JPH0920968A

JPH0920968A - Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金およびその製造法ならびに弾性作動体

Info

Publication number: JPH0920968A
Application number: JP7198976A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Masumoto; 健増本; Norio Kishida; 紀雄岸田
Original assignee: Research Institute of Electric and Magnetic Alloys; Research Institute for Electromagnetic Materials
Current assignee: Research Institute of Electric and Magnetic Alloys; Research Institute for Electromagnetic Materials
Priority date: 1995-06-30
Filing date: 1995-06-30
Publication date: 1997-01-21
Anticipated expiration: 2021-04-05
Also published as: JP3764192B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【構成】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ
（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上の元
素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以上の
元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，
Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃ
ｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１
種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成、またＸ元素からＡｌを除いた組成で、少なくとも体
積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数
を（−１０〜＋１０）×１０^−５以内に保有せしめた。【効果】ヤング率Ｅはガラス化温度以下では温度依存
性が極めて小さく、すぐれた弾性作動体用エリンバー合
金である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ（ジルコニ
ウム），ＲＥ（希土類元素），Ｔｉ（チタン）のうち１
種または２種以上の元素、ＸはＡｌ（アルミニウム），
Ｍｇ（マグネシウム），Ｎｉ（ニッケル）のうち１種ま
たは２種以上の元素、ＱはＦｅ（鉄），Ｃｏ（コバル
ト），Ｖ（バナジウム），Ｎｂ（ニオブ），Ｔａ（タン
タル），Ｃｒ（クロム），Ｍｏ（モリブデン），Ｗ（タ
ングステン），Ｍｎ（マンガ）），Ａｕ（金），Ａｇ
（銀），Ｒｅ（レニウム），白金族元素，Ｚｎ（亜
鉛），Ｃｄ（カドミウム），Ｇａ（ガリウム），Ｉｎ
（インジウム），Ｇｅ（ゲルマニウム），Ｓｎ（錫），
Ｓｂ（アンチモン），Ｓｉ（珪素），Ｂ（硼素）のうち
１種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからなり、この溶融合金を１〜１０
^６℃／ｓｅｃの速度で急冷することにより、体積率で５
０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス
化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にある
ことを特徴とするＣｕ基非磁性金属ガラス合金およびそ
の製造法ならびに高感度圧力センサ、高感度精密ばねお
よび高性能振動子などに用いる弾性作動体に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、非磁性の弾性作動体用合金、特に
エリンバー合金としては、特開昭５０−１２７８１４あ
るいはＳｏｖｉｅｔＰｈｙｓｉｃｓ−Ｄｏｋｌａｄ
ｙ，Ｖｏｌ．９（１９６４），Ｐ１０１９などに記載さ
れたＣｒ基あるいはＦｅ−Ｍｎ基合金などが知られてい
るに過ぎない。それらは、いずれも（−１０〜−５）×
１０^−５程度の温度係数を示しており、溶解後鋳造のま
まか、若干の加工を施しセンサ材料やばね材料としての
使用が試みられた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】これらの非磁性エリン
バー合金は、いずれも反強磁性体中に微量の強磁性体を
含ませた構造で、磁性体のもつ大きな磁気体積効果に基
づくΔＥ効果を利用して特性を発現させているものであ
って、磁気変態点以下の極く狭い温度範囲でしかその特
性が得られない欠点を有する。しかも、前者は鍛造加工
性に乏しく、研削のみが成形手段であり、後者はある程
度の特性を得るために、冷間加工を施すと強磁性的性質
が現れ、その上耐食性が極めて悪くなる。そのため引
張、圧縮などの機械的強度の低下を来し、また非磁性状
態が失われ応用上の制約となっていた。

【０００４】

【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、上
記課題の解決を図ることを目的として、種々実験と研究
を重ねた結果、本質的に非磁性のＣｕ基合金を溶融状態
から急冷して、少なくとも体積率で５０％の非晶質を含
み、１００℃以上の過冷却液体領域を有する合金とした
場合に、ガラス化温度以下の広い温度領域で、弾性作動
体として必要な（−１０〜＋１０）×１０^−５以内のヤ
ング率の温度係数を保有することを見出すに至り、この
発明を完成したものである。

【０００５】本発明は、一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}
Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または
２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種また
は２種以上の元素、Ｑは、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族
元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓ
ｉ，Ｂのうち１種または２種以上の元素であり、またそ
の組成比ａ，ｂ，ｃは原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦
４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０で
ある）の組成、またはＸ元素からＡｌを除いた組成、さ
らには一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにお
いて組成比ａ，ｂ，ｃが原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ
≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０
の組成および少量の不純物とからなる溶融合金を１〜１
０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷することにより、体積率で
５０％以上の非晶質を含み、１００℃以上の過冷却液体
領域を有し、ヤング率の温度係数がガラス化温度以下で
（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にあることを特徴と
する弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金であるこ
とを要旨とする。

【０００６】本発明の弾性作動体用Ｃｕ基合金は、上記
組成を有する合金溶湯を液体急冷法によって急速に凝固
することにより得られる。これは水焼入れ法、高圧鋳造
法、高圧押出し法、単ロール法、双ロール法、回転液体
中紡糸法などが有効に用いられ、１〜１０^６℃／ｓｅｃ
程度、望ましくは１〜１０^４℃／ｓｅｃの冷却速度で冷
却した薄帯ないしは棒状あるいは板状製品において少な
くとも体積率で５０％、望ましくは８０％以上の非晶質
化が可能である。

【０００７】上記方法により薄帯材料を製造するには、
例えば図１（ａ）に示す単ロール法で説明すると、石英
製ノズル管２の孔３を通して、約２００〜８０００ｒｐ
ｍの速度で回転している鋼あるいは銅製のロール１に高
周波炉５で溶解した溶湯４を噴出させる。これにより、
幅０．５〜５００ｍｍ、厚さ１０〜５００μｍの薄帯材
料６を得ることができる。また、図１（ｂ）に示す水焼
入れ法で説明すると、石英製アンプル８に真空または不
活性ガス封入した原料を高周波炉９で溶解し、溶湯４’
をアンプルごと氷塩水などの冷却水７に投じる。これに
より直径１〜２０ｍｍ、長さ２００ｍｍの棒状材料１０
を得ることができる。アンプルの形あるいは断面は目的
に応じ、球状あるいは角形状、平板状などが有効に用い
られる。

【０００８】また、上記方法によらず、高圧鋳造法で大
型の鋳物を、スパッタリング法で薄膜を、高圧ガス噴霧
法などのアトマイズ法やスプレー法により急冷粉末を得
ることができる。急冷Ｃｕ基合金の非晶質状態は、Ｘ線
回折像におけるハローパターンの認識、あるいは示差走
査熱量計において結晶化温度を示す急激な発熱ピークの
確認などにより決定される。なお、薄帯の１８０°曲げ
試験も有効に用いられる。

【０００９】本発明の特徴とする所は、次の通りであ
る。［第１発明］一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ
_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上の
元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以上
の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
１種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからなり、体積率で５０％以上の非
晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス化温度以下で
（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にあることを特徴と
する弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金。

【００１０】［第２発明］特許請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいてＸ元素からＡ
ｌを除いた組成と少量の不純物とからなり、体積率で５
０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス
化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にある
ことを特徴とする弾性作動体用金属ガラス合金。

【００１１】［第３発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなり、体積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率
の温度係数がガラス化温度以下で（−１０〜＋１０）×
１０^−５以内にあることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ
基非磁性金属ガラス合金。

【００１２】［第４発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなる溶融合金を１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷す
ることにより、体積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤ
ング率の温度係数がガラス化温度以下で（−１０〜＋１
０）×１０^−５以内にあることを特徴とする弾性作動体
用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金の製造法。

【００１３】［第５発明］特許請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなる溶融合金を
１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷することにより、体
積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数
がガラス化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以
内にあることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金
属ガラス合金の製造法。

【００１４】［第６発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなる溶融合金を１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷す
ることにより、体積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤ
ング率の温度係数がガラス化温度以下で（−１０〜＋１
０）×１０^−５以内にあることを特徴と弾性作動体用Ｃ
ｕ基非磁性金属ガラス合金の製造法。

【００１５】［第７発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなる溶融合金を１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷し
た後、５００℃以下の任意の温度で焼鈍を行うことによ
り、体積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温
度係数がガラス化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０
^−５以内になることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非
磁性金属ガラス合金の製造法。

【００１６】［第８発明］特許請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなる溶融合金を
１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷した後、５００℃以
下の任意の温度で焼鈍を行うことにより、体積率で５０
％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス化
温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内になるこ
とを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合
金の製造法。

【００１７】［第９発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０℃で、且つ１
０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物と
からなる溶融合金を１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷
した後、５００℃以下の任意の温度で焼鈍を行うことに
より、体積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の
温度係数がガラス化温度以下で（−１０〜＋１０）×１
０^−５以内にあることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基
非磁性金属ガラス合金の製造法。

【００１８】［第１０発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｎｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなるＣｕ基非磁性金属ガラス合金よりなるた高感度圧
力センサ用弾性作動体。

【００１９】［第１１発明］特許請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁
性金属ガラス合金よりなる高感度圧力センサ用弾性作動
体。

【００２０】［第１２発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦３０、５≦ｂ４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０≦
ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とから
なるＣｕ基非磁性金属ガラスよりなる高感度圧力センサ
用弾性作動体。

【００２１】［第１３発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とから
なるＣｕ基非磁性金属ガラス合金よりなる高感度精密ば
ね用弾性作動体。

【００２２】［第１４発明］特許請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁
性金属ガラス合金よりなる高感度精密ばね用弾性作動
体。

【００２３】［第１５発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦ｅ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなるＣｕ基非磁性金属ガラス合金よりなる高感度精密
ばね用弾性作動体。

【００２４】［第１６発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなるＣｕ基非磁性金属ガラス合金よりなる高性能振動
子用弾性作動体。

【００２５】［第１７発明］特許請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁
性金属ガラス合金よりなる高性能振動子用弾性作動体。

【００２６】［第１８発明］一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，
Ｎｉのうち１種または２種以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａ
ｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇ
ｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種または２種以上の
元素であり、またその組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５
≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０
≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成と少量の不純物とか
らなるＣｕ基非磁性金属ガラス合金を用いた高性能振動
子用弾性作動体。

【００２７】［作用］本発明弾性作動体用Ｃｕ基合金
は、過飽和な固溶体であるにも拘らず、通常バルク合金
に用いられる鋳造、鍛造、圧延、などの加工行程を全て
省略し、溶湯から直接棒状、板状あるいは長尺の薄帯が
製造できるため、製品の精度が高く製造法の低コスト化
も図れる特長を有する。さらに、本発明弾性作動体用合
金はガラス化温度から結晶化温度に至る温度領域すなわ
ち過冷却液体領域が１００℃以上のように極めて広く、
ガラス化状態において合金が極端な軟化を示すため、こ
の現象を利用した複雑形状のプレス、引抜き、圧延など
任意形状の加工ができる大きな特徴も有する。

【００２８】本発明のＣｕ基合金において、弾性作動体
として必要な成分中、Ｍ_ａ元素すなわちＺｒ，ＲＥ，Ｔ
ｉのうち１種または２種以上の元素を５％以上６％以
下、Ｘ_ｂ元素すなわちＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種また
は２種以上の元素を５％以上４０％以下、Ｑ_ｃ元素すな
わちＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍ
ｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇ
ａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち１種また
は２種以上の元素を０％以上１０％以下で且つａ＋ｂ＋
ｃを１０％以上７０％以下の範囲に限定したのは、この
範囲内では前記液体急冷法により、非晶質または少なく
とも体積率で５０％の非晶質とナノオーダーの微細結晶
粒を含む構造とすれば、ヤング率の温度係数が小さく高
靭性の合金が得られるが、いずれもその範囲から外れる
と結晶化温度が低下するか上昇するため非晶質化し難く
なり、前記液体急冷法を利用した工学的な急冷手段で
は、少なくとも体積率で５０％の非晶質を有する合金を
得ることができなく、かつ高強度性が失われるからで
ある。また、特にＭ元素すなわちＺｒ，ＲＥ，Ｔｉおよ
びＸ元素すなわちＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉおいてはエリンバー
合金の実用値とされる（−１０〜＋１０）×１０^−５以
内のヤング率の温度係数が得られなくなるからである。
また、Ｘ元素からＡｌを除くとさらに高靭性となるから
であり、さらにはＭ_ａ元素を５％以上３０％以下、Ｘ_ｂ
元素を５％以上４０％以下、Ｑ_ｃ元素を０％以上１０％
以下で且つａ＋ｂ＋ｃを１０％以上７０％以下の範囲に
限定したのは、この範囲内ではヤング率の温度係数が
（−８〜＋８）×１０^−５以内のようにさらに向上する
からである。

【００２９】Ｆｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
少なくとも１種または２種以上の合計０〜１０％の範囲
に限定したのは、その範囲を外れると上述の理由に加え
て、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍ
ｎは強度の低下、Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素は耐食
性の低下、Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓ
ｂ，Ｓｉ，Ｂは成形加工性の低下を来すからである。

【００３０】溶融合金の冷却速度を１〜１０^６℃／ｓｅ
ｃに限定したのは、１℃／ｓｅｃ未満では非晶質あるい
は少なくとも体積率で５０％の非晶質を含む構造が得ら
れなくなり、１０^６℃／ｓｅｃを越えると安定した形状
の製品が得られなくなるからである。

【００３１】また、急冷によって得られた製品の焼鈍温
度を５００℃以下に限定したのは、この温度を越えると
製品が結晶化し、ヤング率の温度係数が（−１０〜＋１
０）×１０^−５を外れるからである。なお、希土類元素
（ＲＥ）はＳｃ，Ｙおよびランタン系元素からなるが、
その等であり、また、白金族元素はＲｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，
Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔからなるが、その効果も均等であるの
で、同効成分とみなし得る。

【００３２】

【実施例】つぎに本発明の実施例につき説明する。実施例１表１に示す合金番号２の成分組成を有する原料を、予め
アーク溶解して１つの合金となし、細かく砕いて小片と
したものを、図１（ａ）に示すノズル径０．５ｍｍを有
する石英管２に装入し、高周波５で溶解した後その石英
管を４００ｒｐｍで回転する直径２００ｍｍの銅製ロー
ル１直上に設置し、溶湯４をアルゴンガスによって加圧
し、ノズル孔３から噴出させてロール表面と５×１０^４
℃／ｓｅｃの速度で接触急冷させ、幅２ｍｍ、厚さ２０
μｍの薄帯状弾性作動体６を得た。この薄帯はＸ線回折
によって明瞭なハローパターンを示し、非晶質であるこ
とが確認され、また、示差走査熱量計測定の発熱ピー
クにより結晶化温度Ｔｘも確かめ、表２に示した。

【００３３】実施例２表１に示す合金番号３の成分組成を有する原料を予めア
ーク溶解して１つの台金となし、細かく砕いて微小片と
したものを、図１（ｂ）に示す内径５ｍｍの石英アンプ
ル８に真空封入し、高周波９で溶解した後その溶湯４’
の入った石英アンプルを０℃の氷塩水７中に投入して水
焼入れを行い、５ｍｍφｘ５０ｍｍの丸棒状弾性作動体
１０を得た。この丸捧はＸ線回折によって明瞭なハロー
パターンを示し、非晶質であることが確認され、ま
た、示差走査熱量計測定の発熱ピークにより結晶化温度
Ｔｘも確かめた。この結晶化温度は実施例２で述べる薄
帯の場合と同じ値であり、他の組成に対する諸条件とと
もに表２に示してある。

【００３４】

【表１】

【００３５】

【表２】

【００３６】実施例３実施例１と同様にして得られた合金番号１，２，３の供
試非晶質薄帯につき、ヤング率Ｅの温度変化を共振法に
より５℃／分の加熱、冷却速度で測定し、その結果を図
２に示す。図から明かなように、いずれの合金において
もＥはガラス化温度Ｔｇ以下では温度依存性極めて小さ
く、優れた弾性作動体用エリンバー合金であることがわ
かる。

【００３７】実施例４実施例１と同様にして得られた合金番号３の供試非晶質
薄帯につき、１００℃，２００℃，３００℃，４００℃
で各３時間加熱後、３００℃／時間の速度で冷却した状
態のヤング率の温度変化を測定し、その結果を図３に示
す。図から明かなように、急冷状態で得られたエリン
バー特性は熱処理によってさらに改善され、優れた弾性
作動体用エリンバー合金となることがわかる。

【００３８】実施例５実施例４において測定した合金番号３に対する結果に基
づき、室温〜１００℃および室温〜３００℃におけるヤ
ング率の温度係数を算出し、加熱温度との関係を図４に
示した。図から明かなように、任意の加熱温度に対して
（−１０〜＋１０）×１０^−５の温度係数が得られ、優
れた弾性作動体用エリンパー合金となることがわかる。

【００３９】実施例６実施例１と同様にして得られた合金番号２の供試薄帯に
ついて、Ｃｕ_３２−ｃＺｒ_６０Ａｌ_８Ｑ_ｃのようにＺｒ
とＡｌを固定し、各種の元素Ｑを変化させた場合のヤン
グ率の温度係数ｅ（×１０^−５）と添加元素量との関係
を図５〜図７に示す。図からわかるようにヤング率の温
度係数は添加元素量によってさらに向上する傾向を示し
ている。従って、この範囲内では、優れた弾性作動体用
エリンバー合金となることがわかる。

【００４０】実施例７実施例１と同様にして得られた表１の各供試薄帯につ
き、ヤング率の温度係数ｅを共振法により、熱膨張係
数を縦型熱機械試験機により、硬さＨｖをビッカース微
小硬さ計により、結晶化温度を示差走査熱量計により測
定し、その結果を表２に示した。表２に示すように本発
明合金のヤング率の温度係数は（−１０〜＋１０）×１
０^−５の極めて小さい値を示し、靭性にも優れている。
他方、既存の比較合金を見ると、ヤング率の温度係数は
負値で大きく、硬さも低い。また両合金とも鍛造加工
性に乏しいことが明らかにされており、これらの合金と
比較すると、本発明合金は小さいヤング率の温度係数と
高強度性を同時に満足する極めて有用な弾性作動体用合
金であることがわかる。

【００４１】実施例８実施例２と同様にして得られた合金番号３の棒状金属ガ
ラス合金を、冷間圧延によって厚さ０．５ｍｍの薄板と
なし、これから０．５×５０×５０ｍｍ^３の圧力センサ
用振動板を作製して、ヤング率およびその温度係数を調
べた。その結果は表３に示す通りで、比較合金として示
した既存の非磁性センサ合金より優れた特性を示すこと
がわかる。

【００４２】

【表３】

【００４３】実施例９実施例８と同様にして得られた合金番号３の板状金属ガ
ラスからエッチング加工によってリング状板ばねを成形
し、振動磁力計の磁力検出部に装着した場合のばね限界
値およびその温度係数を調べた。その結果は表４に示す
通りで、比較合金として示した既存の非磁性合金より優
れたエリンバー型ばね用合金であることがわかる。

【００４４】

【表４】

【００４５】実施例１０実施例７と同様にして得られた合金番号３の棒状金属ガ
ラスから、冷間圧延及び切削加工によって音叉状振動体
を作製し、固有振動数およびその温度係数を調べた。そ
の結果は表５に示す通りで、比較合金として示した既存
の非磁性合金より優れたエリンバー特性を示すことがわ
かる。

【００４６】

【表５】

【００４７】

【発明の効果】本発明のＣｕ基合金は、Ｃｕ，Ｍ（Ｍは
Ｚｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上の元素），
Ｘ（ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以上の
元素）およびＱ（ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃ
ｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，
Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂ
のうち１種または２種以上の元素）を所定の範囲で任意
に組み合わせることによって高い強度および高い靭性を
保持しつつ、小さいヤング率の温度係数を持つ弾性作
動体用合金を得ることを目的とし、これらの特性を同
時に保有する新規な合金を提供するもので、各種の弾性
作動体に好適である。さらに精密性の他に、ガラス化温
度が高いことから、耐熱性を要求される分野に使用され
る高力構造用材料としても本発明合金は極めて有用であ
る。なお、本発明合金は、溶湯から瞬時に製品とされ
るため、製造コストが低いという利点もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）、（ｂ）は液体急冷決の概略図であ
る。

【図２】図２は合金番号１，２，３のヤング率Ｅと温度
との関係を示す特性図である。

【図３】図３は合金番号３のヤング率Ｅと温度との関係
を示す特性図である。

【図４】図４は合金番号３のヤング率の温度係数ｅと加
熱温度との関係を示す特性図である。

【図５】図５はＣｕ_３２−Ｚｒ_６０−Ａｌ_８にＦｅ，Ｃ
ｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，ＷあるいはＭｎを添
加した合金のヤング率の温度係数ｅと各添加元素量との
関係を示す特性図である。

【図６】図６はＣｕ_３２−Ｚｒ_６０−Ａｌ_８系にＡｕ，
Ａｇ，Ｒｅ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｄ，Ｏｓ，ＩｒあるいはＰ
ｔを添加した合金のヤング率の温度係数ｅと各添加元素
量との関係を示す特性図である。

【図７】図７はＣｕ_３２−Ｚｒ_６０−Ａｌ_８系にＺｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，ＳｉあるいはＢ
を添加した合金のヤング率の温度係数ｅと各添加元素量
との関係を示す特性図である。

【符号の説明】

１冷却ロール２石英管３ノズル孔４、４’溶融合金５高周波加熱コイル６急冷薄帯７冷却水８石英アンプル９高周波加熱コイル１０急冷丸棒

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂ
Ｑ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上
の元素、ＸはＡｌ，Ｎｇ，Ｎｉのうち１種または２種以
上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
１種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからなり、体積率で５０％以上の非
晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス化温度以下で
（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にあることを特徴と
する弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金。
【請求項２】請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなり、体積率で
５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラ
ス化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にあ
ることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラ
ス合金。
【請求項３】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂ
Ｑ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上
の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以
上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
１種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組成
と少量の不純物とからなり、体積率で５０％以上の非晶
質を含み、ヤング率の温度係数がガラス化温度以下で
（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にあることを特徴と
する弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金。
【請求項４】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂ
Ｑ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上
の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以
上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
１種たは２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからる溶融合金を１〜１０^６℃／ｓ
ｅｃの速度で急冷することにより、体積率で５０％以上
の非晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス化温度以
下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内にあることを特
徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金の製
造法。
【請求項５】請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなる溶融合金を
１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷することにより、体
積率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数
がガラス化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以
内にあることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金
属ガラス合金の製造法。
【請求項６】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂ
Ｑ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上
の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以
上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓ
ｉ，Ｂのうち１種または２種以上の元素であり、またそ
の組成比ａ，ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ
≦４０、０≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０
である）の組成と少量の不純物とからなる溶融合金を１
〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷することにより、体積
率で５０％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数が
ガラス化温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内
にあることを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属
ガラス合金の製造法。
【請求項７】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂ
Ｑ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上
の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以
上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
１種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからなる溶融合金を１〜１０^６℃／
ｓｅｃの速度で急冷した後、５００℃以下の任意の温度
で焼鈍を行うことにより、体積率で５０％以上の非晶質
を含み、ヤング率の温度係数がガラス化温度以下で（−
１０〜＋１０）×１０^−５以内になることを特徴とする
弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金の製造法。
【請求項８】請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなる溶融合金を
１〜１０^６℃／ｓｅｃの速度で急冷した後、５００℃以
下の任意の温度で焼鈍を行うことにより、体積率で５０
％以上の非晶質を含み、ヤング率の温度係数がガラス化
温度以下で（−１０〜＋１０）×１０^−５以内になるこ
とを特徴とする弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合
金の製造法。
【請求項９】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂ
Ｑ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以上
の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種以
上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍ
ｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚｎ，
Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂのうち
１種または２種以上の元素であり、またその組成比ａ，
ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、０≦
ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからなる溶融合金を１〜１０^６℃／
ｓｅｃの速度で急冷した後、５００℃以下の任意の温度
で焼鈍を行うことにより、体積率で５０％以上の非晶質
を含み、ヤング率の温度係数がガラス化温度以下で（−
１０〜＋１０）×１０^−５以内にあることを特徴とする
弾性作動体用Ｃｕ基非磁性金属ガラス合金の製造法。
【請求項１０】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ
_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以
上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種
以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚ
ｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂの
うち１種または２種以上の元素であり、またその組成比
ａ，ｂ，ｃは原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、０
≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の
組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁性金属ガラス
合金よりなる高感度圧力センサ用弾性作動体。
【請求項１１】請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁
性金属ガラス合金よりなる高感度圧力センサ用弾性作動
体。
【請求項１２】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ
_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以
上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種
以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚ
ｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂの
うち１種または２種以上の元素であり、またその組成比
ａ，ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、
０≦ｃ１０、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の組
成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁性金属ガラス合
金よりなる高感度圧力センサ用弾性作動体。
【請求項１３】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ
_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以
上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種
以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚ
ｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂの
うち１種または２種以上の元素であり、またその組成比
ａ，ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５ｂ≦４０、０
≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の
組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁性金属ガラス
合金よりなる高感度精密ばね用弾性作動体。
【請求項１４】請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁
性金属ガラス合金よりなる高感度精密ばね用弾性作動
体。
【請求項１５】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ
_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以
上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種
以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚ
ｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂの
うち１種または２種以上の元素であり、またその組成比
ａ，ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、
０≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）
の組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁性金属ガラ
ス合金よりなる高感度精密ばね用弾性作動体。。
【請求項１６】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ
_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以
上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種
以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚ
ｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂの
うち１種または２種以上の元素であり、またその組成比
ａ，ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦６５、５≦ｂ≦４０、
０≦ｃ≦１０で、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）
の組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁性金属ガラ
ス合金よりなる高性能振動子用弾性作動体。
【請求項１７】請求項１の一般式Ｃｕ
_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ_ｂＱ_ｃにおいて、Ｘ元素から
Ａｌを除いた組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁
性金属ガラス合金よりなる高性能振動子用弾性作動体。
【請求項１８】一般式Ｃｕ_{１００−ａ−ｂ−ｃ}Ｍ_ａＸ
_ｂＱ_ｃ（ＭはＺｒ，ＲＥ，Ｔｉのうち１種または２種以
上の元素、ＸはＡｌ，Ｍｇ，Ｎｉのうち１種または２種
以上の元素、ＱはＦｅ，Ｃｏ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，
Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｒｅ，白金族元素，Ｚ
ｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｂの
うち１種または２種以上の元素であり、またその組成比
ａ，ｂ，ｃは、原子％で５≦ａ≦３０、５≦ｂ≦４０、
０≦ｃ≦１０、且つ１０≦ａ＋ｂ＋ｃ≦７０である）の
組成と少量の不純物とからなるＣｕ基非磁性金属ガラス
合金を用いた高性能振動子用弾性作動体。