JPH0429621B2 - - Google Patents
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- JPH0429621B2 JPH0429621B2 JP59184706A JP18470684A JPH0429621B2 JP H0429621 B2 JPH0429621 B2 JP H0429621B2 JP 59184706 A JP59184706 A JP 59184706A JP 18470684 A JP18470684 A JP 18470684A JP H0429621 B2 JPH0429621 B2 JP H0429621B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/04—Interconnection of layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
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- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
- B32B9/04—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising such particular substance as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
- C03C27/06—Joining glass to glass by processes other than fusing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
-
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は第1部材と第2部材との間に1個以上
の固体層を設けて前記第1部材と前記第2部材と
を結合する方法に関するものである。
の固体層を設けて前記第1部材と前記第2部材と
を結合する方法に関するものである。
このような方法は西独国特許出願公開第
2923011号公報に開示されており、この公報には
2個の石英部材を結合する方法が記載されてい
る。2個の石英部材の間に厚さ0.001mm〜0.2mmの
アルミニウム層を設け、しかる後に石英部材をア
ルミニウムの融点(600〜640℃)に加熱し、真空
中で5〜15N/mm2の圧力下に押圧する。しかし、
石英部材をこのような高温に加熱するのは望まし
くないことが多い。この理由は、例えば、反射性
層がなお石英部材上に存在しており、これらの反
射性層がこのような高温に耐えることができない
からである。これらの石英部材間の間隙を正確に
調節することはいずれにせよ不可能である。
2923011号公報に開示されており、この公報には
2個の石英部材を結合する方法が記載されてい
る。2個の石英部材の間に厚さ0.001mm〜0.2mmの
アルミニウム層を設け、しかる後に石英部材をア
ルミニウムの融点(600〜640℃)に加熱し、真空
中で5〜15N/mm2の圧力下に押圧する。しかし、
石英部材をこのような高温に加熱するのは望まし
くないことが多い。この理由は、例えば、反射性
層がなお石英部材上に存在しており、これらの反
射性層がこのような高温に耐えることができない
からである。これらの石英部材間の間隙を正確に
調節することはいずれにせよ不可能である。
米国特許3387226号および「フイジクス・レタ
ース(Physics Letters)」第2巻第7号第340〜
341頁:「ア・スモール・アンド・ステエイブル・
コンテイニユアス・ガス・レーザー(A Small
and Stable Continous Gas Laser)」には、密
着させること(wringing in contact)により2
個の部材を真空密に結合することが開示されてい
る。
ース(Physics Letters)」第2巻第7号第340〜
341頁:「ア・スモール・アンド・ステエイブル・
コンテイニユアス・ガス・レーザー(A Small
and Stable Continous Gas Laser)」には、密
着させること(wringing in contact)により2
個の部材を真空密に結合することが開示されてい
る。
ここに、「密着させること(wringing in
contact)」とは、研摩し光学的にすつた2個の平
行な表面(two polished optically−ground
parallel surfaces)を互いに対向させて配置し、
これらの2個の表面の間の接着力によつてこれら
の2個の表面の間に自然結合(spontaneous
bond)を形成する方法を意味する。また、密着
性(wringability)とは、2個の表面を互いに対
向させて配置した場合に2個の表面が結合を形成
する容易さを意味する。この場合に、この米国特
許は狭い通路が設けられていてそのなかにガス状
レーザー媒体を収容している石英ブロツクに結合
されているレーザーのミラー支持部に関するもの
である。部材を結合するかかる方法の欠点は部材
間の間隙を調節できないこである。
contact)」とは、研摩し光学的にすつた2個の平
行な表面(two polished optically−ground
parallel surfaces)を互いに対向させて配置し、
これらの2個の表面の間の接着力によつてこれら
の2個の表面の間に自然結合(spontaneous
bond)を形成する方法を意味する。また、密着
性(wringability)とは、2個の表面を互いに対
向させて配置した場合に2個の表面が結合を形成
する容易さを意味する。この場合に、この米国特
許は狭い通路が設けられていてそのなかにガス状
レーザー媒体を収容している石英ブロツクに結合
されているレーザーのミラー支持部に関するもの
である。部材を結合するかかる方法の欠点は部材
間の間隙を調節できないこである。
従つて本発明の目的は高温および高圧を必要と
せずかつ2個の部材間の間隙を正確に調節するこ
とができる2個の部材を結合する方法を提供する
ことにある。
せずかつ2個の部材間の間隙を正確に調節するこ
とができる2個の部材を結合する方法を提供する
ことにある。
このために、本発明は、冒頭に記載した方法に
おいて、前記第1部材および前記第2部材の少く
とも一方に1個以上の固体層を設け、前記固体層
の厚さの減少が無視できる程度である研摩処理に
より前記固体層を活性化し、しかる後に前記第1
部材の活性化表面にこれと同様に活性化した前記
第2部材の表面を密着させることにより結合する
ことを特徴とする。
おいて、前記第1部材および前記第2部材の少く
とも一方に1個以上の固体層を設け、前記固体層
の厚さの減少が無視できる程度である研摩処理に
より前記固体層を活性化し、しかる後に前記第1
部材の活性化表面にこれと同様に活性化した前記
第2部材の表面を密着させることにより結合する
ことを特徴とする。
結合しようとする部材の1個以上の上に1個以
上の層を例えば蒸着することにより設け、次いで
接触表面を研摩処理によつて活性化した後に前記
層に密着させることにより、部材間の間隙を正確
に調節することができる。
上の層を例えば蒸着することにより設け、次いで
接触表面を研摩処理によつて活性化した後に前記
層に密着させることにより、部材間の間隙を正確
に調節することができる。
前記第1部材と前記第2部材との間に、これら
の部材の材料の屈折率とは異なる屈折率を有する
1個以上の層を設けることができる。この層はア
モルフアス層例えばSiO2層、または多結晶質層
例えばTiO2、MgF2、Al2O3、GaO3、HfO2また
はZnSの層とすることができる。この層はエピタ
キシヤル単結晶質層、例えば、「Appl.Phys.
Lett.」42(12)、1983年6月15日、第1037頁以降に
記載されているようなGaP上のSi、または
「Appl.Phys.Lett.」42(10)、1983年5月15日、第
867頁以降に記載されているようなサフアイア上
の(PbLa)(ZrTi)O3とすることができる。
の部材の材料の屈折率とは異なる屈折率を有する
1個以上の層を設けることができる。この層はア
モルフアス層例えばSiO2層、または多結晶質層
例えばTiO2、MgF2、Al2O3、GaO3、HfO2また
はZnSの層とすることができる。この層はエピタ
キシヤル単結晶質層、例えば、「Appl.Phys.
Lett.」42(12)、1983年6月15日、第1037頁以降に
記載されているようなGaP上のSi、または
「Appl.Phys.Lett.」42(10)、1983年5月15日、第
867頁以降に記載されているようなサフアイア上
の(PbLa)(ZrTi)O3とすることができる。
密着は、例えば、いくつかの二色性層に対して
行うことができる。例えば、1個の石英部材を、
他の石英部材上に交互に設けたSiO2層(n=
1.47)とTiO2層(n=2.5)とからなる43個の層
から構成されていて3.22μmの厚さを有する積み
重ねに密着できることが分つた。
行うことができる。例えば、1個の石英部材を、
他の石英部材上に交互に設けたSiO2層(n=
1.47)とTiO2層(n=2.5)とからなる43個の層
から構成されていて3.22μmの厚さを有する積み
重ねに密着できることが分つた。
しかし、またインジウム・錫酸化物層に圧接す
ることができ、あるいは密着させる相手である二
色性層の積み重ね中にインジウム・錫酸化物層を
混入することができる。かかるインジウム・錫酸
化物層は導電性であるので、例えば、インジウム
−錫酸化物層を介在させて本発明方法により放電
管部材を結合してなる放電管におけるリードスル
ーとして使用することができる。これらの部材
は、例えば、撮像管の容器の窓および円筒形壁と
することができる。
ることができ、あるいは密着させる相手である二
色性層の積み重ね中にインジウム・錫酸化物層を
混入することができる。かかるインジウム・錫酸
化物層は導電性であるので、例えば、インジウム
−錫酸化物層を介在させて本発明方法により放電
管部材を結合してなる放電管におけるリードスル
ーとして使用することができる。これらの部材
は、例えば、撮像管の容器の窓および円筒形壁と
することができる。
部材間または層の積み重ね中に1個以上の磁気
光学層を設けることができる。この例は「Physi
−ca Status Solidi」A13 493〜498(1972):B.
W.Delf、A.GreenおよびR.J.Stevens“Sputtering
at YIG thin films from a powder mixture
of iron oxi de and yttrium oxide”中に記載
されているような厚さ2μmのイツトリウム鉄ガ
ーネツト(YIG)層である。
光学層を設けることができる。この例は「Physi
−ca Status Solidi」A13 493〜498(1972):B.
W.Delf、A.GreenおよびR.J.Stevens“Sputtering
at YIG thin films from a powder mixture
of iron oxi de and yttrium oxide”中に記載
されているような厚さ2μmのイツトリウム鉄ガ
ーネツト(YIG)層である。
部材間または層の積み重ね中に1個以上の電気
光学層を設けることも可能である。電気光学層の
場合には電極として作用する2個のインジウム・
錫酸化物層の間に電気光学層を組入れることがで
きる。かかる電気光学層は後述のようにレンズま
たはレンズ系に組入れることができる。かかる電
気光学層は、例えば、「Ferroelectrics」(1978)、
第22巻、第775〜777頁および「J.Vac.Sci.
Technol」16(2)、3月/4月号(1979)第315頁
以降に記載されているようなBaTiO3のスパツタ
薄層、または「Ap−pl.Phys.Lett.」42(10)1983年
5月15日、第867頁以降に記載されているような
(Pb、La)(Zr、Ti)O3のスパツタ・エピタキシ
ヤル薄層からなる。
光学層を設けることも可能である。電気光学層の
場合には電極として作用する2個のインジウム・
錫酸化物層の間に電気光学層を組入れることがで
きる。かかる電気光学層は後述のようにレンズま
たはレンズ系に組入れることができる。かかる電
気光学層は、例えば、「Ferroelectrics」(1978)、
第22巻、第775〜777頁および「J.Vac.Sci.
Technol」16(2)、3月/4月号(1979)第315頁
以降に記載されているようなBaTiO3のスパツタ
薄層、または「Ap−pl.Phys.Lett.」42(10)1983年
5月15日、第867頁以降に記載されているような
(Pb、La)(Zr、Ti)O3のスパツタ・エピタキシ
ヤル薄層からなる。
いずれの場合でも、結合しようとする表面を軽
微な研摩処理によつて活性化する場合にのみ、密
着させることが可能である。軽微な研摩処理と
は、層厚さまたは結合しようとする表面の減少が
無視できる程度である「新鮮」な表面を作る研摩
処理である。かかる軽微な研摩処理は酸化セリウ
ム粉末を用いて1分未満の間行うのが好ましい。
微な研摩処理によつて活性化する場合にのみ、密
着させることが可能である。軽微な研摩処理と
は、層厚さまたは結合しようとする表面の減少が
無視できる程度である「新鮮」な表面を作る研摩
処理である。かかる軽微な研摩処理は酸化セリウ
ム粉末を用いて1分未満の間行うのが好ましい。
層で完全に被覆されている部材の場合にもこの
技術を使用できるのは明らかである。しかし、ま
た部材上にあるパターン(例えば、リング)の形
態に設けられている層または積み重ねに圧接する
こともできる。シールを形成する環状パターンに
小さいくぼみを作つた場合には、例えばヘリウム
の場合に、容易に限定できるガスの漏出が可態に
なる。また、例えば、厚さ2μmのSiO2層を二色
性層の積み重ねの上に蒸着させることができる。
SiO2の代りに蒸着ガラス、例えば、シヨツト
(Schott)8329(n=1.52)も使用できる。シヨツ
ト8329はSchott Glassworksの商品名である。部
材を密着させる相手である層の積み重ねは、多層
ミラー、例えば、ガス放電レーザーの場合の光学
フイルターおよびリフレクターに使用されるよう
な多層ミラーの一部を形成することができる。
技術を使用できるのは明らかである。しかし、ま
た部材上にあるパターン(例えば、リング)の形
態に設けられている層または積み重ねに圧接する
こともできる。シールを形成する環状パターンに
小さいくぼみを作つた場合には、例えばヘリウム
の場合に、容易に限定できるガスの漏出が可態に
なる。また、例えば、厚さ2μmのSiO2層を二色
性層の積み重ねの上に蒸着させることができる。
SiO2の代りに蒸着ガラス、例えば、シヨツト
(Schott)8329(n=1.52)も使用できる。シヨツ
ト8329はSchott Glassworksの商品名である。部
材を密着させる相手である層の積み重ねは、多層
ミラー、例えば、ガス放電レーザーの場合の光学
フイルターおよびリフレクターに使用されるよう
な多層ミラーの一部を形成することができる。
第1a図は光学フイルターの構成部材の断面図
である。ガラス部材1および2の上にそれぞれミ
ラー3および4からなる二色性層を蒸着させる。
これらの二色性層は所定の波長範囲の場合に99%
以上の反射率を有する。ガラス部材1は中央部5
と同軸部6とからなり、同軸部6はミラー3の変
形を防止するよう同軸みぞ孔7によつて中央部5
から分離されている。二色性層8の積み重ねを同
軸部6上に中央部5上におけると同様に蒸着さ
せ、同軸部6上の積み重ねを中央部5上の積み重
ねと同じ厚さにする。ある厚さ例えば0.5μmの厚
さを有する蒸着ガラスのリング9を部材2上のミ
ラー4上に設けてミラー3と4との間の間隙を正
確に調節できるようにする。次いでリング9およ
び二色性層8を酸化セリウム(CeO2)で軽微に
研摩することにより1分未満の間活性化し、しか
る後にこれらを互に対向させて配置する(第1b
図)。この結果密着させることにより結合が達成
される。すなわち、リング9とこれに対向する層
8との間の接着力によつて自然結合が形成する。
酸化セリウムで軽微な研摩処理を行つた結果であ
る層の厚さの減少は無視できる程小さい。しか
し、かかる軽微な研摩処理は密着性にとつて極め
て有効である。実際に研摩は表面の(化学的)活
性化に役立つ。表面の化学的活性化は表面の密着
性(wringability)を改善するので、リング9と
これに対向する層8との間に自然結合が一層容易
に形成し、その強度は一層大きくなる。
である。ガラス部材1および2の上にそれぞれミ
ラー3および4からなる二色性層を蒸着させる。
これらの二色性層は所定の波長範囲の場合に99%
以上の反射率を有する。ガラス部材1は中央部5
と同軸部6とからなり、同軸部6はミラー3の変
形を防止するよう同軸みぞ孔7によつて中央部5
から分離されている。二色性層8の積み重ねを同
軸部6上に中央部5上におけると同様に蒸着さ
せ、同軸部6上の積み重ねを中央部5上の積み重
ねと同じ厚さにする。ある厚さ例えば0.5μmの厚
さを有する蒸着ガラスのリング9を部材2上のミ
ラー4上に設けてミラー3と4との間の間隙を正
確に調節できるようにする。次いでリング9およ
び二色性層8を酸化セリウム(CeO2)で軽微に
研摩することにより1分未満の間活性化し、しか
る後にこれらを互に対向させて配置する(第1b
図)。この結果密着させることにより結合が達成
される。すなわち、リング9とこれに対向する層
8との間の接着力によつて自然結合が形成する。
酸化セリウムで軽微な研摩処理を行つた結果であ
る層の厚さの減少は無視できる程小さい。しか
し、かかる軽微な研摩処理は密着性にとつて極め
て有効である。実際に研摩は表面の(化学的)活
性化に役立つ。表面の化学的活性化は表面の密着
性(wringability)を改善するので、リング9と
これに対向する層8との間に自然結合が一層容易
に形成し、その強度は一層大きくなる。
第2図はレンズの断面図である。このレンズは
2個のガラスレンズ半部20および21を具え
る。レンズ半部20上に厚さ0.5μmのインジウム
−錫酸化物層22を設け、この層の上に厚さ2μ
mのBaTiO3層23を設け、この層の上に再度厚
さ0.5μmのインジウム・錫酸化物層24を設け
る。層24を酸化セリウムで軽微に研摩し、次い
でレンズ部材21の同様に軽微に研摩した面25
を層24に圧接により結合する。層22と層24
との間に適当な電位差を印加することにより、層
23を分極状態にすることができる。従来、レン
ズおよびレンズ部材は接着剤(例えば、レンズボ
ンドタイプM62、米国ペンシルベニア州19034、
フオートワシントン所在のサマース・ラボラトリ
ース・コーポレーテツド・オプテイカルデイビジ
ヨンのタイプ表示)により結合されていた。密着
による結合は、接着剤を用いた接着部の場合と較
べて耐久性が一層大きく、結合部中への汚れの侵
入が著しく少ない。
2個のガラスレンズ半部20および21を具え
る。レンズ半部20上に厚さ0.5μmのインジウム
−錫酸化物層22を設け、この層の上に厚さ2μ
mのBaTiO3層23を設け、この層の上に再度厚
さ0.5μmのインジウム・錫酸化物層24を設け
る。層24を酸化セリウムで軽微に研摩し、次い
でレンズ部材21の同様に軽微に研摩した面25
を層24に圧接により結合する。層22と層24
との間に適当な電位差を印加することにより、層
23を分極状態にすることができる。従来、レン
ズおよびレンズ部材は接着剤(例えば、レンズボ
ンドタイプM62、米国ペンシルベニア州19034、
フオートワシントン所在のサマース・ラボラトリ
ース・コーポレーテツド・オプテイカルデイビジ
ヨンのタイプ表示)により結合されていた。密着
による結合は、接着剤を用いた接着部の場合と較
べて耐久性が一層大きく、結合部中への汚れの侵
入が著しく少ない。
第3図はガラスフアイバー通信装置およびレー
ザービームによつて光学情報キヤリヤーを読取る
所謂レーザービジヨン装置に使用される偏光ビー
ムスリツタの断面図である。このビームスリツタ
は第1ガラスプリズム30と第2ガラスプリズム
31とからなる。これらのプリズムのガラスは屈
折率1.52(n=1.52)である。交互に設けたMgO
層(n=1.7)とMgF2層(n=1.4)とからなる
19個の層から構成されていてλ/4の光学的厚さ
を有する層の積し重ね32をプリズム30上に設
ける。またこの系は次のように表わすことができ
る: ガラス(HL)9Hガラス この式中のHはMgO層、LはMgF2層を示す。
最後のH層(MgO層)および第2プリズムの表
面33を軽微に研摩した後に、第2プリズムを最
後のH層に密着させることにより結合する。
ザービームによつて光学情報キヤリヤーを読取る
所謂レーザービジヨン装置に使用される偏光ビー
ムスリツタの断面図である。このビームスリツタ
は第1ガラスプリズム30と第2ガラスプリズム
31とからなる。これらのプリズムのガラスは屈
折率1.52(n=1.52)である。交互に設けたMgO
層(n=1.7)とMgF2層(n=1.4)とからなる
19個の層から構成されていてλ/4の光学的厚さ
を有する層の積し重ね32をプリズム30上に設
ける。またこの系は次のように表わすことができ
る: ガラス(HL)9Hガラス この式中のHはMgO層、LはMgF2層を示す。
最後のH層(MgO層)および第2プリズムの表
面33を軽微に研摩した後に、第2プリズムを最
後のH層に密着させることにより結合する。
第1a図および第1b図はそれぞれ光学フイル
タの2個の構成部材およびこれらの部材から本発
明方法により形成した光学フイルタの一例の側立
断面図、第2図は本発明方法により形成した電気
光学層を有するレンズの一例の断面図、第3図は
本発明方法により形成した偏光ビームスリツタの
一例の断面図である。 1,2……ガラス部材、3,4……ミラー、5
……中央部、6……同軸部、7……同軸みぞ孔、
8……二色性層、9……リング、20,21……
レンズ半部(レンズ部材)、22,24……イン
ジウム・錫酸化物層、23……BaTiO3層、25
……研摩面、30……第1プリズム、31……第
2プリズム、32……層の積み重ね、33……第
2プリズムの表面。
タの2個の構成部材およびこれらの部材から本発
明方法により形成した光学フイルタの一例の側立
断面図、第2図は本発明方法により形成した電気
光学層を有するレンズの一例の断面図、第3図は
本発明方法により形成した偏光ビームスリツタの
一例の断面図である。 1,2……ガラス部材、3,4……ミラー、5
……中央部、6……同軸部、7……同軸みぞ孔、
8……二色性層、9……リング、20,21……
レンズ半部(レンズ部材)、22,24……イン
ジウム・錫酸化物層、23……BaTiO3層、25
……研摩面、30……第1プリズム、31……第
2プリズム、32……層の積み重ね、33……第
2プリズムの表面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 第1部材と第2部材との間に1個以上の固体
層を設けて前記第1部材と前記第2部材とを結合
するに当り、 前記第1部材および前記第2部材の少くとも一
方に1個以上の固体層を設け、 前記固体層の厚さの減少が無視できる程度であ
る研摩処理により前記固体層を活性化し、 しかる後に前記第1部材の活性化表面にこれと
同様に活性化した前記第2部材の表面を密着させ
ることにより結合する ことを特徴とする2個の部材を結合する方法。 2 前記第1部材と前記第2部材との間に、これ
らの部材の材料の屈折率とは異なる屈折率を有す
る1個以上の層を設ける特許請求の範囲第1項記
載の方法。 3 前記第1部材と前記第2部材との間に1個以
上のインジウム−錫酸化物層を設ける特許請求の
範囲第1項または第2項記載の方法。 4 前記第1部材と前記第2部材との間に1個以
上の磁気光学層を設ける特許請求の範囲第1〜3
項のいずれか一つの項に記載の方法。 5 前記第1部材と前記第2部材との間に1個以
上の電気光学層を設ける特許請求の範囲第1〜3
項のいずれか一つの項に記載の方法。 6 2個インジウム・錫酸化物層の間に1個以上
の電気光学層を設ける特許請求の範囲第5項記載
の方法。 7 軽微な研摩処理において研摩媒体として酸化
セリウム(CeO2)を使用する特許請求の範囲第
1〜6項のいずれか一つの項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8303109A NL8303109A (nl) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | Werkwijze voor het aan elkaar bevestigen van twee delen. |
NL8303109 | 1983-09-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6096550A JPS6096550A (ja) | 1985-05-30 |
JPH0429621B2 true JPH0429621B2 (ja) | 1992-05-19 |
Family
ID=19842372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59184706A Granted JPS6096550A (ja) | 1983-09-08 | 1984-09-05 | 2個の部材を結合する方法 |
Country Status (6)
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---|---|
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EP (1) | EP0137537B1 (ja) |
JP (1) | JPS6096550A (ja) |
CA (1) | CA1269518A (ja) |
DE (1) | DE3467749D1 (ja) |
NL (1) | NL8303109A (ja) |
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NL8801638A (nl) * | 1988-06-28 | 1990-01-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het aan elkaar bevestigen van twee lichamen. |
US5852622A (en) * | 1988-08-30 | 1998-12-22 | Onyx Optics, Inc. | Solid state lasers with composite crystal or glass components |
US5563899A (en) * | 1988-08-30 | 1996-10-08 | Meissner; Helmuth E. | Composite solid state lasers of improved efficiency and beam quality |
US5441803A (en) * | 1988-08-30 | 1995-08-15 | Onyx Optics | Composites made from single crystal substances |
US5846638A (en) * | 1988-08-30 | 1998-12-08 | Onyx Optics, Inc. | Composite optical and electro-optical devices |
US5383993A (en) * | 1989-09-01 | 1995-01-24 | Nippon Soken Inc. | Method of bonding semiconductor substrates |
US5259894A (en) * | 1990-01-26 | 1993-11-09 | Sampson Richard K | Method for solvent bonding non-porous materials to automatically create variable bond characteristics |
JPH0636413B2 (ja) * | 1990-03-29 | 1994-05-11 | 信越半導体株式会社 | 半導体素子形成用基板の製造方法 |
USRE36890E (en) * | 1990-07-31 | 2000-10-03 | Motorola, Inc. | Gradient chuck method for wafer bonding employing a convex pressure |
US5131968A (en) * | 1990-07-31 | 1992-07-21 | Motorola, Inc. | Gradient chuck method for wafer bonding employing a convex pressure |
US5146700A (en) * | 1991-10-31 | 1992-09-15 | Coors Technical Ceramics Company | Steam iron with bonded ceramic and aluminum components |
AU6132494A (en) * | 1993-03-12 | 1994-09-26 | Neocera, Inc. | Superconducting films on alkaline earth fluoride substrates with multiple buffer layers |
US5580407A (en) * | 1993-07-13 | 1996-12-03 | U.S. Philips Corporation | Method of bonding two objects, at least one of which comprises organic materials |
US5637802A (en) * | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
US6484585B1 (en) | 1995-02-28 | 2002-11-26 | Rosemount Inc. | Pressure sensor for a pressure transmitter |
US5724185A (en) * | 1995-08-17 | 1998-03-03 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Method for optically contacting surfaces stressed by an optical coating |
DE19704936A1 (de) * | 1997-02-10 | 1998-08-13 | Zeiss Carl Fa | Optisches Glied und Herstellverfahren |
US20020027301A1 (en) * | 1998-06-11 | 2002-03-07 | Hideo Kato | Method for manufacture of optical element |
US6160824A (en) * | 1998-11-02 | 2000-12-12 | Maxios Laser Corporation | Laser-pumped compound waveguide lasers and amplifiers |
JP2001021719A (ja) * | 1999-07-12 | 2001-01-26 | Seiko Epson Corp | 偏光分離素子、偏光変換素子および投写型表示装置 |
DE60108217T2 (de) | 2000-01-06 | 2005-12-29 | Rosemount Inc., Eden Prairie | Kornwachstumsverfahren zur herstellung einer elektrischen verbindung für mikroelektromechanische systeme (mems) |
US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
US6520020B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor |
US6508129B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-21 | Rosemount Inc. | Pressure sensor capsule with improved isolation |
US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
US6848316B2 (en) * | 2002-05-08 | 2005-02-01 | Rosemount Inc. | Pressure sensor assembly |
US8666505B2 (en) | 2010-10-26 | 2014-03-04 | Medtronic, Inc. | Wafer-scale package including power source |
US9171721B2 (en) | 2010-10-26 | 2015-10-27 | Medtronic, Inc. | Laser assisted direct bonding |
US8796109B2 (en) | 2010-12-23 | 2014-08-05 | Medtronic, Inc. | Techniques for bonding substrates using an intermediate layer |
US9434145B2 (en) | 2012-12-07 | 2016-09-06 | Semrock, Inc. | Dichroic filter conformed to optical surface |
US10136535B2 (en) | 2014-12-24 | 2018-11-20 | Medtronic, Inc. | Hermetically-sealed packages including feedthrough assemblies |
US9968794B2 (en) | 2014-12-24 | 2018-05-15 | Medtronic, Inc. | Implantable medical device system including feedthrough assembly and method of forming same |
US9865533B2 (en) | 2014-12-24 | 2018-01-09 | Medtronic, Inc. | Feedthrough assemblies |
US10124559B2 (en) | 2014-12-24 | 2018-11-13 | Medtronic, Inc. | Kinetically limited nano-scale diffusion bond structures and methods |
US10098589B2 (en) | 2015-12-21 | 2018-10-16 | Medtronic, Inc. | Sealed package and method of forming same |
CN109729668B (zh) * | 2018-08-02 | 2021-05-14 | 比亚迪股份有限公司 | 玻璃件、壳体、显示装置以及终端设备 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4948707A (ja) * | 1972-05-03 | 1974-05-11 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2169194A (en) * | 1937-03-20 | 1939-08-08 | Geyer | Chemical apparatus |
US2617746A (en) * | 1949-12-19 | 1952-11-11 | Johns Manville | Method of inhibiting carbonate bloom |
FR61243E (fr) * | 1950-03-04 | 1955-04-05 | Csf | Nouveau procédé de fabrication des tubes ou enceintes à vide |
US2709147A (en) * | 1951-09-12 | 1955-05-24 | Bell Telephone Labor Inc | Methods for bonding silica bodies |
US3108370A (en) * | 1959-11-16 | 1963-10-29 | Federal Mogul Bower Bearings | Method of producing a face seal |
FR1536312A (fr) * | 1967-06-28 | 1968-08-10 | Comp Generale Electricite | Procédé et dispositif de soudage en continu et sans déformation pour éléments optiques |
FR2246506A1 (en) * | 1973-10-09 | 1975-05-02 | Podvigalkina Galina | Joining of silicate glass lenses - by formation of silicate film on lens surface(s) then sintering together by IR radiation |
AU6459980A (en) * | 1979-11-29 | 1981-06-04 | Keeling + Walker Ltd. | Glass polishing composition |
-
1983
- 1983-09-08 NL NL8303109A patent/NL8303109A/nl not_active Application Discontinuation
-
1984
- 1984-09-04 DE DE8484201267T patent/DE3467749D1/de not_active Expired
- 1984-09-04 EP EP84201267A patent/EP0137537B1/en not_active Expired
- 1984-09-05 JP JP59184706A patent/JPS6096550A/ja active Granted
- 1984-09-06 CA CA000462552A patent/CA1269518A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-02-03 US US07/011,416 patent/US4810318A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4948707A (ja) * | 1972-05-03 | 1974-05-11 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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EP0137537B1 (en) | 1987-11-25 |
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CA1269518A (en) | 1990-05-29 |
US4810318A (en) | 1989-03-07 |
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