JPH09183637A - 光学部品及びその製造方法 - Google Patents
光学部品及びその製造方法Info
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- JPH09183637A JPH09183637A JP7343478A JP34347895A JPH09183637A JP H09183637 A JPH09183637 A JP H09183637A JP 7343478 A JP7343478 A JP 7343478A JP 34347895 A JP34347895 A JP 34347895A JP H09183637 A JPH09183637 A JP H09183637A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 少なくとも、光学膜２が形成された第１基板
１と、光学膜が形成された、或いは形成されていない第
２基板４と、両基板１、４間の接合層３とを有する光学
部品であって、基板１、４同士の位置ズレ、接合角度の
狂い、基板の歪みによる光学性能の低下がなく、また分
光透過率の低下が抑制または防止され、しかも生産性良
く製造できる光学部品を提供すること。 【解決手段】 少なくとも、光学膜２が形成された第１
基板１と、光学膜が形成された、或いは形成されていな
い第２基板４と、両基板間１、４の接合層３とを有する
光学部品において、前記接合層３が可視光硬化型接着剤
の硬化層であることを特徴とする光学部品
１と、光学膜が形成された、或いは形成されていない第
２基板４と、両基板１、４間の接合層３とを有する光学
部品であって、基板１、４同士の位置ズレ、接合角度の
狂い、基板の歪みによる光学性能の低下がなく、また分
光透過率の低下が抑制または防止され、しかも生産性良
く製造できる光学部品を提供すること。 【解決手段】 少なくとも、光学膜２が形成された第１
基板１と、光学膜が形成された、或いは形成されていな
い第２基板４と、両基板間１、４の接合層３とを有する
光学部品において、前記接合層３が可視光硬化型接着剤
の硬化層であることを特徴とする光学部品
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば、偏光ビーム
スプリッター、ビームスプリッター、エッジフィルター
等の、光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤によ
り接合してなる光学部品及びその製造方法に関するもの
である。
スプリッター、ビームスプリッター、エッジフィルター
等の、光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤によ
り接合してなる光学部品及びその製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】現在、私たちの身の回りにある各種製品
の中には、光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤
により接合してなる光学部品を使用しているものが多数
ある。例えば、近年の情報化社会に欠くことができない
コンピューター関連機器においては、情報の記録再生装
置として光ディスク等が使用されており、これらの光学
系には前記光学部品が使用されている。
の中には、光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤
により接合してなる光学部品を使用しているものが多数
ある。例えば、近年の情報化社会に欠くことができない
コンピューター関連機器においては、情報の記録再生装
置として光ディスク等が使用されており、これらの光学
系には前記光学部品が使用されている。
【０００３】このような光学部品の多くは一般に、一方
の基板上に酸化物等の誘電体物質を真空蒸着法等により
単層膜または多層膜（光学膜）として形成し、その後、
前記光学膜を形成した基板の光学膜面に他方の基板を接
着剤を用いて接合することにより作製している。例え
ば、偏光ビームスプリッターでは、所定形状に加工した
一方のプリズム上に、高屈折率誘電体物質である酸化チ
タンと低屈折率誘電体物質である酸化ケイ素とを、光学
的膜厚約λ／４（λは設計基準波長）で交互に積層した
多層膜を形成した後、接着剤により他方のプリズムと接
合して作製している。
の基板上に酸化物等の誘電体物質を真空蒸着法等により
単層膜または多層膜（光学膜）として形成し、その後、
前記光学膜を形成した基板の光学膜面に他方の基板を接
着剤を用いて接合することにより作製している。例え
ば、偏光ビームスプリッターでは、所定形状に加工した
一方のプリズム上に、高屈折率誘電体物質である酸化チ
タンと低屈折率誘電体物質である酸化ケイ素とを、光学
的膜厚約λ／４（λは設計基準波長）で交互に積層した
多層膜を形成した後、接着剤により他方のプリズムと接
合して作製している。
【０００４】このとき用いられる接着剤には、加熱硬化
型、紫外線硬化型等があるが、それぞれ次のような短
所、長所を持っている。加熱硬化型接着剤を用いた場
合、前記二つの基板同士を接着剤を介して貼り合わせ、
例えば、接着治具を用いて動かないように保持しながら
オーブン中で接着剤を加熱硬化させる。
型、紫外線硬化型等があるが、それぞれ次のような短
所、長所を持っている。加熱硬化型接着剤を用いた場
合、前記二つの基板同士を接着剤を介して貼り合わせ、
例えば、接着治具を用いて動かないように保持しながら
オーブン中で接着剤を加熱硬化させる。
【０００５】しかし、この加熱硬化中に、基板同士の位
置ズレや接合角度の狂い等の接合の不具合による光学性
能の低下が度々生じる。これは、硬化するまでの時間が
一般に長いので、不具合が発生する確率が高くなり、ま
た接着治具等を用いた強力な保持を行っても加熱した際
の治具と基板間の熱膨張差によって前記不具合が発生し
やすくなるのが原因と考えられる。
置ズレや接合角度の狂い等の接合の不具合による光学性
能の低下が度々生じる。これは、硬化するまでの時間が
一般に長いので、不具合が発生する確率が高くなり、ま
た接着治具等を用いた強力な保持を行っても加熱した際
の治具と基板間の熱膨張差によって前記不具合が発生し
やすくなるのが原因と考えられる。
【０００６】さらに、加熱により基板自体に歪みが発生
して、これによる光学性能の低下が生じることもある。
これに対して、紫外線硬化型接着剤を用いた場合は、紫
外線を照射して硬化させる接着剤であるため加熱する必
要がなく、しかも短時間で硬化させることができる。従
って、前記のような基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、基板の歪みによる光学性能の低下は生じないか、或
いは極めて生じにくい。
して、これによる光学性能の低下が生じることもある。
これに対して、紫外線硬化型接着剤を用いた場合は、紫
外線を照射して硬化させる接着剤であるため加熱する必
要がなく、しかも短時間で硬化させることができる。従
って、前記のような基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、基板の歪みによる光学性能の低下は生じないか、或
いは極めて生じにくい。
【０００７】また、紫外線硬化型接着剤を用いた場合
は、照射強度の調整により、数秒の照射で接着剤を仮硬
化させ、基板同士を引っ張っても動かなくなる状態（仮
接合の状態）にすることが可能である。そのため、所定
の接合位置や接合角度に追い込んだ後、照射強度を調整
した紫外線を照射するだけで一瞬にして仮接合状態にす
ることが可能であり、その後の本硬化のための所定の紫
外線照射においても、位置ズレや接合角度の狂いが生じ
る危険性はない。
は、照射強度の調整により、数秒の照射で接着剤を仮硬
化させ、基板同士を引っ張っても動かなくなる状態（仮
接合の状態）にすることが可能である。そのため、所定
の接合位置や接合角度に追い込んだ後、照射強度を調整
した紫外線を照射するだけで一瞬にして仮接合状態にす
ることが可能であり、その後の本硬化のための所定の紫
外線照射においても、位置ズレや接合角度の狂いが生じ
る危険性はない。
【０００８】従って、紫外線硬化型接着剤を用いると、
熱硬化型接着剤を用いた場合には不可能であった、より
精度の高い位置合わせや接合角度を容易に達成すること
が可能となる。さらに、接着剤の種類により多少異なる
が、一般的に熱硬化型接着剤を用いた場合に比べて非常
に短い硬化時間で済むので、作業時間が短縮化されて著
しく生産性が向上するという長所を有している。
熱硬化型接着剤を用いた場合には不可能であった、より
精度の高い位置合わせや接合角度を容易に達成すること
が可能となる。さらに、接着剤の種類により多少異なる
が、一般的に熱硬化型接着剤を用いた場合に比べて非常
に短い硬化時間で済むので、作業時間が短縮化されて著
しく生産性が向上するという長所を有している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、酸化物等の
誘電体物質を単層膜または多層膜（光学膜）として形成
した基板に、紫外線硬化型接着剤により他基板を接合し
て光学部品を作製すると、作製された光学部品の分光透
過率が基板接合前の光学膜の分光透過率と比較して大き
く低下するという問題点がある。
誘電体物質を単層膜または多層膜（光学膜）として形成
した基板に、紫外線硬化型接着剤により他基板を接合し
て光学部品を作製すると、作製された光学部品の分光透
過率が基板接合前の光学膜の分光透過率と比較して大き
く低下するという問題点がある。
【００１０】従って、光学部品の分光透過率特性の低下
を見越して紫外線硬化型接着剤を用いるか、或いは基板
間の高精度の位置合わせや光学部品製造の生産性向上を
犠牲にして、作製される光学部品の分光透過率特性をあ
まり低下させることがない加熱硬化型接着剤を用いる必
要があり、両者の長所を同時に生かすことができないと
言う問題点があった。
を見越して紫外線硬化型接着剤を用いるか、或いは基板
間の高精度の位置合わせや光学部品製造の生産性向上を
犠牲にして、作製される光学部品の分光透過率特性をあ
まり低下させることがない加熱硬化型接着剤を用いる必
要があり、両者の長所を同時に生かすことができないと
言う問題点があった。
【００１１】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、少なくとも、光学膜が形成された第１基板
と、光学膜が形成された、或いは形成されていない第２
基板と、両基板間の接合層とを有する光学部品であっ
て、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂い、基板の歪み
による光学性能の低下がなく、また分光透過率の低下が
抑制または防止され、しかも生産性良く製造できる光学
部品を提供することと、製造の際に光学膜が形成された
基板に別の基板を接着剤により接合しても、基板同士の
位置ズレ、接合角度の狂い、基板の歪みによる光学性能
の低下がなく、また分光透過率の低下を抑制または防止
することが可能であり、しかも生産性が良い光学部品の
製造方法を提供することを目的とする。
ものであり、少なくとも、光学膜が形成された第１基板
と、光学膜が形成された、或いは形成されていない第２
基板と、両基板間の接合層とを有する光学部品であっ
て、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂い、基板の歪み
による光学性能の低下がなく、また分光透過率の低下が
抑制または防止され、しかも生産性良く製造できる光学
部品を提供することと、製造の際に光学膜が形成された
基板に別の基板を接着剤により接合しても、基板同士の
位置ズレ、接合角度の狂い、基板の歪みによる光学性能
の低下がなく、また分光透過率の低下を抑制または防止
することが可能であり、しかも生産性が良い光学部品の
製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は第一
に「少なくとも、光学膜が形成された第１基板と、光学
膜が形成された、或いは形成されていない第２基板と、
両基板間の接合層とを有する光学部品において、前記接
合層が可視光硬化型接着剤の硬化層であることを特徴と
する光学部品（請求項１）」を提供する。
に「少なくとも、光学膜が形成された第１基板と、光学
膜が形成された、或いは形成されていない第２基板と、
両基板間の接合層とを有する光学部品において、前記接
合層が可視光硬化型接着剤の硬化層であることを特徴と
する光学部品（請求項１）」を提供する。
【００１３】また、本発明は第二に「少なくとも、光学
膜が形成された第１基板に、光学膜が形成された、或い
は形成されていない第２基板を接着剤により接合する工
程を有する光学部品の製造方法において、前記接着剤に
３６５ｎｍよりも長波長の光を照射して該接着剤を硬化
させることにより、前記接合を行うことを特徴とする光
学部品の製造方法（請求項２）」を提供する。
膜が形成された第１基板に、光学膜が形成された、或い
は形成されていない第２基板を接着剤により接合する工
程を有する光学部品の製造方法において、前記接着剤に
３６５ｎｍよりも長波長の光を照射して該接着剤を硬化
させることにより、前記接合を行うことを特徴とする光
学部品の製造方法（請求項２）」を提供する。
【００１４】また、本発明は第三に「少なくとも、光学
膜が形成された第１基板に、光学膜が形成された、或い
は形成されていない第２基板を接着剤により接合する工
程を有する光学部品の製造方法において、前記接着剤に
可視光を照射して該接着剤を硬化させることにより、前
記接合を行うことを特徴とする光学部品の製造方法（請
求項３）」を提供する。
膜が形成された第１基板に、光学膜が形成された、或い
は形成されていない第２基板を接着剤により接合する工
程を有する光学部品の製造方法において、前記接着剤に
可視光を照射して該接着剤を硬化させることにより、前
記接合を行うことを特徴とする光学部品の製造方法（請
求項３）」を提供する。
【００１５】また、本発明は第四に「前記接着剤とし
て、可視光硬化型接着剤または紫外線硬化型接着剤を用
いたことを特徴とする請求項２または３記載の光学部品
の製造方法（請求項４）」を提供する。
て、可視光硬化型接着剤または紫外線硬化型接着剤を用
いたことを特徴とする請求項２または３記載の光学部品
の製造方法（請求項４）」を提供する。
【００１６】
【発明の実施の形態】紫外線照射により光学部品の分光
透過率が基板接合前の光学膜のそれよりも大きく低下す
るメカニズムは、これまで明確になっていなかったの
で、我々はかかるメカニズムについて鋭意研究を行っ
た。そして、光学部品の光学膜を構成する酸化物が基板
接合の際に紫外線を吸収して励起状態となり、この酸化
物と接着剤との相互作用が光学膜の吸収率を増大させ、
その結果、光学部品の分光透過率が低下することが判っ
た。
透過率が基板接合前の光学膜のそれよりも大きく低下す
るメカニズムは、これまで明確になっていなかったの
で、我々はかかるメカニズムについて鋭意研究を行っ
た。そして、光学部品の光学膜を構成する酸化物が基板
接合の際に紫外線を吸収して励起状態となり、この酸化
物と接着剤との相互作用が光学膜の吸収率を増大させ、
その結果、光学部品の分光透過率が低下することが判っ
た。
【００１７】すなわち、光学膜が紫外線を吸収して励起
状態になることが分光透過率低下の第一要因であるの
で、光学膜に紫外線を照射しなければ分光透過率の低下
は発生しないことになる。従来は、紫外線硬化型接着剤
を硬化させるときに、３６５ｎｍ付近の紫外線を一般に
照射しており、この波長の紫外線またはこれよりも短波
長の紫外線の照射により、光学膜の吸収率が増大して、
光学部品の分光透過率が大きく低下することが判った。
状態になることが分光透過率低下の第一要因であるの
で、光学膜に紫外線を照射しなければ分光透過率の低下
は発生しないことになる。従来は、紫外線硬化型接着剤
を硬化させるときに、３６５ｎｍ付近の紫外線を一般に
照射しており、この波長の紫外線またはこれよりも短波
長の紫外線の照射により、光学膜の吸収率が増大して、
光学部品の分光透過率が大きく低下することが判った。
【００１８】そこで、本第１発明では、光学膜が形成さ
れた基板と、光学膜が形成された、或いは形成されてい
ない基板とを接合する接合層を紫外線照射ではなく可視
光照射により硬化する可視光硬化型接着剤の硬化層とす
ることで、光学膜の吸収率増大（即ち、光学部品の分光
透過率低下）を防止している。また、本第２、第３発明
では、光学膜を前記励起状態とすることがない、或いは
殆どすることがない３６５ｎｍよりも長波長の光または
可視光を接着剤に照射して該接着剤を硬化させることに
より、光学膜の吸収率増大（即ち、光学部品の分光透過
率低下）を防止している。
れた基板と、光学膜が形成された、或いは形成されてい
ない基板とを接合する接合層を紫外線照射ではなく可視
光照射により硬化する可視光硬化型接着剤の硬化層とす
ることで、光学膜の吸収率増大（即ち、光学部品の分光
透過率低下）を防止している。また、本第２、第３発明
では、光学膜を前記励起状態とすることがない、或いは
殆どすることがない３６５ｎｍよりも長波長の光または
可視光を接着剤に照射して該接着剤を硬化させることに
より、光学膜の吸収率増大（即ち、光学部品の分光透過
率低下）を防止している。
【００１９】なお、光学部品の分光透過率低下防止の効
果を顕著にするためには、照射光の波長を４００ｎｍ以
上とすることが好ましい。以下、本発明の実施の形態を
図１に示した光学部品の例を用いて説明する。基板１上
に、高屈折率誘電体であるＴｉＯ2 と低屈折率誘電体で
あるＳｉＯ2を交互に積層してなる光学多層膜（光学膜
の一例）２が形成されている。
果を顕著にするためには、照射光の波長を４００ｎｍ以
上とすることが好ましい。以下、本発明の実施の形態を
図１に示した光学部品の例を用いて説明する。基板１上
に、高屈折率誘電体であるＴｉＯ2 と低屈折率誘電体で
あるＳｉＯ2を交互に積層してなる光学多層膜（光学膜
の一例）２が形成されている。
【００２０】この光学多層膜２上に光硬化性を有する接
着剤３を塗布し、その上に別の基板４を載せて両基板
１、４が所定の相対位置や相対角度になるように位置合
わせを行った後、３６５ｎｍよりも長波長の光（例え
ば、可視光）を数秒間照射して接着剤３を仮硬化させる
ことにより、両基板を仮接合状態にする。なお、仮接合
状態とは、両基板を引っ張っても位置ズレや角度ズレが
起こらないが、溶剤中に浸漬すると、或いは溶剤中に浸
漬して加熱すると接合が解かれるような接合状態を言
う。
着剤３を塗布し、その上に別の基板４を載せて両基板
１、４が所定の相対位置や相対角度になるように位置合
わせを行った後、３６５ｎｍよりも長波長の光（例え
ば、可視光）を数秒間照射して接着剤３を仮硬化させる
ことにより、両基板を仮接合状態にする。なお、仮接合
状態とは、両基板を引っ張っても位置ズレや角度ズレが
起こらないが、溶剤中に浸漬すると、或いは溶剤中に浸
漬して加熱すると接合が解かれるような接合状態を言
う。
【００２１】光硬化性を有する接着剤３としては、可視
光硬化型接着剤または紫外線硬化型接着剤を用いること
ができる（請求項４）。但し、紫外線硬化型接着剤は、
紫外線（３６５ｎｍ付近）の照射により硬化するように
設計されているので、照射光の波長がこれよりも長い
程、硬化時間も長くなる。そこで、光硬化性を有する接
着剤３としては、紫外線（３６５ｎｍ付近）よりも長波
長である可視光線の照射により硬化するように設計され
ている可視光硬化型接着剤を用いることが特に好まし
い。
光硬化型接着剤または紫外線硬化型接着剤を用いること
ができる（請求項４）。但し、紫外線硬化型接着剤は、
紫外線（３６５ｎｍ付近）の照射により硬化するように
設計されているので、照射光の波長がこれよりも長い
程、硬化時間も長くなる。そこで、光硬化性を有する接
着剤３としては、紫外線（３６５ｎｍ付近）よりも長波
長である可視光線の照射により硬化するように設計され
ている可視光硬化型接着剤を用いることが特に好まし
い。
【００２２】また、紫外線硬化型接着剤を用いるときに
照射する光としては、光学膜が光照射により前記励起状
態とならないことと、接着剤の硬化特性（強度、硬化時
間など）を向上させることの両方を考慮すると、波長が
４００ｎｍ付近の光が好ましい。仮接合状態となった両
基板１、４の位置ズレや角度ズレ、接合面の気泡などの
接合状態の不具合の有無を確認した後、不具合がなけれ
ば、可視光線を約数十分間照射して接着剤３を本硬化さ
せることにより光学部品が完成する。
照射する光としては、光学膜が光照射により前記励起状
態とならないことと、接着剤の硬化特性（強度、硬化時
間など）を向上させることの両方を考慮すると、波長が
４００ｎｍ付近の光が好ましい。仮接合状態となった両
基板１、４の位置ズレや角度ズレ、接合面の気泡などの
接合状態の不具合の有無を確認した後、不具合がなけれ
ば、可視光線を約数十分間照射して接着剤３を本硬化さ
せることにより光学部品が完成する。
【００２３】なお万一、不具合がある場合には、仮接合
状態となった両基板１、４を溶剤中に浸漬することによ
り、或いは溶剤中に浸漬して加熱することにより、両基
板１、４を分離した後、前記仮接合のプロセスを再度行
うことにより不具合を解消すればよい。従って、本発明
にかかる光学部品は、基板同士の位置ズレ、接合角度の
狂い、接合面の気泡などの接合状態の不具合をなくすこ
とができる。
状態となった両基板１、４を溶剤中に浸漬することによ
り、或いは溶剤中に浸漬して加熱することにより、両基
板１、４を分離した後、前記仮接合のプロセスを再度行
うことにより不具合を解消すればよい。従って、本発明
にかかる光学部品は、基板同士の位置ズレ、接合角度の
狂い、接合面の気泡などの接合状態の不具合をなくすこ
とができる。
【００２４】また、本発明にかかる光学部品は、その作
製工程である基板接合の際に基板を加熱する必要がない
ので、基板加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低
下がない。さらに、本発明にかかる光学部品は、その作
製工程である基板の接合が短時間の光照射により完了す
るので生産性が良い。
製工程である基板接合の際に基板を加熱する必要がない
ので、基板加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低
下がない。さらに、本発明にかかる光学部品は、その作
製工程である基板の接合が短時間の光照射により完了す
るので生産性が良い。
【００２５】図２に本発明の一例である可視光照射によ
り基板を接合して作製した光学部品の接合前後の分光透
過率特性を、また図３に従来例である紫外線（３６５ｎ
ｍ）照射により基板を接合して作製した光学部品の前記
特性をそれぞれ示す。縦軸が透過率（単位：％）、横軸
が波長（単位：ｎｍ）である。線２１は可視光線照射に
よる基板接合前の分光透過率特性、線２２は可視光線照
射による基板接合後の分光透過率特性、線３１は紫外線
照射による基板接合前の分光透過率特性、線３２は紫外
線照射による基板接合後の分光透過率特性をそれぞれ示
す。
り基板を接合して作製した光学部品の接合前後の分光透
過率特性を、また図３に従来例である紫外線（３６５ｎ
ｍ）照射により基板を接合して作製した光学部品の前記
特性をそれぞれ示す。縦軸が透過率（単位：％）、横軸
が波長（単位：ｎｍ）である。線２１は可視光線照射に
よる基板接合前の分光透過率特性、線２２は可視光線照
射による基板接合後の分光透過率特性、線３１は紫外線
照射による基板接合前の分光透過率特性、線３２は紫外
線照射による基板接合後の分光透過率特性をそれぞれ示
す。
【００２６】紫外線（３６５ｎｍ）照射により基板を接
合して作製した従来の光学部品は、略全体に渡って透過
率が約１０％低下するのに対して、本発明にかかる可視
光照射により基板を接合して作製した光学部品は、透過
率の低下が全く見られない。以上説明したように、本発
明の光学部品は、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、接合面の気泡などの接合状態の不具合がなく、基板
加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低下がなく、
また分光透過率の低下が防止または抑制され、しかも生
産性良く製造できる。
合して作製した従来の光学部品は、略全体に渡って透過
率が約１０％低下するのに対して、本発明にかかる可視
光照射により基板を接合して作製した光学部品は、透過
率の低下が全く見られない。以上説明したように、本発
明の光学部品は、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、接合面の気泡などの接合状態の不具合がなく、基板
加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低下がなく、
また分光透過率の低下が防止または抑制され、しかも生
産性良く製造できる。
【００２７】さらに、本発明の光学部品の製造方法は、
製造の際に光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤
により接合しても、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、接合面の気泡などの接合状態の不具合がなく、基板
加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低下がなく、
また分光透過率の低下を抑制または防止することが可能
であり、しかも生産性が良い。
製造の際に光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤
により接合しても、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、接合面の気泡などの接合状態の不具合がなく、基板
加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低下がなく、
また分光透過率の低下を抑制または防止することが可能
であり、しかも生産性が良い。
【００２８】以下、本発明を実施例により更に詳細に説
明するが、本発明はこの例に限定されるものではない。
明するが、本発明はこの例に限定されるものではない。
【００２９】
【実施例】図１は本実施例の光学部品の概略構成図であ
る。この光学部品の製造過程を以下に示す。まず、石英
基板上１に、真空蒸着法によりＴｉＯ2 とＳｉＯ2 とを
交互に１９層積層させて光学多層膜（光学膜の一例）２
を形成し、さらに光学多層膜２上に可視光硬化型接着剤
３を塗布して、その上に別の石英基板４を気泡が巻き込
まないよう注意深くのせた。
る。この光学部品の製造過程を以下に示す。まず、石英
基板上１に、真空蒸着法によりＴｉＯ2 とＳｉＯ2 とを
交互に１９層積層させて光学多層膜（光学膜の一例）２
を形成し、さらに光学多層膜２上に可視光硬化型接着剤
３を塗布して、その上に別の石英基板４を気泡が巻き込
まないよう注意深くのせた。
【００３０】このとき、仮に気泡が巻き込んだとして
も、塗布する接着剤３を予め少し多めにしておけば、石
英基板４を加圧することにより、余分な接着剤と共に気
泡が押し出される。押し出された接着剤をふき取った
後、両基板１、４が所定の相対位置、相対角度になるよ
うに測定器で計測しながら微調整を行う。所定の位置関
係に追い込めたら、直ちに可視光線を照射して接着剤３
を仮硬化させることにより、両基板を仮接合状態にし
た。
も、塗布する接着剤３を予め少し多めにしておけば、石
英基板４を加圧することにより、余分な接着剤と共に気
泡が押し出される。押し出された接着剤をふき取った
後、両基板１、４が所定の相対位置、相対角度になるよ
うに測定器で計測しながら微調整を行う。所定の位置関
係に追い込めたら、直ちに可視光線を照射して接着剤３
を仮硬化させることにより、両基板を仮接合状態にし
た。
【００３１】この際、照射光の光源は、高強度放電ラン
プ（ＨＩＤランプ）から放射される光をフィルターを用
いて波長４００ｎｍ以上の光としたものを使用し、照射
強度を２０ｍＷ／ｃｍ2 に調整して５秒間の照射を行っ
た。仮接合状態となった両基板１、４の位置ズレや角度
ズレ、接合面の気泡などの接合状態の不具合がないこと
を確認した後、前記光源を用いて、照射強度５ｍＷ／ｃ
ｍ2 に調整した可視光線を約１０分間程度照射して接着
剤３を本硬化させることにより光学部品を完成させた。
プ（ＨＩＤランプ）から放射される光をフィルターを用
いて波長４００ｎｍ以上の光としたものを使用し、照射
強度を２０ｍＷ／ｃｍ2 に調整して５秒間の照射を行っ
た。仮接合状態となった両基板１、４の位置ズレや角度
ズレ、接合面の気泡などの接合状態の不具合がないこと
を確認した後、前記光源を用いて、照射強度５ｍＷ／ｃ
ｍ2 に調整した可視光線を約１０分間程度照射して接着
剤３を本硬化させることにより光学部品を完成させた。
【００３２】なお、本実施例の光学部品にかかる基板接
合前後の分光透過率特性を比較したところ、全く変化が
ないことが確認された。
合前後の分光透過率特性を比較したところ、全く変化が
ないことが確認された。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光学部品
は、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂い、接合面の気
泡などの接合状態の不具合がなく、基板加熱に起因する
基板歪みによる光学性能の低下がなく、また分光透過率
の低下が防止または抑制され、しかも生産性良く製造で
きる。
は、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂い、接合面の気
泡などの接合状態の不具合がなく、基板加熱に起因する
基板歪みによる光学性能の低下がなく、また分光透過率
の低下が防止または抑制され、しかも生産性良く製造で
きる。
【００３４】さらに、本発明の光学部品の製造方法は、
製造の際に光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤
により接合しても、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、接合面の気泡などの接合状態の不具合がなく、基板
加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低下がなく、
また分光透過率の低下を抑制または防止することが可能
であり、しかも生産性が良い。
製造の際に光学膜が形成された基板に別の基板を接着剤
により接合しても、基板同士の位置ズレ、接合角度の狂
い、接合面の気泡などの接合状態の不具合がなく、基板
加熱に起因する基板歪みによる光学性能の低下がなく、
また分光透過率の低下を抑制または防止することが可能
であり、しかも生産性が良い。
【図１】は、実施例の光学部品の概略構成図である。
【図２】は、本発明にかかる光学部品（一例）にかかる
基板接合前後の分光透過率特性を示すデータ図である。
基板接合前後の分光透過率特性を示すデータ図である。
【図３】は、従来の光学部品（一例）にかかる基板接合
前後の分光透過率特性を示すデータ図である。
前後の分光透過率特性を示すデータ図である。
１ 石英基板 ２ 光学多層膜（光学膜の一例） ３ 可視光硬化型接着剤 ４ 石英基板 ２１ 可視光照射による基板接合前の分光透過率特性 ２２ 可視光照射による基板接合後の分光透過率特性 ３１ 紫外線照射による基板接合前の分光透過率特性 ３２ 紫外線照射による基板接合後の分光透過率特性 以上
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０３Ｃ 27/06 １０１ Ｃ０３Ｃ 27/06 １０１Ｈ Ｇ０２Ｂ 7/00 Ｇ０２Ｂ 7/00 Ｇ // Ｇ０２Ｂ 5/20 5/20 5/30 5/30
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも、光学膜が形成された第１基
板と、光学膜が形成された、或いは形成されていない第
２基板と、両基板間の接合層とを有する光学部品におい
て、 前記接合層が可視光硬化型接着剤の硬化層であることを
特徴とする光学部品。 - 【請求項２】 少なくとも、光学膜が形成された第１基
板に、光学膜が形成された、或いは形成されていない第
２基板を接着剤により接合する工程を有する光学部品の
製造方法において、 前記接着剤に３６５ｎｍよりも長波長の光を照射して該
接着剤を硬化させることにより、前記接合を行うことを
特徴とする光学部品の製造方法。 - 【請求項３】 少なくとも、光学膜が形成された第１基
板に、光学膜が形成された、或いは形成されていない第
２基板を接着剤により接合する工程を有する光学部品の
製造方法において、 前記接着剤に可視光を照射して該接着剤を硬化させるこ
とにより、前記接合を行うことを特徴とする光学部品の
製造方法。 - 【請求項４】 前記接着剤として、可視光硬化型接着剤
または紫外線硬化型接着剤を用いたことを特徴とする請
求項２または３記載の光学部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7343478A JPH09183637A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 光学部品及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7343478A JPH09183637A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 光学部品及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09183637A true JPH09183637A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=18361835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7343478A Pending JPH09183637A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 光学部品及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09183637A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998058290A1 (fr) * | 1997-06-16 | 1998-12-23 | San-Yu Sen-I Co., Ltd. | Adaptateur pour jumelles et son procede de fabrication |
| JP2013061655A (ja) * | 2012-10-10 | 2013-04-04 | Three M Innovative Properties Co | 偏光光学体 |
| KR20180004241A (ko) * | 2015-08-04 | 2018-01-10 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 광학 부재의 제조 방법 |
| JP2018187627A (ja) * | 2018-06-21 | 2018-11-29 | 協立化学産業株式会社 | 積層体の製造方法 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP7343478A patent/JPH09183637A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998058290A1 (fr) * | 1997-06-16 | 1998-12-23 | San-Yu Sen-I Co., Ltd. | Adaptateur pour jumelles et son procede de fabrication |
| JP2013061655A (ja) * | 2012-10-10 | 2013-04-04 | Three M Innovative Properties Co | 偏光光学体 |
| KR20180004241A (ko) * | 2015-08-04 | 2018-01-10 | 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 | 광학 부재의 제조 방법 |
| US10689546B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-06-23 | Dexerials Corporation | Method for manufacturing optical member |
| US11124676B2 (en) | 2015-08-04 | 2021-09-21 | Dexerials Corporation | Method for manufacturing optical member |
| JP2018187627A (ja) * | 2018-06-21 | 2018-11-29 | 協立化学産業株式会社 | 積層体の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050913 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060124 |