JPH07264720A

JPH07264720A - 磁気浮上搬送装置

Info

Publication number: JPH07264720A
Application number: JP4841294A
Authority: JP
Inventors: Shinjiro Tanida; 伸二郎谷田; Tadayuki Kojima; 忠幸小島; Naoto Iwamura; 直人岩村
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1994-03-18
Filing date: 1994-03-18
Publication date: 1995-10-13

Abstract

(57)【要約】【目的】遠心力の影響を除去し、カーブ走行時におい
ても高速走行が可能な磁気浮上搬送装置を提供する。【構成】ガイドレールと、ガイドレールとの間に一定
の間隔を保ちつつ浮上走行する磁気浮上台車を有する磁
気浮上搬送装置において、磁気浮上台車に設けられ、ガ
イドレールに対向するガイド制御用電磁石と、ガイドレ
ールとガイド制御用電磁石のなす角度を検出する角度検
出手段と、検出角度に基づいて、ガイド制御用電磁石の
ガイドレールとの対向面とガイドレールの接線方向とが
ほぼ平行となるように回転制御する回転制御手段と、を
有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気浮上搬送装置に係
り、より詳細には、磁気浮上台車のカーブ走行時におけ
るガイド制御に関する。

【０００２】半導体製造工程における無発塵機構とし
て、磁性レールとの磁気的吸引力を制御することにより
磁気浮上台車をガイドレールと所定のギャップを保ちな
がら浮上走行させてウェハの搬送を行なう磁気浮上搬送
装置が提案されている。このような搬送装置を利用する
場合において処理能力を向上させるには、搬送台車を高
速化し、ウェハの各工程間の搬送を短時間で行なう必要
がある。本発明は、磁気浮上台車の高速走行を実現する
技術に関する。

【０００３】

【従来の技術】図２３に従来の磁気浮上台車の構成を示
す。なお、図２３は、磁気浮上台車及びレールを進行方
向から見た図である。図示のように、磁気浮上台車２０
は、搬送物２５を積載し、レール本体２６内を移動す
る。レール本体２６には浮上用レール２１、ガイド用レ
ール２３が設けられている。一方、磁気浮上台車２０に
は浮上用電磁石２２と、ガイド制御用電磁石２４とが設
けられている。浮上用電磁石２２はレール本体２６内で
浮上用レール２１と対向し、両者により形成される磁気
回路の発生する吸引力により浮上用電磁石２２が浮上用
レール２１と所定の間隔を保つよう制御される。また、
ガイド用レール２３とガイド制御用電磁石２４も同様に
レール本体２６内で対向し、両者の構成する磁気回路の
発生する電磁力を推進力として磁気浮上台車２０がレー
ル台に沿って（紙面に垂直な方向に）移動する。このよ
うに、従来の磁気浮上台車のガイド制御は、台車がガイ
ド用レールと一定の間隔（ギャップ）を保ちながら走行
できるように、ガイド用電磁石で発生する電磁力を制御
することにより行なっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来の
磁気浮上台車においては、カーブ走行時に発生する遠心
力の影響が問題となる。即ち、図２４、２５に示すよう
に台車がカーブを通過する場合、台車の速度及びカーブ
の半径に応じた遠心力Ｆが台車に作用する。従って、カ
ーブの走行時には、この遠心力Ｆに対抗できる力をガイ
ド制御用電磁石ＭＧ１及びＭＧ２により作り出し、該遠
心力と逆方向に加えてやる必要がある。ところが、図２
４、２５から分かるように、カーブ走行時にはコの字型
のガイド制御用電磁石２３のガイドレールと対向する端
面Ｓと、ガイドレールの接線方向とが平行にならないた
め磁界ループＣが効果的に形成できず、遠心力に対抗し
うる強い力を発生することができない。磁気回路により
発生する力は、磁界ループＣが長方形となるとき、具体
的には、ガイド制御用電磁石のガイドレールに対向する
端面がガイドレールの接線方向と平行である時に最も強
くなるからである。

【０００５】従って、従来の磁気浮上台車においては、
カーブを高速で走行させようとすると、強い遠心力の影
響で台車がガイドレールに接触し、その結果台車の浮上
制御が乱れたり、ガイド部への接触により塵埃が発生し
たり、また、被搬送物に衝撃を与えたりという問題が起
こりうる。このため、カーブ走行時には台車を十分に減
速する必要があり、搬送の高速化の障害となっていた。

【０００６】本発明の目的は、かかる遠心力の影響を除
去してカーブ走行時においても高速走行が可能な磁気浮
上搬送装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】以上の課題に鑑み、本発
明は、ガイドレールと、ガイドレールとの間に一定の間
隔を保ちつつ浮上走行する磁気浮上台車を有する磁気浮
上搬送装置において、前記磁気浮上台車に設けられ、前
記ガイドレールに対向するガイド制御用電磁石と、前記
ガイドレールと前記ガイド制御用電磁石のなす角度を検
出する角度検出手段と、前記検出角度に基づいて、前記
ガイド制御用電磁石の前記ガイドレールとの対向面が前
記ガイドレールの接線方向とほぼ平行となるように回転
制御する回転制御手段と、を有するように構成した。

【０００８】

【作用】本発明によれば、磁気浮上台車は、ガイド制御
用電磁石とガイドレールとによる磁気ループの吸引力に
より進行方向を定められ、ガイドレールとの間に一定の
間隔を保ちつつガイドレールに沿って走行する。角度検
出手段は、ガイドレールとガイド制御用電磁石との相対
角度を検出し、回転制御手段は該角度が零となるよう
に、即ち、ガイド制御用電磁石のガイドレールと対向す
る面とガイドレールの接線方向とがほぼ平行となるよう
にガイド制御用電磁石を回転させる。よって、磁気浮上
台車がカーブ走行中であっても、ガイド制御用電磁石は
常にガイドレールと平行に対向する。これにより、ガイ
ドレールとガイド制御用電磁石との形成する磁気ループ
により遠心力に対抗しうる力が発生でき、カーブでの高
速走行が可能となる。

【０００９】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の好適な実施例
について説明する。図１は、本発明にかかる磁気浮上台
車の機構を示す平面図である。図１において、磁気浮上
台車１００は、台車ベース板６に４組のガイド制御用電
磁石ＭＧ１−ＭＧ４を設けて構成されている。４組のガ
イド制御用電磁石ＭＧ１−ＭＧ４は各々同一の構成であ
り、それぞれ回転制御部７に接続されている。各ガイド
制御用電磁石ＭＧ１−ＭＧ４はそれぞれ図のＡ点を中心
として回転可能であり、回転制御部７からの制御信号に
より回転してガイドレール８との相対角度が調整され
る。

【００１０】図２は、図１に示すガイド制御用電磁石Ｍ
Ｇの側面図である。ガイド制御用電磁石ＭＧは、台車ベ
ース板６上に、駆動部４ａ、回転軸４ｂを介して設けら
れている。ガイド制御用電磁石ＭＧはコの字型の電磁石
からなり、その外側には回転ギャップセンサ１、２が設
けられ、またその中心部にはガイドギャップセンサ５が
設けられている。コの字型のガイド制御用電磁石ＭＧ
は、図１に示すようにガイドレール８との間で磁界ルー
プＣを形成し、該磁界ループにより生じる電磁力を推進
力として磁気浮上台車１００がガイドレール８に沿って
移動する。

【００１１】ガイドギャップセンサ５は、台車の横方向
の位置制御を行なうためのセンサであり、図示しない制
御部により制御される。具体的には、ガイドギャップセ
ンサ５はガイド制御用電磁石ＭＧとガイドレール８との
間の間隔（ギャップ）を検出する。該制御部は検出され
た間隔に基づいて、ガイド制御用電磁石ＭＧがガイドレ
ール８と一定の間隔を保つようにガイド制御用電磁石Ｍ
Ｇに流れる電流を制御する。

【００１２】回転ギャップセンサ１、２は、図４に示す
ようにガイドレール８との間の間隔Ｄを検出するセンサ
である。回転ギャップセンサ１、２は、図５に示すよう
に、該センサとガイドレール８との間の間隔Ｄに比例し
た電圧の信号を出力する。ガイド制御用電磁石ＭＧの中
心部分Ａ点には回転軸４ｂが固定されており、前述の回
転制御部７の制御信号に基づき駆動部４ａが回転軸４ｂ
を回転させると、ガイド制御用電磁石ＭＧは回転軸４ｂ
の回転に伴って図１に示すようにＡ点を中心として回転
する。従って、回転制御部７の制御により、ガイドレー
ル８とガイド制御用電磁石ＭＧのガイドレール８と対向
する端面３との相対角度が制御される。

【００１３】なお、回転ギャップセンサの数は２個に限
られるものではなく、より多くの回転ギャップセンサに
より相対角度を検出するようにしても良い。図３は、ガ
イド制御用電磁石ＭＧの制御系のブロック図である。図
示のように、ガイド制御用電磁石の制御系は、回転制御
部７と、駆動部４ａとを有している。また、回転制御部
７は、差動アンプ部７１と、サーボ演算部７２と、パワ
ーアンプ部７３とを有している。回転ギャップセンサ
１、２は前述のように該センサとガイドレール８との間
隔Ｄに比例した電圧の信号Ｖａ、Ｖｂを出力する。この
信号Ｖａ、Ｖｂは差動アンプ部７１に入力され、差動ア
ンプ部７１で差信号Ｖｏ（＝Ｖａ−Ｖｂ）が演算されサ
ーボ演算部７２に入力される。この差信号Ｖｏは、ガイ
ドレール８とガイド制御用電磁石のＭＧとの相対角度θ
を示している。即ち、図６（Ａ）に示すようにガイド制
御用電磁石３がガイドレールに対し図面上左へ向いてい
る場合、回転ギャップセンサ１の出力する電圧Ｖａは間
隔Ｄ₁に対応し、回転ギャップセンサ２の出力するＶｂ
は、間隔Ｄ₃に対応する。逆に、図７（Ａ）に示すよう
にガイド制御用電磁石３がガイドレール８に対し図面上
右へ向いている場合、回転ギャップセンサ１の出力する
電圧Ｖａは間隔Ｄ₃に対応し、回転ギャップセンサ２の
出力するＶｂは間隔Ｄ₁に対応する。よって、図７
（Ａ）、図６（Ａ）における（Ｄ₃−Ｄ₁）の値は、ガ
イドレールの接線方向とガイド制御用電磁石ＭＧの端面
３とのなす角度θに対応する。従って、この（Ｄ₃−Ｄ
₁）の値が零となるように、即ち、各回転ギャップセン
サの出力電圧の差Ｖｏ（＝Ｖａ−Ｖｂ）が零となるよう
にガイド制御用電磁石ＭＧの向きを制御すれば、図６
（Ｂ）、図７（Ｂ）に示すようにガイド制御用電磁石の
ガイドレール８に対する相対角度θが零となり、ガイド
制御用センサ３の端面３がガイドレール８の接線方向と
ほぼ平行に保たれる。サーボ演算部７２は、電圧Ｖｏが
零となるようにサーボ演算を行ない制御信号を生成し、
パワーアンプ部７３に供給する。パワーアンプ部７３で
は、サーボ演算部７２からの制御信号を電力増幅し、駆
動部４ａに入力する。駆動部４ａでは、増幅された制御
信号に基づいてモータ等のアクチュエータを駆動して回
転軸４ｂを回転させ、ガイド制御用電磁石ＭＧをＡ点を
中心に回転させる。これにより、ガイド制御用電磁石Ｍ
Ｇのガイドレール８との相対角度が零となるように、即
ち、ガイド制御用電磁石ＭＧの端面３がガイドレール８
の接線方向と平行になるようにサーボ制御がなされる。

【００１４】カーブ走行時に上記のような制御が行なわ
れている様子を図８、９に示す。図８は、磁気浮上台車
１００が左曲がりのカーブを走行している場合を表わ
し、図９は図８におけるガイド制御用電磁石ＭＧ近傍の
拡大図である。図から分かるように、ガイド制御用電磁
石ＭＧは、ガイドレール８の湾曲に対応してＡ点を中心
に回転しており、電磁石ＭＧの端面３がガイドレール８
の接線方向と平行に保たれている。このようにすると、
電磁石ＭＧとガイドレール８とで形成される磁界ループ
Ｃが長方形となり、十分な電磁力を発生することができ
る。即ち、ガイドレール８に垂直な力Ｆ’が磁界ループ
Ｃにより生成され、遠心力Ｆと打ち消し合うことにより
遠心力の影響が除去される。

【００１５】図１０−１２は、磁気浮上台車１００のカ
ーブ走行時の状態を示す図である。図１０に示すよう
に、カーブ突入前の直進状態においては、ガイド制御用
電磁石ＭＧ１及びＭＧ２は回転しておらず、その端面３
がガイドレール８と平行に保たれている。次に、図１１
に示すように磁気浮上台車１００がカーブに突入する
と、まず進行方向前方に位置するガイド制御用電磁石Ｍ
Ｇ１は、その端面３が湾曲し始めたガイドレール８の接
線方向と平行となるように回転する。磁気浮上台車がさ
らに進行すると、図１２に示すように進行方向後部のガ
イド制御用電磁石ＭＧ２も同様に回転する。従って、各
ガイド制御用電磁石ＭＧはその端面３がガイドレールの
接線方向と平行になるように常に回転制御されるため、
長方形の磁界ループが常に形成され、遠心力に対抗でき
る強い力が発生できる。

【００１６】図１３は、本発明にかかる５軸磁気浮上台
車の一実施例である。この５軸磁気浮上台車１００が図
２３に示す従来の磁気浮上台車と異なるのは、ガイド制
御用電磁石ＭＧの外側に前述の回転ギャップセンサが
１、２が設けられている点と、回転制御部７が設けられ
ている点である。他の点は、図２３に示す従来の磁気浮
上台車と同様である。即ち、浮上用レール９と浮上用電
磁石１０とが形成する磁界ループにより台車の上下方向
の位置制御がなされる一方、ガイド用電磁石部ＭＧとガ
イドレール８の磁界ループの発生する電磁力により台車
のガイド制御が行なわれ、ガイドレール８に沿って台車
が移動する。また、ガイド制御用電磁石ＭＧは回転軸４
ｂ、駆動部４ａを介して台車に取付けられており、該駆
動部４ａがガイド制御用電磁石ＭＧを回転制御する。

【００１７】図１４は、本発明にかかる磁気浮上台車の
他の実施例を示す図である。図１３に示す磁気浮上台車
１００がレール部の内部を移動するのに対し、図１４に
示す磁気浮上台車１０１は、レール部を覆うように構成
されている。即ち、台車本体の内部にレールを貫通させ
るための穴部Ｈをが設けられ、該穴部Ｈの内壁に浮上用
電磁石１０及びガイド制御用電磁石ＭＧが設けられてい
る。浮上用電磁石１０及びガイド制御用電磁石ＭＧはそ
れぞれ浮上用レール９及びガイドレール８と対向し、台
車の上下方向位置制御及びガイド制御を行なう。また、
ガイド制御用電磁石ＭＧは回転軸４ｂ、駆動部４ａを介
して台車に取付けられており、該駆動部４ａがガイド制
御用電磁石ＭＧを回転制御する。

【００１８】図１５は、磁気浮上台車が内輪側にガイド
レール８の設けられたカーブを走行時の状態を示してい
る。この場合は、磁気浮上台車のカーブに対する内輪側
のガイド制御用電磁石ＭＧ１及びＭＧ２が回転制御され
て磁気浮上台車が進行する。これに対し、図１６に示す
ようにカーブに対する外輪側のガイド制御用電磁石ＭＧ
３及びＭＧ４を回転制御して走行することも可能であ
る。即ち、ガイドレールの設けられた位置に応じて内輪
側、外輪側のどちらのガイド用磁石部ＭＧを回転制御し
てもよい。

【００１９】図１７は、回転制御部７の回路構成を示す
図である。前述のように、回転ギャップセンサ１、２
は、ガイドレール８との間隔Ｄを検出し、該間隔に対応
する電圧Ｖａ、Ｖｂを出力する。これらの電圧Ｖａ、Ｖ
ｂはオペアンプＡ１及び抵抗Ｒ１−Ｒ４からなる差動ア
ンプ回路７１により差動演算され、差信号Ｖｏがサーボ
演算部７２へ送られる。サーボ演算部７２では、オペア
ンプＡ２、コンデンサＣ１、Ｃ１及び抵抗Ｒ５、Ｒ６に
より位相補償を行うとともに、差信号Ｖｏが零となるよ
うにガイド制御用電磁石３を回転させるための制御信号
を生成しパワーアンプ部７３に送る。パワーアンプ部７
３は、１対のトランジスタＴＲ１、ＴＲ２により制御信
号を電力増幅し、駆動部４ａに設けられるＤＣモータＭ
等の駆動手段を駆動する。この駆動部４ａの駆動によ
り、回転軸４ｂが回転しガイド制御用電磁石ＭＧが回転
制御される。

【００２０】図１８は、回転制御部７をＣＰＵを用いて
構成した場合の構成を示す図である。このサーボ演算回
路７２ａは図１７のサーボ演算回路７２の代わりに用い
られる。サーボ演算回路７２ａには、前段の差動アンプ
部７１より回転ギャップセンサ１、２の出力の差信号が
Ｖｏが入力される。入力された差信号ＶｏはＡ／Ｄコン
バータ７２ｂによりディジタル信号に変換され、ＣＰＵ
７２ｃ及びメモリ７２ｄを用いてサーボ演算が行なわ
れ、制御信号が生成される。Ｄ／Ａコンバータ７２ｅ
は、該制御信号をアナログ信号に変換し、次段のパワー
アンプ部７３へ供給する。パワーアンプ部７３、駆動部
４ａ等の動作は図１７に示す回路の場合と同様である。

【００２１】次に、ガイド制御用電磁石ＭＧを回転させ
る機構について説明する。図１９は、かかる回転機構の
一実施例として歯車を用いた場合を示している。なお、
図１９（Ａ）は、該機構の平面図であり、図１９（Ｂ）
は該機構の側面図である。駆動部４ａは、ＤＣモータＭ
を有しており、該モータにより回転軸４ｂが回転され
る。回転軸４ｂには歯車４ｃが固定されている。また、
歯車４ｃは歯車４ｄと係合しており、歯車４ｄは他の回
転軸４ｅに固定されている。従って、ＤＣモータＭの駆
動により回転軸４ｂが回転すると、その回転が歯車４
ｃ、４ｄを介して回転軸４ｅに伝達される。ガイド制御
用電磁石ＭＧは回転軸４ｅに固定されており、これによ
りガイド制御用電磁石ＭＧの向きが回転することにな
る。

【００２２】図２０は、回転機構他の実施例としてプー
リ及びベルトを用いた場合を示している。なお、図２０
（Ａ）は、該機構の平面図であり、図２０（Ｂ）は該機
構の側面図である。図２０に示す駆動部の機構は、歯車
の代わりにプーリを用いて回転を伝達する点のみが図１
９に示す機構と異なっている。即ち、回転軸４ｂの回転
がプーリ４ｆ、４ｇ及びベルト４ｈにより回転軸４ｅに
伝達され、これによりガイド用電磁石部ＭＧを回転させ
るように構成されている。その他の動作は図１９に示す
機構と同様である。

【００２３】図２１は、本発明にかかる磁気浮上搬送装
置の他の実施例を示す図である。この実施例は、ガイド
制御用電磁石ＭＧの回転制御をカーブ走行時のみ行なう
ようにしたものである。即ち、ガイド制御用電磁石ＭＧ
の回転制御は、磁気浮上台車のカーブ走行時にのみ必要
であり、直線走行時には必要でないことから、カーブ走
行時にのみ動作させることとして制御の簡略化を図るも
のである。

【００２４】本実施例においては図２１に示すように、
ガイドレールのカーブ部分の入り口及び出口にフォトダ
イオード等の発信（発光）手段１２を設けるとともに、
磁気浮上台車にフォトトランジスタ等の受信（受光）手
段１３を設ける。磁気浮上台車がカーブの入り口に到着
すると、台車に設けられた受信手段１３が発信手段から
の信号を受信し、その先がカーブであることを認識す
る。これに応じ、磁気浮上台車の制御部はガイド制御用
電磁石ＭＧの回転制御を開始する。一方、台車がカーブ
を通過し再び直線走行に移行する時にはカーブ出口に設
けられた発信手段１２からの信号を受信手段１３が受信
し、これに応じてガイド制御用電磁石の回転制御が停止
される。このように、ガイド制御用電磁石の回転制御を
カーブ走行時にのみ行なうことにより、磁気浮上台車の
走行における制御を簡略化することができる。なお、上
記の例ではフォトダイオード及びフォトトランジスタを
例にとって説明したが、これは赤外線センサ等、他の検
出方法を用いてもよい。

【００２５】図２２は、本発明の他の実施例として、ガ
イドギャップセンサを省略した装置を示している。図
１、２に示す磁気浮上台車においては、ガイド制御用電
磁石３とガイドレール８との間隔Ｄを検出するための専
用のガイドギャップセンサ５を回転ギャップセンサ１、
２と別個に設けていたが、本実施例においては該ガイド
ギャップセンサを省略し、回転ギャップセンサ１、２で
兼用するものである。即ち、本発明では回転制御部の制
御によりガイド制御用電磁石３はカーブ走行時にもガイ
ドレールと平行になるように制御されているため、回転
ギャップセンサの検出する間隔はほぼガイドレールとの
間隔に等しいといえる。この観点から、本実施例におい
ては、ガイドギャップセンサ５を省略し、回転ギャップ
センサによりガイド制御用電磁石３とガイドレールとの
間隔を測定する。

【００２６】即ち、図２２に示すように、回転ギャップ
センサ１、２はそれぞれガイドレール８との間隔を測定
し、該距離に対応する電圧の信号Ｖａ、Ｖｂを出力す
る。出力された電圧Ｖａ、Ｖｂは、オペアンプＡ３及び
抵抗Ｒ１１−Ｒ１３よりなる加算回路により加算され、
Ｖｓとして出力される。この出力電圧Ｖｓは抵抗Ｒ１
４、Ｒ１５により１／２に分圧され、横方向のギャップ
値として図示しない横方向制御部へ送られる。このよう
に、回転ギャップセンサによりガイドレールとの間隔を
検出し横方向制御を行なうことにより、必要なセンサの
数が減少し、また、制御も簡略化される。なお、回転ギ
ャップセンサ１又は２のいずれかの出力信号のみをギャ
ップ値として採用する方法もあり、この場合には回路が
簡素化するというメリットがある。但し、制御の正確性
を重視する場合には上記のように回転ギャップセンサ
１、２の出力の平均値をとるのが好ましい。

【００２７】なお、以上の説明においては、２つの回転
ギャップセンサ１、２を設けてガイドレールとガイド制
御用電磁石との角度を検出しているが、より多くの回転
ギャップセンサを設けて角度の検出精度を上げるよう構
成しても良い。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、磁気浮上台車においてガイドレールとガイド制御用
電磁石との相対角度を検出するための回転ギャップセン
サと、該検出角度に基づいてガイド制御用電磁石を回転
させる回転制御部とを設け、ガイド制御用電磁石が常に
ガイドレールの接線方向に略平行に向くように制御を行
なっている。これにより、ガイド制御用電磁石とガイド
レールと形成する磁気ループが常に長方形に保たれ強い
吸引力が発生できるので、カーブ走行時に生じる遠心力
を打ち消すことが可能となり、カーブにおいても高速走
行が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる磁気浮上台車の機構を示す平面
図である。

【図２】本発明にかかる磁気浮上台車のガイド制御用電
磁石の側面図である。

【図３】本発明にかかるガイド制御用電磁石の制御ブロ
ック図である。

【図４】本発明にかかるガイド制御用電磁石の動作説明
図である。

【図５】センサ−レール間隔と出力信号との関係を示す
図である。

【図６】本発明にかかるガイド制御用電磁石の他の動作
説明図である。

【図７】本発明にかかるガイド制御用電磁石の他の動作
説明図である。

【図８】本発明にかかる磁気浮上台車のカーブ走行時に
おける力のベクトル図である。

【図９】図８におけるガイド制御用電磁石の部分の拡大
図である。

【図１０】カーブ突入時のガイド制御用電磁石の状態を
示す図である。

【図１１】カーブ走行時のガイド制御用電磁石の状態を
示す他の図である。

【図１２】カーブ走行時のガイド制御用電磁石の状態を
示す他の図である。

【図１３】本発明にかかる５軸磁気浮上台車の構成図で
ある。

【図１４】本発明にかかる他の５軸磁気浮上台車の構成
図である。

【図１５】磁気浮上台車の内輪側にガイドレールがある
場合の状態を示す図である。

【図１６】磁気浮上台車の外輪側にガイドレールがある
場合の状態を示す図である。

【図１７】回転制御部の回路構成を示す図である。

【図１８】ＣＰＵを用いた回転制御部の構成を示す図で
ある。

【図１９】ガイド制御用電磁石の駆動に歯車を用いた場
合の構成図である。

【図２０】ガイド制御用電磁石の駆動にベルトを用いた
場合の構成図である。

【図２１】磁気浮上搬送装置の他の実施例を示す図であ
る。

【図２２】磁気浮上搬送装置の他の実施例を示す図であ
る。

【図２３】従来の磁気浮上台車の構成図である。

【図２４】従来の磁気浮上台車のカーブ走行時の状態を
示す図である。

【図２５】図２４の磁気浮上台車の電磁石部分の拡大図
である。

【符号の説明】

１００，１０１…磁気浮上台車１，２…回転ギャップセンサ３…ガイド制御用電磁石４ａ…駆動部４ｂ，４ｅ…回転軸４ｃ，４ｄ…歯車４ｆ，４ｇ…プーリ４ｈ…ベルト５…ガイドギャップセンサ６…台車ベース板７…回転制御部８…ガイドレール９…浮上用レール１０…浮上用電磁石２０…磁気浮上台車２１…浮上用レール２２…浮上用電磁石２３…ガイド用レール２４…ガイド制御用電磁石２５…搬送物２６…レール本体７１…差動アンプ部７２…サーボ演算部７２ａ…サーボ演算回路７２ｂ…Ａ／Ｄコンバータ７２ｃ…ＣＰＵ７２ｄ…メモリ７２ｅ…Ｄ／Ａコンバータ７３…パワーアンプ部ＭＧ…ガイド制御用電磁石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガイドレール（８）と、ガイドレールと
の間に一定の間隔を保ちつつ浮上走行する磁気浮上台車
（１００、１０１）を有する磁気浮上搬送装置におい
て、前記磁気浮上台車に設けられ、前記ガイドレールに対向
するガイド制御用電磁石（ＭＧ）と、前記ガイドレールと前記ガイド制御用電磁石のなす角度
を検出する角度検出手段（１、２、７）と、前記検出角度に基づいて、前記ガイド制御用電磁石の前
記ガイドレールとの対向面（３）が前記ガイドレールの
接線方向とほぼ平行となるように回転制御する回転制御
手段と、を有することを特徴とする磁気浮上搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の磁気浮上搬送装置におい
て、前記角度検出手段は、前記磁気浮上台車の進行方向
に並んで配置され、前記ガイドレールとの間隔を検出す
る複数のセンサ（１、２）を有し、該センサの出力に基
づいてガイドレールとガイド制御用電磁石との角度を決
定することを特徴とする磁気浮上搬送装置。
【請求項３】請求項１記載の磁気浮上搬送装置におい
て、前記角度検出手段は、前記磁気浮上台車の進行方向
に並んで配置され、前記ガイドレールとの間隔を検出す
る複数のセンサ（１、２）を有し、前記回転制御手段は
前記複数のセンサにより検出される間隔が等しくなるよ
うに前記ガイド制御用電磁石を回転させることを特徴と
する磁気浮上搬送装置。
【請求項４】請求項１乃至３記載の磁気浮上搬送装置
において、前記磁気浮上台車はガイドレールのカーブ部
分を検出する検出手段（１２、１３）を有し、前記回転
制御部は前記検出手段によりカーブ部分が検出している
期間に前記ガイド制御用電磁石を回転制御することを特
徴とする磁気浮上搬送装置。