JPS6096550A - ２個の部材を結合する方法 - Google Patents

２個の部材を結合する方法

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JPS6096550A
JPS6096550A JP59184706A JP18470684A JPS6096550A JP S6096550 A JPS6096550 A JP S6096550A JP 59184706 A JP59184706 A JP 59184706A JP 18470684 A JP18470684 A JP 18470684A JP S6096550 A JPS6096550 A JP S6096550A
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    • Y10T29/49885—Assembling or joining with coating before or during assembling

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は第１部材と第２部材との間に１個以上の固体層
を設けて前記第１部材と前記第２部材とを結合する方法
に関するものである。
このような方法は西独国特許出顧公開第２９２・８０１
１号公報に開示されており、この公報には２個の石英部
材を結合する方法が記載されている。
２個の石英部材のＩｌｊに厚さ０．００１翻〜０．２簡
のアルミニウム層を設け、しかる後に石英部材をアルミ
ニウムの融点（６００〜６４０℃）に加熱し、真空中で
５〜１５　Ｎ／ｍＰの圧力下に押圧する。しかし、石英
部材をこのような高温に加熱するのは望ましくないこと
が多い。この理由は、飼えば、反射性層がなおイ英部材
上に存在しており、これらの反η・ｉ柱層がこのような
高温に耐えることができないからである。これらの石英
部材間の間隙を正確に１１４　％することはいずれにせ
よ不可能である。
米国時Ｗ［第８８８７２２６号明細Ｉには圧接すること
（ｗｒｉｎｇｉｎｇ　ｉｎ　ｃｏｎｔａｃｔ　）により
２個の部材を真空密に結合することが開示されている。
この場合に、この米Ｃ］％＃１−は狭い通路が設けられ
ていてそのなかにガス状レーザー媒体を収容している石
英ブロックに結合されているレーザーのミラー支持部に
関するものである。部材を結合するかかる方法の欠点は
部材間の間隙を調節できないこである。
従って本発明の目的は高温′および高圧を必要とせずか
つ２個の部材間の間隙を正確に＃節することができる２
個の部材を結合する方法を提供することにある。
このために、本発明は、冒頭に記載した方法において、
前記第１部材および前記第２部材の少くとも一方に１個
以上の固体層を設け、前記固体層の厚さの減少が無視で
きる程度である研摩処理により前記固体層を活性化し、
しかる後に前記第１部材の活性化表面にこれと同様に活
性化した前記第２部材の表面を圧接することにより結合
することを特徴とする。
結合しようとする部材の１個以上の上に１個以上の層を
例えば蒸着することにより設け、次いで接触表面を研摩
処理によって活性化した後に前記層に圧接することによ
り、部材間の間隙を正確に調節することができる。
前記第１部材と前記第２部材との間に、これらの部材の
材料の屈折率とは異なる屈折率を有する゛１個以上の層
を設けることができる。この層はアモルファス層例えは
Ｓｉｎ、層、または多結晶質層例えばＴｉｅ、　；　Ｍ
ｇＦ、　＃　Ａｌ、０８ｓ　Ｇａｐ８１ＨｆＯ，または
ＺｎＳの層とすることができる。この層はエピタキシャ
ル単結晶質層、例えば、「Ａｐｐｌ　、　Ｐｈｙｓ・Ｌ
ｅｔｔ　、　Ｊ　４２　（１２）、１９８８年６月１５
日、第１０８７頁以降に記載されているようなＧａＰ上
（７）Ｓｉ、またはｒ　ＡｐＩ）ｌ　、　ｐｈｙｓ　、
　Ｌｅｔｔ　、　Ｊ４２（１０）、１９８８年５月１５
日、第８６７頁以降に記載されているようなサファイア
上の（ＰｂＬａ　）　（ＺｒＴｉ　）　０８とすること
ができる。
圧抜は１例えは、いくつかの二色性層に対して行うこと
かできる。例えは、１個の石英部材を、他の石英部材上
に交互に設けた５ｉｎＢ層（ｎ＝１．４７　）と　Ｔ　
ｉＯＨＩＦ！　（ｎ　＝２−５　）とからなる４８個の
層から構成されていて８．２２μｍの厚さを有する積み
亀ねに圧接できることが分った。
しかし、またインジウム・Ｘ？化物層に圧接することが
でき、あるいは圧接する相手である二色性ル１の積み爪
ね中にインジウム・錫烈化物層を混入することができる
。かかるインジウム・錫酸化物層は導電性であるので、
例えば、インジウム−錫酸化物層を介在させて本発明方
法により放電管部材を結合してなる放電管におけるリー
ドスルーとして使用することができる。これらの部材は
、例えば、撮像管の容器の窓および円筒形壁とすること
ができる。
部材間または層の積み重ね中に１個以上の磁気光学シを
設けることができる。この例はｒ　ｐｈｙｓｉ−Ｃａ　
５ｔａｔｕｓ　Ｓｏｌ、ｉｄｉ　Ｊム１８　４９８〜４
９８（１９７Ｂ　）　：　Ｂ　、　Ｗ　、　Ｄｅｌｆ　
、ム、　Ｇｒｅｅｎ　オよびＲ、Ｊ　、　５ｔｅｖｅｎ
ｓ　”　Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ａｔ　Ｙ　Ｉ　Ｇｔｈ
ｉｎ　ｆｉｌｍｓ　ｆｒｏｍ　ａ　ｐｏｗｄｅｒ　ｍ１
ｘｔｕｒｅ　Ｏｆ　１ｒｏｎ　ｏｘ土（ｉｅ　ａｎｄ　
ｙｔｔｒｉ、ｕｍ　ｏｘｉｄｅＮ中に記載されテイルよ
うな厚さ２μｍのイツトリウム鉄ガーネット（ＹＩＧ）
ｌである〇 部材間または層の積み重ね中に１個以上の電気光学層を
設けることも可能である。電気光学層の場合には電極と
して作用する２個のインジウム・錫酸化物層の間に電気
光学層を組入れることがで・きる。かかる電気光学層は
後述のようにレンズまたはレンズ系に組入れることがで
きる０かがる電気光学層は、例えば、［Ｆｅｒｒｏｅｌ
ｅｃｔｒｉｏｓ　Ｊ　（１９〕８）、第２２巻、第７７
５〜７７７頁および「Ｊ　、　ＶａＯ、ＳＯｌ　、　Ｔ
ｅｃｈｎＯＩＪ　１６　（２）、８月７４月号（１９７
９）第８１５頁以降に記載されているよりなりａＴ　ｉ
ｏ　８のスパッタ薄層、またはｒＡｐ−１）ｌ　、　Ｐ
ｈｙ８　、　Ｌｅｔｔ　、　Ｊ　４２　（１０）１９８
８年５月１５日、ｔＡ８６７頁以降に記載されているよ
うな（Ｐｂ　、　Ｌａ　）　（Ｚｒ　、　Ｔｉ　）　０
８のスパッタ・エピタキシャル薄層からなる。
いずれの場合でも、結合しようとする表面を軽微な研摩
処理によって活性化する場合にのみ、圧接が可能である
。軽微な研摩処理とは、層厚さまたは結合しようとする
表面の減少が無視できる程度である「新鮮」な表面を作
る研摩処理である。
かかる軽微な研摩処理は酸化セリウム粉末を用いて１分
未満の間行うのが好ましい。
層で完全に被覆されている部材の場合にもこの技術を使
用できるのは明らかである。しかし、また部材上にある
パターン（例えは、リング）の形態に設けられている沿
または層の栢み凰ねに圧接することもできる。シールを
形成するし状パターンに小さいくほみを作った＠会には
、例えばヘリウムの場合に、容易に限定できるガスの漏
出が可能になる。また、例えば、厚さ２μｍのＳｉｎ、
層を二色性層の積み瓜ねの上に粒着させることができる
。Ｓ１０．の代りに蒸着ガラス、例えは、ショツ）　（
５ＯｈＯｔｔ　）　８８２９　（ｎ　＝　１．５２　）
も使用できる。シｓ７ト８８２９は８ｃｈｏｔｔ　Ｇｌ
ａｓｓｗｏｒｋｓ　ｔｂ商品名である。部材を圧接させ
る相手である胸の積み重ねは、多感ミラー、例えは、ガ
ス放電レーザーの場合の光学フィルターおよびリフレク
タ−に使用されるような多層ミラーの一部を形成するこ
とができる。
第１ａ図は光学フィルターの構成部材の断面図である。
ガラス部材１および２の上にそれぞれミラー８および４
からなる二色性層を蒸着させる。
これらの二色性層は所定の波長範囲の場合に９９憾以上
の反射率を有する。カラス部材ｌは中央部５と同軸部６
とからなり、同軸部６はミラー８の変形を防止するよう
同軸みぞ孔７によって中央部５から分離されている。二
色性層８の積み重ねを同軸部６上に中央部５上における
と同様に蒸出させ、同軸部６上の積み重ねを中央部５上
の積み重ねと同じ厚さにする。ある厚さ例えば０．５μ
ｍの厚さを有する蒸着ガラスのリング９を部材２上のミ
ラー４上に設けてミラー８と鴫との間の間隙を正確に５
１！１節できるようにする。次いでリング９および二色
性層８を酸化セリウム（ＯｅＯ，）で軽微に研摩するこ
とにより１分間活性化し、しかる後にこれらを互に対向
させて配置する（第１ｂ図）。この結果圧接により結合
が達成される。酸化セリウムで軽微な研摩処理を行った
結果である屑の厚さの減少は無視できる程小さい。しか
し、かがる軽微な研摩処理は圧接性にとって極めて有効
である。
実際に研磨は表面の（化学的）活性化に役立つ。
第２図はレンズの断面図である。このレンズは２個のガ
ラスレンズ半部２０および２１を具える。
レンズ半部２０上に厚さ０．５μｍのインジウム−錫酸
化物層２２を設け、この層の上に厚さ２μｍのＢａＴｉ
０ｇ層２ａを設け、この層の上に再開部さ０．５μｍの
インジウム・錫酸化ｅＡ層２４を設ける。
層２４を酸化セリウムで軽微に研摩し、次いでレンズ部
材２１の同様に軽微に研摩した而２５を層２４に圧接に
より結合する。層２２と層ｚ４との間に適当な電位差を
印加することにより、層２８を分極状態にすることがで
きる。従来、レンズおよびレンズ部材は接着剤（例えは
、レンズボンドタイプＭ６２、米国ペンシルベニア州１
９０８４、フォートワシントン所在のサマース、ラボラ
ドリース、コーポレーテッド、オプティカルディビジョ
ンのタイプ表示）により結合されていた。圧接による結
合は、接着剤を用いた接着部の場合と較べて耐久性が一
層大きく、結合部中への汚れの侵入が著しく少ない・ 第８図はカラスファイバー通信装置およびレーザービー
ムによって光学ＩＮキャリヤーを読取るｍＨレーザービ
ジョン装置に使用される偏光ビームスリッタの断面図で
ある。このビームスリツタ°は第１ガラスプリズム８０
と第２ガラスプリズム８１とからなる。これらのプリズ
ムのガラスは屈折率１・５２　（ｎ　＝　１．５２　）
である。交互に設けたＭｇＯ層（ｎ＝１．７）とＭｇＦ
ｇ　ｋｉ　（ｎ　＝　１．４　）　トからなる１９個の
層から構成されていてλ／４　の光学的厚さを有する層
の積み重ね８２をプリズム８０上に設ける。またこの系
は次のように表わすことができるニ ガラス（ＨＬ）　Ｈガラス この式中のＨはＭｇＯｌり、ＬはＭｇＦ、　Ｊｌを示す
。
Ｒ後のＨｆｆｉ　（ＭｇＯＪけ）および第２プリズムの
表面８８を軽賭に研摩した後に、第２プリズムを最後の
ＨＮに圧抜により結合する。
【図面の簡単な説明】 第１ａ図お」：び第１ｂ図はそれぞれ光学フィルタの２
個の拾成部利およびこれらの部材から本発明方法により
形成した光学フィルタの一例の冊立断面図、 第２図は本発明方法により形成した電気光学層を有する
レンズの一例のＤ１面図、 第８図は本発明方法により形成した偏光ビームスリッタ
の一例の断面図であるＯ １，２・・・ガラス部材　８，４・・・ミラー５・・・
中央部　６・・・同軸部 ７・・・同軸みぞ孔　８・・・二色性層９・・・リング ｇｏ、ｇｌ・・・レンズ半部（レンズ部材）２２Ｊ４−
・・インジウム・錫酸化物層２Ｂ　−ＢａＴｉ０．　Ｎ
　２５−研摩面８０・・・第１プリズム　８１・・・第
２プリズム８２・・・層の積み重ね　８８・・・第２プ
リズムの表面。 第１頁の続き ■Ｉｎｔ、Ｃ１，’　識別記号　庁内整理番号０発　明
　者　コルネリス・レーンデ　オランダ国５６２１ルト
・アルティング　ヴアウツウェッ、０発　明　者　ルド
ルフ・ブレーム　オランダ国５６２１ヴアウツウエツ。 ベーアー　アインドーフェン　フルーネ・Ｘｌ ベーアー　アインドーフェン　フルーネ・１１ 手続補正書 昭和５９年１０月２日 １、事件の表示 昭和５９年　特　許　願第１８４．　’Ｉ　０６号Ｚ発
明の名称 ２個の部材を結合する方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　エヌ・ベー・フィリップス・ フルーイランペンファブリケン 外１名 ５゜ ６、補正の対象 明細書の１発明の詳細な説明」の欄 ７、補正の内容　（別紙の通りン・ １、明細会第５頁第６行、第９行および第７頁第８行の
「４２」をｌ’−４２Ｊに訂正する。 ２、同第６頁第１０行の「Ａ１８コを「Ａ１８Ｊにする
。 ８、同第９頁第１１行の「１分間」を「１分未満の間」
に訂正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ｔ　第１部材と第２部材との間に１個以上の固体層を設
    けて前記第１部材と前記第２部材とを結合するに当り、 前記第１部材および前記第２部材の少くとも一方に１個
    以上の固体層を設け、 前記固体層の厚さの減少が無視できる程度である研摩処
    理により前記固体層を活性化し、しかる後に１ｔｉＪ記
    第１部材の活性化表面にこれと同様に活性化した前記第
    ２部材の表面を圧接することにより結合する こへとを特徴とする２個の部材を結合する方法。 ２　前記第１部材と前記第２部材との間に、これらの部
    材の材料の屈折率とは異なる屈折率を有する１個以上の
    層を設ける特許請求の範囲第１項記載の方法。 ＆　前記第１部材と前記第２部材との間に１個以上のイ
    ンジウム−錫酸化物層を設ける特許請求の範囲第１項ま
    たは第２項記載の方法。 表　前記第１部材と繭記第２部材との間に１個以上の磁
    気光学層を設ける特許請求の範囲第１項〜８項のいずれ
    か一つの項に記載の方法。 翫　前記第１部材と前記第２部材との間に１個以上の電
    気光学層を設ける特許請求の範囲第１〜８項のいずれか
    一つの項に記載の方法。 ａ　２個のインジウム・錫酸化物層の間に１個以上の電
    気光学層を設ける特許請求の範囲第す項記載の方法。 Ｉ　軽微な研摩処理において研摩媒体として酸化セリウ
    ム（ＯｅＯ，＞を使用する特許請求の範囲第１〜６項の
    いずれか一つの項に記載の方法。
JP59184706A 1983-09-08 1984-09-05 ２個の部材を結合する方法 Granted JPS6096550A (ja)

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NL8303109 1983-09-08

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JPS6096550A true JPS6096550A (ja) 1985-05-30
JPH0429621B2 JPH0429621B2 (ja) 1992-05-19

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