JP3034668B2 - 干渉フィルター - Google Patents
干渉フィルターInfo
- Publication number
- JP3034668B2 JP3034668B2 JP3315307A JP31530791A JP3034668B2 JP 3034668 B2 JP3034668 B2 JP 3034668B2 JP 3315307 A JP3315307 A JP 3315307A JP 31530791 A JP31530791 A JP 31530791A JP 3034668 B2 JP3034668 B2 JP 3034668B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- film
- substrate
- multilayer film
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Description
ー等の干渉フィルターの歪みを取り除く被蒸着基板の歪
み除去方法に関する。
ンプレーティング,イオンアシスト等で多層膜を蒸着し
て,所定の反射分光特性を有する干渉フィルターを製造
すると,蒸着膜の強度の増加に伴って膜ストレスも増加
し,基板は第5図のように球面に歪む。精密な干渉装置
や高精度の画像伝達システムの一部として使用されると
きには,この歪みは無視できない。高精細液晶ビジョン
では,R,G,B分離用のダイクロイックフィルターが
夫々の液晶パネル手前に配置され,高輝度ランプからの
光を分離している。液晶パネルの温度上昇を抑えるため
に,ダイクロイックフィルターの分光特性は自身の昇温
にかかわらず安定している必要がある。
ロイックフィルターの歪みを除去する手段として,他の
基板を張り合わせることも可能であるが,接着剤を使用
したりするために分光特性の低下やコスト上昇を招いて
いる。干渉フィルターの反射分光特性を低下することな
く,歪みを除去すべく,基板の裏側に多層膜を蒸着する
のが本発明であり,以下詳しく説明する。
た基板の裏側面に,この基板と略等しい屈折率を有する
対称構造の等価屈折膜ユニットを,繰り返し積層し,多
層膜と略等しい厚さにする。等価屈折膜ユニットとは,
基板である硝子に略等しい等価屈折率を,(L/M/
L)や(L/H/L),(H/L/H)等のように各種
屈折率物質の対称的な組み合わせと膜厚調整によって得
られる。基板表側面の多層膜と同じ厚さに,この等価屈
折膜ユニットが裏側面に繰り返し積層されるが,反射防
止膜を施す時には,その分だけ等価屈折膜ユニットの積
層厚さを薄くする。また,等価屈折膜ユニットの光学厚
さは必要とする波長よりも小さい。
の多層膜に略等しい厚みを有し,かつ,基板と略同じ等
価屈折率を有する多層膜を蒸着したダイクロイックフィ
ルターの干渉縞は,第2図のように縦縞模様となり,基
板の歪みは除去されている。硝子基板の表側面の多層膜
のストレスは,裏側面の等価屈折膜ユニット蒸着膜から
のストレスによって相殺されたことが理解される。表側
面の多層膜を通過した分光は,硝子と同じ屈折率の等価
屈折膜ユニットを特性劣化することなく通過する。この
等価屈折膜ユニット積層膜がダイクロイックフィルター
の反射分光特性に影響を与えないことが本発明の特色で
ある。第3図に於いて,太線bは処理前のダイクロイッ
クフィルターの反射特性曲線,細線aは裏側面に等価屈
折膜ユニットを積層したダイクロイックフィルターの反
射特性曲線であり,所定の波長領域では,ほぼ同じ分光
特性を有し,何等ダイクロイックフィルター反射分光特
性に影響を与えないことが理解される。
からなる基板1の表側面に,(L/H/L)ユニットを
15層積層してダイクロイックフィルターを形成する。
ここで,Lは二酸化珪素(SiO2:屈折率=1.45)で
厚さは36.2nm,Hは二酸化チタン(TiO2:屈折率
=2.3)で厚さは45.65nmである。基板1の裏
側面に蒸着する等価屈折膜ユニットとして,(L/M/
L)の対称構成を採用し,LはSiO2で厚さは25.88
nm,Mはアルミナ(Al2O3 :屈折率=1.62)で厚
さは14.17nmとする。従って等価屈折膜ユニット
の厚みは,2×(低屈折率物質の厚み)+(高屈折率物
質の厚み)の70.26nmになり,屈折率は約1.5
になる。この等価屈折膜ユニットを23回積層して,表
側面の多層膜2と略同じ厚さの多層膜3を蒸着する。表
側面に多層膜2を蒸着した基板1の裏側面に,この基板
1と略等しい屈折率を有する対称構造の等価屈折膜ユニ
ットを,繰り返し積層し,多層膜2と略等しい厚さの多
層膜3を蒸着するのが本発明の特色である。
(L/M/L)以外に(L/H/L),(H/L/H)
等の組み合わせが考えられる。LはSiO2のような低屈折
率物質,MとHはTiO2やAl2O3 等の高屈折率物質。この
L,M,Hの各厚さを適宜選定して,等価屈折率を基板
1の屈折率に略等しくする。なお,等価屈折膜ユニット
の光学膜厚は必要とする波長よりも小さくする。また,
L=0の時はM或いはHのみになり,等価屈折膜ユニッ
トの屈折率はM或いはHの屈折率に等しい。同じよう
に,H又はM=0の時の等価屈折膜ユニットの屈折率は
Lに等しい。
蒸着した多層膜3は見かけ上硝子と同じである。この多
層膜3に反射防止膜処理するには、多層膜3の厚さを反
射防止膜分薄くすれば良い。反射防止膜として知られて
いる,3層タイプの(A/2B/C)を採用し,Aはア
ルミナ(Al2O3 )で厚さは83.33nm,Bは酸化ジ
ルコニウム(ZrO2:屈折率=2.05)で65.85n
m,Cはフックマグネシウム(MgF2:屈折率=1.3
9)で97.12nmとする。従って,上記等価屈折膜
ユニットを基板1の裏側面に20回積層し,その上にこ
の厚さの反射防止膜を積層する。このフィルターの反射
分光特性を第4図に示す。これは良く知られている反射
防止膜の特性と同じである。
蒸着した基板1の裏側面に,この基板1と略等しい屈折
率を有する対称構造の等価屈折膜ユニットを,繰り返し
積層し,多層膜2と略等しい厚さにしたため,フィルタ
ーの分光特性を損なうことなく歪みを除去できる。特
に,高精細液晶ビション等の光源からの熱的負荷が大き
な使用環境でも,第1図のような無曲率を維持すること
ができ,後方に配置した液晶パネルへの熱影響を解消し
える。
層した実施例の正面図である。
層した実施例の反射分光特性図である。
層し更にその上に反射防止膜を積層した実施例の反射分
光特性図である。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 表側面に多層膜を蒸着した基板の裏側面
に、この基板と略同じ屈折率を有する対称構造の等価屈
折率膜ユニットを、繰り返し積層し、多層膜と略等しい
厚さにする、干渉フィルター。 - 【請求項2】 表側面に多層膜を蒸着したダイクロイッ
クフィルター等の硝子基板の裏側面に、この基板と略同
じ屈折率を有する対称構造の等価屈折率膜ユニットを、
高屈折率物質と低屈折率物質とを組み合わせて決定し、
この等価屈折率膜ユニットを繰り返し積層し、多層膜と
略等しい厚さにする、干渉フィルター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3315307A JP3034668B2 (ja) | 1991-11-02 | 1991-11-02 | 干渉フィルター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3315307A JP3034668B2 (ja) | 1991-11-02 | 1991-11-02 | 干渉フィルター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05127018A JPH05127018A (ja) | 1993-05-25 |
JP3034668B2 true JP3034668B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=18063825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3315307A Expired - Lifetime JP3034668B2 (ja) | 1991-11-02 | 1991-11-02 | 干渉フィルター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3034668B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101907970B1 (ko) | 2017-04-10 | 2018-10-16 | 주식회사 엘엠에스 | 광학물품 및 이를 포함하는 광학필터 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200407556A (en) * | 2002-11-08 | 2004-05-16 | Delta Electronics Inc | A film deposition method for stress balance |
JP2005043755A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Seiko Epson Corp | 光学多層膜フィルタ、光学多層膜フィルタの製造方法、光学ローパスフィルタ、及び電子機器装置 |
CN100580485C (zh) * | 2004-07-09 | 2010-01-13 | 株式会社大真空 | 光学滤波器和光学滤波器的制造方法 |
JPWO2009157273A1 (ja) * | 2008-06-25 | 2011-12-08 | コニカミノルタオプト株式会社 | 撮像光学系及び撮像用レンズの製造方法 |
DE102016110351B4 (de) * | 2016-06-03 | 2019-08-29 | Carl Zeiss Meditec Ag | Verfahren zur Herstellung eines optischen Elements |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58217901A (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 透過型光学部材 |
JPS61296306A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Horiba Ltd | 赤外線多層膜干渉フイルタ |
-
1991
- 1991-11-02 JP JP3315307A patent/JP3034668B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101907970B1 (ko) | 2017-04-10 | 2018-10-16 | 주식회사 엘엠에스 | 광학물품 및 이를 포함하는 광학필터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05127018A (ja) | 1993-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI236547B (en) | Optical multilayer-film filter, method for fabricating optical multilayer-film filter, optical low-pass filter, and electronic apparatus | |
JP4404568B2 (ja) | 赤外線カットフィルタおよびその製造方法 | |
JP2019023722A5 (ja) | ||
US6310729B1 (en) | Dichroic mirror | |
JP3937823B2 (ja) | 光線カットフィルタ | |
JPS60232504A (ja) | 光学フイルタ | |
EP1879058A2 (en) | Dielectric Multilayer Filter | |
JP2003294938A5 (ja) | ||
JP2004354735A (ja) | 光線カットフィルタ | |
JP2019133137A5 (ja) | ||
JP3034668B2 (ja) | 干渉フィルター | |
JP2004004602A (ja) | カラー液晶表示装置およびカラー液晶表示装置の製造方法 | |
EP1628146A1 (en) | Optical low pass filter | |
JP2001228330A (ja) | 複屈折板 | |
JP4095344B2 (ja) | トリミングフィルター | |
JPH11101913A (ja) | 光学素子 | |
JPH07209516A (ja) | 光学多層膜フィルタ | |
JP2786996B2 (ja) | 光学部品の製造方法 | |
JPS6145218A (ja) | 車両用表示装置 | |
JP2003131010A (ja) | 光学部品、光学ユニット及びこれを用いた映像表示装置 | |
JPH02247602A (ja) | 楕円偏光板 | |
JP3531444B2 (ja) | プリズム式ビームスプリッタ | |
JP2006178261A (ja) | 誘電体多層膜フィルタ及び光学部材 | |
WO2018051584A1 (ja) | Ndフィルターおよびその製造方法 | |
JPH07270766A (ja) | 液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080218 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090218 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100218 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110218 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110218 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |