JPH075307A - 光学部品の製造方法 - Google Patents
光学部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH075307A JPH075307A JP11740294A JP11740294A JPH075307A JP H075307 A JPH075307 A JP H075307A JP 11740294 A JP11740294 A JP 11740294A JP 11740294 A JP11740294 A JP 11740294A JP H075307 A JPH075307 A JP H075307A
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- Japan
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- prism
- prisms
- beam splitter
- alcolate
- silicone
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 石英ガラスプリズム同志の貼り合せ部の屈折
率が石英ガラスの屈折率と等しい光学部品を提供する。 【構成】 プリズム１とプリズム２との貼り合せにシリ
コンアルコレートの加水分解生成物３を用いる。
率が石英ガラスの屈折率と等しい光学部品を提供する。 【構成】 プリズム１とプリズム２との貼り合せにシリ
コンアルコレートの加水分解生成物３を用いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線領域を対象とし
た光学素子同志を、接着剤を用いて接着することにより
光学部品を製造する方法に関する。
た光学素子同志を、接着剤を用いて接着することにより
光学部品を製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、透過光学系に用いられる光学素
子、例えば、レンズ、プリズムの接着にはバルサム、エ
ポキシ系、紫外線硬化型の接着剤が使用されてきた。
子、例えば、レンズ、プリズムの接着にはバルサム、エ
ポキシ系、紫外線硬化型の接着剤が使用されてきた。
【０００３】しかし、これらの接着剤は、紫外線領域
（波長２００ｎｍ〜４００ｎｍ）における光透過率が高
くないため、波長３００ｎｍ以下の領域で用いる光学素
子に対して使用できるものはなかった。また、エキシマ
・レーザーに代表される、エネルギーの高い紫外光に対
しては、接着剤が吸収を起こす結果、接着剤の耐光性が
低く、光学素子の接着ができないという欠点があった。
このため、光学素子の製造過程において、該波長領域で
用いる、光学素子の接着を行なうときにはオプティカル
・コンタクトを用いるのが唯一の方法であった。しかし
ながら、オプティカル・コンタクトをするためには、接
着面の表面粗さが波長の１／１００というように非常に
小さいことが必要である。そのため、光学素子の表面を
十分に平滑になるよう研磨しなければならなかったり、
光学素子上に薄膜を設け、この薄膜を介在するものの場
合には接着性が悪いという欠点があった。
（波長２００ｎｍ〜４００ｎｍ）における光透過率が高
くないため、波長３００ｎｍ以下の領域で用いる光学素
子に対して使用できるものはなかった。また、エキシマ
・レーザーに代表される、エネルギーの高い紫外光に対
しては、接着剤が吸収を起こす結果、接着剤の耐光性が
低く、光学素子の接着ができないという欠点があった。
このため、光学素子の製造過程において、該波長領域で
用いる、光学素子の接着を行なうときにはオプティカル
・コンタクトを用いるのが唯一の方法であった。しかし
ながら、オプティカル・コンタクトをするためには、接
着面の表面粗さが波長の１／１００というように非常に
小さいことが必要である。そのため、光学素子の表面を
十分に平滑になるよう研磨しなければならなかったり、
光学素子上に薄膜を設け、この薄膜を介在するものの場
合には接着性が悪いという欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述従来例
の欠点を除去するためになされたものであり、その目的
は、紫外域の光を吸収しない接着層を設けて光学素子を
接着できる新規な方法を利用した光学部品の製造方法を
提供することにある。
の欠点を除去するためになされたものであり、その目的
は、紫外域の光を吸収しない接着層を設けて光学素子を
接着できる新規な方法を利用した光学部品の製造方法を
提供することにある。
【０００５】
【課題を達成するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合
せる工程を有する光学部品の製造方法において、前記プ
リズム同志の接着を、シリコンアルコレートの加水分解
生成物により行なうことを特徴とする光学部品の製造方
法を提案するものである。
に本発明は、石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合
せる工程を有する光学部品の製造方法において、前記プ
リズム同志の接着を、シリコンアルコレートの加水分解
生成物により行なうことを特徴とする光学部品の製造方
法を提案するものである。
【０００６】
【実施例】以下、実施例に従い本発明を詳しく説明す
る。
る。
【０００７】図１はプリズム・タイプの偏光ビーム・ス
プリッターを示す模式図である。この偏光ビーム・スプ
リッターは、偏光ビーム・スプリッター膜３が成膜され
たプリズム１ともう一つのプリズム２とがＳｉ−アルコ
レートの加水分解生成物４により接着されて形成された
ものである。
プリッターを示す模式図である。この偏光ビーム・スプ
リッターは、偏光ビーム・スプリッター膜３が成膜され
たプリズム１ともう一つのプリズム２とがＳｉ−アルコ
レートの加水分解生成物４により接着されて形成された
ものである。
【０００８】各プリズムは合成石英から成り、一方のプ
リズム１上に設けられた偏光ビーム・スプリッター膜３
は誘電体の多層膜から成り、真空蒸着、スパッター、イ
オンプレーティング等により形成されたものである。こ
の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を図２に示す。
図２で、５は反射率のＰ成分、６は反射率のＳ成分を示
す。なお、この偏光ビーム・スプリッターはＫｒＦ・エ
キシマ・レーザー用のものである。
リズム１上に設けられた偏光ビーム・スプリッター膜３
は誘電体の多層膜から成り、真空蒸着、スパッター、イ
オンプレーティング等により形成されたものである。こ
の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を図２に示す。
図２で、５は反射率のＰ成分、６は反射率のＳ成分を示
す。なお、この偏光ビーム・スプリッターはＫｒＦ・エ
キシマ・レーザー用のものである。
【０００９】上記偏光ビーム・スプリッターの両プリズ
ムを接着するために本発明ではＳｉ−アルコレートを用
いる。Ｓｉ−アルコレートは、加水分解されることによ
り、ガラス状のＳｉＯ2 となり接着能を呈し、且つ紫外
領域の光を実質的に吸収しないものとなるので、このよ
うに接着剤として利用できる。しかもＳｉアルコレート
の加水分解生成物とプリズムを構成する石英ガラスとは
同じ成分であるので、両者の屈折率が一致する上に両者
の親和性も高く強い接着力を示す。
ムを接着するために本発明ではＳｉ−アルコレートを用
いる。Ｓｉ−アルコレートは、加水分解されることによ
り、ガラス状のＳｉＯ2 となり接着能を呈し、且つ紫外
領域の光を実質的に吸収しないものとなるので、このよ
うに接着剤として利用できる。しかもＳｉアルコレート
の加水分解生成物とプリズムを構成する石英ガラスとは
同じ成分であるので、両者の屈折率が一致する上に両者
の親和性も高く強い接着力を示す。
【００１０】Ｓｉ−アルコレートは種々のものが利用で
きるけれども、例えばエチルシリケートＳｉ5 Ｏ4 （Ｏ
Ｃ2 Ｈ5 ）12等を選択すればよい。ただし他にもシリコ
ンテトラエトキサイド：Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）4 等のＳｉ
n Ｏn-1 （ＯＣ2 Ｈ5 ）2n+2に代表されるＳｉn Ｏn-1
（ＯＲ）2n+2（Ｒは置換または非置換の炭化水素基、ｎ
は１以上）やＲn Ｓｉ（ＯＲ）4-n 等のＳｉアルコラー
トが使用できる。
きるけれども、例えばエチルシリケートＳｉ5 Ｏ4 （Ｏ
Ｃ2 Ｈ5 ）12等を選択すればよい。ただし他にもシリコ
ンテトラエトキサイド：Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）4 等のＳｉ
n Ｏn-1 （ＯＣ2 Ｈ5 ）2n+2に代表されるＳｉn Ｏn-1
（ＯＲ）2n+2（Ｒは置換または非置換の炭化水素基、ｎ
は１以上）やＲn Ｓｉ（ＯＲ）4-n 等のＳｉアルコラー
トが使用できる。
【００１１】上に例示されたようなＳｉ−アルコレート
の加水分解の条件、触媒は特に制限はなく、常法に従っ
て加水分解を実施すればよい。
の加水分解の条件、触媒は特に制限はなく、常法に従っ
て加水分解を実施すればよい。
【００１２】加水分解後には溶媒のアルコール、もしく
はエステルが残留するが、低沸点のアルコール、エステ
ル、（例えば、エチルアルコール、硫酸エステル等）
は、接着後揮発する。より積極的にこれを除去するなら
ば、加熱するか真空にすることで処理できる。また接着
に際して接着面にゴミ、ホコリ等の異物や不純物が存在
すると、接着強度が低下したり、レーザー損傷の原因に
なることから、接着においては、接着面を十分クリーニ
ングするとともに、接着剤をロ過して用いるなど、不純
物の除去が必要である。特に作業環境としては、クリー
ンルームが適している。
はエステルが残留するが、低沸点のアルコール、エステ
ル、（例えば、エチルアルコール、硫酸エステル等）
は、接着後揮発する。より積極的にこれを除去するなら
ば、加熱するか真空にすることで処理できる。また接着
に際して接着面にゴミ、ホコリ等の異物や不純物が存在
すると、接着強度が低下したり、レーザー損傷の原因に
なることから、接着においては、接着面を十分クリーニ
ングするとともに、接着剤をロ過して用いるなど、不純
物の除去が必要である。特に作業環境としては、クリー
ンルームが適している。
【００１３】両プリズムを接着するために、Ｓｉ−アル
コレートの加水分解生成物を両プリズムの貼り合わせ面
にコーティングする必要があるが、そのために例えば貼
り合わせの面に滴下、塗布して接着するなどの一般的な
方法も利用できるけれども、接着層を１μｍ程度にまで
薄くするために次の方法が好適である。即ち、両プリズ
ムを接合し、その隙間にＳｉアルコレートの加水分解生
成物を注射器等を利用して注入して、毛細管現象により
両プリズムの接合面全体に加水分解生成物を行き渡らせ
る方法である。この方法において、Ｓｉアルコレートを
接合面上にうまく広げ、かつ膜厚、膜の形成速度をコン
トロールするためにはＳｉ−アルコレートに適当な粘性
をもたらすことが必要である。これは金属アルコレート
を適当に選択した溶液に溶解することにより実現でき
る。この溶液としては、例えばブチルアルコール等の高
沸点アルコールやエステルが利用できる。
コレートの加水分解生成物を両プリズムの貼り合わせ面
にコーティングする必要があるが、そのために例えば貼
り合わせの面に滴下、塗布して接着するなどの一般的な
方法も利用できるけれども、接着層を１μｍ程度にまで
薄くするために次の方法が好適である。即ち、両プリズ
ムを接合し、その隙間にＳｉアルコレートの加水分解生
成物を注射器等を利用して注入して、毛細管現象により
両プリズムの接合面全体に加水分解生成物を行き渡らせ
る方法である。この方法において、Ｓｉアルコレートを
接合面上にうまく広げ、かつ膜厚、膜の形成速度をコン
トロールするためにはＳｉ−アルコレートに適当な粘性
をもたらすことが必要である。これは金属アルコレート
を適当に選択した溶液に溶解することにより実現でき
る。この溶液としては、例えばブチルアルコール等の高
沸点アルコールやエステルが利用できる。
【００１４】一般にＳｉ−アルコレートは、加水分解
後、加熱することによって、脱水、重合が進みＳｉＯ2
非晶質膜へ変化し、光学素子の材料により近いものとな
る。しかし、本発明、特にこの実施例では、加熱を行な
わなくても、接着層は加熱をした場合と同等の光学的特
性を示し且つ実用上十分な接着能を呈するので、加熱の
必要はない。
後、加熱することによって、脱水、重合が進みＳｉＯ2
非晶質膜へ変化し、光学素子の材料により近いものとな
る。しかし、本発明、特にこの実施例では、加熱を行な
わなくても、接着層は加熱をした場合と同等の光学的特
性を示し且つ実用上十分な接着能を呈するので、加熱の
必要はない。
【００１５】本発明を、グラン・トムソン、グラン・テ
ィラー、ウォラストン・プリズム等の製造に適用し、そ
の構成部品をＳｉ−アルコレートの加水分解生成物によ
り接着することにより、従来よりも短波長領域まで使用
できる各種のプリズムを提供することができる。
ィラー、ウォラストン・プリズム等の製造に適用し、そ
の構成部品をＳｉ−アルコレートの加水分解生成物によ
り接着することにより、従来よりも短波長領域まで使用
できる各種のプリズムを提供することができる。
【００１６】また、光学素子同志を接着した光学部品の
みでなく、本発明は、光学部品と金属等からなる光学部
品の製造にも適用できる。
みでなく、本発明は、光学部品と金属等からなる光学部
品の製造にも適用できる。
【００１７】なお、本発明で貼り合わされる光学素子と
は光を集光、反射、屈折、干渉等させる作用を果たすも
の全てを含み、レンズ、プリズムの他に例えばミラー、
グレーティング等を含む。従って、本発明で完成される
光学素子は貼り合わせの工程を製造過程中にもつものを
広く含む。
は光を集光、反射、屈折、干渉等させる作用を果たすも
の全てを含み、レンズ、プリズムの他に例えばミラー、
グレーティング等を含む。従って、本発明で完成される
光学素子は貼り合わせの工程を製造過程中にもつものを
広く含む。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、石英ガラス
より成る光学素子同志の接着剤として、Ｓｉ−アルコレ
ートを用いた本発明では接着力が強く、しかも接着層と
接着基体との屈折率が調和し、その上接着層による紫外
光の吸収がなく透過率が低下しない光学部品が製造でき
る。また、本発明では、オプティカル・コンタクトを利
用した場合に比べて、光学部品の接着力が接着面の粗さ
に影響を受けにくいので、本発明は広範な光学部品の製
造に適用できる。
より成る光学素子同志の接着剤として、Ｓｉ−アルコレ
ートを用いた本発明では接着力が強く、しかも接着層と
接着基体との屈折率が調和し、その上接着層による紫外
光の吸収がなく透過率が低下しない光学部品が製造でき
る。また、本発明では、オプティカル・コンタクトを利
用した場合に比べて、光学部品の接着力が接着面の粗さ
に影響を受けにくいので、本発明は広範な光学部品の製
造に適用できる。
【図１】本発明の一実施例により製造されたプリズム・
タイプの偏光ビーム・スプリッターの断面図である。
タイプの偏光ビーム・スプリッターの断面図である。
【図２】図１の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を
示す図である。
示す図である。
１，２ プリズム ３ プリズム１上に形成された偏光ビーム・スプリッタ
ー膜 ４ Ｓｉ−アルコレートの加水分解生成物の層 ５ 反射率のＰ成分 ６ 反射率のＳ成分
ー膜 ４ Ｓｉ−アルコレートの加水分解生成物の層 ５ 反射率のＰ成分 ６ 反射率のＳ成分
Claims (1)
- 【請求項１】 石英ガラスより成るプリズム同志を貼り
合せる工程を有する光学部品の製造方法において、前記
プリズム同志の接着を、シリコンアルコレートの加水分
解生成物により行なうことを特徴とする光学部品の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6117402A JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6117402A JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13997586A Division JPS62297247A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光学素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075307A true JPH075307A (ja) | 1995-01-10 |
| JP2786996B2 JP2786996B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=14710768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6117402A Expired - Fee Related JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2786996B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998039265A1 (fr) * | 1997-03-04 | 1998-09-11 | Andromis S.A. | Procede et dispositif d'assemblage de composants optiques ou d'un composant optique et d'un substrat |
| US6760533B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-07-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical adhesive composition and optical device |
| KR100452540B1 (ko) * | 2001-02-06 | 2004-10-12 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 광학부재 및 이 광학부재를 사용한 광픽업 |
| WO2005085917A1 (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Glan-thompson type broadband polarizer device for use in the deep ultraviolet spectral range and method of its manufacture |
| JP2006220773A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法 |
| US20080007834A1 (en) * | 2006-07-06 | 2008-01-10 | Takahiro Atsuta | Optical device, two-plate unit, imaging instrument, and endoscope equipped with optical device |
| KR20170100436A (ko) * | 2016-02-25 | 2017-09-04 | 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 | 유리용 접착제, 유리용 접착제의 제조방법 및 유리 접착체의 제조방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6415093B1 (en) | 2000-08-17 | 2002-07-02 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical device and adhesive composition used therefor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0542379A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-02-23 | Komatsu Ltd | Ｙａｇレーザマスクマーカ |
-
1994
- 1994-05-09 JP JP6117402A patent/JP2786996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0542379A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-02-23 | Komatsu Ltd | Ｙａｇレーザマスクマーカ |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998039265A1 (fr) * | 1997-03-04 | 1998-09-11 | Andromis S.A. | Procede et dispositif d'assemblage de composants optiques ou d'un composant optique et d'un substrat |
| US7302142B2 (en) | 1997-03-04 | 2007-11-27 | Andromis S.A. | Method and device for assembling optical components or an optical component and a substrate |
| KR100452540B1 (ko) * | 2001-02-06 | 2004-10-12 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | 광학부재 및 이 광학부재를 사용한 광픽업 |
| US6760533B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-07-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical adhesive composition and optical device |
| WO2005085917A1 (en) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Glan-thompson type broadband polarizer device for use in the deep ultraviolet spectral range and method of its manufacture |
| JP2006220773A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法 |
| US20080007834A1 (en) * | 2006-07-06 | 2008-01-10 | Takahiro Atsuta | Optical device, two-plate unit, imaging instrument, and endoscope equipped with optical device |
| US8203787B2 (en) * | 2006-07-06 | 2012-06-19 | Olympus Corporation | Optical device, two-plate unit, imaging instrument, and endoscope equipped with optical device |
| KR20170100436A (ko) * | 2016-02-25 | 2017-09-04 | 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 | 유리용 접착제, 유리용 접착제의 제조방법 및 유리 접착체의 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2786996B2 (ja) | 1998-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |