JP2786996B2 - 光学部品の製造方法 - Google Patents
光学部品の製造方法Info
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- JP2786996B2 JP2786996B2 JP6117402A JP11740294A JP2786996B2 JP 2786996 B2 JP2786996 B2 JP 2786996B2 JP 6117402 A JP6117402 A JP 6117402A JP 11740294 A JP11740294 A JP 11740294A JP 2786996 B2 JP2786996 B2 JP 2786996B2
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- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、石英ガラスより成るプ
リズム同志を、接着して貼り合せることにより光学部品
を製造する方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】可視光線領域から紫外線領域に亘り高い
光透過率を示すガラスとして石英ガラスがある。この石
英ガラスより成るプリズム同志を貼り合せてビームスプ
リッター等の光学部品を製造する際に、オプティカルコ
ンタクトによりプリズム同志を貼り合せる方法がとられ
ている。オプティカルコンタクトを行う時には、接着面
の表面粗さを波長の１／１００程度の非常に小さい値に
する必要があり、そのため、接着面を十分平滑になるよ
うに研磨するか、接着面上に薄膜を設けなければならな
い。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着面
を十分平滑になるように研磨する場合は光学部品の製造
に手間がかかり、接着面上に薄膜を設ける場合には張り
合せの際の接着性が悪くなるという問題が生じる。そこ
で本発明の目的は、接着面の表面粗さの影響を受けにく
い、石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合せる工程
を有する光学部品の製造方法を提供することにある。 【０００４】 【課題を達成するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合
せる工程を有する光学部品の製造方法において、前記プ
リズム同志の接着を、シリコンアルコレートの加水分解
生成物により行なうことを特徴とする光学部品の製造方
法を提案するものである。 【０００５】 【実施例】以下、実施例に従い本発明を詳しく説明す
る。 【０００６】図１はプリズム・タイプの偏光ビーム・ス
プリッターを示す模式図である。この偏光ビーム・スプ
リッターは、偏光ビーム・スプリッター膜３が成膜され
たプリズム１ともう一つのプリズム２とがＳｉ−アルコ
レートの加水分解生成物４により接着されて形成された
ものである。 【０００７】各プリズムは合成石英から成り、一方のプ
リズム１上に設けられた偏光ビーム・スプリッター膜３
は誘電体の多層膜から成り、真空蒸着、スパッター、イ
オンプレーティング等により形成されたものである。こ
の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を図２に示す。
図２で、５は反射率のＰ成分、６は反射率のＳ成分を示
す。なお、この偏光ビーム・スプリッターはＫｒＦ・エ
キシマ・レーザー用のものである。 【０００８】上記偏光ビーム・スプリッターの両プリズ
ムを接着するために本発明ではＳｉ−アルコレートを用
いる。Ｓｉ−アルコレートは、加水分解されることによ
り、ガラス状のＳｉＯ2 となり接着能を呈するので接着
剤として利用できる。しかもＳｉ−アルコレートの加水
分解生成物とプリズムを構成する石英ガラスとは同じ成
分であるので、両者の屈折率が一致もしくはほぼ一致す
る上に両者の親和性も高く強い接着力を示す。 【０００９】Ｓｉ−アルコレートは種々のものが利用で
きるけれども、例えばエチルシリケートＳｉ5Ｏ4（ＯＣ
2 Ｈ5）12等を選択すればよい。ただし他にもシリコン
テトラエトキサイド：Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4 等のＳｉnＯ
n-1（ＯＣ2Ｈ5）2n+2に代表されるＳｉnＯn-1（ＯＲ）
2n+2（Ｒは置換または非置換の炭化水素基、ｎは１以
上）やＲnＳｉ（ＯＲ）4-n 等のＳｉアルコラートが使
用できる。 【００１０】上に例示されたようなＳｉ−アルコレート
の加水分解の条件、触媒は特に制限はなく、常法に従っ
て加水分解を実施すればよい。 【００１１】加水分解後には溶媒のアルコール、もしく
はエステルが残留するが、低沸点のアルコール、エステ
ル、（例えば、エチルアルコール、硫酸エステル等）
は、接着後揮発する。より積極的にこれを除去するなら
ば、加熱するか真空にすることで処理できる。また接着
に際して接着面にゴミ、ホコリ等の異物や不純物が存在
すると、接着強度が低下したり、レーザー損傷の原因に
なることから、接着においては、接着面を十分クリーニ
ングするとともに、接着剤をロ過して用いるなど、不純
物の除去が必要である。特に作業環境としては、クリー
ンルームが適している。 【００１２】両プリズムを接着するために、Ｓｉ−アル
コレートの加水分解生成物を両プリズムの貼り合わせ面
にコーティングする必要があるが、そのために例えば貼
り合せの面に滴下、塗布して接着するなどの一般的な方
法も利用できるけれども、接着層を１μｍ程度にまで薄
くするために次の方法が好適である。即ち、両プリズム
を接合し、その隙間にＳｉアルコレートの加水分解生成
物を注射器等を利用して注入して、毛細管現象により両
プリズムの接合面全体に加水分解生成物を行き渡らせる
方法である。この方法において、Ｓｉアルコレートを接
合面上にうまく広げ、かつ膜厚、膜の形成速度をコント
ロールするためにはＳｉ−アルコレートに適当な粘性を
もたらすことが必要である。これは金属アルコレートを
適当に選択した溶液に溶解することにより実現できる。
この溶液としては、例えばブチルアルコール等の高沸点
アルコールやエステルが利用できる。 【００１３】一般にＳｉ−アルコレートは、加水分解
後、加熱することによって、脱水、重合が進みＳｉＯ2
非晶質膜へ変化し、光学部品の材料により近いものとな
る。しかし、本発明、特にこの実施例では、加熱を行な
わなくても、接着層は加熱をした場合と同等の光学的特
性を示し且つ実用上十分な接着能を呈するので、加熱の
必要はない。 【００１４】本発明を、グラン・トムソン、グラン・テ
ィラー、ウォラストン・プリズム等の製造に適用し、そ
の構成部品をＳｉ−アルコレートの加水分解生成物によ
り接着することにより、従来よりも短波長領域側へより
広い波長領域において使用できる各種のプリズムを提供
することができる。 【００１５】 【発明の効果】以上詳細に説明したように、石英ガラス
より成るプリズム同志の貼り合せに、接着剤としてＳｉ
−アルコレートの加水分解生成物を用いた本発明では、
接着力が強く、しかも接着層と接着基体との屈折率が調
和する。また、本発明では、オプティカルコンタクトを
利用した場合に比べて、光学部品同志の接着力が接着面
の粗さに影響を受けにくいという効果がある。
リズム同志を、接着して貼り合せることにより光学部品
を製造する方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】可視光線領域から紫外線領域に亘り高い
光透過率を示すガラスとして石英ガラスがある。この石
英ガラスより成るプリズム同志を貼り合せてビームスプ
リッター等の光学部品を製造する際に、オプティカルコ
ンタクトによりプリズム同志を貼り合せる方法がとられ
ている。オプティカルコンタクトを行う時には、接着面
の表面粗さを波長の１／１００程度の非常に小さい値に
する必要があり、そのため、接着面を十分平滑になるよ
うに研磨するか、接着面上に薄膜を設けなければならな
い。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着面
を十分平滑になるように研磨する場合は光学部品の製造
に手間がかかり、接着面上に薄膜を設ける場合には張り
合せの際の接着性が悪くなるという問題が生じる。そこ
で本発明の目的は、接着面の表面粗さの影響を受けにく
い、石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合せる工程
を有する光学部品の製造方法を提供することにある。 【０００４】 【課題を達成するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合
せる工程を有する光学部品の製造方法において、前記プ
リズム同志の接着を、シリコンアルコレートの加水分解
生成物により行なうことを特徴とする光学部品の製造方
法を提案するものである。 【０００５】 【実施例】以下、実施例に従い本発明を詳しく説明す
る。 【０００６】図１はプリズム・タイプの偏光ビーム・ス
プリッターを示す模式図である。この偏光ビーム・スプ
リッターは、偏光ビーム・スプリッター膜３が成膜され
たプリズム１ともう一つのプリズム２とがＳｉ−アルコ
レートの加水分解生成物４により接着されて形成された
ものである。 【０００７】各プリズムは合成石英から成り、一方のプ
リズム１上に設けられた偏光ビーム・スプリッター膜３
は誘電体の多層膜から成り、真空蒸着、スパッター、イ
オンプレーティング等により形成されたものである。こ
の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を図２に示す。
図２で、５は反射率のＰ成分、６は反射率のＳ成分を示
す。なお、この偏光ビーム・スプリッターはＫｒＦ・エ
キシマ・レーザー用のものである。 【０００８】上記偏光ビーム・スプリッターの両プリズ
ムを接着するために本発明ではＳｉ−アルコレートを用
いる。Ｓｉ−アルコレートは、加水分解されることによ
り、ガラス状のＳｉＯ2 となり接着能を呈するので接着
剤として利用できる。しかもＳｉ−アルコレートの加水
分解生成物とプリズムを構成する石英ガラスとは同じ成
分であるので、両者の屈折率が一致もしくはほぼ一致す
る上に両者の親和性も高く強い接着力を示す。 【０００９】Ｓｉ−アルコレートは種々のものが利用で
きるけれども、例えばエチルシリケートＳｉ5Ｏ4（ＯＣ
2 Ｈ5）12等を選択すればよい。ただし他にもシリコン
テトラエトキサイド：Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4 等のＳｉnＯ
n-1（ＯＣ2Ｈ5）2n+2に代表されるＳｉnＯn-1（ＯＲ）
2n+2（Ｒは置換または非置換の炭化水素基、ｎは１以
上）やＲnＳｉ（ＯＲ）4-n 等のＳｉアルコラートが使
用できる。 【００１０】上に例示されたようなＳｉ−アルコレート
の加水分解の条件、触媒は特に制限はなく、常法に従っ
て加水分解を実施すればよい。 【００１１】加水分解後には溶媒のアルコール、もしく
はエステルが残留するが、低沸点のアルコール、エステ
ル、（例えば、エチルアルコール、硫酸エステル等）
は、接着後揮発する。より積極的にこれを除去するなら
ば、加熱するか真空にすることで処理できる。また接着
に際して接着面にゴミ、ホコリ等の異物や不純物が存在
すると、接着強度が低下したり、レーザー損傷の原因に
なることから、接着においては、接着面を十分クリーニ
ングするとともに、接着剤をロ過して用いるなど、不純
物の除去が必要である。特に作業環境としては、クリー
ンルームが適している。 【００１２】両プリズムを接着するために、Ｓｉ−アル
コレートの加水分解生成物を両プリズムの貼り合わせ面
にコーティングする必要があるが、そのために例えば貼
り合せの面に滴下、塗布して接着するなどの一般的な方
法も利用できるけれども、接着層を１μｍ程度にまで薄
くするために次の方法が好適である。即ち、両プリズム
を接合し、その隙間にＳｉアルコレートの加水分解生成
物を注射器等を利用して注入して、毛細管現象により両
プリズムの接合面全体に加水分解生成物を行き渡らせる
方法である。この方法において、Ｓｉアルコレートを接
合面上にうまく広げ、かつ膜厚、膜の形成速度をコント
ロールするためにはＳｉ−アルコレートに適当な粘性を
もたらすことが必要である。これは金属アルコレートを
適当に選択した溶液に溶解することにより実現できる。
この溶液としては、例えばブチルアルコール等の高沸点
アルコールやエステルが利用できる。 【００１３】一般にＳｉ−アルコレートは、加水分解
後、加熱することによって、脱水、重合が進みＳｉＯ2
非晶質膜へ変化し、光学部品の材料により近いものとな
る。しかし、本発明、特にこの実施例では、加熱を行な
わなくても、接着層は加熱をした場合と同等の光学的特
性を示し且つ実用上十分な接着能を呈するので、加熱の
必要はない。 【００１４】本発明を、グラン・トムソン、グラン・テ
ィラー、ウォラストン・プリズム等の製造に適用し、そ
の構成部品をＳｉ−アルコレートの加水分解生成物によ
り接着することにより、従来よりも短波長領域側へより
広い波長領域において使用できる各種のプリズムを提供
することができる。 【００１５】 【発明の効果】以上詳細に説明したように、石英ガラス
より成るプリズム同志の貼り合せに、接着剤としてＳｉ
−アルコレートの加水分解生成物を用いた本発明では、
接着力が強く、しかも接着層と接着基体との屈折率が調
和する。また、本発明では、オプティカルコンタクトを
利用した場合に比べて、光学部品同志の接着力が接着面
の粗さに影響を受けにくいという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例により製造されたプリズム・
タイプの偏光ビーム・スプリッターの断面図である。 【図２】図１の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を
示す図である。 【符号の説明】 １，２ プリズム ３ プリズム１上に形成された偏光ビーム・スプリッタ
ー膜 ４ Ｓｉ−アルコレートの加水分解生成物の層 ５ 反射率のＰ成分 ６ 反射率のＳ成分
タイプの偏光ビーム・スプリッターの断面図である。 【図２】図１の偏光ビーム・スプリッターの分光特性を
示す図である。 【符号の説明】 １，２ プリズム ３ プリズム１上に形成された偏光ビーム・スプリッタ
ー膜 ４ Ｓｉ−アルコレートの加水分解生成物の層 ５ 反射率のＰ成分 ６ 反射率のＳ成分
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．石英ガラスより成るプリズム同志を貼り合せる工程
を有する光学部品の製造方法において、前記プリズム同
志の接着を、シリコンアルコレートの加水分解生成物に
より行なうことを特徴とする光学部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6117402A JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6117402A JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13997586A Division JPS62297247A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光学素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075307A JPH075307A (ja) | 1995-01-10 |
| JP2786996B2 true JP2786996B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=14710768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6117402A Expired - Fee Related JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2786996B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6415093B1 (en) | 2000-08-17 | 2002-07-02 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical device and adhesive composition used therefor |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000509853A (ja) * | 1997-03-04 | 2000-08-02 | アンドロミス エス．アー． | 複数の光学的コンポーネントまたは一個の光学的コンポーネントと基板のアセンブリー法および装置 |
| JP3779880B2 (ja) * | 2001-02-06 | 2006-05-31 | アルプス電気株式会社 | 光学部材および前記光学部材を用いた光ピックアップ |
| US6760533B2 (en) | 2001-04-06 | 2004-07-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical adhesive composition and optical device |
| IL161196A0 (en) * | 2004-03-04 | 2005-11-20 | Nova Measuring Instr Ltd | Polarizer device and method of its manufacture |
| JP2006220773A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法 |
| JP5047547B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2012-10-10 | オリンパス株式会社 | 光学素子、この光学素子を備える２板ユニット、撮像機器、及び内視鏡 |
| JP6595935B2 (ja) * | 2016-02-25 | 2019-10-23 | 信越石英株式会社 | ガラス用接着剤、ガラス用接着剤の製造方法及びガラス接着体の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2701183B2 (ja) * | 1991-08-09 | 1998-01-21 | 株式会社小松製作所 | 液晶マスク式レーザマーカ |
-
1994
- 1994-05-09 JP JP6117402A patent/JP2786996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6415093B1 (en) | 2000-08-17 | 2002-07-02 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical device and adhesive composition used therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH075307A (ja) | 1995-01-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |