JPH09198143A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

Info

Publication number
JPH09198143A
JPH09198143A JP2843596A JP2843596A JPH09198143A JP H09198143 A JPH09198143 A JP H09198143A JP 2843596 A JP2843596 A JP 2843596A JP 2843596 A JP2843596 A JP 2843596A JP H09198143 A JPH09198143 A JP H09198143A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
striker
stop position
stopping position
traveling body
comb
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2843596A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3664535B2 (ja
Inventor
Takashi Kugaya
隆 久賀谷
Shigeo Otsuki
繁夫 大月
Tomoshi Miyoshi
智志 三好
Hiroshi Fujii
浩 藤井
Masaki Terajima
正樹 寺嶋
Masaru Yamamoto
賢 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Hitachi Ltd
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Seiko Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kiden Kogyo Ltd, Hitachi Ltd, Hitachi Seiko Ltd filed Critical Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority to JP2843596A priority Critical patent/JP3664535B2/ja
Publication of JPH09198143A publication Critical patent/JPH09198143A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3664535B2 publication Critical patent/JP3664535B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基準停止位置ストライカの取付変更すること
なしに、容易に基準停止位置から所定のオフセット量を
持つ位置、すなわちオフセット停止位置に高信頼度で位
置決め停止する。 【解決手段】 搬送装置の走行体の停止位置を設定する
ストライカ１を、基準停止位置を設定する基準停止位置
ストライカ１１と、この基準停止位置ストライカ１１の
前後に配置された櫛形ストライカ１２，１３とから構成
する。そしてこれらのストライカを検出する２個の停止
位置検出センサ３１，３２を設け、これらの停止位置検
出センサ３１，３２で、走行体走行中および走行体停止
時に、前記櫛形ストライカ１２，１３および前記基準停
止位置ストライカ１１を検出する。これにより前記の停
止位置検出センサ２個の動作確認をお互いにし、ストラ
イカ検出の高信頼度を高め、走行体停止時は、前記の停
止位置検出センサ２個でそれぞれ、前記の基準位置スト
ライカ１１および櫛形ストライカ１２，１３を検出する
ことにより、基準停止位置から所定のオフセット量を持
つ位置に高信頼度の位置決めをする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送装置、特に半導
体ウェハ、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディ
スク、液晶等の製造工程で半導体ウェハ等を収納するカ
セット等の搬送物（以下単に「搬送物」という。）を高
信頼度で搬送する搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェハ、磁気ディスク、光
ディスク、コンパクトディスク、液晶等を収納するカセ
ット等の搬送物を搬送する搬送装置の走行体において
は、走行体の基準停止位置を設定する基準停止位置スト
ライカを備え、このストライカの端面を停止位置検出セ
ンサで基準停止位置を検出して、この基準停止位置に正
確に停止するようにしていた。またこの、半導体ウェハ
等を収納したカセット等の搬送物の移載を確実に行うた
めには、走行体を高信頼度で確実に、例えば±１ｍｍ程
度の誤差内に位置決めする必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし半導体ウェハ等
を収納したカセット等を搬送する走行体を、基準停止位
置から所定のオフセット量を持つ位置、すなわちオフセ
ット停止位置に停止させたい場合には、このオフセット
停止位置に合わせて、基準停止位置ストライカを取付変
更する必要がある。しかし、このストライカの取付変更
の調整作業には、たいへん手間がかかり、効率が悪いと
いう問題点があった。
【０００４】本発明は上記従来の搬送装置の問題点を解
決し、基準停止位置ストライカの取付変更することなし
に、容易に基準停止位置から所定のオフセット量を持つ
位置、すなわちオフセット停止位置に高信頼度で位置決
め停止することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、搬送装置の走行体において、
走行体の停止位置を設定するストライカを、基準停止位
置ストライカおよび、この基準停止位置ストライカの前
後に配置された櫛形ストライカとから構成し、これらの
ストライカを検出する２個の停止位置検出センサを設
け、これらの停止位置検出センサで、走行体走行中およ
び走行体停止時に、前記櫛形ストライカおよび前記基準
停止位置ストライカを検出することにより、前記の停止
位置検出センサ２個の動作確認をお互いにし、ストライ
カ検出の高信頼度を高め、オフセット停止位置に高信頼
度で位置決めをするようにしたことを特徴とする。
【０００６】上記の構成からなる本発明の搬送装置は、
２個の停止位置検出センサで、走行体走行中および走行
体停止時に、櫛形ストライカおよび基準位置ストライカ
を検出することにより、停止位置検出センサ２個のスト
ライカ検出動作確認をお互いにし、ストライカ検出の高
信頼度を高め、オフセット停止位置に高信頼度で位置決
めすることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送装置の実施の
形態を図面に基づいて説明する。図２は本発明搬送装置
の概略を示し、この搬送装置は搬送物を搬送するのに適
した形状及び機能を備えた走行体２と、この走行体２の
上部に設けられて搬送物７２をチャックするチャック装
置５と搬送物移動装置４と、前記走行体２を走行方向に
ガイドする基台もしくは床面に敷設した走行レール６７
と、走行体２を走行レールに沿って往復動、すなわち矢
印の方向に牽引走行させるワイヤロープ６４及びこのワ
イヤロープ６４を張架するワイヤロープ用プーリ６６、
移動ドラム６５、駆動ドラム６３と、駆動ドラム６３の
回転制御をするサーボモータ６１と、サーボモータに設
けたサーボモータエンコーダ６２と、走行体２の下部に
設置され、走行体２の停止位置を設定するストライカ１
および２個の停止位置検出センサ３１、３２で構成され
る。
【０００８】ここで、ワイヤロープ６４の牽引は、駆動
ドラム６３を介してサーボモータおよびサーボモータエ
ンコーダにより制御されるため、ワイヤロープにより牽
引される走行体２の走行も、サーボモータおよびサーボ
モータエンコーダにより制御される。走行体２の停止位
置は、ワイヤロープの伸び等の誤差をなくすため、走行
体２に、しかも走行方向に対し予め定めた間隔をあけて
配置した２つの停止位置検出センサ３１、３２でストラ
イカ１を検出して決められる。
【０００９】走行体の停止位置を設定するストライカ１
は、図１及び図２に示すように、走行路の固定側に設置
される走行体２の基準停止位置を設定する基準停止位置
ストライカ１１と、この基準停止位置ストライカ１１の
両端で、走行体走行方向の前後方向に隣接して一直列状
に配置された櫛形ストライカ１２および櫛形ストライカ
１３とから構成されている。ここで、櫛形ストライカ１
２、１３の全長は、例えば櫛歯幅をＳ１とし、ｎを整数
としてｎｘＳ１とする。
【００１０】基準停止位置ストライカ１１の全長は、例
えば、ｍを整数としてｍｘＳ１とする。図１において、
走行体２ｂ位置は、走行体２が基準停止位置にある場合
を示し、このときの停止位置検出センサ３１、３２位置
は、それぞれ３１ｂ、３２ｂとなる。
【００１１】また、走行体２ａ位置は、走行体２がある
オフセット停止位置にある場合を示し、このときの停止
位置検出センサ３１、３２位置は、それぞれ３１ａ、３
２ａとなる。このときの停止位置検出センサ３１、３２
の検出信号と走行体２位置の関係を図３に示す。
【００１２】図１において、走行体２が櫛形ストライカ
１３に進入して基準停止位置ストライカ１１および櫛形
ストライカ１２へと進むと、停止位置検出センサ３１、
３２の検出信号は図３に示すようなパターンで変化する
ことは事前に判っている。そこで、走行体走行中およ
び、走行体停止時に、停止位置検出センサ３１、３２の
検出信号を図３の検出信号変化パターンと比較し、お互
いのセンサ動作確認を行うことができ、センサのチャタ
リングやノイズ等の異常信号による誤検出を防ぐことが
でき、ストライカ検出の高信頼度を高められる。
【００１３】図３に示すように、停止位置検出センサ３
１、３２の検出信号変化パターンから走行体の基準停止
位置Ｘｂおよびオフセット停止位置Ｘａを知ることがで
きる。
【００１４】したがって、基準停止位置から所定のオフ
セット量を持つ位置に高信頼度の位置決めをすることが
できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の搬送装置によれば、２個の停止
位置検出センサで、走行体走行中および走行体停止時
に、櫛形ストライカおよび基準位置ストライカの検出を
高信頼度ででき、基準停止位置から所定のオフセット量
を持つ位置に高信頼度の位置決めをすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の停止位置設定ストライカと停止位置検
出センサの構成図である。
【図２】本発明の搬送装置の外観斜視図である。
【図３】本発明の停止位置検出センサの停止位置設定ス
トライカ検出信号と走行体位置の関係図である。
【符号の説明】
１ 停止位置設定ストライカ １１ 基準停止位置ストライカ １２、１３ 櫛形ストライカ ３１、３２ 停止位置検出センサ ２ 走行体 ４ 搬送物移動装置 ５ チャック装置 ６１ サーボモータ ６２ サーボモータエンコーダ ６３ 駆動ドラム ６４ ワイヤロープ ６５ 移動ドラム ６６ プーリ ６７ 走行レール ７１ プロセス装置 ７２ 搬送物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大月 繁夫 東京都千代田区神田駿河台４丁目６番地 株式会社日立製作所内 (72)発明者 三好 智志 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 藤井 浩 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 寺嶋 正樹 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立精 工エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 山本 賢 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立精 工エンジニアリング株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 搬送装置の走行体の停止位置を設定する
    ストライカを、基準停止位置を設定する基準停止位置ス
    トライカと、この基準停止位置ストライカの前後に配置
    された櫛形ストライカとから構成し、これらのストライ
    カを検出する２個の停止位置検出センサを設け、これら
    の停止位置検出センサで、走行体走行中および走行体停
    止時に、前記櫛形ストライカおよび前記基準停止位置ス
    トライカを検出することにより、前記の停止位置検出セ
    ンサ２個の動作確認をお互いにし、ストライカ検出の高
    信頼度を高め、走行体停止時は、前記の停止位置検出セ
    ンサ２個でそれぞれ、前記の基準位置ストライカおよび
    櫛形ストライカを検出することにより、基準停止位置か
    ら所定のオフセット量を持つ位置に高信頼度の位置決め
    をすることを特徴とする搬送装置。
JP2843596A 1996-01-22 1996-01-22 搬送装置 Expired - Fee Related JP3664535B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2843596A JP3664535B2 (ja) 1996-01-22 1996-01-22 搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2843596A JP3664535B2 (ja) 1996-01-22 1996-01-22 搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09198143A true JPH09198143A (ja) 1997-07-31
JP3664535B2 JP3664535B2 (ja) 2005-06-29

Family

ID=12248599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2843596A Expired - Fee Related JP3664535B2 (ja) 1996-01-22 1996-01-22 搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3664535B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7426424B2 (en) 2004-03-12 2008-09-16 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Moving body system
US7703396B2 (en) 2004-07-22 2010-04-27 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Carriage system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7426424B2 (en) 2004-03-12 2008-09-16 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Moving body system
US7703396B2 (en) 2004-07-22 2010-04-27 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Carriage system

Also Published As

Publication number Publication date
JP3664535B2 (ja) 2005-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3461764B1 (en) Conveying apparatuses
KR960032577A (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
US6735927B2 (en) Position sensing system for inspection handling system
JPH10300A (ja) 処理ユニットに洗濯物を搬送する方法及び搬送装置
JPS5988334A (ja) ガラスシ−ト加工装置用コンベヤコントロ−ラ
JPH1111860A (ja) 天井搬送装置及び天井搬送車
JPH09198143A (ja) 搬送装置
US4877123A (en) Conveyor means for wafers
EP2439772B1 (en) Conveying system having endless drive medium and conveying method
JPH07117847A (ja) 搬送装置
JPH02292150A (ja) ワーク搬送装置
KR200264007Y1 (ko) 웨이퍼 이송 장치
JPH0771361B2 (ja) リニアモータを用いた搬送装置
JP2949042B2 (ja) 送出装置
JPH07264720A (ja) 磁気浮上搬送装置
JPH0755434B2 (ja) ワーク搬送装置
JP2520794B2 (ja) 表面処理方法
JPH0325373B2 (ja)
JP3022274B2 (ja) リニア搬送車の停止制御装置
JPH04279440A (ja) パッケージへのシール片の装着方法及びその装置
JPH01218305A (ja) リニアモータ搬送機の制御装置
KR100424057B1 (ko) 차륜탑재용폴의정지위치편위량검출장치
KR20220097701A (ko) 물품 이송 설비
JPH01157546A (ja) ウェハーの搬送装置
JPS5911767A (ja) 搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040831

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040928

A521 Written amendment

Effective date: 20041129

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20050301

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050329

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080408

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 3

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080408

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 4

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees