JPH0542379B2 - - Google Patents
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- JPH0542379B2 JPH0542379B2 JP61139975A JP13997586A JPH0542379B2 JP H0542379 B2 JPH0542379 B2 JP H0542379B2 JP 61139975 A JP61139975 A JP 61139975A JP 13997586 A JP13997586 A JP 13997586A JP H0542379 B2 JPH0542379 B2 JP H0542379B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 11
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 15
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 4
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 235000007173 Abies balsamea Nutrition 0.000 description 1
- 239000004857 Balsam Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 244000018716 Impatiens biflora Species 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透過光学系に用いられる光学素子、
中でも紫外線領域を対象とした光学素子を、接着
剤にSi−アルコレートを用いて接着することによ
り光学素子を製造する方法に関する。
中でも紫外線領域を対象とした光学素子を、接着
剤にSi−アルコレートを用いて接着することによ
り光学素子を製造する方法に関する。
従来、透過光学系に用いられる光学素子、例え
ば、レンズ、プリズムの接着にはバルサム、エポ
キシ系、紫外線硬化型の接着剤が使用されてき
た。
ば、レンズ、プリズムの接着にはバルサム、エポ
キシ系、紫外線硬化型の接着剤が使用されてき
た。
しかし、これらの接着剤は、紫外線領域（波長
200nｍ〜400nｍ）における光透過率が高くない
ため、波長300nｍ以下の領域で用いる光学素子
に対して使用できるものはなかつた。また、エキ
シマ・レーザーに代表される、エネルギーの高い
紫外光に対しては、接着剤が吸収を起こす結果、
接着剤の耐光性が低く、光学素子の接着ができな
いという欠点があつた。このため、光学素子の製
造過程において、該波長領域で用いる、光学素子
の接着を行なうときにはオプテイカル・コンタク
トを用いるのが唯一の方法であつた。しかしなが
ら、オプテイカル・コンタクトをするためには、
接着面の表面粗さが波長の1/100というように非
常に小さいことが必要である。そのため、光学素
子の表面を十分に平滑になるよう研磨しなければ
ならなかつたり、光学素子上に簿膜を設け、この
簿膜を介在するものの場合には接着性が悪いとい
う欠点があつた。
200nｍ〜400nｍ）における光透過率が高くない
ため、波長300nｍ以下の領域で用いる光学素子
に対して使用できるものはなかつた。また、エキ
シマ・レーザーに代表される、エネルギーの高い
紫外光に対しては、接着剤が吸収を起こす結果、
接着剤の耐光性が低く、光学素子の接着ができな
いという欠点があつた。このため、光学素子の製
造過程において、該波長領域で用いる、光学素子
の接着を行なうときにはオプテイカル・コンタク
トを用いるのが唯一の方法であつた。しかしなが
ら、オプテイカル・コンタクトをするためには、
接着面の表面粗さが波長の1/100というように非
常に小さいことが必要である。そのため、光学素
子の表面を十分に平滑になるよう研磨しなければ
ならなかつたり、光学素子上に簿膜を設け、この
簿膜を介在するものの場合には接着性が悪いとい
う欠点があつた。
本発明は、上述従来例の欠点を除去するために
なされたものであり、その目的は、紫外域の光を
吸収しない接着層を設けて光学素子を接着できる
新規な方法を利用した光学素子の製造法を提供す
ることにある。
なされたものであり、その目的は、紫外域の光を
吸収しない接着層を設けて光学素子を接着できる
新規な方法を利用した光学素子の製造法を提供す
ることにある。
上記の目的は、紫外線領域に用いる光学素子を
接着して貼り合わせる工程を有する光学素子の製
造方法において、該光学素子の接着を、シリコン
アルコレートの加水分解生成物により行なうこと
により達成される。
接着して貼り合わせる工程を有する光学素子の製
造方法において、該光学素子の接着を、シリコン
アルコレートの加水分解生成物により行なうこと
により達成される。
以下、実施例に従い本発明を詳しく説明する。
第１図はプリズム・タイプの偏光ビーム・スプリ
ツターを示す模式図である。この偏光ビーム・ス
プリツターは、偏光ビーム・スプリツター膜３が
成膜されたプリズム１ともう一つのプリズム２と
がSi−アルコレートの加水分解生成物４により接
着されて形成されたものである。
第１図はプリズム・タイプの偏光ビーム・スプリ
ツターを示す模式図である。この偏光ビーム・ス
プリツターは、偏光ビーム・スプリツター膜３が
成膜されたプリズム１ともう一つのプリズム２と
がSi−アルコレートの加水分解生成物４により接
着されて形成されたものである。
各プリズムは合成石英から成り、一方のプリズ
ム１上に設けられた偏光ビーム・スプリツター膜
３は透電体の多層膜から成り、真空蒸着、スパツ
ター、イオンプレーテイング等により形成された
ものである。この偏光ビーム・スプリツターの分
光特性を第２図に示す。第２図で、５は反射率の
Ｐ成分、６は反射率のＳ成分を示す。なお、この
偏光ビーム・スプリツターはKrF・エキシマ・レ
ーザー用のものである。
ム１上に設けられた偏光ビーム・スプリツター膜
３は透電体の多層膜から成り、真空蒸着、スパツ
ター、イオンプレーテイング等により形成された
ものである。この偏光ビーム・スプリツターの分
光特性を第２図に示す。第２図で、５は反射率の
Ｐ成分、６は反射率のＳ成分を示す。なお、この
偏光ビーム・スプリツターはKrF・エキシマ・レ
ーザー用のものである。
上記偏光ビーム・スプリツターの両プリズムを
接着するために本発明ではSi−アルコレートを用
いる。Si−アルコレートは、加水分解されること
により、ガラス状のSiO2となり接着能を呈し、
且つ紫外領域の光を実質的に吸収しないものとな
るので、このように接着剤として利用できる。し
かもSi−アルコレートの加水分解生成物とプリズ
ムを構成する石英ガラスとは同じ成分であるの
で、両者の屈折率が一致する上に両者の親和性も
高く強い接着力を示す。
接着するために本発明ではSi−アルコレートを用
いる。Si−アルコレートは、加水分解されること
により、ガラス状のSiO2となり接着能を呈し、
且つ紫外領域の光を実質的に吸収しないものとな
るので、このように接着剤として利用できる。し
かもSi−アルコレートの加水分解生成物とプリズ
ムを構成する石英ガラスとは同じ成分であるの
で、両者の屈折率が一致する上に両者の親和性も
高く強い接着力を示す。
Si−アルコレートは種々のものが利用できるけ
れども例えばエチルシリケートSi5O4（OC2H5）12
等を選択すればよい。ただし他にもシリコンテト
ラエトキサイド：Si（OC2H5）4等のSioOo-1
（OC2H5）2o+2に代表されるSioOo-1（OR）2o+2（Ｒ
は置換または非置換の炭化水素基、ｎは１以上）
やRoSi（OR）4-o等のSiアルコラートが使用でき
る。
れども例えばエチルシリケートSi5O4（OC2H5）12
等を選択すればよい。ただし他にもシリコンテト
ラエトキサイド：Si（OC2H5）4等のSioOo-1
（OC2H5）2o+2に代表されるSioOo-1（OR）2o+2（Ｒ
は置換または非置換の炭化水素基、ｎは１以上）
やRoSi（OR）4-o等のSiアルコラートが使用でき
る。
上に例示されたようなSi−アルコレートの加水
分解の条件、触媒は特に制限はなく、常法に従つ
て加水分解を実施すればよい。
分解の条件、触媒は特に制限はなく、常法に従つ
て加水分解を実施すればよい。
加水分解後には溶媒のアルコール、もしくはエ
ステルが残留するが、低沸点のアルコール、エス
テル、（例えば、エチルアルコール、硫酸エステ
ル等）は、接着後揮発する。より積極的にこれを
除去するならば、加熱するか真空することで処理
できる。また、接着に際して接着面にゴミ、ホコ
リ等の異物や不純物が存在すると、接着強度が低
下したり、レーザー損傷の原因になることから、
接着においては、接着面を十分クリーニングする
とともに、接着剤を口過して用いるなど、不純物
の除去が必要である。特に作業環境としては、ク
リーンルームが適している。
ステルが残留するが、低沸点のアルコール、エス
テル、（例えば、エチルアルコール、硫酸エステ
ル等）は、接着後揮発する。より積極的にこれを
除去するならば、加熱するか真空することで処理
できる。また、接着に際して接着面にゴミ、ホコ
リ等の異物や不純物が存在すると、接着強度が低
下したり、レーザー損傷の原因になることから、
接着においては、接着面を十分クリーニングする
とともに、接着剤を口過して用いるなど、不純物
の除去が必要である。特に作業環境としては、ク
リーンルームが適している。
両プリズムを接着するために、Si−アルコレー
トの加水分解生成物を両プリズムの貼り合わせ面
にコーテイングする必要があるが、そのために例
えば貼り合わせ面に滴下、塗布して接着するなど
の一般的な方法も利用できるけれども、接着層を
1μｍ程度にまで薄くするために次の方法が好適
である。即ち、両プリズムを接合し、その隙間に
Siアルコレートの加水分解生成物を注射等を利用
して注入し、毛細管現象により両プリズムの接合
面全体に加水分解生成物を行き渡らせる方法であ
る。この方法において、Siアルコレートを接合面
上にうまく広げ、かつ膜厚、膜の形成速度をコン
トロールするためにはSi−アルコレートに適当な
粘性をもたらすことが必要である。これは金属ア
ルコレートを適当に選択した溶液に溶解すること
により実現できる。この溶液としては、例えばブ
チルアルコール等の高沸点アルコールやエステル
が利用できる。
トの加水分解生成物を両プリズムの貼り合わせ面
にコーテイングする必要があるが、そのために例
えば貼り合わせ面に滴下、塗布して接着するなど
の一般的な方法も利用できるけれども、接着層を
1μｍ程度にまで薄くするために次の方法が好適
である。即ち、両プリズムを接合し、その隙間に
Siアルコレートの加水分解生成物を注射等を利用
して注入し、毛細管現象により両プリズムの接合
面全体に加水分解生成物を行き渡らせる方法であ
る。この方法において、Siアルコレートを接合面
上にうまく広げ、かつ膜厚、膜の形成速度をコン
トロールするためにはSi−アルコレートに適当な
粘性をもたらすことが必要である。これは金属ア
ルコレートを適当に選択した溶液に溶解すること
により実現できる。この溶液としては、例えばブ
チルアルコール等の高沸点アルコールやエステル
が利用できる。
一般にSi−アルコレートは、加水分解後、加熱
することによつて、脱水、重合が進みSiO2非晶
質膜へ変化し、光学素子の材質により近くものと
なる。しかし、本発明、特にこの実施例では、加
熱を行なわなくても、接着層は加熱をした場合と
同等の光学的特性を示し且つ実用上十分な接着能
を呈するので、加熱の必要はない。
することによつて、脱水、重合が進みSiO2非晶
質膜へ変化し、光学素子の材質により近くものと
なる。しかし、本発明、特にこの実施例では、加
熱を行なわなくても、接着層は加熱をした場合と
同等の光学的特性を示し且つ実用上十分な接着能
を呈するので、加熱の必要はない。
本発明を、グラン・トムソン・グラン・テイラ
ー、ウオラストン・プリズム等の製造に適用し、
その構成部品をSi−アルコレートの加水分解生成
物により接着することにより、従来よりも短波長
領域まで使用できる各種のプリズムを提供するこ
とができる。
ー、ウオラストン・プリズム等の製造に適用し、
その構成部品をSi−アルコレートの加水分解生成
物により接着することにより、従来よりも短波長
領域まで使用できる各種のプリズムを提供するこ
とができる。
また、光学部品同士を接着した光学素子のみで
なく、本発明は、光学部品と金属等からなる光学
素子の製造にも適用できる。
なく、本発明は、光学部品と金属等からなる光学
素子の製造にも適用できる。
なお、本発明で貼り合わされる光学素子とは光
を集光、反射、屈折、干渉等させる作用を果たす
もの全てを含み、レンズ、プリズムの他に例えば
ミラー、グレーテイング等を含む。従つて、本発
明で完成される光学素子は貼り合わせの工程を製
造過程中にもつものを広く含む。
を集光、反射、屈折、干渉等させる作用を果たす
もの全てを含み、レンズ、プリズムの他に例えば
ミラー、グレーテイング等を含む。従つて、本発
明で完成される光学素子は貼り合わせの工程を製
造過程中にもつものを広く含む。
以上詳細に説明したように、光学素子の接着剤
として、Si−アルコレートを用いた本発明では接
着力が強く、しかも接着層と接着基体との屈折率
が調和し、その上接着層による紫外光の吸収がな
く透過率が低下しない光学素子が製造できる。ま
た、本発明では、オプテイカル・コンタクトを利
用した場合に比べて、光学部品の接着力が接着面
の粗さに影響を受けにくいので、本発明は広範な
光学素子の製造に適用できる。
として、Si−アルコレートを用いた本発明では接
着力が強く、しかも接着層と接着基体との屈折率
が調和し、その上接着層による紫外光の吸収がな
く透過率が低下しない光学素子が製造できる。ま
た、本発明では、オプテイカル・コンタクトを利
用した場合に比べて、光学部品の接着力が接着面
の粗さに影響を受けにくいので、本発明は広範な
光学素子の製造に適用できる。
第１図は、本発明の一実施例により製造された
プリズム・タイプの偏光ビーム・スプリツターの
断面図、第２図は、第１図の偏光ビーム・スプリ
ツターの分光特性を示す図である。 １，２はプリズム、３はプリズム１上に形生さ
れた偏光ビーム・スプリツター膜、４はSi−アル
コレートの加水分解生成物の層、５は反射率のＰ
成分、６は反射率のＳ成分を示す。
プリズム・タイプの偏光ビーム・スプリツターの
断面図、第２図は、第１図の偏光ビーム・スプリ
ツターの分光特性を示す図である。 １，２はプリズム、３はプリズム１上に形生さ
れた偏光ビーム・スプリツター膜、４はSi−アル
コレートの加水分解生成物の層、５は反射率のＰ
成分、６は反射率のＳ成分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 紫外線領域に用いる光学素子を接着して貼り
合わせる工程を有する光学素子の製造方法におい
て、該光学素子の接着を、シリコンアルコレート
の加水分解生成物により行なうことを特徴とする
光学素子の製造方法。 ２ 前記の紫外線領域が波長200〜400nｍの範囲
である特許請求の範囲第１項記載の光学素子の製
造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13997586A JPS62297247A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光学素子の製造方法 |
| US08/162,794 US5725626A (en) | 1986-06-18 | 1993-12-07 | Method for manufacturing an optical element by bonding a plurality of elements |
| US08/409,952 US5683480A (en) | 1986-06-18 | 1995-03-23 | Method of bonding two prisms with a hydrolysis product |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13997586A JPS62297247A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光学素子の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6117402A Division JP2786996B2 (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62297247A JPS62297247A (ja) | 1987-12-24 |
| JPH0542379B2 true JPH0542379B2 (ja) | 1993-06-28 |
Family
ID=15258024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13997586A Granted JPS62297247A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62297247A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4108790B2 (ja) | 1997-07-23 | 2008-06-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガラス部材の接合方法 |
| WO2015133260A1 (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-11 | コニカミノルタ株式会社 | プロジェクション装置、光学接合部品の製造方法、および、光学接合部品 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2601123A (en) * | 1947-04-05 | 1952-06-17 | American Optical Corp | Composition for reducing the reflection of light |
-
1986
- 1986-06-18 JP JP13997586A patent/JPS62297247A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2601123A (en) * | 1947-04-05 | 1952-06-17 | American Optical Corp | Composition for reducing the reflection of light |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62297247A (ja) | 1987-12-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |