JPH09195557A - シールドクリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルーム内の過不足のない必要な空間に
磁気シールドを施すと共に、十分な清浄度を確保し、工
期が短くて、コスト面やスペース面でも有利であり、レ
イアウトの変更にも対応できるシールドクリーンルーム
を提供する。 【解決手段】各ファンフィルタユニット１０を覆う周囲
に磁気シールド部材１７を配設したユニット状の天蓋部
材１と、フリーアクセスパネル１５に磁気シールド部材
１７を貼り付けて必要十分な通気性を有するユニット状
の床板部材２と、スティールパーティション４に磁気シ
ールド部材１７を貼り付けたユニット状の壁部材３とを
組み合わせて、区画されたクリーンルームＢ内の所望さ
れる磁気シールドクリーンルームＤを囲み、当該磁気シ
ールドクリーンルームＤ内のみを効率的に磁気シールド
すると共に十分な清浄度を確保可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、室内空気を清浄に
維持するクリーンルームにあって、その所望する空間に
対して外部との間に例えば磁気シールド等のシールド性
を施したシールドクリーンルームに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルーム内に設置される機器の中
には、例えば半導体製造装置や電子顕微鏡等のように磁
気環境に鋭敏なものがある。これらを保護し、正常に機
能させるためには、当該クリーンルーム内の所望される
空間に磁気シールドを施す必要がある。

【０００３】このように外部との間に磁気シールドを施
したクリーンルーム（これを磁気シールドクリーンルー
ムと称する）の従来のものとしては、以下に列記するも
のがある。まず、その一例として（以下、第１従来例と
も記す）図２に示すようなものがある。ここで、一般的
なクリーンルームの構成について簡潔に説明すると、一
台又は数台のファンフィルタユニット１０をシステム天
井グリッドと称する支持部材１１上に載置するようにし
て、それらを天井チャンバ１２内又はその下方に配設
し、一方、床下チャンバ１３の上方には、適宜脚部材１
４の上側に所定の通気性を有する床板部材（フリーアク
セスフロアパネル）１５を配設してフリーアクセスフロ
アを構築する。このファンフィルタユニット１０と床板
部材１５との間の空間Ａに対して、区画されたリターン
チャンバ１６を構築しておけば、ファンフィルタユニッ
ト１０から供給された清浄な空気は、前記区画された空
間Ａからフリーアクセスフロアパネル１５を通って床下
チャンバ１３に至り、更にリターンチャンバ１６から天
井チャンバ１２にリサイクルされて再びファンフィルタ
ユニット１０から前記空間Ａに供給される。そこで、こ
の第１従来例では、前記区画された空間Ａや各チャンバ
１２，１３，１６を含む区画された室Ｂ内全体に磁気シ
ールドを施す。より具体的には、区画された室Ｂの壁，
床，天井の室内側に、珪素鋼板，パーマロイ，アモルフ
ァス等の磁気シールド部材１７を配設或いは貼り付ける
ことにより、その区画された室Ｂ内全体を、室外に対し
て磁気シールドする。

【０００４】また、その他の例として（以下、第２従来
例とも記す）図３に示すようなものもある。この第２従
来例は、予め所定の空間を囲む箱型に形成された磁気シ
ールドボックス１８内に、前述のような磁気シールド対
象物Ｃを配設するようにしたものであり、より具体的に
は前述のような磁気シールド部材１７で磁気シールドボ
ックス１８を形成し、少なくともその上側面１８ａと下
側面１８ｂとには，所謂パンチング或いはスリットによ
る開口部を形成して通気性を付与したものである。な
お、このような磁気シールドボックス１８として市販さ
れているものは、一般に、一辺が数ｍ程度の直方体（立
方体を含む）形状となっている。

【０００５】また、その更に他の例として（以下、第３
従来例とも記す）図４に示すようなものもある。この第
３従来例では、例えば前記第１従来例のように区画され
たクリーンルームＢを、更に壁部材等１９で分割し（こ
こでは２室に分割された場合を想定する）、その分割さ
れた何れか一方の室Ｂ’の壁，床，天井の室内側に、前
述のような磁気シールド部材１７を配設或いは貼り付け
ることにより、その分割された室Ｂ’内を、室外及び分
割された他方の室Ｂに対して磁気シールドする。ここ
で、前記分割され且つ磁気シールドを施されたクリーン
ルームＢ’内と、磁気シールドを施されていないクリー
ンルームＢ内とでは、互いに通気性がない或いは通気性
が低いことから、一般に、個々に独立したリターンチャ
ンバ１６を構築し、夫々の室Ｂ，Ｂ’で、前述のような
空気の流れが独立して発生するようにして、両室内のク
リーン性を確保している。ちなみに、分割される室数は
２室以上であってもよく、それ以上幾ら増加しても磁気
シールドの構築手順は同じである。

【０００６】なお、このようなシールドクリーンルーム
は、必ずしも磁気シールドを必要とされる場合だけでは
なく、例えば電磁シールドを必要とされる場合でも同様
に構成される。但し、その場合には、前述のような磁気
シールド部材に代えて、金属板，金属箔，金網等の電磁
シールド部材を用いることもある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
各種のシールドクリーンルームは、夫々、以下のような
問題点がある。まず、前記図２に示す第１従来例では、
区画された室（クリーンルーム）Ｂ内全体に磁気シール
ドを施すために、例えばこのクリーンルームＢの容積，
つまり空間が大きく、しかしながら所望される磁気シー
ルド空間が小さい場合には、非常に無駄が多い。ここに
言う無駄とは、こうした大空間に磁気シールドを施すた
めに使用される磁気シールド部材の使用量やその構築コ
スト等を示している。

【０００８】一方、前記図３に示す第２従来例では、前
記磁気シールドボックス１８で囲まれる磁気シールドク
リーンルーム（空間）が小さいことから、前記第１従来
例のような無駄は小さい。しかしながら、通気性を付与
されていると言っても、この磁気シールドボックス１８
を通過或いは循環する空気の流れは、強制的に空気をリ
サイクルして供給するクリーンルームＢの構造と異なっ
て弱く、実際の磁気シールドボックス１８内には十分な
気流が導入されず、当該ボックス１８で囲まれた磁気シ
ールドクリーンルーム内の清浄度は低下する。また、磁
気シールドボックス１８で囲まれる磁気シールドクリー
ンルーム（空間）が小さいことから、要求される磁気シ
ールド空間が大きくなると、磁気シールドボックス１８
を多数個必要とし、しかもそれらの内部を連通させるた
めの追加作業や工事が発生するなど、手間やコスト的に
も不利になる。

【０００９】また、前記図４に示す第３従来例では、実
質的に個別のクリーンルームＢ’を構成することになる
から、前記第１従来例と同様の問題が発生する可能性が
ある。また、磁気シールドクリーンルームＢ’とそうで
ないクリーンルームＢとの夫々に、専用のリターンチャ
ンバ１６を構築しなければならないなど、スペース面や
コスト面で不利である。また、一般のクリーンルームで
は天井チャンバや床下チャンバは、配管や配線等のユー
ティリティスペース（有効空間）として使用されるが、
前述のように壁材等でクリーンルームＢ，Ｂ’を分割し
てしまうと、両者間の天井チャンバ１２や床下チャンバ
１３も分割されてしまうから、両者に跨がる配管や配線
等のユーティリティスペースとしては使用できず、配管
や配線等の施工が複雑になる。

【００１０】これらの問題は、磁気シールドクリーンル
ームのみならず、前述のような電磁シールドクリーンル
ームでも同様に発生する問題である。本発明は、これら
の諸問題に鑑みて開発されたものであり、所望する空間
に応じてフレキシブルに磁気シールドや電磁シールド等
の所望されるシールドを施すことを可能として無駄や面
倒を回避すると共に、コスト面やスペース面でも有利
で、且つ天井チャンバや床下チャンバを分割する必要の
ないシールドクリーンルームを提供することを目的とす
るものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明のうち請求項１に係るシールドクリーンルー
ムは、天井チャンバ内又はその下方に配設され且つファ
ンフィルタユニットの外周を覆う形状に予め形成され且
つ所望されるシールド性を有する天蓋部材と、床下チャ
ンバの上方に配設され且つ所定の床面積を有する形状に
予め形成され且つ所定の通気性及び所望されるシールド
性を有する床板部材と、前記天蓋部材及び床板部材間に
立設される形状に予め形成され且つ所望されるシールド
性を有する壁部材とで、所望するシールド空間を囲んで
形成されたことを特徴とするものである。

【００１２】また、本発明のうち請求項２に掛かるシー
ルドクリーンルームは、前記天蓋部材及び床板部材及び
壁部材の何れか又はその全てを、互いに側方に連接し
て、前記所望するシールド空間を囲むことを特徴とする
ものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１に本発明のシールドクリーン
ルームとして実施された磁気シールドクリーンルームの
一実施形態を示す。なお、このクリーンルーム全体の構
成は、前記第１或いは第２従来例のそれと同様又はほぼ
同様であるから、同等の構成部材には同等の符号を付し
て、その詳細な説明を省略する。

【００１４】同図において、区画された室（クリーンル
ーム）Ｂに配設された四つのファンフィルタユニット１
０のうち、中央部の二つのファンフィルタユニット１０
は、その夫々の周囲が前述のような磁気シールド部材１
７で覆われて、全体で天蓋部材１が構成される。より具
体的には各天蓋部材１に要求される性能に応じて、ファ
ンフィルタユニット１０の周囲を前記珪素鋼板で覆うと
か、ファンフィルタユニットの周囲を覆う非磁気シール
ド部材に、パーマロイやアモルファスのような磁気シー
ルド部材を貼り付けて構成されている。ちなみに、パー
マロイは、通常短冊状の平板として形成され、曲げや大
きな荷重により磁気シールド性能が低下するため、その
ような荷重を受けにくい部位に使用すべきであり、アモ
ルファスは、通常フレーク状のものを樹脂でモールディ
ングするなどして板状に成形して用いる。また、この実
施形態の天蓋部材１では、ファンフィルタユニット１０
を載置する前記システム天井グリッドと呼ばれる支持部
材１１まで、前記磁気シールド部材１７によって覆われ
ている。

【００１５】一方、少なくとも前記中央部の二つのファ
ンフィルタユニット１０を含む天蓋部材１に対向する床
板部材（フリーアクセスパネル）２には、前記と同様の
磁気シールド部材１７によって磁気シールド性が付与さ
れると共に、従来と同様の通気性が与えられている。ち
なみに、このように床板部材２に磁気シールドを施す場
合には、床板に要求される強度や遮音性や歩行感等か
ら、パーマロイやアモルファス等の磁気シールド部材１
７を通常の床板部材（フリーアクセスパネル）１５に貼
り付けて使用するほうが好ましい。また、後述する壁部
材３によって遮蔽される磁気シールドクリーンルームＤ
内の空気の清浄性を維持するための当該床板部材２の開
口率は、気流を通過させるために必要な最小限の開口率
として、床板部材２そのものの磁気シールド性を確保
し、当該磁気シールドクリーンルームＤ内を通過する風
量は、前記ファンフィルタユニット１０のファン制御に
よって調整するのが望ましい。また、この床板部材２に
は、必要に応じて保護用の金属板やシート等を表面（上
面）に貼り付けてもよい。

【００１６】そして、前記天蓋部材１と床板部材２とが
対向する空間の外周は、磁気シールド性を有する壁部材
３で囲まれている。この壁部材３は、基本的に、前記各
ファンフィルタユニット１０を含む一つの天蓋部材１と
床板部材２との間の空間の外周を覆う大きさの分割用壁
板部材（スティールパーティション）４に、前記磁気シ
ールド部材１７を配設したり貼り付けたりして構成され
ており、それらは互いに接続可能となっている。従っ
て、本実施形態では、二つのファンフィルタユニット１
０を含む二つの天蓋部材１と床板部材２との間の空間に
対して、二枚の壁部材３を側方に接続して当該空間Ｄの
外周を囲んでいる。

【００１７】そして、これらの各部材１，２，３により
囲まれた空間（磁気シールドクリーンルーム）Ｄの内部
は、各部材１，２，３の磁気シールド性によって完全に
磁気シールドされており、しかも前述のようにファン制
御によって調整された風量は当該空間Ｄ内の清浄性を十
分に維持するに足る。また、区画された室（クリーンル
ーム）Ｂ内における磁気シールド空間（磁気シールドク
リーンルーム）Ｄの大きさを所望通りに設定することが
でき、しかも磁気シールドを必要とする室内空間Ｄのみ
をシールド化することにより、第１従来例のように無駄
が発生することもないし、第２従来例のようにそれが小
さ過ぎるということもない。特に、前述のように一つの
天蓋部材１に対する磁気シールドクリーンルームＤを、
例えば４面の壁部材３で囲むことができるようにし且つ
各壁部材３を互いに側方に接続できるようにすれば、隣
接する天蓋部材数１に応じたどのような形状の磁気シー
ルドクリーンルームＤも、ユニット工法によって簡単に
施工することができる。また、これにより所望される空
間Ｄの大きさが変更された場合でも容易に対応すること
ができる。また、室内を完全に分割する訳ではないか
ら、第３従来例のように個別のリターンチャンバ１６を
設けること等のスペース面での不利がないし、天井チャ
ンバ１２や床下チャンバ１３を配線や配管等のユーティ
リティスペースとして十分に活用することもできる。

【００１８】なお、前記各磁気シールド性を有する天蓋
部材１，床板部材２，壁部材３では、前述のような磁気
シールド部材を貼り付けているが、例えばこれらの磁気
シールド部材を、幾層かの板部材内にラミネートして構
成してもよい。また、前述した珪素鋼板やパーマロイ，
アモルファス等の磁気シールド部材は、同時に電磁波シ
ールド性能も有するため、この磁気シールドクリーンル
ームは電磁シールドクリーンルームとしての性能も同時
に発揮することができる。

【００１９】また、所望されるシールドクリーンルーム
に磁気シールドは不要で、電磁シールド性能のみを要求
される場合には、前述のような磁気シールド部材に代え
て、金属板，金属箔，金網等を用いてもよい。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシールド
クリーンルームによれば、ファンフィルタユニットの外
周を覆う形状に予め形成され且つ所望されるシールド性
を有する天蓋部材と、所定の通気性及び所望されるシー
ルド性を有する床板部材と、前記天蓋部材及び床板部材
間に立設される形状に予め形成され且つ所望されるシー
ルド性を有する壁部材とで、所望するシールド空間を囲
んで形成されたことにより、十分な気流を得てその空間
内の清浄性を十分に維持することができると共に、区画
されたクリーンルーム内におけるシールドクリーンルー
ムの大きさを所望通りに設定することができ、しかもシ
ールドを必要とする室内空間のみをシールド化すること
により、無駄がなく、且つ小さ過ぎるということもな
い。また、各部材のユニット化により、工期の短縮とコ
ストの低廉化を実現することができる。クリーンルーム
内を完全に分割する訳ではないから、個別のリターンチ
ャンバを設けること等のスペース面での不利がないし、
天井チャンバや床下チャンバを配線や配管等のユーティ
リティスペースとして十分に活用することもできる。

【００２１】また、天蓋部材及び床板部材及び壁部材の
何れか又はその全てを、互いに側方に連接して、前記所
望するシールド空間を囲むようにすることにより、隣接
する各部材数に応じたどのような形状の磁気シールドク
リーンルームも、ユニット工法によって簡単に施工する
ことができる。また、これにより所望される空間の大き
さが変更された場合でも容易に対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシールドクリーンルームの一実施形態
を示す縦断面図である。

【図２】従来のシールドクリーンルームの一例を示す縦
断面図である。

【図３】従来のシールドクリーンルームの他の例を示す
縦断面図である。

【図４】従来のシールドクリーンルームの更に他の例を
示す縦断面図である。

【符号の説明】

１は天蓋部材 ２は床板部材（フリーアクセスフロアパネル） ３は壁部材 ４は分割用壁板部材（スティールパーティション） １０はファンフィルタユニット １１は支持部材 １２は天井チャンバ １３は床下チャンバ １４は脚部材 １５は床板部材（フリーアクセスフロアパネル） １６はリターンチャンバ １７は磁気シールド部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 天井チャンバ内又はその下方に配設され
   且つファンフィルタユニットの外周を覆う形状に予め形
   成され且つ所望されるシールド性を有する天蓋部材と、
   床下チャンバの上方に配設され且つ所定の床面積を有す
   る形状に予め形成され且つ所定の通気性及び所望される
   シールド性を有する床板部材と、前記天蓋部材及び床板
   部材間に立設される形状に予め形成され且つ所望される
   シールド性を有する壁部材とで、所望するシールド空間
   を囲んで形成されたことを特徴とするシールドクリーン
   ルーム。
2. 【請求項２】 前記天蓋部材及び床板部材及び壁部材の
   何れか又はその全てを、互いに側方に連接して、前記所
   望するシールド空間を囲むことを特徴とする請求項１に
   記載のシールドクリーンルーム。