JP3664535B2 - 搬送装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は搬送装置、特に半導体ウェハ、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造工程で半導体ウェハ等を収納するカセット等の搬送物（以下単に「搬送物」という。）を高信頼度で搬送する搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウェハ、磁気ディスク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等を収納するカセット等の搬送物を搬送する搬送装置の走行体においては、走行体の基準停止位置を設定する基準停止位置ストライカを備え、このストライカの端面を停止位置検出センサで基準停止位置を検出して、この基準停止位置に正確に停止するようにしていた。またこの、半導体ウェハ等を収納したカセット等の搬送物の移載を確実に行うためには、走行体を高信頼度で確実に、例えば±１ｍｍ程度の誤差内に位置決めする必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし半導体ウェハ等を収納したカセット等を搬送する走行体を、基準停止位置から所定のオフセット量を持つ位置、すなわちオフセット停止位置に停止させたい場合には、このオフセット停止位置に合わせて、基準停止位置ストライカを取付変更する必要がある。しかし、このストライカの取付変更の調整作業には、たいへん手間がかかり、効率が悪いという問題点があった。
【０００４】
本発明は上記従来の搬送装置の問題点を解決し、基準停止位置ストライカの取付変更することなしに、容易に基準停止位置から所定のオフセット量を持つ位置、すなわちオフセット停止位置に高信頼度で位置決め停止することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するためになしたもので、搬送装置の走行体の停止位置を設定するストライカを、基準停止位置を設定する基準停止位置ストライカと、この基準停止位置ストライカの両端で、走行体走行方向の前後方向に隣接して一直列状に配置された櫛形ストライカとから構成するとともに、これらのストライカを走行路の固定側に設置し、これらのストライカを検出する２個の停止位置検出センサを基準停止位置ストライカの全長と同じ間隔をあけて走行体側に設け、これらの停止位置検出センサで、走行体走行中および走行体停止時に、前記櫛形ストライカおよび前記基準停止位置ストライカを検出することにより、前記の停止位置検出センサ２個の動作確認をお互いにし、ストライカ検出の高信頼度を高め、走行体停止時は、前記の停止位置検出センサ２個でそれぞれ、前記の基準位置ストライカおよび櫛形ストライカを検出することにより、基準停止位置から所定のオフセット量を持つ位置に高信頼度の位置決めをすることを特徴とする。
【０００６】
上記の構成からなる本発明の搬送装置は、２個の停止位置検出センサで、走行体走行中および走行体停止時に、櫛形ストライカおよび基準位置ストライカを検出することにより、停止位置検出センサ２個のストライカ検出動作確認をお互いにし、ストライカ検出の高信頼度を高め、オフセット停止位置に高信頼度で位置決めすることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図２は本発明搬送装置の概略を示し、この搬送装置は搬送物を搬送するのに適した形状及び機能を備えた走行体２と、この走行体２の上部に設けられて搬送物７２をチャックするチャック装置５と搬送物移動装置４と、前記走行体２を走行方向にガイドする基台もしくは床面に敷設した走行レール６７と、走行体２を走行レールに沿って往復動、すなわち矢印の方向に牽引走行させるワイヤロープ６４及びこのワイヤロープ６４を張架するワイヤロープ用プーリ６６、移動ドラム６５、駆動ドラム６３と、駆動ドラム６３の回転制御をするサーボモータ６１と、サーボモータに設けたサーボモータエンコーダ６２と、走行体２の下部に設置され、走行体２の停止位置を設定するストライカ１および２個の停止位置検出センサ３１、３２で構成される。
【０００８】
ここで、ワイヤロープ６４の牽引は、駆動ドラム６３を介してサーボモータおよびサーボモータエンコーダにより制御されるため、ワイヤロープにより牽引される走行体２の走行も、サーボモータおよびサーボモータエンコーダにより制御される。走行体２の停止位置は、ワイヤロープの伸び等の誤差をなくすため、走行体２に、しかも走行方向に対し予め定めた間隔をあけて配置した２つの停止位置検出センサ３１、３２でストライカ１を検出して決められる。
【０００９】
走行体の停止位置を設定するストライカ１は、図１及び図２に示すように、走行路の固定側に設置される走行体２の基準停止位置を設定する基準停止位置ストライカ１１と、この基準停止位置ストライカ１１の両端で、走行体走行方向の前後方向に隣接して一直列状に配置された櫛形ストライカ１２および櫛形ストライカ１３とから構成されている。ここで、櫛形ストライカ１２、１３の全長は、例えば櫛歯幅をＳ１とし、ｎを整数としてｎｘＳ１とする。
【００１０】
基準停止位置ストライカ１１の全長は、例えば、ｍを整数としてｍｘＳ１とする。図１において、走行体２ｂ位置は、走行体２が基準停止位置にある場合を示し、このときの停止位置検出センサ３１、３２位置は、それぞれ３１ｂ、３２ｂとなる。
【００１１】
また、走行体２ａ位置は、走行体２があるオフセット停止位置にある場合を示し、このときの停止位置検出センサ３１、３２位置は、それぞれ３１ａ、３２ａとなる。このときの停止位置検出センサ３１、３２の検出信号と走行体２位置の関係を図３に示す。
【００１２】
図１において、走行体２が櫛形ストライカ１３に進入して基準停止位置ストライカ１１および櫛形ストライカ１２へと進むと、停止位置検出センサ３１、３２の検出信号は図３に示すようなパターンで変化することは事前に判っている。そこで、走行体走行中および、走行体停止時に、停止位置検出センサ３１、３２の検出信号を図３の検出信号変化パターンと比較し、お互いのセンサ動作確認を行うことができ、センサのチャタリングやノイズ等の異常信号による誤検出を防ぐことができ、ストライカ検出の高信頼度を高められる。
【００１３】
図３に示すように、停止位置検出センサ３１、３２の検出信号変化パターンから走行体の基準停止位置Ｘｂおよびオフセット停止位置Ｘａを知ることができる。
【００１４】
したがって、基準停止位置から所定のオフセット量を持つ位置に高信頼度の位置決めをすることができる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の搬送装置によれば、２個の停止位置検出センサで、走行体走行中および走行体停止時に、櫛形ストライカおよび基準位置ストライカの検出を高信頼度ででき、基準停止位置から所定のオフセット量を持つ位置に高信頼度の位置決めをすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の停止位置設定ストライカと停止位置検出センサの構成図である。
【図２】 本発明の搬送装置の外観斜視図である。
【図３】 本発明の停止位置検出センサの停止位置設定ストライカ検出信号と走行体位置の関係図である。
【符号の説明】
１ 停止位置設定ストライカ
１１ 基準停止位置ストライカ
１２、１３ 櫛形ストライカ
３１、３２ 停止位置検出センサ
２ 走行体
４ 搬送物移動装置
５ チャック装置
６１ サーボモータ
６２ サーボモータエンコーダ
６３ 駆動ドラム
６４ ワイヤロープ
６５ 移動ドラム
６６ プーリ
６７ 走行レール
７１ プロセス装置
７２ 搬送物

Claims (1)

1. 搬送装置の走行体の停止位置を設定するストライカを、基準停止位置を設定する基準停止位置ストライカと、この基準停止位置ストライカの両端で、走行体走行方向の前後方向に隣接して一直列状に配置された櫛形ストライカとから構成するとともに、これらのストライカを走行路の固定側に設置し、これらのストライカを検出する２個の停止位置検出センサを基準停止位置ストライカの全長と同じ間隔をあけて走行体側に設け、これらの停止位置検出センサで、走行体走行中および走行体停止時に、前記櫛形ストライカおよび前記基準停止位置ストライカを検出することにより、前記の停止位置検出センサ２個の動作確認をお互いにし、ストライカ検出の高信頼度を高め、走行体停止時は、前記の停止位置検出センサ２個でそれぞれ、前記の基準位置ストライカおよび櫛形ストライカを検出することにより、基準停止位置から所定のオフセット量を持つ位置に高信頼度の位置決めをすることを特徴とする搬送装置。

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