ic部品のリード接合方法 | |
JPH01264234A (ja) | 被覆細線のボンディング装置 | |
JPH02277251A (ja) | ワイヤボンディング方法および装置 | |
JPH06326456A (ja) | 電子部品のリード接続方法 | |
JPH0529402A (ja) | 電子部品のリード線接続方法 | |
JPH1117103A (ja) | バンプを備える基材同士の接合方法 | |
JPH01280339A (ja) | バンプ形成方法およびバンプ構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050209 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050307 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080325 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090325 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100325 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100325 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110325 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120325 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130325 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130325 Year of fee payment: 8 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130325 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140325 |